特許6353986自立型ＣＶＤ多結晶ダイアモンド膜を製造する装置および方法

発明の名称　自立型ＣＶＤ多結晶ダイアモンド膜を製造する装置および方法

出願人　ツーシックス、インコーポレイテッド　（識別番号 515017142）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6353986

公報発行日　2018年7月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6353986

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