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特許6363927気相成長装置における基板搬送方法及び装置
発明の名称 気相成長装置における基板搬送方法及び装置
出願人 大陽日酸株式会社 （識別番号 231235）
特許公開件数ランキング 30226 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24536 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 大陽日酸ＣＳＥ株式会社 （識別番号 509054005）
特許公開件数ランキング 30226 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24536 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6363927
公報発行日 2018年7月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6363927
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