発明の名称 精密駆動装置
出願人 中国科学院物理研究所 (識別番号 502134971)
特許公開件数ランキング 11776 位(2件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 24686 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6356903
公報発行日 2018年7月11
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6356903
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