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特許6362615プラズマ源
発明の名称 プラズマ源
出願人 エーリコン・トレイディング・アーゲー・トリューバッハ （識別番号 507269681）
特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6362615
公報発行日 2018年7月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6362615
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