特許6363605フィルムフレーム上のウェハーの回転ミスアライメントを自動的に訂正するためのシステム及び方法

発明の名称　フィルムフレーム上のウェハーの回転ミスアライメントを自動的に訂正するためのシステム及び方法

出願人　セミコンダクター　テクノロジーズ　アンド　インストゥルメンツ　ピーティーイー　リミテッド　（識別番号 511157572）

　　　　特許公開件数ランキング 30116 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24358 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6363605

公報発行日　2018年7月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6363605

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6363605「フィルムフレーム上のウェハーの回転ミスアライメントを自動的に訂正するためのシステム及び方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録