特許 6353257 排気口部品、および真空ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6353257

(24)【登録日】2018年6月15日

(45)【発行日】2018年7月4日

(54)【発明の名称】排気口部品、および真空ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20180625BHJP

【ＦＩ】

   F04D19/04 G

【請求項の数】9

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-72133(P2014-72133)

(22)【出願日】2014年3月31日

(65)【公開番号】特開2015-194116(P2015-194116A)

(43)【公開日】2015年11月5日

【審査請求日】2017年2月14日

(73)【特許権者】

【識別番号】508275939

【氏名又は名称】エドワーズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091225

【弁理士】

【氏名又は名称】仲野 均

(74)【代理人】

【識別番号】100096655

【弁理士】

【氏名又は名称】川井 隆

(72)【発明者】

【氏名】坂口 祐幸

(72)【発明者】

【氏名】黒川 典宏

【審査官】 所村 陽一

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０６−１５９２８７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ １９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

吸気口と、排気口部品を配設した排気口と、が形成された外装体と、
前記外装体に内包され、回転自在に支持された回転軸と、
前記回転軸に固定される回転体と、
前記回転体の外周面から放射状に配設された回転翼と、
前記回転翼と所定の間隔を設けて配置された固定翼と、
前記回転翼と前記固定翼との相互作用により前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する気体移送機構と、
を備えた真空ポンプであって、
前記排気口部品は、前記排気口に一部嵌入される筐体部と、前記筐体部の外周面に形成された鍔部と、を備え、前記排気口部品は断熱手段を具備し、前記鍔部と前記断熱手段との接触面の内側及び前記断熱手段と前記真空ポンプのベースとの接触面の内側にシール手段が配置されていることを特徴とする真空ポンプ。

【請求項2】

前記断熱手段は、前記鍔部に固定配設されることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

前記断熱手段は、前記筐体部の熱伝導率よりも熱伝導率が小さい素材で製造されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

前記断熱手段は、ステンレス鋼で製造されていることを特徴とする請求項１、請求項２、または請求項３に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

前記断熱手段と、前記鍔部または前記ベースの少なくともいずれか一方の接触において、前記接触面の面積を少なくするための非接触部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

前記シール手段は、Ｏリングであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の真空ポンプ。

【請求項7】

前記筐体部および前記断熱手段は、１つの部品で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項8】

前記断熱手段は、前記鍔部の長手方向の幅を、前記筐体部の内周壁の肉厚の、少なくとも３倍の寸法にして構成されることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項9】

吸気口と、排気口と、が形成された外装体と、
前記外装体に内包され、回転自在に支持された回転軸と、
前記回転軸に固定される回転体と、
前記回転体の外周面から放射状に配設された回転翼と、
前記回転翼と所定の間隔を設けて配置された固定翼と、
前記回転翼と前記固定翼との相互作用により前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する気体移送機構と、を備えた真空ポンプに使われる排気口部品であって、
前記排気口部品は、前記排気口に一部嵌入される筐体部と、前記筐体部の外周面に形成された鍔部と、を備え、前記排気口部品は断熱手段を具備し、前記鍔部と前記断熱手段との接触面の内側及び前記断熱手段と前記真空ポンプのベースとの接触面の内側にシール手段が配置されていることを特徴とする排気口部品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、排気口部品、および真空ポンプに関する。詳しくは、生成物・堆積物の量を低減させる排気口部品、および真空ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体や太陽電池、液晶などを製造する際の工程の１つである成膜のための装置では、Ｓｉ膜を生成するための真空チャンバ内でシランガス（ＳｉＨ₄）等のプロセスガスを使用する。
真空ポンプが配設される装置が上述したようなプロセスガスを使用している場合、使用された後の排ガスは、半導体製造工程用の装置である真空チャンバに接続された真空ポンプの反応炉から外部に排気される。真空ポンプの排気側は、こうした排ガスが昇華温度以下にまで冷やされることによって生成される固体・粉体の生成物が堆積しやすい。
堆積した生成物を取り除くために定期的なメンテナンス（オーバーホール）の実施が必要であり、一般的に、このメンテナンスは三ヶ月に一度程度の頻度で実施される。しかしながら、運用面・費用面を鑑みれば、１つのメンテナンスから次のメンテナンスを行う迄の間隔（フリーメンテナンス期間）は長ければ長い方がよい。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０００−０６４９８６号公報

【0004】

真空ポンプ内における反応生成物の堆積を防止する技術として、真空ポンプの外部にヒータを巻く技術がある。
特許文献１には、活性ガスを吸入する場合のターボ分子ポンプにおいて、回転翼を冷却するために固定翼側の構造を工夫する技術について記載されている。そして、活性ガスの昇華温度以下の状況下において生成した反応生成物がポンプ内部に凝固・付着して、回転翼と固定翼間の隙間が無くなってしまう。そこで、回転翼と固定翼が接触してしまうという問題を防ぐために、ポンプ外部にヒータを巻着してポンプ内部の温度が一定温度以下にならないようにする構成について記載されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に示されているように、従来、真空ポンプにはベース部分（ベース部１０）に排気用のガス通路（排気口１１）が設けられ、その排気口には取り替え可能な排気口部品が嵌入されて装備される。このように、排気口部品は真空ポンプのベースに取り付けられており、排気口部品のフランジ面が真空ポンプのベースに直接接触する構造になっている。
上述したような構造、つまり、排気口に嵌入されて配設される部品（排気口部品）がベースに直接取り付けられる構造の場合、排気口および排気口部品の温度は、排気口および排気口部品の温度よりも低い環境下にあるベース、フォアラインの配管、あるいは大気などの温度の影響を受けることにより、排気口および排気口部品の温度も低下しやすくなっていた。そのため、排気口内部は、上述したようなプロセスガスによる生成物が堆積しやすくなってしまっていた。

【0006】

こうした問題に対し、排気口および排気口部品の温度を上げて生成物の堆積を防ぐために、排気口の外側（すなわち、大気側）にヒータを円柱状に巻いて排気口内部へ熱を伝えることで排気口および排気口部品を昇温（ヒーティング）させていた。
しかし、ヒーティングがヒータ周辺に限定されてしまうなど局所的な効果しか得られず、排気口全体・所望の箇所を効率よく昇温させることは難しかった。

【0007】

そこで、本発明は、配設される真空ポンプの排気口全体の温度を効率よく上げて生成物・堆積物の量を低減させる排気口部品、および、当該排気口部品が配設された真空ポンプを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するため、請求項１記載の本願発明では、吸気口と、排気口部品を配設した排気口と、が形成された外装体と、前記外装体に内包され、回転自在に支持された回転軸と、前記回転軸に固定される回転体と、前記回転体の外周面から放射状に配設された回転翼と、前記回転翼と所定の間隔を設けて配置された固定翼と、前記回転翼と前記固定翼との相互作用により前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する気体移送機構と、を備えた真空ポンプであって、前記排気口部品は、前記排気口に一部嵌入される筐体部と、前記筐体部の外周面に形成された鍔部と、を備え、前記排気口部品は断熱手段を具備し、前記鍔部と前記断熱手段との接触面の内側及び前記断熱手段と前記真空ポンプのベースとの接触面の内側にシール手段が配置されていることを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項２記載の本願発明では、前記断熱手段は、前記鍔部に固定配設されることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプを提供する。
請求項３記載の本願発明では、前記断熱手段は、前記筐体部の熱伝導率よりも熱伝導率が小さい素材で製造されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空ポンプを提供する。
請求項４記載の本願発明では、前記断熱手段は、ステンレス鋼で製造されていることを特徴とする請求項１、請求項２、または請求項３に記載の真空ポンプを提供する。
請求項５記載の本願発明では、前記断熱手段と、前記鍔部または前記ベースの少なくともいずれか一方の接触において、前記接触面の面積を少なくするための非接触部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項６記載の本願発明では、前記シール手段は、Ｏリングであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項７記載の本願発明では、前記筐体部および前記断熱手段は、１つの部品で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプを提供する。
請求項８記載の本願発明では、前記断熱手段は、前記鍔部の長手方向の幅を、前記筐体部の内周壁の肉厚の、少なくとも３倍の寸法にして構成されることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプを提供する。
請求項９記載の本願発明では、吸気口と、排気口と、が形成された外装体と、前記外装体に内包され、回転自在に支持された回転軸と、前記回転軸に固定される回転体と、前記回転体の外周面から放射状に配設された回転翼と、前記回転翼と所定の間隔を設けて配置された固定翼と、前記回転翼と前記固定翼との相互作用により前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する気体移送機構と、を備えた真空ポンプに使われる排気口部品であって、前記排気口部品は、前記排気口に一部嵌入される筐体部と、前記筐体部の外周面に形成された鍔部と、を備え、前記排気口部品は断熱手段を具備し、前記鍔部と前記断熱手段との接触面の内側及び前記断熱手段と前記真空ポンプのベースとの接触面の内側にシール手段が配置されていることを特徴とする排気口部品を提供する。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、配設される真空ポンプの排気口全体の温度を効率よく上げて生成物・堆積物の量を低減させる排気口部品、および、当該排気口部品が配設された真空ポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態に係る排気口部品を備える真空ポンプの概略構成例を示した図である。

【図2】本発明の実施形態に係る排気口部品の概略構成例を示した図である。

【図3】本発明の実施形態に係る排気口部品を説明するための図である。

【図4】本発明の実施形態に係る断熱スペーサを説明するための図である。

【図5】本発明の実施形態に係る排気口部品と熱伝導を説明するための図である。

【図6】本発明の実施形態の変形例に係る排気口部品を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

（ｉ）実施形態の概要
本発明の実施形態に係る排気口部品は、排気口部品に配設されたヒータから得られる熱を、排気口の奥（真空ポンプ側）へ効率よく伝えるための断熱部（断熱手段）を備える。また、本発明の実施形態に係る真空ポンプは、当該断熱部（断熱手段）を有する排気口部品を備える。
本実施形態に係る排気口部品の断熱部は、排気口部品の筐体部分の外周面にリング状（輪状）に形成されたフランジ（鍔／つば）部と、当該フランジ部に密着して配設された断熱スペーサを備える。
あるいは、排気口部品の外周面に形成されたフランジ部と、上述した断熱スペーサが、一体型で形成された構成を有する排気口部品のフランジ（鍔／つば）部が断熱部となる。
この構成により、真空ポンプの排気口全体の温度を効率よく上げて生成物・堆積物の量を低減させることができる。

【0012】

（ｉｉ）実施形態の詳細
（真空ポンプの構成）
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１から図６を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る真空ポンプ（ターボ分子ポンプ１）の概略構成例を示した図であり、ターボ分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
なお、本発明の実施形態では、便宜上、回転翼の直径方向を「径（直径・半径）」、回転翼の直径方向と垂直な方向を「軸線方向」として説明する。
ターボ分子ポンプ１の外装体を形成するケーシング２は、略円筒状の形状をしており、ケーシング２の下部（排気口６側）に設けられたベース３と共にターボ分子ポンプ１の筐体を構成している。そして、この筐体の内部には、ターボ分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物である気体移送機構が収納されている。
この気体移送機構は、大きく分けて、回転自在に支持（軸支）された回転部（ロータ部）と筐体に対して固定された固定部から構成されている。
また、図示しないが、ターボ分子ポンプ１の外装体の外部には、ターボ分子ポンプ１の動作を制御する制御装置が専用線を介して接続されている。

【0013】

ケーシング２の端部には、当該ターボ分子ポンプ１へ気体を導入するための吸気口４が形成されている。また、ケーシング２の吸気口４側の端面には、外周側へ張り出したフランジ部５が形成されている。
また、ベース３には、当該ターボ分子ポンプ１から気体を排気するための排気口６が形成されている。
ここで、本実施形態では、ベース３に設けられた排気口６に、断熱部を有する排気口部品６００が嵌入されて配設される。この排気口部品６００が嵌入されると、当該排気口部品６００の大気側（排気側）の口が排気口６として機能する。なお、排気口部品６００の詳細については後述する。

【0014】

回転部は、回転軸であるシャフト７、このシャフト７に配設されたロータ８、ロータ８に設けられた複数枚の回転翼９、排気口６側（ねじ溝式ポンプ部）に設けられたロータ円筒部１０を備える。なお、シャフト７およびロータ８によりロータ部が構成される。
各回転翼９は、シャフト７の軸線に対して垂直に放射状に伸びた円板形状の円板部材により構成される。
また、ロータ円筒部１０は、ロータ８の回転軸線と同心の円筒形状をした円筒部材により構成される。

【0015】

シャフト７の軸線方向中程には、シャフト７を高速回転させるためのモータ部２０が設けられ、ステータコラム８０に内包されている。
更に、シャフト７のモータ部２０に対して吸気口４側、および排気口６側には、シャフト７をラジアル方向（径方向）に非接触で支持（軸支）するための径方向磁気軸受装置３０、３１が設けられている。また、シャフト７の下端には、シャフト７を軸線方向（アキシャル方向）に非接触で支持するための軸方向磁気軸受装置４０が設けられている。

【0016】

筐体の内周側には、固定部（ステータ部）が形成されている。この固定部は、吸気口４側（ターボ分子ポンプ部）に設けられた複数枚の固定翼５０と、ケーシング２の内周面に設けられたねじ溝スペーサ７０などから構成されている。
各固定翼５０は、シャフト７の軸線に対して垂直に放射状に伸びた円板形状の円板部材により構成される。
各段の固定翼５０は、円筒形状をした固定翼スペーサ６０により互いに隔てられて固定されている。
ターボ分子ポンプ部では、固定翼５０と回転翼９とが互い違いに配置され、軸線方向に複数段形成されているが、真空ポンプに要求される排出性能（排気性能）を満たすために、必要に応じて任意の数のロータ部品および（あるいは）ステータ部品を設ける構成にしてもよい。

【0017】

ねじ溝スペーサ７０には、ロータ円筒部１０との対向面にらせん溝が形成されている。
ねじ溝スペーサ７０は、所定のクリアランスを隔ててロータ円筒部１０の外周面に対面しており、ロータ円筒部１０が高速回転すると、ターボ分子ポンプ１で圧縮されたガスがロータ円筒部１０の回転に伴ってねじ溝（らせん溝）にガイドされながら排気口６側へ送出されるようになっている。即ち、ねじ溝は、ガスを輸送する流路となっている。ねじ溝スペーサ７０とロータ円筒部１０が所定のクリアランスを隔てて対向することにより、ねじ溝でガスを移送する気体移送機構を構成している。
なお、ガスが吸気口４側へ逆流する力を低減させるために、このクリアランスは小さければ小さいほど好ましい。
ねじ溝スペーサ７０に形成されたらせん溝の方向は、らせん溝内をロータ８の回転方向にガスが輸送された場合、排気口６に向かう方向である。
また、らせん溝の深さは、排気口６に近づくにつれて浅くなるようになっており、らせん溝を輸送されるガスは排気口６に近づくにつれて圧縮されるようになっている。このように、吸気口４から吸引されたガスは、ターボ分子ポンプ部で圧縮された後、ねじ溝式ポンプ部で更に圧縮されて排気口６から排出される。
このように構成されたターボ分子ポンプ１により、ターボ分子ポンプ１は、ターボ分子ポンプ１に配設される真空室（図示しない）内の真空排気処理を行う。

【0018】

上述したように、本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプ１の排気口にはポンプの排気口部品６００が配設される。
図２は、本発明の実施形態に係る、断熱スペーサ６１０を有する排気口部品６００の概略構成例を示した断面図である。
図３は、本発明の実施形態に係る排気口部品６２０を説明するための断面図である。
図４は、本発明の実施形態に係る断熱スペーサ６１０を説明するための図である。
図２に示したように、本実施形態の排気口部品６００は、基本的に、接触面６１４および非接触面６１５が形成された断熱スペーサ６１０と排気口部品６２０（図３）とＯリング６３０の複数の部品によって構成される。なお、接触面６１４および非接触面６１５については後述する。
本実施形態では、断熱スペーサ６１０は、Ｏリング６３０を介して、排気口部品６２０の外周面に形成された排気口部品フランジ部６２１に密接して配設（固定）される。
一方、排気口部品６２０に形成された排気口部品段部６２３は、Ｏリング６３０や断熱スペーサ６１０との位置決めに利用される部分であり、この排気口部品段部６２３と断熱スペーサ６１０は、所定の隙間が設けられて配設される方が望ましい。
本実施形態では、断熱スペーサ６１０と排気口部品フランジ部６２１が、排気口部品６００における排気口部品胴部６２４下方に配設されたヒータ（不図示）から得られる熱（約１５０℃前後）を、排気口部品６００におけるターボ分子ポンプ１の内側（排気口６の奥側）へ効率よく伝える断熱部Ａ（図５）として機能する。なお、排気口部品胴部６２４は、排気口部品６００がターボ分子ポンプ１に配設されたときに大気側に突き出す方の、排気口部品６００の一部分である。

【0019】

図３に示したように、排気口部品６２０は、ターボ分子ポンプ１に配設された際にターボ分子ポンプ１から大気側に突き出す部分である排気口部品大気側部６２０ａと、真空側に内設される部分である排気口部品真空側部６２０ｂにより構成される。
排気口部品大気側部６２０ａには、大気側に突き出す先端部分である排気口部品胴部６２４と、排気口部品胴部６２４と連続し、当該排気口部品胴部６２４が形成される反対側にＯリング用凹部６２２が形成された排気口部品フランジ部６２１と、排気口部品フランジ部６２１を介して排気口部品胴部６２４と排気口部品胴部６２５とを繋ぐ排気口部品段部６２３が備わっている。

【0020】

（断熱スペーサ）
図４（ａ）は断熱スペーサ６１０における軸線方向の断面図であり、図４（ｂ）は断熱スペーサ６１０を排気口６（図１）側からみた図である。
図４に示したように、断熱スペーサ６１０は、ボルト用穴６１３が形成された断熱スペーサフランジ部６１１、配設される真空ポンプ１のベース３と接触する接触面６１４、配設される真空ポンプ１のベース３と接触しない非接触面６１５、および断熱スペーサ胴部６１２を備えている。なお、本実施形態では、ボルト用穴６１３を４つ備える構成としたが、これに限ることはなく、適宜変更することが可能である。
本実施形態では、断熱スペーサ６１０の真空側の面に、内周半径を異にする同心円状の段差を設けて接触面６１４と非接触面６１５を形成する構成としている。そしてこの段差が、熱をベース３側へ逃げにくくするためのニゲ部として機能する。
この構成により、断熱スペーサフランジ部６１１の真空側の面は、面の一部が断熱スペーサ６１０がベース３と接触する接触面６１４となり、残りの部分が非接触状態が保たれる非接触面６１５となって、接触面積を小さく（少なく）することができる。この接触面６１４とベース３との接触面積は小さければ小さいほど好ましい。
また、本実施形態では、断熱スペーサ６１０の真空側の面に非接触面６１５を設けた構成としたが、例えば、図示しないが、ベース３の面に設ける構成や、断熱スペーサ６１０の大気側の面に設ける構成にしてもよい。
あるいは、非接触面６１５を、排気口部品フランジ部６２１の面に設ける構成にしてもよい。
なお、好ましくは、前述のとおり断熱スペーサフランジ部６１１は、ベース３との接触面および非接触面の両方を設ける構成であるが、真空側の全面がベース３と接触する接触面となる構成でもよい。
また、本実施形態では、一例として、断熱スペーサ６１０はステンレス鋼（ステンレススチール）で製造する構成としたが、その他にアルミニウムなど、少なくともベース３よりも熱伝導率が小さい素材で製造する構成であればよい。

【0021】

（Ｏリング）
図２に示したように、本実施形態では、断熱スペーサフランジ部６１１と排気口部品フランジ部６２１の接触面の一部に、Ｏリング６３０を配設する。
本実施形態では、一例として、Ｏリング６３０はＶＩＴＯＮ／バイトン（商標登録）で製造する構成とした。しかし、これに限られることはなく、例えば、排気口部品６２０よりも熱伝導率の低い樹脂で構成すれば、より断熱効果を得ることができる。
あるいは、Ｏリング６３０を備えず、断熱スペーサフランジ部６１１と排気口部品フランジ部６２１とが直接接する構成にしてもよい。
また、本実施形態では、このＯリング６３０が配設されるＯリング用凹部６２２も、熱をベース３側へ逃げにくくするためのニゲ部として機能する。

【0022】

（熱の伝わり方）
図５は、本発明の実施形態に係る排気口部品６００を備えたターボ分子ポンプ１の、排気口付近における熱の伝わり方を説明するための図である。
ここで、図５には、断熱スペーサ６１０と排気口部品６２０とを固定するボルト７００が一部図示されている。ボルト７００が、断熱スペーサフランジ部６１１に設けられたボルト用穴６１３と排気口部品フランジ部６２１に設けられたボルト用穴６２６を連通して嵌め込まれることで、断熱スペーサフランジ部６１１と排気口部品フランジ部６２１とが固定される。なお、図５では、符号の説明の都合上、ボルト７００がボルト用穴６１３とボルト用穴６２６を連通する前の状態が示されている。
本実施形態に係る断熱スペーサ６１０が配設されたターボ分子ポンプ１では、排気口部品胴部６２４大気部（大気側）の下部に巻かれたヒータ（排気口用ヒータ）の熱は、図５に示したように、下記２つの経路に分かれてターボ分子ポンプ１の内部側（真空側）へ伝わる。
（１）経路Ｂ…排気口部品６２０の中を伝わり排気口６内部に伝わる（ａ→ｂ）
（２）経路Ｃ…排気口部品フランジ部６２１を経由しベース３へ伝わる（ａ→ｃ→ｄ）
より具体的には、熱は、排気口部品６００において、（１）大気側である排気口部品胴部６２４（地点ａ）→排気口部品段部６２３（地点ｂ）を経由して排気口６内部へ、または、（２）先述の地点ａ→排気口部品フランジ部６２１から断熱スペーサフランジ部６１１（地点ｃ）、→断熱スペーサ胴部６１２（地点ｄ）を経由してベース３へ伝導する。
ちなみに、本実施形態では、各地点（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）の概ねの温度は、一例として、地点ａが約１５０℃、地点ｂおよび地点ｃが約１１０℃、地点ｄが約８５℃程度である（実験結果）。
上記（１）に示したように、地点ｄは、排気口部品６００の内部におけるベース３側がポンプ用ヒータ（不図示）の設定温度により（一例として）約８５℃程度に保たれているため、その影響を受けて温度が低下する環境になっている。

【0023】

本実施形態では、地点ａ（排気口部品胴部６２４）とベース３との間に断熱スペーサ６１０を設けた構成により、経路Ｃを経由する熱は少なくなる。
具体的には、経路Ｃは、排気口６用のヒータが取り付けられて温度が約１５０℃前後に保たれている排気口部品胴部６２４上の地点ａから、断熱スペーサ（６１０）におけるベース３と接している部分（面）である地点ｄまでの距離（長さ／幅）である「熱が伝う距離」（熱伝導の距離）が、経路Ｂよりも長い。そのため、経路Ｃよりも経路Ｂを経由する熱が増える。
逆にいえば、通常の熱伝導の経路である経路Ｂに対して、断熱スペーサ（６１０）を設けて熱が伝わる経路が約３倍以上である経路Ｃを形成したことで、より多くの熱は、熱伝導の距離が短い経路である経路Ｂの方を経由して伝わろうと作用する。つまり、ベース３へと伝う熱を断熱スペーサ６１０（および、Ｏリング６３０）でブロックする構造になっている。
このようにして、本実施形態では、地点ａで得られた熱（約１５０℃）を逃がさないように構成し、分岐点である地点ｂとｃ地点（ともに約１１０℃）において、地点ｃへ逃げる熱を減らして地点ｂへ熱をより多く送ることができる。そのため、地点ｂへ伝わってきた温度を使って、排気口部品胴部６２５を昇温することができる。つまり、排気口６内部の真空側の温度を、約８５℃から約１１０℃へ昇温させることができる。

【0024】

さらに、本実施形態では、断熱スペーサ胴部６１２と排気口部品胴部６２５との間に間隙Ｅを設けて、断熱スペーサ胴部６１２とベース３とを直接接触させない構成にしている。これにより、断熱スペーサ６１０と排気口部品胴部６２５とが直接接触する接触面６１４の面積を減らすことができる（幅Ｄを参照）。
例えば、この間隙Ｅは、断熱スペーサ６１０の内周側の肉部を薄く設定することで形成することができる。
なお、本実施形態では、一例として、この間隙Ｅの寸法は１ｍｍ前後としたが、種々の環境により変更することが出来る。

【0025】

上述した構成により、本発明の実施形態に係る排気口部品６００および当該排気口部品が配設されたターボ分子ポンプ１は、排気口部品６２０における排気口用ヒータ取付範囲の熱を、排気口６内部（真空側、ベース３側）へ効率よく伝える。その結果、排気口６内部、特に、真空側の内周面の温度を効率よく上げる（温度が低下してしまうのを防ぐ）ことができるので、排気口６内部（内周面、奥部）に堆積してしまう生成物の量を低減させることができる。

【0026】

（変形例）
図６は、本実施形態の変形例に係る排気口部品６０１を説明するための図である。
上述した実施形態に係る排気口部品６００は複数の部品を備える構成としたが、図６に示したように、排気口部品６０１を１つの部品で構成してもよい。
つまり、本変形例に係る排気口部品６０１には、外周壁面の一部に、上述した実施形態に係る排気口部品フランジ部６２１と断熱スペーサ６１０が一体となって形成された構成の断熱部６０２（断熱部Ａ）を有する。
本変形例では、一例として、排気口部品フランジ部６２１（図３）の長手方向の厚みを内周壁の厚みに対して３倍程度に構成することで断熱部６０２を形成している。
この断熱部６０２により熱の伝達経路を長く構成することができる。

【0027】

上述した構成により、本実施形態および変形例では、排気口部品６００（６０１）においてヒータ（排気口用）が配設されて高温になっている排気口部品胴部６２４から内部に向かうにつれて失われてしまう熱を少なく（熱がベース３に奪われることを防止）して、ターボ分子ポンプ１の排気口６（排気口部品６００、６０１）全体の温度を効率よく上げることができる。
その結果、排気口６付近（特には、排気口部品６００の奥部α：図５）の生成物・堆積物の量を効率的に低減させることができる。

【0028】

また、本実施形態では、排気口部品６００（６０１）の排気口部品胴部６２５がターボ分子ポンプ１に形成された排気口６の奥部α（図５）側に延長されて構成される。
この構成により、ヒータ（排気口用）から得られた熱は、排気口部品胴部６２４から排気口部品胴部６２５を伝って排気口６のより奥側（奥部α）まで伝導していくので、排気口６の長手方向を広範囲に亘って高温状態に保たせることができる。
その結果、奥部αの生成物・堆積物の量を低減することができる。

【0029】

本発明の実施形態および変形例では、排気口部品６００（６０１）が配設される真空ポンプは一例としてターボ分子ポンプ１としたが、これに限られることはない。
例えば、シーグバーン型分子ポンプ部とターボ分子ポンプ部を備える複合型ポンプや、シーグバーン型分子ポンプ部とねじ溝式ポンプ部を備えた複合型ポンプ、あるいは、シーグバーン型分子ポンプ部とターボ分子ポンプ部とねじ溝式ポンプ部とを備えた複合型ポンプに適用してもよい。

【符号の説明】

【0030】

１ ターボ分子ポンプ
２ ケーシング
３ ベース
４ 吸気口
５ フランジ部
６ 排気口
７ シャフト
８ ロータ
９ 回転翼
１０ ロータ円筒部
２０ モータ部
３０ 径方向磁気軸受装置
３１ 径方向磁気軸受装置
４０ 軸方向磁気軸受装置
５０ 固定翼
６０ 固定翼スペーサ
７０ ねじ溝スペーサ
８０ ステータコラム
６００ 排気口部品
６０１ 排気口部品
６０２ 断熱部
６１０ 断熱スペーサ
６１１ 断熱スペーサフランジ部
６１２ 断熱スペーサ胴部
６１３ ボルト用穴
６１４ 接触面
６１５ 非接触面
６２０ 排気口部品
６２０ａ 排気口部品大気側部
６２０ｂ 排気口部品真空側部
６２１ 排気口部品フランジ部
６２２ Ｏリング用凹部
６２３ 排気口部品段部
６２４ 排気口部品胴部
６２５ 排気口部品胴部
６２６ ボルト用穴
６３０ Ｏリング
７００ ボルト
Ａ 断熱部
Ｂ 経路
Ｃ 経路
Ｄ 幅
Ｅ 間隙
α 奥部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】