特許 6356142 対基板作業装置及び吐出ヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6356142

(24)【登録日】2018年6月22日

(45)【発行日】2018年7月11日

(54)【発明の名称】対基板作業装置及び吐出ヘッド

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20180702BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20180702BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20180702BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20180702BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/04 A

   H05K3/34 505B

   H05K3/34 504D

   B05C5/00 101

   B05C11/10

【請求項の数】6

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2015-546259(P2015-546259)

(86)(22)【出願日】2013年11月11日

(86)【国際出願番号】JP2013080392

(87)【国際公開番号】WO2015068297

(87)【国際公開日】20150514

【審査請求日】2016年10月3日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000017

【氏名又は名称】特許業務法人アイテック国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】手嶋 力茂

【審査官】 中田 誠二郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−１１０２８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０３−２１７０７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３１４２９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２７６９６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−０９９７５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−０７３９８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１１５３４６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ ３／３０，３／３２−３／３４，１３／００−１３／０８

Ｂ０５Ｃ ５／００−５／０４，７／００−２１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置あって、
前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、外部からの操作を入力する操作入力部と、前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、を備えた吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドを着脱可能に保持可能なヘッド保持手段と、
前記ヘッド保持手段を昇降させる昇降機構と、
を備え、
前記バルブ機構は、前記第１状態と、前記第２状態と、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して大気に連通する第３状態とを切り替え可能である、
対基板作業装置。

【請求項2】

前記ヘッド保持手段は、前記吐出ヘッドと部品の保持及び保持解除が可能な実装ヘッドとを交換可能に保持する手段であり、保持している前記実装ヘッドを操作する操作部を有し、
前記操作入力部は、前記吐出ヘッドが前記ヘッド保持手段に保持された状態で前記操作部からの操作を入力可能である、
請求項１に記載の対基板作業装置。

【請求項3】

基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置あって、
前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、外部からの操作を入力する操作入力部と、前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、を備えた吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドを保持可能なヘッド保持手段と、
を備え、
前記ヘッド保持手段は、前記吐出ヘッドと部品の保持及び保持解除が可能な実装ヘッドとを交換可能に保持する手段であり、保持している前記実装ヘッドを操作する操作部を有し、
前記操作入力部は、前記吐出ヘッドが前記ヘッド保持手段に保持された状態で前記操作部からの操作を入力可能であり、
前記ヘッド保持手段の前記操作部は、前記ヘッド保持手段が前記実装ヘッドを保持した状態では、前記実装ヘッドが有する機構であって前記部品の保持及び保持解除が可能な複数の部品保持具のうち１以上を軸回転させる軸回転機構を操作可能であり、前記ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態では、前記操作入力部を操作可能である、
対基板作業装置。

【請求項4】

基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置あって、
前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、外部からの操作を入力する操作入力部と、前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、を備えた吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドを保持可能なヘッド保持手段と、
を備え、
前記操作入力部は、前記吐出ヘッドが前記ヘッド保持手段に保持されるときの該ヘッド保持手段との接続面に露出している、
対基板作業装置。

【請求項5】

基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置あって、
前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、外部からの操作を入力する操作入力部と、前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、を備えた吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドを保持可能なヘッド保持手段と、
を備え、
前記吐出ヘッドは、前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して正圧が供給される第１開口と、前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して負圧が供給される第２開口と、を備えており、
前記ヘッド保持手段は、該ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態で前記第１開口に連通して正圧を供給する第１供給口と、該ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態で前記第２開口に連通して負圧を供給する第２供給口と、を備えており、
前記バルブ機構は、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第１開口に連通し且つ前記第２開口とは連通しない前記第１状態と、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第２開口に連通し且つ前記第１開口とは連通しない前記第２状態とを切り替え可能である、
対基板作業装置。

【請求項6】

基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置が備えるヘッド保持手段により保持可能であり、前記粘性流体を吐出可能な吐出ヘッドであって、
前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、
前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、
前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、
外部からの操作を入力する操作入力部と、
前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、
前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して正圧が供給される第１開口と、
前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して負圧が供給される第２開口と、
を備え、
前記バルブ機構は、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第１開口に連通し且つ前記第２開口とは連通しない前記第１状態と、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第２開口に連通し且つ前記第１開口とは連通しない前記第２状態とを切り替え可能である、
吐出ヘッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、対基板作業装置及び吐出ヘッドに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板上に粘性流体の塗布や部品の装着を行う対基板作業装置が知られている。例えば特許文献１には、粘性流体を吐出するディスペンサヘッド（吐出ヘッド）と、部品を吸着して保持するノズルヘッドと、ディスペンサヘッド及びノズルヘッドを択一的に保持するヘッド保持体と、を備えた電子部品保持装置が記載されている。この電子部品保持装置では、ヘッド保持体の内部に通路が形成されている。この通路は、ヘッド保持体がディスペンサヘッドを保持したときに、ディスペンサヘッドの流体収容部や吐出ノズルと連通する。また、ヘッド保持体の内部の通路には、切換装置が接続されている。切換装置は、通路に正圧と負圧とを択一的に供給する。そして、ヘッド保持体がディスペンサヘッドを保持している状態で切換装置が通路に正圧を供給することで、通路を介してディスペンサヘッドの液体収容部に正圧が供給され、吐出ノズルから粘性流体が吐出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７−７３９８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１では、切換装置からの圧力はヘッド保持体の内部の通路を介して吐出ヘッドに供給される。そのため、切換装置が動作したときなど、吐出ヘッドに供給する圧力が切り替わったときに、吐出ヘッド側の圧力応答が遅い場合があった。

【0005】

本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、圧力の切り替えに対する吐出ヘッドの応答性をより高めることを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の対基板作業装置は、
基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置であって、
前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、外部からの操作を入力する操作入力部と、前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、を備えた吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドを保持可能なヘッド保持手段と、
を備えたものである。

【0007】

この本発明の対基板作業装置は、吐出ヘッドと、吐出ヘッドを保持可能なヘッド保持手段とを備えている。吐出ヘッドは、粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と、粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構を備えている。そして、操作入力部が外部からの操作を入力すると、入力した操作に基づいて切替部がバルブ機構を切り替える。このように、本発明の吐出ヘッドは、吐出ヘッドが備えるバルブ機構で粘性流体を吐出させるかさせないかの切り替えすなわち圧力の切り替えを行うことができる。そのため、例えば吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段側にバルブ機構が存在する場合と比べて、バルブ機構の切り替えにより圧力が変化するポイントから粘性流体吐出口までの距離が小さくなる。これにより、圧力の切り替えに対する吐出ヘッドの応答性をより高くすることができる。ここで、「外部からの操作」は、機械的な操作と電気的な操作とを含む。「粘性流体」は、接着剤，はんだ，ろう材などを含む。「粘性流体を吐出させない」は、粘性流体収容室を介して粘性流体吐出口に圧力を加えない（大気開放する）場合と、粘性流体収容室を介して粘性流体吐出口に負圧を加える場合とを含む。

【0008】

本発明の対基板作業装置において、前記ヘッド保持手段は、前記吐出ヘッドと部品の保持及び保持解除が可能な実装ヘッドとを交換可能に保持する手段であり、保持している前記実装ヘッドを操作する操作部を有し、前記操作入力部は、前記吐出ヘッドが前記ヘッド保持手段に保持された状態で前記操作部からの操作を入力可能としてもよい。こうすれば、ヘッド保持手段は、実装ヘッドの操作に用いる操作部を用いて吐出ヘッドのバルブ機構を切り替えることができる。すなわち、ヘッド保持手段の操作部を実装ヘッドの操作と吐出ヘッドの操作とに共用できる。これにより、例えばヘッド保持手段が実装ヘッドの操作には用いない吐出ヘッド用の操作部を備える場合と比べて、ヘッド保持手段をより簡易な構成とすることができる。また、実装ヘッドを交換可能に保持するように作られていたヘッド保持手段を、新たな操作部を設けることなく吐出ヘッドの保持にも用いることができる。なお、ヘッド保持手段が実装ヘッドを保持可能であればよく、この場合の対基板作業装置は実装ヘッドを備えていなくともよいし、実装ヘッドを備えていてもよい。

【0009】

この場合において、前記ヘッド保持手段の前記操作部は、前記ヘッド保持手段が前記実装ヘッドを保持した状態では、前記実装ヘッドが有する機構であって前記部品の保持及び保持解除が可能な複数の部品保持具のうち１以上を軸回転させる軸回転機構を操作可能であり、前記ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態では、前記操作入力部を操作可能としてもよい。こうすれば、ヘッド保持手段は、実装ヘッドの軸回転機構の操作を行う操作部を用いて吐出ヘッドを操作することができる。

【0010】

本発明の対基板作業装置において、前記操作入力部は、前記吐出ヘッドが前記ヘッド保持手段に保持されるときの該ヘッド保持手段との接続面に露出していてもよい。操作入力部が接続面に露出することで、吐出ヘッドがヘッド保持手段に保持されたときに操作入力部がヘッド保持手段と接触するから、ヘッド保持手段側から操作入力部を操作しやすくなる。

【0011】

本発明の対基板作業装置において、前記吐出ヘッドは、前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して正圧が供給される第１開口と、前記ヘッド保持手段に前記吐出ヘッドが保持された状態で該ヘッド保持手段を介して負圧が供給される第２開口と、を備えており、前記ヘッド保持手段は、該ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態で前記第１開口に連通して正圧を供給する第１供給口と、該ヘッド保持手段が前記吐出ヘッドを保持した状態で前記第２開口に連通して負圧を供給する第２供給口と、を備えており、前記バルブ機構は、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第１開口に連通し且つ前記第２開口とは連通しない前記第１状態と、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して前記第２開口に連通し且つ前記第１開口とは連通しない前記第２状態とを切り替え可能としてもよい。こうすれば、粘性流体収容室に第１開口と第２開口とのいずれを連通させるかを切り替えることで、圧力の切り替えを行うことができる。

【0012】

本発明の対基板作業装置において、前記バルブ機構は、前記第１状態と、前記第２状態と、前記粘性流体吐出口が前記粘性流体収容室を介して大気に連通する第３状態とを切り替え可能としてもよい。

【0013】

本発明の吐出ヘッドは、
基板上に粘性流体を塗布する対基板作業装置が備えるヘッド保持手段により保持可能であり、前記粘性流体を吐出可能な吐出ヘッドであって、
前記粘性流体を収容する粘性流体収容室と、
前記粘性流体収容室と連通する粘性流体吐出口と、
前記粘性流体収容室を介して前記粘性流体吐出口の粘性流体を押圧して吐出させる第１状態と前記粘性流体を吐出させない第２状態とを切り替え可能なバルブ機構と、
外部からの操作を入力する操作入力部と、
前記操作入力部が入力した操作に基づいて前記バルブ機構を切り替える切替部と、
を備えたものである。

【0014】

この本発明の吐出ヘッドは、吐出ヘッドが備えるバルブ機構で粘性流体を吐出させるかさせないかの切り替えすなわち圧力の切り替えを行うことができる。そのため、例えば吐出ヘッドを保持するヘッド保持手段側にバルブ機構が存在する場合と比べて、バルブ機構の切り替えにより圧力が変化するポイントから粘性流体吐出口までの距離が小さくなる。これにより、圧力の切り替えに対する吐出ヘッドの応答性をより高くすることができる。なお、本発明の吐出ヘッドにおいて、上述したいずれかの対基板作業装置が備える吐出ヘッドの態様を採用してもよい。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】部品装着システム１の全体構成を示す説明図。

【図2】ヘッドユニット１１０の斜視図。

【図3】ヘッド保持体２１を下から斜め上向きに見たときの斜視図。

【図4】吸着ヘッド１２０を上から斜め下向きに見たときの斜視図。

【図5】第１及び第２レバー挟持部４１，５１の周辺部分の断面図。

【図6】吐出ヘッド２２０の斜視図。

【図7】吐出ヘッド２２０のバルブ機構９０の斜視図。

【図8】第１切替状態の様子を示す説明図。

【図9】第２切替状態の様子を示す説明図。

【図10】第３切替状態の様子を示す説明図。

【発明を実施するための形態】

【0016】

本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は部品装着システム１の全体構成を示す説明図である。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１に示した通りとする。部品装着システム１は、部品装着装置１００と、管理コンピュータ２００とを備えている。

【0017】

部品装着装置１００は、図１に示すように、基台１０２に搭載された基板搬送装置１０４と、ＸＹ平面を移動可能なヘッドユニット１１０と、ヘッドユニット１１０に着脱可能に取り付けられた吸着ヘッド１２０と、各種ヘッドを収納するためのヘッド収納エリア１４０と、基板１０１へ装着する部品を供給する部品供給装置１５０と、ヘッドユニット１１０に正圧及び負圧をそれぞれ供給する正圧源１５６及び負圧源１５８と、各種制御を実行するコントローラ１６０とを備えている。

【0018】

基板搬送装置１０４は、前後一対の支持板１０６，１０６にそれぞれ取り付けられたコンベアベルト１０８，１０８（図１では片方のみ図示）により基板１０１を左から右へと搬送する。

【0019】

ヘッドユニット１１０は、Ｘ軸スライダ１１２に取り付けられ、Ｘ軸スライダ１１２がガイドレール１１４，１１４に沿って左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Ｙ軸スライダ１１６がガイドレール１１８，１１８に沿って前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。このため、ヘッドユニット１１０は、ＸＹ平面を移動可能である。各スライダ１１２，１１６は、それぞれ図示しないサーボモータによって駆動される。

【0020】

吸着ヘッド１２０は、ヘッドユニット１１０に着脱可能に取り付けられている。吸着ノズル１３は、圧力を利用して、ノズル先端に部品を吸着したり、ノズル先端に吸着している部品を放したりするものである。吸着ノズル１３は、吸着ヘッド１２０に１２本取り付けられている。

【0021】

ヘッド収納エリア１４０は、基台１０２の上面右側に設けられ、吸着ヘッド１２０，吐出ヘッド２２０を収納するための収納場所１４２を複数有している。前側の収納場所には吐出ヘッド２２０が収納されているが、後側の収納場所１４２は空いた状態である。

【0022】

吐出ヘッド２２０は、ヘッドユニット１１０に着脱可能である。吐出ヘッド２２０には、吐出ノズル１４が１本取り付けられている。吐出ノズル１４は、基板１０１に部品を接着するための接着剤をノズル先端の吐出口から吐出するものである。

【0023】

部品供給装置１５０は、部品装着装置１００の前方に取り付けられている。この部品供給装置１５０は、複数のスロットを有しており、各スロットにはフィーダ１５２が差し込み可能となっている。フィーダ１５２には、テープが巻き付けられたリール１５４が取り付けられている。テープの表面には、部品がテープの長手方向に沿って並んだ状態で保持されている。これらの部品は、テープの表面を覆うフィルムによって保護されている。こうしたテープは、図示しないスプロケット機構によって後方へ送り出され、フィルムが剥がされて部品が露出した状態で所定位置に配置される。所定位置とは、吸着ノズル１３がその部品を吸着可能な位置である。この所定位置で部品を吸着した吸着ノズル１３は、基板１０１上の定められた位置にその部品を実装することができる。

【0024】

正圧源１５６及び負圧源１５８は、例えば圧力ポンプや真空ポンプとして構成され、ヘッドユニット１１０と配管で接続されている。正源１５６が供給する正圧は、例えば吐出ノズル１４の接着剤を押圧して吐出させるための圧力として用いられる。負圧源１５８が供給する負圧は、例えば吸着ノズル１３に部品を吸着するための圧力として用いられる。また、負圧源１５８が供給する負圧は、吐出ノズル１４からの接着剤の吐出を止めるための圧力としても用いられる。

【0025】

その他に、部品装着装置１００は、ノズルストッカー１３４などを備えている。ノズルストッカー１３４は、複数種類の吸着ノズル１３や複数種類の吐出ノズル１４をストックするボックスであり、部品供給装置１５０の隣に配置されている。吸着ノズル１３は、部品を装着する基板の種類や部品の種類に適したものに交換される。吐出ノズル１４は、吐出する接着剤の量（基板１０１上に塗布する接着剤の径）に適した径のものに交換される。

【0026】

コントローラ１６０は、各種制御を実行するＣＰＵ１６２、制御プログラム等を記憶するＲＯＭ１６４、作業領域として利用されるＲＡＭ１６６及び大容量のデータを記憶するＨＤＤ１６８を備え、これらは図示しないバスによって接続されている。コントローラ１６０は、基板搬送装置１０４、Ｘ軸スライダ１１２、Ｙ軸スライダ１１６及びヘッドユニット１１０と信号のやり取りが可能なように接続されている。

【0027】

管理コンピュータ２００は、基板１０１の生産ジョブを管理するコンピュータであり、オペレータが作成した生産ジョブデータを記憶している。生産ジョブデータには、部品装着装置１００においてどのスロット位置のフィーダからどの部品をどのような順番でどの基板種の基板１０１へ実装するかや、そのように実装した基板１０１を何枚作製するかなどが定められている。また、生産ジョブデータには、実装する各部品を基板１０１に接着するために基板１０１上のどの位置にどのような順番でどれだけの量の接着剤を塗布するかなども定められている。管理コンピュータ２００は、部品装着装置１００のコントローラ１６０と双方向通信可能に接続されている。

【0028】

ここで、ヘッドユニット１１０について、詳細に説明する。図２は、カバーを外した状態のヘッドユニット１１０の斜視図であり、詳しくは、ヘッド保持体２１のＲ軸２２に対して吸着ヘッド１２０を下げた状態の斜視図である。図３は、ヘッド保持体２１を下から斜め上向きに見たときの斜視図、図４は、吸着ヘッド１２０を上から斜め下向きに見たときの斜視図である。

【0029】

ヘッドユニット１１０は、ヘッド保持体２１と吸着ヘッド１２０とを備えている。

【0030】

ヘッド保持体２１は、Ｘ軸スライダ１１２（図１参照）に、図示しない昇降機構によって昇降可能に取り付けられている。このヘッド保持体２１は、上部にリング状の２つのギア、Ｒ軸ギア２４及びＱ軸ギア２７を有し、下部に円柱状のＲ軸２２を有している。Ｒ軸ギア２４及びＱ軸ギア２７は、互いに独立して回転するように取り付けられている。Ｒ軸ギア２４は、Ｒ軸モータ２５によって回転駆動され、Ｒ軸２２と一体的に回転する。Ｑ軸ギア２７は、Ｑ軸モータ２８によって回転駆動され、リング状のクラッチ部材６１（図３参照）と一体的に回転する。Ｒ軸２２は、下端にフックを有する係合部材３１を複数個（ここでは４つ）有している。フックの向きは、Ｒ軸２２が正回転する方向と同じになるように揃えられている。これらの係合部材３１は、Ｒ軸２２の下面の同一円周上（この円の中心はＲ軸２２の中心軸と一致する）に等間隔に配置されている。また、各係合部材３１は、図示しないエアシリンダによって上下動可能となっている。Ｒ軸２２には、下端に１個の正圧供給口３２ａと４個（図３では３個のみ図示）の負圧供給口３２ｂとが形成されている。正圧供給口３２ａは、Ｒ軸２２の中心軸と一致する位置に形成されている。負圧供給口３２ｂは、係合部材３１の並んだ円周よりも内側に配置され、正圧供給口３２ａを囲むようにＲ軸２２の下面の同一円周上に等間隔に配置されている。正圧供給口３２ａ及び負圧供給口３２ｂは、ヘッド保持体２１内部の圧力供給通路を介してそれぞれ正圧源１５６及び負圧源１５８と接続されている。ヘッド保持体２１は、更に、図５に示す第１及び第２レバー挟持部４１，５１を有しているが、これらについては後述する。

【0031】

吸着ヘッド１２０は、外観が略円柱状の部材であり、下方に複数（ここでは１２本）の吸着ノズル１３を有している。吸着ノズル１３は、上下方向に延びるノズルホルダ１２と一体化されている。ノズルホルダ１２は、上端付近にノズル操作レバー３９を有し、スプリング４０によって上方へ付勢されて所定の定位置（上方位置）に位置決めされている。ノズル操作レバー３９は、吸着ノズル１３を操作する順番にしたがって１番目のノズル操作レバー３９（Ａ）から最終番目（１２番目）のノズル操作レバー３９（Ｌ）まで存在する。この順番は、図２の上方から見たとき、１番目から反時計回りに最終番目まで数えるものとする。ノズル操作レバー３９が押下されると、スプリング４０の弾性力に抗してノズルホルダ１２及び吸着ノズル１３が下降し、ノズル操作レバー３９の押下が解除されると、ノズルホルダ１２及び吸着ノズル１３はスプリング４０の弾性力によって定位置に戻る。ノズルホルダ１２は、ノズルホルダ１２と同軸となるように配置された小ギア３４と噛み合わされている。各小ギア３４は、同一円周上（この円の中心はＲ軸２２の中心軸と一致する）に等間隔となるように配置されている。円筒ギア３３は、小ギア３４の並んだ円周よりも内側に配置され、側面にギアを有し、各小ギア３４と噛み合わされている。また、円筒ギア３３は、Ｒ軸２２を挿入できるような寸法に設計されている。この円筒ギア３３の上端には、ヘッド保持体２１のクラッチ部材６１（図３参照）と嵌まり合うクラッチ部材６２が設けられている。

【0032】

また、吸着ヘッド１２０は、吸着ノズル１３ごとに、ノズル先端に負圧を供給するか大気圧を供給するかを切り替える圧力操作レバー３５を有している。圧力操作レバー３５は、復帰機能を有さないスイッチであり、上方に位置決めされるとノズル先端に負圧を供給し、下方に位置決めされるとノズル先端に大気圧を供給する。圧力操作レバー３５も、吸着ノズル１３を操作する順番にしたがって１番目の圧力操作レバー３５（Ａ）から最終番目の圧力操作レバー３５（Ｌ）まで存在する。

【0033】

更に、吸着ヘッド１２０は、円筒ギア３３の内側に円盤状のベース３６（図４参照）を有している。ベース３６は、ノズルホルダ１２や小ギア３４を支持するサポート部材と一体化されているが、円筒ギア３３とは一体化されていない。このため、円筒ギア３３は、ベース３６とは独立して回転可能となっている。ベース３６には、円弧状の係合孔３７がＲ軸２２の係合部材３１のフックと係合可能なように形成されている。

【0034】

ここで、再びヘッド保持体２１の説明に戻る。図５は、第１及び第２レバー挟持部４１，５１の周辺部分の断面図である。図５に示すように、ヘッド保持体２１が有するレバー挟持部４１は、ヘッド保持体２１に設けられた第１Ｚ軸ガイドレール４５に沿って上下方向に移動可能な第１Ｚ軸スライダ４６に取り付けられている。なお、第１Ｚ軸スライダ４６は、図示しないサーボモータによって駆動される。第１レバー挟持部４１は、Ｌ字部材の水平部分４２とその水平部分４２の上側に取り付けられたローラ４４とによってノズル操作レバー３９を上下から挟み込むものである。ローラ４４は、水平軸４３に回転可能に支持されている。

【0035】

ヘッド保持体２１は、第２レバー挟持部５１を有している。第２レバー挟持部５１は、圧力操作レバー３５がノズル操作レバー３９よりも半径方向外側に位置している関係上、第１レバー挟持部４１よりも半径方向外側に位置している。第２レバー挟持部５１は、第１レバー挟持部４１と同様、ヘッド保持体２１に設けられた第２Ｚ軸ガイドレール５５に沿って上下方向に移動可能な第２Ｚ軸スライダ５６に取り付けられている。なお、第２Ｚ軸スライダ５６は、図示しないサーボモータによって駆動される。第２レバー挟持部５１は、Ｌ字部材の水平部分５２とその水平部分５２の上側に取り付けられたローラ５４とによって圧力操作レバー３５を上下から挟み込むものである。

【0036】

次に、吐出ヘッド２２０について説明する。図６は吐出ヘッド２２０の斜視図である。図７は、吐出ヘッド２２０のバルブ機構９０の斜視図である。なお、図６の右上の図は、吐出ヘッド２２０を上から見たときの様子を示しており、透過した状態で切替部７３を図示している。また、図６の右下の図は、第１切替部７４ａの斜視図である。図７は、ベース８０の内部を透過した状態でバルブ機構９０を図示している。吐出ヘッド２２０は、外観が略円柱状の部材であり、接着剤を収容する収容室７１を内部に備えた本体部７０と、本体部７０の上側に取り付けられたベース８０を備えたバルブ機構９０と、ベース８０の上側に取り付けられた円筒ギア７２と、円筒ギア７２の外周に取り付けられた切替部７３と、を備えている。本体部７０は、円板状の部材と円盤状の部材よりも小径の円筒状の部材とを同軸に接続した形状をしており、円筒状の部材の下部に吐出ノズル１４を１本備えている。本体部７０の下部には収容室７１に連通する本体下開口７０ａが形成されている。吐出ノズル１４は、先端に吐出口１４ａを備えており、本体下開口７０ａと吐出口１４ａとが連通するように本体部７０に取り付けられている。

【0037】

円筒ギア７２は、吸着ヘッド１２０の円筒ギア３３と同様の部材である。円筒ギア７２は、Ｒ軸２２を挿入できるような寸法に設計されている。この円筒ギア７２の上端には、ヘッド保持体２１のクラッチ部材６１（図３参照）と嵌まり合いクラッチ部材６１からの操作（回転）を入力可能なクラッチ部材６３が設けられている。このクラッチ部材６３は、吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持されるときのヘッド保持体２１との接続面（図６の上面）に露出している。円筒ギア７２は、ベース８０とは一体化されておらず、ベース８０とは独立して回転可能である。

【0038】

切替部７３は、円筒ギア７２の回転に伴ってバルブ機構９０を切り替える機構である。図６の右上に示すように、切替部７３は、第１切替部７４ａと、第２切替部７４ｂと、を備えている。第１，第２切替部７４ａ，７４ｂは、それぞれバルブ機構９０の第１，第２弁体９１，９５（図７参照）を前後に移動させて、第１〜第３切替状態の切替を行う機構である。なお、第１切替状態は収容室７１を介して吐出ノズル１４に正圧を供給可能な状態であり、第２切替状態は収容室７１を介して吐出ノズル１４に負圧を供給可能な状態であり、第３切替状態は収容室７１及び吐出ノズル１４を大気開放可能な状態である。第１切替部７４ａは、円筒ギア７２の外周面に固定された第１接続部材７５と、第１接続部材７５に固定されたピン７９ａを介して第１接続部材７５に接続された第２接続部材７６と、を備えている。第２接続部材７６は、ボルト９２ｄにより第１弁体９１（図７参照）に接続固定された板状部７６ａを備えている。第２切替部７４ｂは、円筒ギア７２の外周面に固定された第３接続部材７７と、第３接続部材７７に固定されたピン７９ｂを介して第３接続部材７７に接続された第４接続部材７８と、を備えている。第４接続部材７８は、ボルト９６ｄにより第２バルブ９２（図７参照）に接続固定された板状部７８ａを備えている。

【0039】

この切替部７３では、円筒ギア７２が軸回転すると第１接続部材７５，第３接続部材７７がそれぞれ円筒ギア７２の周方向に移動する（図６の白抜き矢印参照）。第１接続部材７５，第３接続部材７７が移動すると、それに伴って第２接続部材７６，第４接続部材７８が所定方向（本実施形態では前後方向）に直線移動し（図６の塗りつぶし矢印参照）、第１弁体９１，第２弁体９５が前後方向に直線移動する。このように、切替部７３は、円筒ギア７２の回転運動を直線運動に変換してバルブ機構９０に伝達する機構である。なお、第２接続部材７６及び第４接続部材７８のうちピン７９ａ，ピン７９ｂが挿入される孔は、周方向よりも径方向が長い形状（例えば長辺が径方向である角丸の長方形など）に形成されている。これにより、第１接続部材７５，第３接続部材７７が円筒ギア７２の周方向に移動したときに、第２接続部材７６，第４接続部材７８の直線移動が妨げられないようになっている。

【0040】

バルブ機構９０は、図７に示すように、複数の孔が形成されたベース８０と、ベース８０内を前後に移動可能な第１弁体９１と、ベース８０内を前後に移動可能な第２弁体９５と、を備えている。

【0041】

ベース８０は、略円盤状の部材であり、図６に示すように、複数（本実施形態では４個）の係合孔８０ａと、第１〜第５上開口８１ａ〜８１ｅとが形成されている。係合孔８０ａは、吸着ヘッド１２０の係合孔３７（図４参照）と同じ形状をしており、Ｒ軸２２の係合部材３１のフックと係合可能なように形成されている。第１上開口８１ａは、吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持された状態においてヘッド保持体２１の正圧供給口３２ａ（図３参照）と連通可能に形成され、第２〜第５上開口８１ｂ〜８１ｅは、吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持された状態においてヘッド保持体２１の負圧供給口３２ｂ（図３参照）と１対１に連通可能なように形成されている。また、ベース８０の前方右側には第１段差部８３ａが形成され、前方左側には第２段差部８３ｂが形成されている。

【0042】

ベース８０には、図７に示すように、第２〜第５上開口８１ｂ〜８１ｅの各々から下方向に形成された縦穴と連通するリング状通路８４と、第１段差部８３ａからベース８０の後側の側面までを前後方向に貫通する第１貫通孔８５ａと、第２段差部８３ｂからベース８０の後側の側面までを前後方向に貫通する第２貫通孔８５ｂと、が形成されている。また、ベース８０には、第１上開口８１ａと連通する第１横孔８６ａと、第１横孔８６ａ及び第１貫通孔８５ａと連通する第２横孔８６ｂと、第１貫通孔８５ａと連通する第３横孔８６ｃと、第３横孔８６ｃと連通しベース８０の下面に開口する第１縦孔８８ａと、が形成されている。また、ベース８０には、リング状通路８４及び第２貫通孔８５ｂと連通する第４横孔８６ｄと、第２貫通孔８５ｂと連通する第５横孔８６ｅと、第５横孔８６ｅと連通しベース８０の下面に開口する第２縦孔８８ｂと、が形成されている。なお、第１上開口８１ａから第１横孔８６ａまではリング状通路８４の中心を貫通するように上下に縦穴が形成されており、第１横孔８６ａとリング状通路８４とは連通していない。第１，第２縦孔８８ａ，８８ｂは、本体部７０に形成された図示しない縦孔を介して収容室７１の上部に連通している。第１〜第５横孔８６ａ〜８６ｅのベース８０側面に形成された開口は、それぞれ封止材で封止されている。

【0043】

第１弁体９１は、第１貫通孔８５ａ内を前後に移動して第２横孔８６ｂと第３横孔８６ｃとの連通の有無などを切り替える部材である。この第１弁体９１は、円柱の棒状体に形成され、第１円柱部９２ａと、第２円柱部９２ｂと、これらより細く形成された小径円柱部９２ｃと、を備えている。第１円柱部９２ａの前端は、第１貫通孔８５ａのうち第１段差部８３ａ側の開口から飛び出しており、その先端に挿入されたボルト９２ｄにより、第１円柱部９２ａと第２接続部材７６の板状部７６ａとが接続固定されている（後述する図８参照）。また、第２円柱部９２ｂには、後端から軸方向に形成された孔と、側面から中心軸に向かって形成された孔と、を接続してなる大気連通孔９４が形成されている（後述する図８参照）。大気連通孔９４は、第１貫通孔８５ａのうち第２円柱部９２ｂの外周の空間とベース８０の後側の開口とを連通している。第１円柱部９２ａ及び第２円柱部９２ｂは、それぞれ１以上（本実施形態では第１円柱部９２ａに１個、第２円柱部９２ｂに３個）のＯリングを備えており、第１弁体９１の外周面と第１貫通孔８５ａとの隙間を封止している。

【0044】

第２弁体９５は、第２貫通孔８５ｂ内を前後に移動して第４横孔８６ｄと第５横孔８６ｅとの連通の有無などを切り替える部材である。この第２弁体９５は、円柱の棒状体に形成され、第１円柱部９６ａと、第２円柱部９６ｂと、これらより細く形成された小径円柱部９６ｃと、を備えている。第１円柱部９６ａの前端は、第２貫通孔８５ｂのうち第２段差部８３ｂ側の開口から飛び出しており、その先端に挿入されたボルト９６ｄにより、第１円柱部９６ａと第４接続部材７８の板状部７８ａとが接続固定されている（後述する図８参照）。また、第２円柱部９６ｂには、後端から軸方向に形成された孔と、側面から中心軸に向かって形成された孔と、を接続してなる大気連通孔９８が形成されている（後述する図８参照）。大気連通孔９８は、第１貫通孔８５ｂのうち第２円柱部９６ｂの外周の空間とベース８０の後側の開口とを連通している。第１円柱部９６ａ及び第２円柱部９６ｂは、それぞれ１以上（本実施形態では第１円柱部９６ａに１個、第２円柱部９６ｂに３個）のＯリングを備えており、第２弁体９５の外周面と第２貫通孔８５ｂとの隙間を封止している。

【0045】

ここで、バルブ機構９０の動作について説明する。バルブ機構９０は、円筒ギア７２及び切替部７３によって第１弁体９１，第２弁体９５が前後に移動することで、第１〜第３切替状態に切り替え可能である。図８〜図１０は、それぞれ第１切替状態，第２切替状態，第３切替状態の様子を示す説明図である。なお、図８〜１１では、バルブ機構９０を上方から見た様子を上段に図示し、圧力の供給状態を示す概念図を下段に図示している。

【0046】

図８の上段に示すように、第１切替状態は、第２接続部材７６の板状部７６ａが第１段差部８３ａに接触するまで円筒ギア７２を上から見て左回りに回転させたときの状態である。この第１切替状態では、第１弁体９１の小径円柱部９２ｃが、上方から見て第２横孔８６ｂと第３横孔８６ｃとの間に跨るように位置する。これにより、第２横孔８６ｂと第３横孔８６ｃとが、第１貫通孔８５ａを介して連通する。そのため、第１上開口８１ａと，第１横孔８６ａ，第２横孔８６ｂ，第１貫通孔８５ａ，第３横孔８６ｃ，第１縦孔８８ａがこの順に連通した状態になる。これにより、図８の下段に示すように吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持された状態では、正圧源１５６から収容室７１及び吐出ノズル１４に正圧を供給可能になる。一方、第２弁体９５は、第２円柱部９６ｂにより第４横孔８６ｄと第５横孔８６ｅとの第２貫通孔８５ｂを介した連通を阻止しており、負圧源１５８からの負圧は第５横孔８６ｅ（及びその先の収容室７１，吐出ノズル１４）には供給されない。

【0047】

図９の上段に示すように、第２切替状態は、第４接続部材７８の板状部７８ａが第２段差部８３ｂに接触するまで円筒ギア７２を上から見て右回りに回転させたときの状態である。この第２切替状態では、第２弁体９５の小径円柱部９６ｃが、上方から見て第４横孔８６ｄと第５横孔８６ｅとの間に跨るように位置する。これにより、第４横孔８６ｄと第５横孔８６ｅとが、第２貫通孔８５ｂを介して連通する。第２〜第５上開口８１ｂ〜８１ｅ，リング状通路８４，第４横孔８６ｄ，第２貫通孔８５ｂ，第５横孔８６ｅ，第２縦孔８８ｂがこの順に連通した状態になる。これにより、図９の下段に示すように吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持された状態では、負圧源１５８から収容室７１及び吐出ノズル１４に負圧を供給可能になる。一方、第１弁体９１は、第２円柱部９２ｂにより第２横孔８６ｂと第３横孔８６ｃとの第１貫通孔８５ａを介した連通を阻止しており、正圧源１５６からの正圧は第３横孔８６ｃ（及びその先の収容室７１，吐出ノズル１４）には供給されない。

【0048】

図１０の上段に示すように、第３切替状態は、円筒ギア７２の回転位置が第１切替状態と第２切替状態との中間にあり、第２，第４接続部材７６，７８の板状部７６ａ，７８ａがそれぞれ第１，第２段差部８３ａ，８３ｂと離間したときの状態である。この第３切替状態では、第１弁体９１の大気連通孔９４のうち外周面に形成された開口が、第１貫通孔８５ａのうち第３横孔８６ｃと連通する部分に位置する。これにより、第３横孔８６ｃは、大気連通孔９４を介して第１貫通孔８５ａの後側の開口と連通し、大気開放状態になる。同様に、第５横孔８６ｅは、第２弁体９５の大気連通孔９８を介して第２貫通孔８５ｂの後側の開口と連通し、大気開放状態になる。これにより、図１０の下段に示すように、第３横孔８６ｃ及び第５横孔８６ｅに連通する収容室７１や吐出ノズル１４が大気開放状態になる。

【0049】

なお、第１〜第３切替状態のいずれにおいても、第１弁体９１や第２弁体９５のＯリングが、第１，第２貫通孔８５ａ，８５ｂから外部への気体（圧力）の漏れを防いでいる。

【0050】

こうして構成された部品装着システム１では、部品装着装置１００のコントローラ１６０のＣＰＵ１６２が、管理コンピュータ２００から受信した生産ジョブデータに基づいてヘッドユニット１１０を利用して実装処理を行う。ＣＰＵ１６２は、実装処理において、基板１０１上の所定位置に所定の塗布量の接着剤を塗布する接着剤塗布処理や、基板１０１の接着剤を塗布した位置へ部品を装着する部品装着処理をそれぞれ複数回実行する。また、ＣＰＵ１６２は、接着剤塗布処理や部品装着処理の開始時に、処理に適したヘッドをヘッド保持体２１が保持していないときには、ヘッド自動交換処理を行う。以下、接着剤塗布処理，部品装着処理，ヘッド自動交換処理についてそれぞれ説明する。

【0051】

接着剤塗布処理では、ＣＰＵ１６２は、まず、ヘッド保持体２１が吐出ヘッド２２０を保持した状態で、管理コンピュータ２００から受信した生産ジョブデータに基づいてヘッドユニット１１０を基板１０１上の所定位置に移動させる。なお、ＣＰＵ１６２は、吐出ヘッド２２０の移動中は円筒ギア７２の回転位置を調整してバルブ機構９０を第３切替状態とし、収容室７１や吐出ノズル１４を大気開放状態とする。なお、ＣＰＵ１６２は、Ｑ軸モータ２８によってＱ軸ギア２７及びクラッチ部材６１を回転させることで、円筒ギア７２を回転させる。また、収容室７１に収容されている接着剤は、大気開放状態において吐出口１４ａから吐出しないように、予め粘度が調整されている。続いて、ＣＰＵ１６２は、Ｑ軸モータ２８により円筒ギア７２を左回転させてバルブ機構９０を第３切替状態から第１切替状態に切り替える。これにより、吐出ノズル１４に正圧が供給されて吐出口１４ａから接着剤が吐出され、基板１０１上に塗布される。ＣＰＵ１６２は、接着剤の塗布量に基づいて定まる所定時間が経過するまで、第１切替状態を維持した後、Ｑ軸モータ２８により円筒ギア７２を右回転させてバルブ機構９０を第２切替状態に切り替える。これにより、吐出ノズル１４に負圧が供給されて吐出口１４ａからの接着剤の吐出が停止する。その後、ＣＰＵ１６２は、バルブ機構９０を第３切替状態に戻す。このように、ＣＰＵ１６２は、クラッチ部材６１を回転させることで円筒ギア７２を回転させ、これにより吐出ヘッド２２０が備えるバルブ機構９０を操作して、圧力の切り替えを行うのである。なお、ＣＰＵ１６２は、生産ジョブデータに基づいて適切な種類の吐出ノズル１４を吐出ヘッド２２０が装着するよう、接着剤塗布処理の開始時に適宜ノズルストッカー１３４上に吐出ヘッド２２０を移動させて、吐出ノズル１４の取り替えを行う。

【0052】

続いて、部品装着処理について説明する。部品装着処理では、ＣＰＵ１６２は、まず、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３に部品を吸着させる。具体的には、まず、ＣＰＵ１６２は、ヘッドユニット１１０を移動させて、部品供給装置１５０の部品を吸着する所定位置に１番目の吸着ノズル１３を移動させる。続いて、ＣＰＵ１６２は、１以上の部品を吸着する処理を行う。具体的には、ＣＰＵ１６２は、第１レバー挟持部４１によりノズル操作レバー３９を押下して吸着ノズル１３を下降させる。その状態で、ＣＰＵ１６２は、第２レバー挟持部５１により圧力操作レバー３５を上方に位置決めして、吸着ノズル１３の先端に負圧源１５８からの負圧を供給し部品を吸着させる。その後、ノズル操作レバー３９の押下を解除して吸着ノズル１３を上昇させる。吸着する部品が２以上のときには、これと同様の動作を繰り返して、複数の吸着ノズル１３に部品を吸着させる。部品の吸着が完了すると、ＣＰＵ１６２は、装着対象の部品を吸着した吸着ノズル１３を部品を装着位置の上方に移動させる。そして、ＣＰＵ１６２は、ノズル操作レバー３９を押下して吸着ノズル１３を下降させ、吸着ノズル１３の負圧を解除して部品を基板１０１上に装着させる。その後、吸着ノズル１３を上昇させる。部品を吸着した吸着ノズル１３が複数あるときには、ＣＰＵ１６２は、このように１つの部品を基板１０１上に装着する動作を繰り返し行って、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３に吸着された部品を順次基板１０１上に装着する。吸着ノズル１３に吸着された部品を全て基板１０１上に装着すると、部品装着処理を終了する。なお、ＣＰＵ１６２は、吸着ノズル１３に吸着された部品を装着する際に、吸着ノズル１３に吸着された部品の向き（角度）を適宜修正する。具体的には、ＣＰＵ１６２は、Ｑ軸ギア２７を回転させることでクラッチ部材６１、クラッチ部材６２、小ギア３４及びノズルホルダ１２を回転させ、吸着ノズル１３を軸回転させる。また、ＣＰＵ１６２は、生産ジョブデータに基づいて適切な種類の吸着ノズル１３を吸着ヘッド１２０が装着するよう、部品装着処理の開始時に適宜ノズルストッカー１３４上に吸着ヘッド１２０を移動させて、吸着ノズル１３の取り替えを行う。ＣＰＵ１６２は、ノズル操作レバー３９を押下して吸着ノズル１３を１つずつ降下させて、吸着ノズル１３の取り替えを行う。

【0053】

次に、ヘッド自動交換処理について説明する。ヘッド自動交換処理では、ＣＰＵ１６２は、まず、ヘッドユニット１１０をヘッド収納エリア１４０の空いている収納場所１４２の直上に移動し、ヘッド保持体２１を下降させて現在ヘッド保持体２１が保持しているヘッドを空いている収納場所１４２に収納する。続いて、ＣＰＵ１６２は、係合部材３１のフックを保持しているヘッドの係合孔（係合孔３７又は係合孔８０ａ）から外した後、ヘッド保持体２１を上昇させる。次に、ＣＰＵ１６２は、交換対象のヘッドの収納場所１４２の直上にヘッドユニット１１０を移動する。そして、ＣＰＵ１６２は、ヘッド保持体２１を下降させて、係合部材３１を交換対象のヘッドの係合孔（係合孔３７又は係合孔８０ａ）に係合させ、ヘッド自動交換処理を終了する。これにより、ヘッド保持体２１で交換対象のヘッドが保持される。ＣＰＵ１６２は、このようにして、ＣＰＵ１６２は、ヘッド保持体２１が保持するヘッドを吸着ヘッド１２０と吐出ヘッド２２０との一方から他方へ交換する。

【0054】

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の部品装着装置１００が本発明の対基板作業装置に相当し、収容室７１が粘性流体収容室に相当し、吐出口１４ａが粘性流体吐出口に相当し、第１切替状態が第１状態に相当し、第２切替状態が第２状態に相当し、バルブ機構９０がバルブ機構に相当し、円筒ギア７２が操作入力部に相当し、切替部７３が切替部に相当し、吐出ヘッド２２０が吐出ヘッドに相当し、ヘッド保持体２１がヘッド保持手段に相当する。また、吸着ヘッド１２０が実装ヘッドに相当し、クラッチ部材６１が操作部に相当し、吸着ノズル１３が部品保持具に相当し、クラッチ部材６２，小ギア３４及びノズルホルダ１２が軸回転機構に相当し、第１上開口８１ａが第１開口に相当し、第２〜第５上開口８１ｂ〜８１ｅが第２開口に相当し、正圧供給口３２ａが第１供給口に相当し、負圧供給口３２ｂが第２供給口に相当し、第３切替状態が第３状態に相当する。なお、吐出ヘッド２２０が吐出ノズル１４を装着していない状態では、本体下開口７０ａが粘性流体吐出口に相当する。

【0055】

以上説明した本実施形態の部品装着装置１００では、吐出ヘッド２２０が、収容室７１を介して吐出口１４ａの接着剤を押圧して吐出させる第１切替状態と接着剤を吐出させない第２切替状態とを切り替え可能なバルブ機構９０を備えている。そして、円筒ギア７２が外部からの操作を入力すると、入力した操作に基づいて切替部７３がバルブ機構９０を切り替える。このように、吐出ヘッド２２０は、吐出ヘッド２２０が備えるバルブ機構９０で接着剤を吐出させるかさせないかの切り替えすなわち圧力の切り替えを行うことができる。そのため、例えば吐出ヘッド２２０を保持するヘッド保持体２１側にバルブ機構９０が存在する場合と比べて、バルブ機構９０の切り替えにより圧力が変化するポイントから吐出口１４ａまでの距離が小さくなる。これにより、圧力の切り替えに対する吐出ヘッド２２０の応答性をより高くすることができる。

【0056】

また、ヘッド保持体２１は、吐出ヘッド２２０と吸着ヘッド１２０とを交換可能に保持するものであり、保持している吸着ヘッド１２０を操作するクラッチ部材６１を有している。そして、円筒ギア７２は、クラッチ部材６１からの操作を入力可能である。そのため、ヘッド保持体２１のクラッチ部材６１を吸着ヘッド１２０の操作と吐出ヘッド２２０の操作とに共用できる。これにより、例えばヘッド保持体２１が吸着ヘッド１２０の操作には用いない吐出ヘッド２２０用の操作部を備える場合と比べて、ヘッド保持体２１をより簡易な構成とすることができる。また、吐出ヘッド２２０を交換可能に保持するように作られていたヘッド保持体２１を、新たな操作部を設けることなく吐出ヘッド２２０の保持にも用いることができる。

【0057】

さらに、ヘッド保持体２１のクラッチ部材６１は、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３を軸回転させるクラッチ部材６２，小ギア３４及びノズルホルダ１２を操作可能であると共に、吐出ヘッド２２０の円筒ギア７２を操作可能である。吐出ヘッド２２０では、吸着ノズル１３を軸回転させる必要はないため、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３を軸回転させる操作部であるクラッチ部材６１で吐出ヘッド２２０の円筒ギア７２を操作可能にする意義が高い。

【0058】

さらにまた、円筒ギア７２は吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持されるときのヘッド保持体２１との接続面に露出している。そのため、吐出ヘッド２２０がヘッド保持体２１に保持されたときに円筒ギア７２がヘッド保持体２１と接触するから、ヘッド保持体２１側から円筒ギア７２を操作しやすくなる。

【0059】

そしてまた、バルブ機構９０は、吐出口１４ａが収容室７１を介して第１上開口８１ａに連通し且つ第２〜第５上開口８１ｂ〜８１ｅとは連通しない第１切替状態と、吐出口１４ａが収容室７１を介して第２〜第５上開口８１ｂ〜８１ｅに連通し且つ第１上開口８１ａとは連通しない第２切替状態とを切り替え可能である。そのため、収容室７１に第１上開口８１ａと第２〜第５上開口８１ｂ〜８１ｅとのいずれを連通させるかを切り替えることで、圧力の切り替えを行うことができる。さらに、バルブ機構９０は、吐出口１４ａが収容室７１を介して大気に連通する第３切替状態にも切り替え可能であるため、吐出口１４ａを大気開放状態にすることができる。ここで、例えば吐出ヘッド２２０の移動中など吐出を行わない期間にバルブ機構９０が第２切替状態のままであると、吐出ノズル１４内部の接着剤が収容室７１側に戻りすぎてしまい次に第１切替状態に切り替えてから接着剤が吐出されるまでの時間が増大する場合がある。ＣＰＵ１６２が、吐出ヘッド２２０の移動中にはバルブ機構９０を第３切替状態としておくことで、このような吐出までの時間の増大をより抑制できる。

【0060】

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

【0061】

例えば、上述した実施形態では、吸着ノズル１３を軸回転させるクラッチ部材６１を用いてバルブ機構９０を切り替えるものとしたが、これに限られない。例えば、第１レバー挟持部４１や第２レバー挟持部５１を用いてバルブ機構９０を切り替えるものとしてもよい。この場合、円筒ギア７２の代わりに圧力操作レバー７５やノズル操作レバー３９のようなレバーを吐出ヘッド２２０の外周面に備えるものとし、このレバーをレバー挟持部で切り替えてもよい。

【0062】

上述した実施形態において、バルブ機構９０は第１弁体９１及び第２弁体９５を備えるものとしたが、これに限らずどのような機構で圧力の切り替えを行ってもよい。例えば、機械的に動作する機構に限らず、電磁弁など電気的な動作を伴うバルブ機構で圧力の切換を行ってもよい。また、バルブ機構９０は吐出口１４ａの接着剤を押圧して吐出させる第１状態と接着剤を吐出させない第２状態との少なくとも２つの状態に切り替え可能であればよい。例えば、バルブ機構９０は、第３切替状態には切り替わらず第１切替状態と第２切替状態との２つの状態に切り替え可能としてもよい。あるいは、バルブ機構９０は、第２切替状態には切り替わらず第１切替状態と第３切替状態との２つの状態に切り替え可能としてもよい。この場合、第３切替状態（吐出口１４ａが収容室７１を介して大気に連通する状態）が、「接着剤を吐出させない第２状態」に相当する。

【0063】

上述した実施形態では、ヘッド保持体２１でのクラッチ部材６１の回転により円筒ギア７２を操作してバルブ機構９０を切り替えるものとしたが、クラッチ部材６１の回転に限らずどのような機械的操作でバルブ機構９０を切り替えてもよい。また、機械的操作に限らず、ヘッド保持体２１から電気的操作を吐出ヘッド２２０に入力してバルブ機構９０を切り替えるなど、どのような操作でバルブ機構９０を切り替えてもよい。

【0064】

上述した実施形態では、収容室７１に正圧を供給するか負圧を供給するか収容室７１を大気開放するかを切り替えることで、吐出口１４ａにかかる圧力を切り替えるものとしたが、これに限られない。例えば、収容室７１と本体下開口７０ａとの間など、収容室７１と吐出口１４ａとの間の接着剤の通路の連通の有無をバルブの開閉などで切り替えることにより、吐出ノズル１４にかかる圧力を切り替えてもよい。

【0065】

上述した実施形態において、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３や吐出ヘッド２２０の吐出ノズル１４は着脱可能としたが、吸着ノズル１３と吐出ノズル１４との少なくとも一方が、ヘッドに着脱不能に取り付けられていてもよい。

【0066】

上述した実施形態において、吐出ヘッド２２０は接着剤を吐出するものとしたが、接着剤に限らずはんだやろう材などの粘性流体を吐出するものであればよい。また、吸着ヘッド１２０の吸着ノズル１３が部品を吸着するものとしたが、吸着ヘッド１２０が部品を保持するものとすれば、吸着するものに限定されない。例えば、吸着ヘッド１２０は、把持部に部品を引っかけて保持するものとしてもよい。また、部品装着装置１００は、吸着ヘッド１２０と吐出ヘッド２２０とを１つずつ備えるものとしたが、複数種類（例えばノズルの装着可能数が異なる）の吸着ヘッド１２０や吐出ヘッド２２０があってもよい。また、部品装着装置１００は、吐出ヘッド２２０を備えていればよく、吸着ヘッド１２０を備えていなくともよい。この場合、ヘッド保持体２１は吐出ヘッド２２０を保持可能であればよく、ヘッド保持体２１は吸着ヘッド１２０を保持可能でなくともよい。また、部品装着装置１００が吸着ヘッド１２０と吐出ヘッド２２０とを備える場合において、ヘッド保持体２１が吸着ヘッド１２０と吐出ヘッド２２０との一方のみを保持可能とし、他方のヘッドを保持するヘッド保持体を部品装着装置１００が別に備えていてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0067】

本発明は、基板に粘性流体を塗布したり部品を実装したりするする対基板作業装置の技術分野に利用可能である。

【符号の説明】

【0068】

１ 部品装着システム、１２ ノズルホルダ、１３ 吸着ノズル、１４ 吐出ノズル、１４ａ 吐出口、２１ ヘッド保持体、２２ Ｒ軸、２４ Ｒ軸ギア、２５ Ｒ軸モータ、２７ Ｑ軸ギア、２８ Ｑ軸モータ、３１ 係合部材、３２ａ 正圧供給口、３２ｂ 負圧供給口、３３ 円筒ギア、３４ 小ギア、３５ 圧力操作レバー、３６ ベース、３７ 係合孔、３９ ノズル操作レバー、４０ スプリング、４１ 第１レバー挟持部、４２ 水平部分、４３ 水平軸、４４ ローラ、４５ 第１Ｚ軸ガイドレール、４６ 第１Ｚ軸スライダ、５１ 第２レバー挟持部、５２ 水平部分、５４ ローラ、５５ 第２Ｚ軸ガイドレール、５６ 第２Ｚ軸スライダ、６１ クラッチ部材、６２ クラッチ部材、６３ クラッチ部材７０ 本体部、７０ａ 本体下開口、７１ 収容室、７２ 円筒ギア、７３ 切替部、７４ａ，７４ｂ 第１，第２切替部、７５ 第１接続部材、７６ 第２接続部材、７６ａ 板状部、７７ 第３接続部材、７８ 第４接続部材、７８ａ 板状部、７９ａ，７９ｂ ピンボルト、８０ ベース、８１ａ〜８１ｅ 第１〜第５上開口、８３ａ，８３ｂ 第１，第２段差部、８４ リング状通路、８５ａ，８５ｂ 第１，第２貫通孔、８６ａ〜８６ｅ 第１〜第５横孔、８８ａ，８８ｂ 第１，第２縦孔、９０ バルブ機構、９１ 第１弁体、９２ａ 第１円柱部、９２ｂ 第２円柱部、９２ｃ 小径円柱部、９２ｄ ボルト、９４ 大気連通孔、９５ 第２弁体、９６ａ 第１円柱部、９６ｂ 第２円柱部、９６ｃ 小径円柱部、９６ｄ ボルト、９８ 大気連通孔、１００ 部品装着装置、１０１ 基板、１０２ 基台、１０４ 基板搬送装置、１０６ 支持板、１０８ コンベアベルト、１１０ ヘッドユニット、１１２ Ｘ軸スライダ、１１４ ガイドレール、１１６ Ｙ軸スライダ、１１８ ガイドレール、１２０ 吸着ヘッド、１３４ ノズルストッカー、１４０ ヘッド収納エリア、１４２ 収納場所、１５０ リールユニット、１５２ フィーダ、１５４ リール、１５６ 正圧源、１５８ 負圧源、１６０ コントローラ、１６２ ＣＰＵ、１６４ ＲＯＭ、１６６ ＲＡＭ、１６８ ＨＤＤ、２００ 管理コンピュータ、２２０ 吐出ヘッド。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】