特許 6367849 真空ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6367849

(24)【登録日】2018年7月13日

(45)【発行日】2018年8月1日

(54)【発明の名称】真空ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20180723BHJP

【ＦＩ】

   F04D19/04 A

【請求項の数】13

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2016-24537(P2016-24537)

(22)【出願日】2016年2月12日

(65)【公開番号】特開2016-169730(P2016-169730A)

(43)【公開日】2016年9月23日

【審査請求日】2016年2月12日

(31)【優先権主張番号】15158563.5

(32)【優先日】2015年3月11日

(33)【優先権主張国】EP

(73)【特許権者】

【識別番号】391043675

【氏名又は名称】プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100069556

【弁理士】

【氏名又は名称】江崎 光史

(74)【代理人】

【識別番号】100111486

【弁理士】

【氏名又は名称】鍛冶澤 實

(74)【代理人】

【識別番号】100173521

【弁理士】

【氏名又は名称】篠原 淳司

(74)【代理人】

【識別番号】100153419

【弁理士】

【氏名又は名称】清田 栄章

(72)【発明者】

【氏名】アルミン・コンラート

(72)【発明者】

【氏名】ヨーナス・ベッカー

【審査官】 大瀬 円

(56)【参考文献】

【文献】 特開平６−５８２９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−９３８８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特公平６−４６０３６（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特開２０１１−１１２０４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１１７０９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１２１８８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１８００８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−９３８８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１２−５２９５９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１６６５３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５７−６３５９（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ １９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

インレット（２）及びアウトレット（３）を有し、ローター（４）及びステーター（５）を有するシングルフロー式の真空ポンプ（１）であって、その際、ローター（４）が二つの支承部（１１，１２）によってステーター（５）内に回転可能に支承されている真空ポンプにおいて、二つの支承部（１１，１２）に追加的に、軸方向に作用する唯一の磁石支承部（１３）が設けられていること、追加的な磁石支承部（１３）が、アウトレット（３）の領域の引き付け合う磁石支承部として、又はインレット（２）の領域の反発しあう磁石支承部として形成されていること、及び磁石支承部（１３）は、磁石リング対（１５，１６）が対向配置されている軸方向支承部として形成されていることを特徴とする真空ポンプ。

【請求項2】

追加的な支承部（１３）が、軸方向力及び半径方向力をローター（４）に及ぼす支承部（１３）として形成されていること、又は追加的な支承部（１３）が、もっぱら軸方向にのみ作用する支承部（１３）として形成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

磁石支承部（１３）が永久磁石支承部として、または活性な磁石支承部として形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

ローター（４）の支承の為の二つの支承部（１１，１２）の少なくとも一つが、ローラー支承部として形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

少なくとも一つの支承部（１１，１２）が球状支承部として形成されていることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

少なくとも一つの支承部（１１，１２）が、傾斜球状支承部として、またはグルーブ球状支承部として形成されていることを特徴とする請求項５に記載の真空ポンプ。

【請求項7】

ローター（４）の支承の為の二つの支承部（１１，１２）の少なくとも一つが、活性な磁石支承部として又は空気支承部として形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項8】

高真空側に配置されたローラー支承部（１１）が、潤滑剤無しのローラー支承部として形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項9】

潤滑剤潤滑を伴うローラー支承部（１１，１２）が、潤滑剤リザーバー（２６）及び／又は潤滑剤ポンプ（１９）を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項10】

真空ポンプ（１）の二つの支承部（１１，１２）が、可動支承部（１０）として及び固定支承部（９）として形成されていること、及び追加的な磁石支承部（１３）が、固定支承部（９）に予負荷を与える支承部（１３）として形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項11】

追加的である活性な磁石支承部が、調整される磁石支承部として形成されていることを特徴とする請求項３から１０のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項12】

固定支承部収容部の軸方向の強度ｋ＿１が、可動支承部収容部の軸方向の強度ｋ＿３及び磁石支承部（１３）の軸方向の強度ｋ＿２よりも大きいことを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項13】

真空ポンプ（１）が、スクリューポンプとして、及び／又は十字ねじポンプとして、及び／又はターボ分子ポンプとして、及び／又は分子ポンプとして、少なくとも一つのゲーデポンプ段及び／又はホルベックポンプ段を有し形成されていることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、スクリューポンプ、十字ねじポンプ又は分子ポンプであって、好ましくは少なくとも一つのゲーデポンプ段及び／又はホルベックポンプ段を有するものに関する。

【背景技術】

【0002】

真空ポンプは、様々な技術的方法において使用される。例えば半導体製造の際に、ポンプガスとも称されるポンピングすべきガスを、真空引きすべき容積まで搬出し、そして各技術的方法に対して必要な真空を発生させるためである。その際、特別な意味は、高回転数で運転され、そして高純度の真空を達成することが可能であるターボ分子ポンプにある。

【0003】

真空ポンプにおいては、シングルフロー式の真空ポンプと、マルチフロー式の真空ポンプが区別される。シングルフロー式の真空ポンプは、一つのインレット及びアウトレットを有し、インレットはレシーバー（独語：Ｒｅｚｉｐｉｅｎｔｅｎ）と接続されていている。ターボ分子ポンプにおいて設けられているような、ローター羽根及びステーター羽根からなる装置のポンプ作用は、高速で回転する羽根からポンピングすべきガス分子への運動量の伝達に関する。羽根に当たる分子は、そこで吸収され、そして所定の時間の後、再び羽根を去る。その際、羽根速度が熱的な分子速度に対して加算される。羽根によって伝達される速度成分が、他の分子との衝突によって失われることが無いよう、分子流はポンプ内に広がる、つまり、平均的な自由経路長が、羽根間隔よりも大きい必要がある。

【0004】

ダブルフロー式のポンプ又はマルチフロー式のポンプにおいては、例えば、一つのガスインレットと二つのアウトレットが設けられる。インレットはレシーバーと接続されている。ガスは、ガスインレットから、転向され、そして二つのアウトレットの方へとポンプ効果を発する構造を介して搬送される。ダブルフロー式のポンプは、比較的大きな構造長を有している。この理由から、各適用範囲に応じて、より小さく構成されたシングルフロー真空ポンプが好まれる。

【0005】

シングルフロー式のポンプは、ガス搬送方向に基づいて、及びポンプのインレットとアウトレットの間の圧力差に基づいて、動的又は静的な、追加的な支承部軸方向力成分を生じる。この力は、通常、固定支承部によって受け止められる。圧力差とローター直径に応じて、特に、静的な軸方向力が極めて大きくなり、そして、許容し得る固定支承部の軸方向負荷が上回られる。特に、ターボ分子ポンプ又は十字ねじポンプ（独語：Ｋｒｅｕｚｇｅｗｉｎｄｅｐｕｍｐｅｎ）等のような高速回転するポンプシステムにおいては、コンパクトな支承部構造サイズ（支承部部材、特に支承ケージ（独語：Ｌａｇｅｒｋａｅｆｉｇ）の遠心力負荷に基づくコンパクトな支承部）に基づき、最大限可能な軸方向力は限定されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】欧州特許出願公開第１８９００４１Ａ２号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明の基礎とする技術的課題は、シングルフロー式の真空ポンプであって、動的及び静的な支承部軸方向力成分にもかかわらずコンパクトな支承部構造サイズが意図されるものを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

この技術的課題は、請求項１に記載の特徴を有するシングルフロー式の真空ポンプによって解決される。

【0009】

インレット及びアウトレットを有し、ローター及びステーターを有し、その際、二つの支承部がステーター内に回転可能に支承されているシングルフロー式の真空ポンプは、二つの支承部に対して追加的に、一つの軸方向に作用する磁石支承部が設けられている点で際立っている。

【0010】

ターボ分子ポンプは、毎分６０，０００回転までの回転数で回転する。部分的には、回転数は更に高い。このような高い回転数において、およびシングルフローポンプにおいて、支承部の軸方向力は極めて大きい。ダブルフロー式のポンプにおいては、問題が生じる。というのは、ガスがインレットを介して、例えば右へ左へと導かれるので、ここで軸方向力が大幅に上昇するからであある。

【0011】

シングルフロー式のポンプにおいては、軸方向力が発生する。というのはこれらは補償されない（相殺されない、独語：ｎｉｃｈｔ ｋｏｍｐｅｎｓｉｅｒｔ ｗｅｒｄｅｎ）からである。

【0012】

よって本発明は、ローターのステーター内における支承の為に、先行技術に属する二つの支承部、例えばローラー支承部と磁石支承部を設けることを意図する。その上、追加的に、軸方向に作用する磁石支承部が設けられている。この磁石支承部は、ガス分子の搬送方向に対して反対に作用する圧力を及ぼす。これによって、支承部軸方向力成分は、追加的な軸方向に作用する磁石支承部によって、少なくとも部分的に相殺される。

【0013】

軸方向に作用する磁石支承部の装置は、ポンプ過程の最初に、吸引側にも吐出側にも大気圧が存在すること、及び軸方向に作用する磁石支承部が、圧力を調達する必要がなく、また単に、一または複数の支承部（ローターの支承の為にステーター内に設けられている）の予負荷の為の力のみが調達必要される必要があるという更なるメリットを有する。真空ポンプのインレットとアウトレットの間では、磁石支承部が、両方の支承部又は一方の支承部（固定支承部）に予負荷を与える。磁石支承部は、ここでは引き付け合う又は反発しあうよう設けられていることが可能である。ステーター内におけるローターの支承の為の支承部は、有利には、異なる強度を有する軸方向において弾性的なフレーム（独語：Ｆａｓｓｕｎｇ）内に組み込まれている。圧力のもと、必要な軸方向力成分は、ローターの軸方向の移動によって自主的（独立的）に生じる。発明に係る真空ポンプの規定通りの機能の為に、よって、軸方向（可動支承部側及び固定支承部側並びに追加的な磁石支承部の支承）の異なる強度の比率が重要である。

【0014】

ポンプ過程の前に、つまり吸引側と吐出側の間の圧力均衡の常態において、軸方向に作用する磁石支承部は、有利には、固定支承部の軸方向の予負荷の仕事を担う。軸方向に作用する磁石支承部の例えば磁石リング対の間の間隙は最小である。ポンプ過程の間、吸引側と吐出側の間の増加する圧力差によって、磁石支承部は、圧力によって引き起こされる間隙の拡大を行う。最大限期待される圧力差のもと、最も大きな圧力が生じる。この状態において磁石支承部間隙は最大であり、そして磁石支承部軸方向力は最小である。圧力は、完全に固定支承部によって受け止められる。

【0015】

固定支承部収容部の軸方向の強度は、可動支承部収容部の強度及び磁石支承部の強度よりも極めて大きい。ここで、可動支承部の低い軸方向の強度によって、支承部予負荷の比較的小さな変化のみが生じる。

【0016】

運転に起因する部材の熱膨張は、軸方向の支承力成分の上昇に通じる。支承部収容部と磁石支承部の軸方向の強度は、必要な移動経路も熱に起因する長さ変化の影響も最小限であるよう構成されている。

【0017】

本発明の有利な実施形は、追加的な支承部が、軸方向力及び半径方向力をローターに及ぼす支承部として形成されていること、又は追加的な支承部が、もっぱら軸方向においてのみ作用する支承部として形成されていることを意図している。

【0018】

支承部が、軸方向力及び半径方向力をローターに及ぼす支承部として形成されているとき、例えばこれは同軸のリング対を有し、当該リング対において、オフセットによって所定の軸方向力成分が発生させられる。これは、通常ハイブリッド式に支承されたターボ分子ポンプにおいて使用される半径方向支承部である。

【0019】

しかしまた、支承部を軸方向支承部として形成する可能性も存在する。この軸方向支承部においては、磁石リング対が対向配置されている。

【0020】

本発明の別の有利な実施形は、磁石支承部が永久磁石支承部として又は活性な磁石支承部（又は能動的な磁石支承部、独語：ａｋｔｉｖｅｓ Ｍａｇｎｅｔｌａｇｅｒ）として形成されていることを意図する。永久的に励起されている（独語：ｐｅｒｍａｎｅｎｔ ｅｒｒｅｇｔｅ）磁石支承部は、これがプライス面で安価に形成されているというメリットを有する。活性な磁石支承部は例えば調整部（独語：Ｒｅｇｅｌｕｎｇ）を設けられていることが可能である。

【0021】

本発明の別の有利な実施形に従い、ステーター内におけるローターの支承の為の二つの支承部の少なくとも一方が、ローラー支承部として形成されている。ローラー支承部は、極めてプライス面で安価に形成されている。少なくとも一方の支承部は、本発明の有利な実施形においては球状支承部として形成されている。

【0022】

本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも一方の支承部は、傾斜球状支承部として、又はグルーブ球状支承部として形成されている。

【0023】

この支承部は、安価な構造のもととても高い信頼性を有する。

【0024】

本発明の他の実施形は、ローターの支承の為の二つの支承部の少なくとも一方が、活性な磁石支承部として、又は空気支承部として形成されていることを意図する。この実施形は、この支承部が、潤滑剤を必要とせず、つまり潤滑剤無しに作動するというメリットを有する。特に、通常、高真空側においてこの支承部は使用される。というのは、この場合、潤滑剤の流出（独語：Ａｕｓｇａｓｕｎｇｅｎ）が高真空を汚染する可能性が無いからである。

【0025】

本発明の別の有利な実施形に従い、高真空側に設けられるローラー支承部が潤滑剤無しのローラー支承部として形成されていることが意図されている。流出を防止するために、高真空側のローラー支承部の装置においては、ローラー支承部は潤滑剤無しに選択される。

【0026】

本発明の別の有利な実施形は、潤滑剤潤滑を伴うローラー支承部が潤滑剤リザーバー及び潤滑剤ポンプを有している。

【0027】

長期の運転の為に、潤滑剤リザーバー、例えばオイルを染み込ませたフリースの形式のもの等を設けることは有利である。潤滑剤ポンプは、有利には、ローターとともに回転する円錐体から成る。この円錐体は、潤滑剤リザーバーから支承部に向かって拡張するよう形成されている。この場合、潤滑剤は、遠心力に基づいて自動的にローラー支承部に向かって移動させられる。

【0028】

本発明の別の有利な実施形に従い、真空ポンプの二つの支承部が、可動支承部として及び固定支承部として形成されていること、及び追加的な磁石支承部が、固定支承部に予負荷を与える支承部として形成されていることが意図されている。例えば傾斜球状支承部が設けられているとき、この支承部は予負荷を与えられよう。追加的な磁石支承部は、別の支承部又は別の装置の配置を防止するために、この仕事をになう。

【0029】

本発明の別の有利な実施形は、追加的な磁石支承部が、引き付け合う又は反発しあう磁石支承部として形成されていることを意図する。真空ポンプの構造及び磁石支承部の配置に応じて、磁石支承部の形成は相応に選択されることが可能である。

【0030】

本発明の別の有利な実施形に従い、追加的である活性な磁石支承部は、調整される（調整された、独語：ｇｅｒｅｇｅｌｔｅｓ）磁石支承部として形成されていることが意図されている。これによって、ポンプ過程の間に発生する圧力に対応し、そして磁石支承部を相応して調整することが可能である。

【0031】

本発明の別の有利な実施形は、固定支承部収容部の軸方向の強度が、可動支承部収容部及び磁石支承部の強度よりも高いことを意図している。すでに説明したように、これは有利である、というのはポンプ過程の間、及び最大限期待されるべき圧力差の間、圧力は完全に固定支承部によって受け止められるので、固定支承部収容部の軸方向の強度は、可動支承部収容部と磁石支承部の強度よりもはるかに高いからである。

【0032】

本発明の好ましい実施形に従い、真空ポンプは、スクリューポンプとして、及び／又は十字ねじポンプとして、及び／又はターボ分子ポンプとして、及び／又は分子ポンプとして、好ましくは少なくとも一つのゲーデポンプ段及び／又はホルベックポンプ段を有して形成されている。これら真空ポンプは、例えば毎分９０，０００回転まで回転数を有するいわゆる高速回転ポンプである。真空ポンプは、異なる複数のポンプ段のコンビネーションとしても形成されていることが可能である。よって例えば、複数のホルベックポンプ段を有する複数のターボ分子ポンプを一つのポンプ内に組み合わせることをも通常である。

【0033】

二つの支承部に追加的に軸方向に作用する磁石支承部を有する発明に係る実施形は、軸方向の可動性を有する全てのシングルフローポンプにおいて使用可能である。軸方向の間隙は、きわめて小さく形成されていることが可能である。

【0034】

本発明の別の特徴及びメリットは、添付の図面より生じる。当該図中には、発明に係る真空ポンプの複数の実施例が例示的にのみ表されている。

【図面の簡単な説明】

【0035】

【図1】真空ポンプの長手方向断面の簡略図

【図2】ローター位置に応じる、図１のポンプの支承部コンポーネントの力の推移の図

【図3】ホルベックポンプ段及び十字ねじポンプ段を有する真空ポンプの長手方向断面図

【発明を実施するための形態】

【0036】

図１は、ポンプ１を示す。そのポンプ段は表されていない。ターボ分子ポンプ段及び／又はスクリューポンプ段及び／又は十字ねじ山ポンプ段（独語：Ｋｒｅｕｚｇｅｗｉｎｄｅｐｕｍｐｓｔｕｆｅ）及び／又はゲーデポンプ段及び／又はホルベックポンプ段を有する分子ポンプである。

【0037】

真空ポンプ１は、インレット２およびアウトレット３を有している。シングルフロー真空ポンプである。

【0038】

ステーター５およびポンプ効果を発する面６，７と共に、一又は複数のポンプ段を形成するローター４は、支承装置９，１０内の軸に回転可能に支承されている。支承装置９は、傾斜球状支承部（または、円錐ころ支承部、独語：Ｓｃｈｒａｅｇｋｕｇｅｌｌａｇｅｒ）１１を有する。傾斜球状支承部１１は、固定支承部として形成されている。支承装置１０は、グルーブ球状支承部（独語：Ｒｉｌｌｅｎｋｕｇｅｌｌａｇｅｒ）を有する。これは、可動支承部として形成されている。

【0039】

その上、永久磁石支承部１３が設けられている。これはもっぱら軸方向のみにおいて作用する。ポンプ過程の最初に、インレット２とアウトレット３の間には、圧力均衡が生じている。この状態において傾斜球状支承部９（固定支承部）は、永久磁石支承部１３によって予負荷を与えられている。ポンプ過程の間、図１に表されてた装置によって、力成分が、ローターの軸方向の移動によって自律的に生じる。圧力バランスの状態において、永久磁石支承部１３は、固定支承部１１の軸方向の予負荷の仕事を担う。磁石リング対１５，１６の間の間隙は、最小である。吸引側（インレット２）と吐出側（アウトレット３）の間で圧力差が増大するにつれて、永久磁石支承部１３は間隙の拡大を行う。これは、矢印Ａの方向に作用する圧力によって引き起こされるものである。期待されるべき最も大きな圧力差において、最も大きな圧力が生じる。この状態において磁石支承間隙１４は最大であり、そして磁石支承部軸方向力は最小である。圧力は、固定支承部９によって完全に受け止められる。固定支承部収容部９の軸方向の強度ｋ＿１は、可動支承部収容部１０の強度ｋ＿３および磁石支承部の軸方向の強度ｋ＿２よりも極めて大きい。可動支承部９の低い軸方向の強度ｋ＿１によって、比較的小さな変化のみが支承部予負荷において生じる。運転が原因の部材の熱膨張は、軸方向の支承力成分の上昇に通じる。支承部収容部１０，１１と磁石支承部１３の軸方向の強度ｋ＿１、ｋ＿２、ｋ＿３は、必要な移動経路も、熱が原因の長さ変化の影響も最小であるよう構成されているべきである。

【0040】

永久磁石支承部１３によって、傾斜球状支承部１１（固定支承部）は予負荷を与えられる。インレット２とアウトレット３の間の圧力差に基づく例えば４５０ニュートンの大きな軸方向の力が受けとめられることが基本的に可能である。この支承部１１の為の最小の予負荷力は、しかし、所定の値を下回ってはならない。第二の支承部によるこの予負荷力が与えられるとき、この支承部は同様に所定の大きさを有している必要がある。というのは、必要な軸方向の予負荷力が、通常、コンパクトな支承部の許容できる値を越えるからである。表された解決策によって、可動支承部側１０では、コンパクトな支承部１２が使用されることが可能である。コンパクトな支承部の為に許容できかつコスト面で安価な潤滑解決策、例えばフェルト潤滑（潤滑材リザーバー）が存在する。

【0041】

図２は、ローター位置に応じた支承部コンポーネントの力の推移を示す。

【0042】

圧力バランスの状態中、磁石支承部１３が固定支承部９の軸方向の予負荷の仕事を担う。磁石リング対１５，１６，１７の間の間隙は、最小である。吸引側（インレット２）と吐出側（アウトレット３）の間の圧力差が増加するにつれて、磁石支承部１３は、間隙の拡大を行う。これは、（図１）の矢印Ａの方向に作用する）圧力に引き起こされてのものである。期待すべき最大の圧力差において、最大の圧力が生じる。この状態において、磁石支承部間隙１４は最大であり、磁石支承部軸方向力は最小である。圧力は、固定支承部９によって完全に受け止められる。

【0043】

図３は、真空ポンプ１の具体的態様を示す。この真空ポンプは、インレット２及びアウトレット３を有する。ローター４は、支承装置９，１０内の軸８によって支承されている。ローター４の駆動の為に、電気的な駆動部１７が設けられている。

【0044】

支承装置９および１０は、其々、潤滑装置１８を有する。潤滑装置１８は、軸８の円すい形の部分９と潤滑剤リザーバー２０（例えばオイルを染み込ませられたフリースの形式のもの）から成っている。軸８と円すい形の部分１９の回転によって、潤滑材は遠心力に基づき支承部１１，１２の方向へと至る。

【0045】

支承部１１の潤滑剤支承は、圧力領域が、高真空側において相応して低く選択されるとき可能である。そうでないときは、支承装置９は、潤滑剤無しの支承部として形成されよう。

【0046】

支承部１１は、固定支承部として形成されている。支承部１２は、可動支承部として形成されている。

【0047】

ローター４は、ホルベックポンプ段と十字ねじポンプ段を有する。

【0048】

インレット２を通して外側に位置するホルベックポンプ段２１の半径方向に、矢印Ｂの方向へとガスが搬送され、ホルベックポンプ段２１の端部２２において転向され、そしてさらに、ホルベックポンプ段２１の半径方向内側に位置する側において側矢印Ｃの方向へと導かれる。チャネル２３を通して、ガスは十字ねじポンプ段２４に供給される。インレット２とアウトレット３の間の圧力差のもと、力Ｋ→が生じる。この力→は、軸方向力として支承部１１，１２に作用する。軸方向力成分力→は、余りに大きくないよう、永久磁石支承部１３は設けられている。これは、磁石リング対１５，１６として形成されている。この永久磁石支承部１３は、永久磁石リング対１５，１６が、引き付け合うよう形成されており、そしてこれによって軸方向力成分Ｋ→の反対に作用する。軸方向力Ｋ→の値が大きくなるほど、磁石リング対の間の間隙１４は大きくなる。磁石リング対１５，１６によって、バランスが行われる。これは、間隙１４を介して及び、これによって変更される磁力自体を調整する。

【0049】

永久磁石リング支承部１３は、永久磁石リング対１５，１６が反発して形成されているよう形成されていることが可能である。この為、永久磁石リング１５，１６は有利にはローター４の軸方向の反対側において領域２５内に設けられている（図示せず）。永久磁石リング対１５，１６の反発力は、インレット２とアウトレット３の間の圧力構築が進む際に、逆調整される（独語：ｚｕｒｕｅｃｋｇｅｒｅｇｅｌｔ）ので、この場合にも、軸方向力成分Ｋ→のバランスが存在する。これは、間隙１４及びこれに伴い変更される磁力自体を介して調整を行う（自己調整を行う）。軸方向力Ｋ→の値が大きくなるほど、磁石リング対の間の間隙は小さくなる。反発する磁石リング対１５，１６の間の間隙が小さくなるほど、反発の力は大きくなるので、軸方向力Ｋ→に、自己調整するバランスによって相応して反作用が及ぼされる。

【0050】

その上、支承部１１は、インレット２とアウトレット３の間の圧力均衡の際に、永久磁石支承部１３によって予負荷を与えられる。

【符号の説明】

【0051】

１ 真空ポンプ
２ インレット
３ アウトレット
４ ローター
５ ステーター
６ ポンプ効果を発する面
７ ポンプ効果を発する面
８ 軸
９ 支承装置
１０ 支承装置
１１ 傾斜球状支承部（固定支承部）
１２ グルーブ球状支承部（可動支承部）
１３ 永久磁石支承部
１４ 間隙
１５ 磁石リング対
１６ 磁石リング対
１７ 電気的駆動部
１８ 潤滑剤装置
１９ 軸８の円すい形の部分
２０ 潤滑剤リザーバー（フリース）
２１ ホルベックポンプ段
２２ ホルベックポンプ段２１の端部
２３ チャネル
２４ 十字ねじポンプ段
２５ 領域
Ａ 矢印
Ｂ 矢印
Ｃ 矢印
Ｄ 矢印
ｋ＿１ 固定支承部１１の軸方向の強度
ｋ＿２ 磁石支承部１３の軸方向の強度
ｋ＿３ 可動支承部１２の軸方向の強度
Ｋ→ 力

【図1】

【図2】

【図3】