特許6366684低放射率静電チャック、及び静電チャックを備えたイオン注入システム

発明の名称　低放射率静電チャック、及び静電チャックを備えたイオン注入システム

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6366684

公報発行日　2018年8月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6366684

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