特許 6367920 有機ＥＬ装置の設計方法及び有機ＥＬ装置の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6367920

(24)【登録日】2018年7月13日

(45)【発行日】2018年8月1日

(54)【発明の名称】有機ＥＬ装置の設計方法及び有機ＥＬ装置の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H05B 33/04 20060101AFI20180723BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20180723BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20180723BHJP

【ＦＩ】

   H05B33/04

   H05B33/10

   H05B33/14 A

【請求項の数】3

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2016-507130(P2016-507130)

(86)(22)【出願日】2014年7月9日

(86)【国際出願番号】JP2014003650

(87)【国際公開番号】WO2015136580

(87)【国際公開日】20150917

【審査請求日】2017年2月15日

(31)【優先権主張番号】特願2014-49384(P2014-49384)

(32)【優先日】2014年3月12日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000005821

【氏名又は名称】パナソニック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001900

【氏名又は名称】特許業務法人 ナカジマ知的財産綜合事務所

(72)【発明者】

【氏名】新谷 庸一

(72)【発明者】

【氏名】冨山 達弘

(72)【発明者】

【氏名】筒井 靖貴

【審査官】 本田 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特表２０１４−５００５８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０５９６２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１３−５４４０１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−００７４５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００５−５１０７５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２７２１９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００４−５３７４４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１５／１４７６４６（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ５１／５０ − ５１／５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられ、且つ、吸湿膜の一方の主面が第１被覆膜により被覆され、他方の主面が第２被覆膜により被覆されてなる吸湿層とを備える有機ＥＬ装置の設計方法において、
前記吸湿膜の単位面積当たりに吸湿できる水分の質量を示す吸湿力（ｇ／ｍ²）をＡとし、前記第１及び第２被覆膜の単位面積当たりの欠陥の個数を示す欠陥数（個／ｍｍ²）をＢとしたとき、前記有機ＥＬ層の寿命を考慮して前記Ａと前記Ｂとの関係を求め、
使用する第１及び第２被覆膜の欠陥数ｂを特定し、
特定された前記欠陥数ｂを前記Ｂとし、前記Ａと前記Ｂとの関係とから求められた前記Ａから、使用する吸湿膜の吸湿力ａを設定する
有機ＥＬ装置の設計方法。

【請求項2】

前記Ａと前記Ｂとの関係は、
Ａ／Ｂ≧０．２
である請求項１に記載の有機ＥＬ装置の設計方法。

【請求項3】

有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられ、且つ、吸湿膜の一方の主面が第１被覆膜により被覆され、他方の主面が第２被覆膜により被覆されてなる吸湿層とを備える有機ＥＬ装置の製造方法において、
前記吸湿膜は、請求項１に記載の設計方法で設定された吸湿力ａ以上の吸湿力となるように製造される
有機ＥＬ装置の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、有機ＥＬ層と吸湿層とを備える有機ＥＬ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

有機ＥＬ装置として、例えば、アノード電極とカソード電極との間に有機ＥＬ層を有する表示部をガラス基板上に備える有機ＥＬ表示装置がある。

【0003】

近年、デザイン性やモバイル性に優れた有機ＥＬ表示装置が要求されている。デザイン性に優れた有機ＥＬ表示装置とは、例えば、表示部が湾曲しているような有機ＥＬ表示装置である。モバイル性に優れた有機ＥＬ表示装置とは、例えば、より軽量化された有機ＥＬ表示装置である。

【0004】

上記要求に対して、有機ＥＬ表示装置のガラス基板に変わって、折り曲げ可能な柔軟性を有する樹脂基板（樹脂フィルム）を利用する技術が提案されている（例えば、特許文献１）。しかしながら、樹脂基板は水分に対するバリア性が低く、樹脂基板を介して有機ＥＬ層に水分が浸入すると、発光色が変色したり、ひどい場合には発光しなくなったりする。

【0005】

これに対し、樹脂基板と表示部（有機ＥＬ層）との間に吸湿層を配し、表示部へ浸入しようとする水分を吸収（吸湿）して表示部への水分の浸入を抑制する技術が提案されている（例えば、特許文献２）。

【0006】

この吸湿層は、吸湿膜が一対の被覆膜によって挟まれた構造をしている。被覆膜として、水分透過の度合いを示す水蒸気透過率が低い材料を用い、被覆膜の水分透過を抑えつつ被覆膜を透過した水分を吸湿膜が吸湿して、表示部に水分が浸入するのを防いでいる。なお、吸湿層は、表示部への水分浸入を防止していることから、防水特性を有する防水層とも言える。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００９−０３１７６１号公報

【特許文献2】特表２０１２−５３３１５２号公報

【発明の概要】

【0008】

しかしながら、上記の特許文献２のような低い水蒸気透過率の被覆膜を用いても、有機ＥＬ層の寿命が向上しないことが判明した。つまり、吸湿層の吸湿（防水）特性が不十分であることが判明した。

【0009】

本発明は、有機ＥＬ層への水分の透過をより一層抑制することができる有機ＥＬ装置、当該有機ＥＬ装置の設計方法、当該有機ＥＬ装置の製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一態様に係る有機ＥＬ装置の設計方法は、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられ、且つ、吸湿膜の一方の主面が第１被覆膜により被覆され、他方の主面が第２被覆膜により被覆されてなる吸湿層とを備える有機ＥＬ装置の設計方法において、前記吸湿膜の単位面積当たりに吸湿できる水分の質量を示す吸湿力（ｇ／ｍ²）をＡとし、前記第１及び第２被覆膜の単位面積当たりの欠陥の個数を示す欠陥数（個／ｍｍ²）をＢとしたとき、前記有機ＥＬ層の寿命を考慮して前記Ａと前記Ｂとの関係を求め、使用する第１及び第２被覆膜の欠陥数ｂを特定し、特定された前記欠陥数ｂを前記Ｂとし、前記Ａと前記Ｂとの関係とから求められた前記Ａから、使用する吸湿膜の吸湿力ａを設定する。
発明の効果

【0011】

上記態様に係る設計方法で設計された有機ＥＬ装置は、被覆膜の欠陥について考慮された吸湿性能を有する吸湿膜を備えている。このため、有機ＥＬ層への水分透過を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】第１の実施形態に係る有機ＥＬ装置の構成を模式的に示す断面図である。

【図2】図１に示された吸湿層の構成を模式的に示す断面図である。

【図3】欠陥が存在する吸湿層の構成を模式的に示す断面図である。

【図4】実験に用いた吸湿層の仕様と寿命試験結果を示す図である。

【図5】Ａ／Ｂと推定寿命Ｌとの関係を示す図である。

【図6】第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置の概略構成を模式的に示すブロック図である。

【図7】図６に示された有機ＥＬ表示パネルにおけるサブピクセルの配置形態を模式的に示す平面図である。

【図8】図７におけるＡ−Ａ断面を矢印方向から見た図である。

【図9】有機ＥＬ表示パネルの１サブピクセル部分の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

［本発明の態様］
本発明の一態様に係る有機ＥＬ装置は、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられた吸湿層とを備える有機ＥＬ装置において、前記吸湿層は、吸湿剤を有する吸湿膜と、前記吸湿膜をその膜厚方向の両側から被覆する第１及び第２被覆膜とを有し、前記吸湿膜の単位面積当たりに吸湿できる水分の質量を示す吸湿力（ｇ／ｍ²）をＡとし、前記第１及び第２被覆膜の単位面積当たりの欠陥の個数を示す欠陥数（個／ｍｍ²）をＢとしたとき、Ａ／Ｂ≧０．２の関係式が成り立つ。

【0014】

また、前記欠陥数を示すＢが、Ｂ≦１であってもよい。

【0015】

これにより被覆膜としての防水機能が向上する。

【0016】

また、前記第１及び第２被覆膜は無機膜であってもよい。

【0017】

これにより防水性能の高い吸湿層が得られる。

【0018】

また、前記吸湿剤がゼオライトであってもよい。

【0019】

これにより、吸湿膜の吸湿性能を向上させることができる。

【0020】

一方、本発明の一態様に係る有機ＥＬ装置の設計方法において、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられ且つ吸湿膜の両主面が第１及び第２被覆膜により被覆されてなる吸湿層とを備える有機ＥＬ装置の設計方法において、前記吸湿膜の単位面積当たりに吸湿できる水分の質量を示す吸湿力（ｇ／ｍ²）をＡとし、前記第１及び第２被覆膜の単位面積当たりの欠陥の個数を示す欠陥数（個／ｍｍ²）をＢとしたとき、前記有機ＥＬ層の寿命を考慮して前記Ａと前記Ｂとの関係を求め、使用する第１及び第２被覆膜の欠陥数ｂを特定し、特定された前記欠陥数ｂを前記Ｂとし、前記Ａと前記Ｂとの関係とから求められた前記Ａから、使用する吸湿膜の吸湿力ａを設定する。

【0021】

これにより、目的にあった防水・吸湿機能の吸湿層を備える有機ＥＬ装置を設計できる。

【0022】

また、前記Ａと前記Ｂとの関係は、Ａ／Ｂ≧０．２であってもよい。

【0023】

これにより、有機ＥＬ装置における目標の寿命を満足することができる有機ＥＬ装置を設計できる。

【0024】

一方、本発明の一態様に係る有機ＥＬ装置の製造方法は、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられ且つ吸湿膜の両主面が第１及び第２被覆膜により被覆されてなる吸湿層とを備える有機ＥＬ装置の製造方法において、前記吸湿膜は、上記記載の設計方法で設定された吸湿力ａ以上の吸湿力となるように製造される。

【0025】

これにより、高い防水性能を有する有機ＥＬ装置を製造できる。
［第１の実施形態］
第１の実施形態では、水分吸湿により機能低下を招く機能層を有する装置の概略を説明する。

【0026】

なお、ここでは、機能層として有機ＥＬ層を利用した有機ＥＬ装置について説明する。
１．全体構造
図１は、第１の実施形態に係る有機ＥＬ装置の構成を模式的に示す断面図である。

【0027】

有機ＥＬ装置１は、アノード電極とカソード電極との間に有機ＥＬ層を有する表示部７を有する。

【0028】

有機ＥＬ装置１は、表示部７の少なくとも一方の主面、本実施形態では両主面に吸湿層５，９を有している。つまり、表示部７が吸湿層５，９によりサンドイッチされている。

【0029】

以下、具体的に説明する。

【0030】

有機ＥＬ装置１は、図１に示すように、ベース３、吸湿層５、表示部７、吸湿層９をこの順で備える。ここでは、有機ＥＬ装置１は、吸湿層９における表示部７と反対側に表面被覆層１１を有している。なお、有機ＥＬ装置１の表側は、表面被覆層１１側であり、裏側はベース３側である。
（１）ベース
ベース３は、表示部７等を支持する機能を有する。つまり、ベース３の上面に、吸湿層５、表示部７、吸湿層９及び表面被覆層１１が設けられている（積層されている）。

【0031】

ベース３の材料としては、樹脂材料、セラミック材料、金属材料等を利用できる。本実施形態に係る有機ＥＬ装置１は、折り曲げ可能な柔軟性を有している。このため、ベース３として、柔軟性を有する樹脂材料が好ましく利用される。

【0032】

ベース３は、有機ＥＬ層への水分の影響を考慮すると、水分の透過率（以下、「水蒸気透過率」という。）の低い材料により構成されるのが好ましいが、柔軟性を持たせるために、樹脂材料からなる樹脂フィルムがベース３に好適に利用される。
（２）吸湿層
吸湿層５，９は、有機ＥＬ装置１の表面・裏面から表示部７への水分浸入に対して障壁となる防水機能を有している。この吸湿層５，９の詳細は後述する。
（３）表示部
表示部７は、有機ＥＬ層に浸入した水分や有機ＥＬ層で吸湿された水分によって発光性能が低下する。具体的には、有機ＥＬ層を構成している有機材料の特性変化により、発光性能が低下する。
（４）表面被覆層
表面被覆層１１は、表示部７を被覆する。正確には、表面被覆層１１は、吸湿層９の上面に層状に形成され、間接的に表示部７を被覆する。

【0033】

表面被覆層１１は、有機ＥＬ装置１に機械的衝撃が作用した際に、表示部７に直接的な破損が発生するのを防止する保護機能を有している。表面被覆層１１は、表示部７への水分や酸素等のガスの進入を、完全ではないものの、防止する機能を有する。

【0034】

表面被覆層１１の材料としては、例えば、樹脂材料から構成される樹脂膜や、窒化シリコン等の窒化膜、酸化シリコン等の酸化膜、金属膜等が利用される。有機ＥＬ装置１は、上述したように柔軟性を有する。このため、表面被覆層１１には、柔軟性を有する樹脂材料が利用される。

【0035】

表面被覆層１１は、有機ＥＬ層への水分影響を考慮すると水蒸気透過率の低い材料により構成されるのが好ましいが、柔軟性を持たせるために、樹脂材料が表面被覆層１１に好適に利用される。
２．吸湿層について
図２は、吸湿層の断面を示す図である。
（１）全体
吸湿層５，９は、同じ構成であってもよいし、異なる構成であってもよい。本実施形態では、同じ構成である。吸湿層５，９は、図２に示すように、第１被覆膜２１、吸湿膜２３及び第２被覆膜２５を有する。第１被覆膜２１、吸湿膜２３及び第２被覆膜２５は、互いに密着する状態で積層されている。つまり、吸湿膜２３の両主面（表面・裏面）が一対の被覆膜２１，２５により被覆されている。

【0036】

第１被覆膜２１は外気に近い側（ベース３や表面被覆層１１が存在する側である。）に配され、第２被覆膜２５は表示部７に近い側に配されている。つまり、吸湿層５においては、第１被覆膜２１がベース３に近い側に配されており、吸湿層９においては、第１被覆膜２１が表面被覆層１１に近い側に配されている。

【0037】

第１被覆膜２１は、外気側から吸湿層５，９内部への水分の浸入を抑制する。吸湿膜２３は、第１被覆膜２１により抑制できずに当該被覆膜２１を透過した水分を吸湿する。第２被覆膜２５は、第１被覆膜２１を透過した水分や吸湿膜２３により吸湿されていた水分が表示部７側に浸入するのを抑制する。この構成により、吸湿層５，９は、外気から表示部７に水分が浸入するのを抑制している。
（２）被覆膜
第１及び第２被覆膜２１，２５は、同じ構成であってもよいし、異なる構成であってもよい。本実施形態では、同じ構成である。このため、被覆膜の配置等に関係なく、両者を区別する必要がないときは、第１及び第２被覆膜２１，２５として以下説明する。

【0038】

第１及び第２被覆膜２１，２５は、低水蒸気透過率の材料から構成される。具体的には、ベース３や表面被覆層１１の水蒸気透過率よりも低い材料が第１及び第２被覆膜２１，２５の材料として利用される。より具体的には、第１及び第２被覆膜２１，２５の水蒸気透過率は、４０℃、９０％ＲＨの雰囲気下で、１×１０^-4ｇ／ｍ²／ｄａｙ以上１×１０^-6ｇ／ｍ²／ｄａｙ以下程度である。なお、第１及び第２被覆膜２１，２５の水蒸気透過率はなるべく小さい方が良い。

【0039】

低水蒸気透過率を有する材料として、例えば、無機膜がある。このような無機膜として、例えば、窒化シリコン等の窒化膜、酸化シリコン等の酸化膜、酸窒化シリコン等の酸窒化膜や、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）及び酸化銀等の金属酸化膜等が挙げられる。このような無機膜は、例えば、ＣＶＤ、スパッタ等の真空成膜法により形成される。

【0040】

しかしながら、無機膜で構成される第１及び第２被覆膜２１，２５には、製造上排除することができない微小な欠陥３１（図３参照）が存在する。また、この欠陥３１の発生する箇所は製造工程でコントロールすることは困難であり、欠陥３１の発生箇所に対応して部分的に吸湿膜を設けることは難しい。

【0041】

ここでいう欠陥３１とは、水分を透過させてしまうようなものである。例えば、無機膜を真空成膜法で成膜した場合、局所的に生じたピンホール等が欠陥３１に相当する。
（３）吸湿膜
吸湿膜２３は、主に第１被覆膜２１の欠陥３１を介して吸湿層５，９内に浸入してきた水分を吸湿する。これにより、第１被覆膜２１の欠陥３１から浸入してきた水分が表示部７へ到達するのが抑制される。

【0042】

吸湿膜２３は、基本的には、水分を吸湿する材料から構成される。吸湿膜は、例えば、樹脂材料（吸湿性の高い）、多孔質材料、繊維材料から構成されてもよい。なお、吸湿膜２３の吸湿性能としては、５質量％以上が好ましい。

【0043】

さらに、吸湿膜２３は、吸湿剤を含有する材料により構成されてもよい。ここでは、吸湿膜２３は、図２に示すように、母材２９に吸湿剤２７が混合されて構成されている。

【0044】

吸湿剤２７としては、化学的乾燥剤や物理的乾燥剤等が利用される。化学的乾燥剤は、化学物質の固有の性質（化学反応や潮解）を利用するもので、例えば、酸化カルシウム（ＣａＯ）、塩化カルシウム（ＣａＣｌ）、酸化バリウム（ＢａＯ）、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）等がある。物理的乾燥剤は、多孔質表面に水分子が吸着しやすい性質を利用するもので、例えば、シリカゲル、酸化アルミニウム、モレキュラーシーブ、アロフェン、ゼオライト等がある。

【0045】

母材２９としては、セラミック材料、有機材料等が利用される。セラミック材料としては、例えば、ＹＡＧ（アルミン酸イットリウム）セラミック、アルミナ（酸化アルミニウム）セラミック等がある。

【0046】

有機材料としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂等がある。

【0047】

母材２９の材料は、表示部７の使用用途によって適宜選択される。例えば、表示部７（および吸湿層５，９）に柔軟性が要求される場合は、樹脂材料が好ましく選択される。吸湿層５に透光性が必要とされる場合は、透光性を有する材料が選択される。安価に製造する場合は、有機材料が選択される。
３．性能
発明者らは、種々検討した結果、吸湿層５，９の第１及び第２被覆膜２１，２５として低水蒸気透過率の材料を利用しても、第１及び第２被覆膜２１，２５に欠陥３１が存在するため、第１及び第２被覆膜２１，２５の水分透過を完全に抑制できないと判断した。

【0048】

そこで、発明者らはさらに精鋭検討を進め、吸湿膜２３の吸湿力と第１及び第２被覆膜２１，２５の欠陥数との関係から、表示部７への影響を推定できることを見出した。特に、被覆膜の水蒸気透過率は被覆膜の欠陥と大きく関係していると発明者らは考えたが、単位面積１ｍ²当たりに発生している欠陥数と吸湿力との間に関係を見出せなかった。しかしながら、局所的（単位面積１ｍｍ²）な観察により、欠陥が多く存在する領域の存在を知り、局所的な領域に発生している欠陥数を利用することで、はじめて欠陥数と表示部７
が受ける影響との間の関係を見出することができた。

【0049】

なお、表示部７への影響は具体的には表示部７の寿命（加速度劣化試験）で評価している。これは、吸湿層５，９の実使用における防水性能とも言える。
（１）吸湿力
吸湿能力は、吸湿膜２３の材料固有の能力であり、単位膜厚（単位：１μｍ）、単位面積（単位：１ｍ²）の吸湿膜２３が吸湿できる水分の質量（単位：ｇ）で規定され、単位はｇ／（ｍ²・μｍ）である。例えば、膜厚が５μｍ、面積（投影面積）が３ｍ²の吸湿膜２３が１５ｇの水分を吸湿した場合、吸湿能力は１〔ｇ／（ｍ²・μｍ）〕となる。なお、ここでいう「吸湿能力」は、主として吸湿剤２７の母材２９に対する含有比率によって規定（調整）される。

【0050】

また、吸湿能力に対して吸湿膜２３の膜厚を掛けたもの、つまり、単位面積（単位：１ｍ²）の吸湿膜２３が吸湿できる水分の質量（単位：ｇ）を吸湿力とし、単位はｇ／ｍ²である。例えば、上述の例の膜厚が５μｍ、吸湿能力が１〔ｇ／（ｍ²・μｍ）〕の吸湿膜２３は、５〔ｇ／ｍ²〕の吸湿力を有することになる。

【0051】

なお、吸湿能力・吸湿力は、吸湿膜２３を一旦乾燥させた後に水分を吸湿させて、その質量変化を測定することで求めることができる。また、吸湿剤の吸湿能力が分かっている場合は、その含有量から計算で推測することもできる。
（２）欠陥数
図３は、欠陥が存在する吸湿層を示す模式図である。

【0052】

第１及び第２被覆膜２１，２５には、同図に示すように、製造工程上発生してしまう欠陥３１が存在する。ここでいう、欠陥３１は、上述したように、当該欠陥３１を介して水分が第１及び第２被覆膜２１，２５を透過してしまうようなものである。つまり、表示部７への水分浸入の要因となるものが欠陥３１である。

【0053】

したがって、第１及び第２被覆膜２１，２５に存在する異物３３や凹み３５等は、当該異物３３や凹み３５から水分が浸入しない場合は、ここでいう欠陥３１ではない。

【0054】

欠陥数は、単位面積（単位：１ｍｍ²）に存在する欠陥３１の個数で規定され、その単位は個／ｍｍ²である。
（３）寿命
（３−１）実験結果
吸湿層を備える有機ＥＬ装置（表示部）の寿命試験を行った。寿命試験は、高温・高湿度雰囲気中での加速度劣化試験である。評価は、表示部にダークスポットが生じた時点で表示部の寿命とした。

【0055】

図４は、寿命試験に用いた試料の仕様と寿命試験の結果を示す。

【0056】

寿命試験では、吸湿層の仕様が異なり且つ表示部の仕様が同じである５種類の試料を用いた。

【0057】

図中の用語について説明する。「膜厚ｔ」は吸湿膜の膜厚で、単位は〔μｍ〕である。「吸着能力Ｃ」は、上述した通り、単位面積・単位膜厚当たりの吸湿膜が吸湿する水分の質量を示し、単位は〔ｇ／（ｍ²・μｍ）〕である。「吸着力Ａ」は、単位面積当たりの吸湿膜が吸湿できる水分の質量を示し、単位は〔ｇ／ｍ²〕である。この吸着力Ａは膜厚ｔと吸湿能力Ｃとを掛けたものに等しい。

【0058】

「欠陥数Ｂ」は、第１及び第２被覆膜それぞれの単位面積当たりの欠陥の個数を示し、単位は〔個／ｍｍ²〕である。なお、第１被覆膜が図中の「バリア１」に相当し、第２被覆膜が図中の「バリア２」に相当する。

【0059】

「寿命実験値ｌ（小文字のＬ）」は、ダークスポットが表示部に発生するまでの時間であり、単位は〔ｈ〕である。「推定寿命Ｌ」は、試料１における結果を基準にして算出している。この算出は、「Ａ／Ｂ」と推定寿命Ｌとが比例関係にあることを利用している（図５参照）。

【0060】

例えば、試料２では、バリア１のＡ／Ｂが「０．１３」となっており、試料１のバリアのＡ／Ｂの値である「０．２０」の０．６６７倍である。試料１では、バリアのＡ／Ｂ（バリア１、バリア２、平均とも同じである。）が「２．０」で、寿命実験値ｌが１０００時間であるため、試料２のバリア１の推定寿命Ｌ（ｈ）は、試料１の寿命実験値ｌに対して、試料１のＡ／Ｂと試料２のＡ／Ｂとの比である０．６６７を掛けた、６６６．７（ｈ）としている。

【0061】

図４では、Ａ／Ｂの欄におけるバリア１及びバリア２は、欠陥数Ｂの欄におけるバリア１及びバリア２にそれぞれ対応して算出されており、Ａ／Ｂの欄における平均は、Ａ／Ｂの欄中のバリア１とバリア２の平均である。

【0062】

同様に、推定寿命Ｌの欄におけるバリア１及びバリア２は、Ａ／Ｂの欄におけるバリア１及びバリア２にそれぞれ対応して算出されており、推定寿命Ｌの欄における平均は、推定寿命Ｌの欄中のバリア１とバリア２の平均である。

【0063】

試料に利用した吸湿層は、第１及び第２被覆膜２１，２５に窒化シリコンを利用している。吸湿膜２３は、吸湿剤２７としてゼオライトが、母材２９としてアクリル系樹脂がそれぞれ利用されている。

【0064】

図４に示すように、加速度劣化試験は、吸湿膜の膜厚ｔ、欠陥数Ｂがそれぞれ異なる試料１〜５で行っている。なお、基準としている試料１では、バリア１，２に関係なく、「Ａ／Ｂ」が０．２で、このときの寿命実験値ｌは１０００ｈである。

【0065】

試料１以外の他の試料でも、図４に示すように、試料１のＡ／Ｂと寿命実験値ｌの結果から推定した推定寿命Ｌと、実際の実験値である寿命実験値ｌとが略一致していることが分かる。

【0066】

図５は、Ａ／Ｂと推定寿命Ｌとの関係を示す図である。

【0067】

寿命は、図５に示すように、Ａ／Ｂと略比例関係にあることが分かる。また、寿命が、実験値と推測値とで略一致していることも分かる。
（３−２）ＡとＢとの関係式
寿命は、上述のようにＡ／Ｂと略比例関係にある。

【0068】

以下、ＡとＢとの関係について説明する。なお、ここでのＡ、Ｂ等は上述した吸湿力Ａと、被覆膜の欠陥数Ｂである。

【0069】

まず、リファレンスとして、１つのＡ_R／Ｂ_Rと、そのときの寿命ｌ_Rとが求まると、例えばＡ／Ｂを変数としたときの推定寿命Ｌが、下記の（１）式により算出できる。

【0070】

Ｌ＝（ｌ_R／（Ａ_R／Ｂ_R））×（Ａ／Ｂ） （１）
なお、リファレンスとしての上記Ａ_R／Ｂ_R、寿命ｌ_Rは、少なくとも試料を１つ作成して実験することで得られる。ここで、リファレンスの「ｌ_R／（Ａ_R／Ｂ_R）」の値は、推定寿命ＬとＡ／Ｂとの関係において、直線の傾きに相当する。

【0071】

（１）式を変形すると、
Ａ／Ｂ＝（（Ａ_R／Ｂ_R）／ｌ_R）×Ｌ （２）
となる。

【0072】

ここで、加速度劣化試験における寿命Ｌとして、実機における有機ＥＬ装置（表示部）の目標寿命に相当する値が設定されれば、吸湿力Ａと欠陥数Ｂとの関係が式（２）から得られる。

【0073】

「Ｂ」で表された欠陥数は、製造工程上発生する欠陥であり、実験等により予め把握して特定することができる。具体的には、実験等により、被覆膜の欠陥数が「ｂ」と特定されると、当該被覆膜の欠陥数が「ｂ」のときの吸湿膜２３の吸湿力「ａ」は、（２）式を基にした式（３）により得られる。

【0074】

ａ＝ｂ×（（Ａ_R／Ｂ_R）／ｌ_R）×Ｌ （３）
また、Ａは、吸湿能力Ｃおよび吸湿膜の膜厚ｔから、下記（４）式により算出できる。

【0075】

Ａ＝Ｃ×ｔ （４）
このため、具体的な仕様である吸湿力「ａ」を用いると、
ｔ＝ａ／Ｃ （５）
となり、膜厚ｔが得られる。

【0076】

このようにして、実験により、Ａ_R／Ｂ_R及び寿命ｌ_Rを求め、装置に必要される加速度劣化試験の寿命Ｌが設定されると、使用する吸湿層の仕様が決定される。
（３−３）具体例
上記の関係式について以下に具体的に説明する。

【0077】

ここでは、リファレンスとして試料２の実験結果を利用して説明する。

【0078】

試料２では、Ａ_R／Ｂ_Rの平均の値が「０．１０」であり、そのときの寿命実験値ｌ_Rは「５００」である。ここで、本実施形態での有機ＥＬ装置における加速度劣化試験での目標寿命Ｌは、１０００（ｈ）以上である。

【0079】

これらを（２）式に代入すると、
Ａ／Ｂ≧（（０．１）／５００）×１０００
Ａ／Ｂ≧０．２
となる。これにより、変数として吸湿力Ａと変数としての欠陥数Ｂとの関係が得られる。

【0080】

ここで、被覆膜の欠陥数Ｂを実験等により調査すると、概ね、１個以下であり、「ｂ＝１」と特定すると、実際に使用すべき吸湿膜の吸湿力ａが
ａ≧０．２
となる。

【0081】

ここで、吸湿膜の膜厚ｔは、吸湿能力Ｃが、試料１〜４と同じ０．１〔ｇ／（ｍ²・μｍ）〕の場合、式（５）より、
ｔ≧０．２／０．１
ｔ≧２
となる。

【0082】

一方、吸湿能力Ｃを、試料１〜４の吸湿性能よりも高い０．２〔ｇ／（ｍ²・μｍ）〕とする場合、吸湿膜の膜厚ｔは、式（５）より、
ｔ≧０．２／０．２
ｔ≧１
となる。
４．設計方法
上述のように、リファレンスとして、吸湿層における吸着力Ａ_Rと欠陥数Ｂ_Rと、寿命実験値ｌ_Rとが求まると、有機ＥＬ装置の目標寿命（Ｌ）を満たすための吸湿層を設計することができる。

【0083】

次に、この設計方法について詳しく説明する。

【0084】

この防水膜の設計は、以下の（ｉ），（ｉｉ），（ｉｉｉ）の手順により
行われる。
（ｉ）吸湿膜の単位面積当たりに吸湿できる水分の質量を示す吸湿力〔ｇ／ｍ²〕をＡとし、第１及び第２被覆膜の単位面積当たりの欠陥の個数を示す欠陥数〔個／ｍｍ²〕をＢとしたとき、「Ａ」と「Ｂ」との関係を求める。

【0085】

具体的には、吸湿層における吸着力Ａ_Rと欠陥数Ｂ_Rと有機ＥＬ装置の寿命実験値ｌ_Rとを求め、装置の目標寿命Ｌとから、ＡとＢとの関係を求める。この関係式は、例えば、（２）式により求められる。

【0086】

ここで、欠陥は、バリア１（第１被覆膜）とバリア２（第２被覆膜）とについてそれぞれ存在する。リファレンスとしての欠陥数Ｂは、バリア１の欠陥数であってもよいし、バリア２の欠陥数であってもよいし、バリア１とバリア２の平均値であってもよい。さらには、バリア１とバリア２との欠陥数のうち、大きい方としてもよい。当然、リファレンスとして大きい方の欠陥数を採用すると、小さい方の欠陥数を採用した場合および平均値を採用した場合と比較して、吸湿膜２３の膜厚がより大きくなり、寿命がより長くなるように設計されることになる。

【0087】

また、第１及び第２被覆膜の厚みが異なる場合も、上述のように、リファレンスとしての欠陥数は、バリア１の欠陥数であってもよいし、バリア２の欠陥数であってもよいし、バリア１とバリア２の平均値であってもよい。さらには、バリア１とバリア２との欠陥数のうち、大きい方としてもよい。

【0088】

さらに、欠陥数は、１ｍｍ²の欠陥の個数を示しているが、この欠陥数は、複数箇所の平均であってもよいし、複数個所の最大値であってもよい。最大値を採用する場合、平均を採用する場合と比較して、表示部（有機ＥＬ装置）の寿命がより長くなるように設定される。
（ｉｉ）使用する第１及び第２被覆膜の欠陥数ｂを特定する。

【0089】

具体的には、実験等を行うことで欠陥数Ｂを求める。その際、製造工程上のバラツキ等を考慮して「ｂ」が特定される。例えば、試作品の欠陥数から統計的に「ｂ」を特定してもよい。
（ｉｉｉ）特定された欠陥数ｂを「Ｂ」とし、「Ａ」と「Ｂ」との関係とから求められた「Ａ」から、使用する吸湿膜の吸湿力ａを設定する。

【0090】

具体的には、式（３）より求められる。

【0091】

このような設計方法を、有機ＥＬ装置の製造方法に適用すると、目標の寿命を満たす吸湿層を備える有機ＥＬ装置を製造できる。

【0092】

有機ＥＬ装置の製造方法は、例えば、次のような製造方法とすることができる。即ち、有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の少なくとも一方の主面側に設けられ且つ吸湿膜の両主面が第１及び第２被覆膜により被覆されてなる吸湿層とを備える有機ＥＬ装置の製造方法であって、吸湿膜が上記の設計方法で設定された吸湿力ａ以上の吸湿力となるように製造される。
［第２の実施形態］
第２の実施形態では、有機ＥＬ表示装置について説明する。
１．概略構成
第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０１の概略構成について、図６及び図７を用い説明する。

【0093】

図６は、第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０１の概略構成を示す模式ブロック図である。図７は、有機ＥＬ表示パネル１１０におけるサブピクセル１０ａ〜１０ｃの配置形態を示す模式平面図である。

【0094】

図６に示すように、有機ＥＬ表示装置１０１は、有機ＥＬ表示パネル１１０と、これに接続された駆動・制御部１２０とを備えている。有機ＥＬ表示パネル１１０は、有機材料の電界発光現象を利用した有機ＥＬパネルである。ここでは、有機ＥＬ表示パネル１１０の表示面は湾曲している。

【0095】

図７に示すように、複数のサブピクセル（副画素）１０ａ〜１０ｃがＸ軸方向及びＹ軸方向に二次元配置されている。第２の実施形態においては、例えば、サブピクセル１０ａが赤色光（Ｒ）を出射し、サブピクセル１０ｂが緑色光（Ｇ）を出射し、サブピクセル１０ｃが青色光（Ｂ）を出射する。

【0096】

そして、Ｘ軸方向に隣接する３つのサブピクセル１０ａ〜１０ｃの組み合わせを以って、表示機能としての１つのピクセル（画素）が構成されている。

【0097】

なお、有機ＥＬ表示パネル１１０は、図７に示すように、井桁状のバンク（所謂、「ピクセルバンク」である。）１５７を有し、有機ＥＬ層がバンク１５７によって区画された領域に形成されている。

【0098】

また、後述するように、有機ＥＬ層上には少なくともアノードまたはカソードが形成されているため、本来平面視において有機ＥＬ層は見えないが、図７においては、バンク１５７により区画された領域を表すためにハッチングを施している。

【0099】

図６に戻って、駆動・制御部１２０は、４つの駆動回路１２１〜１２４と制御回路１２５とから構成されている。なお、有機ＥＬ表示装置１０１における有機ＥＬ表示パネル１１０と駆動・制御部１２０との配置関係については、図６に示された形態には限定されない。

【0100】

また、表示機能としてのピクセルの構成については、図７に示すような３つのサブピクセル１０ａ〜１０ｃの組み合わせからなる形態に限定されず、４つ以上のサブピクセルの組み合わせを以って１つのピクセルが構成されるとしてもよい。
２．有機ＥＬ表示パネル１１０の構成
図８は、図７におけるＡ−Ａ断面を矢印方向から見た図である。

【0101】

有機ＥＬ表示パネル１１０は、図８に示すように、一対の吸湿層１３３，１３５によって表示部１３１が挟まれた状態でベース１３７上に配されている。複数のサブピクセル１０ａ〜１０ｃは、表示部１３１内において平面視２次元的に設けられている。各サブピクセル１０ａ〜１０ｃが形成されるサブピクセル領域は、図７に示すように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にマトリクス状に開口が設けられ、全体形状が井桁状をするバンク１５７により、例えば矩形状に区画された領域である。

【0102】

表示部１３１は、図８に示すように、ＴＦＴ基板１５１上に絶縁層１５３が積層されている。絶縁層１５３のＺ軸方向上面は、略平坦となるように形成されている。なお、ＴＦＴ基板１５１については、ＴＦＴ層などの図示を省略し、簡略化した図としている。絶縁層１５３のＺ軸方向上面のサブピクセル領域には、アノード１５５が積層形成されている。

【0103】

次に、絶縁層１５３上及びアノード１５５のＸ軸方向両縁上を覆うようにバンク１５７が形成されている。バンク１５７により区画されたサブピクセル領域には有機ＥＬ層１５９がアノード１５５の上面に積層形成されている。

【0104】

有機ＥＬ層１５９上ならびにバンク１５７の側面上部及び頂面上を覆うように、カソード１６１が形成されている。カソード１６１の上面には、吸湿層１３５が形成されている。吸湿層１３５は、第２被覆膜１４５、吸湿膜１４３及び第１被覆膜１４１を有している。

【0105】

吸湿層１３５の上面には、表面被覆層１６３が形成されている。表面被覆層１６３は、表示部１３１を被覆して保護する機能を有する。

【0106】

本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０は、トップエミッション型であり、図８の矢印のようにＺ軸方向上向きの光を出射する。
３．有機ＥＬ表示パネル１１０の各構成材料
（１）ベース
ベース１３７は、折り曲げ可能な柔軟性を有する必要がある。ベース１３７は第１の実施形態のベース３と同様に、柔軟性を有する材料として、例えば樹脂材料が好ましく利用されている。ここでは、ベース１３７として、ポリカーボネートフィルムが利用されている。
（２）吸湿層
吸湿層１３３は、第１の実施形態と同様に、第１被覆膜１４１と吸湿膜１４３と第２被覆膜１４５とを有し、これらが積層された構造を有する。換言すると、吸湿層１３３は、一対の被覆膜１４１，１４５により吸湿膜１４３がサンドイッチされた（挟まれた）構造を有する。

【0107】

第１及び第２被覆膜１４１，１４５は、低水蒸気透過率の材料からなる。水蒸気透過率は、４０℃、９０％ＲＨの雰囲気下で、１×１０^-4ｇ／ｍ²／ｄａｙ以上１×１０^-6ｇ／ｍ²／ｄａｙ以下であるが、小さい方が好ましい。なお、第１及び第２被覆膜１４１，１４５には、製造上排除することができない局所的な欠陥が存在する。

【0108】

第１及び第２被覆膜１４１，１４５には、無機材料からなる無機膜が利用される。第１及び第２被覆膜１４１，１４５に利用される無機膜は、例えば、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸化シリコン（ＳｉＯ２）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）等の薄膜や、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の金属膜等である。ここでは、第１被覆膜１４１，１４５には、窒化シリコン（ＳｉＮ）膜が利用されている。

【0109】

吸湿膜１４３は、第１及び第２被覆膜１４１，１４５の欠陥を介して浸入してきた水分を吸湿する。吸湿膜１４３は、母材内に吸湿剤が混合されてなる。ここでは、吸湿剤としては酸化アルミニウムが、母材としては有機材料であるアクリル系樹脂がそれぞれ利用されている。
（３）表示部
（３−１）ＴＦＴ基板
ＴＦＴ基板１５１は、基板と、当該基板のＺ軸方向上面に形成されたＴＦＴ層とから構成されている。ＴＦＴ層については、図示を省略しているが、ゲート、ソース、ドレインの３電極と、半導体層、パッシベーション膜などを含み構成されている。

【0110】

ＴＦＴ基板１５１のベースとなる基板は、樹脂基板等を用い形成されている。樹脂基板としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂いずれの樹脂を用いてもよい。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルベンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリオ共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、プリシクロヘキサンテレフタレート（ＰＣＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、ポリフェニレンオキシド、変形ポリフェニレンオキシド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、又はこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうち１種、又は２種以上を積層した積層体を用いることができる。
（３−２）絶縁層
絶縁層１５３は、例えば、ポリイミド、ポリアミド、アクリル系樹脂材料などの有機化合物を用い形成されている。ここでは、絶縁層１５３は、有機溶剤耐性を有することが好ましい。

【0111】

また、絶縁層１５３は、製造工程中において、エッチング処理、ベーク処理等が施されることがあるので、それらの処理に対して過度に変形や変質などを生じない高い耐性を有する材料を用い形成されることが望ましい。
（３−３）アノード
アノード１５５は、銀（Ａｇ）又はアルミニウム（Ａｌ）を含む金属材料から構成されている。トップエミッション型の本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０の場合には、その表面部が高い反射性を有することが好ましい。

【0112】

なお、アノード１５５については、上記のような金属材料からなる単層構造だけではなく、金属層と光透過性導電層との積層体を採用することもできる。光透過性導電層の構成材料としては、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）などを用いることができる。
（３−４）バンク
バンク１５７は、樹脂等の有機材料を用い形成されており、絶縁性を有する。バンク１５７の形成に用いられる有機材料の例としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等があげられる。
（３−５）有機ＥＬ層
有機ＥＬ層１５９は、ホールと電子とが注入され再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。有機ＥＬ層１５９の形成に用いられる材料は、湿式印刷法により製膜できる発光性の有機材料である。

【0113】

具体的には、例えば、特許公開公報（日本国・特開平５−１６３４８８号公報）に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体などの蛍光物質で形成されることが好ましい。
（３−６）カソード
カソード１６１は、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）若しくは酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）などを用い形成される。本実施形態のように、トップエミッション型の本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０の場合においては、ＩＴＯ，ＩＺＯといった光透過性の材料で形成されることが必要となる。
（４）吸湿層
吸湿層１３５は、吸湿層１３３と同じ材料で構成してもよいし、別の材料で構成してもよい。ここでは、吸湿層１３５は、上述の吸湿層１３３と同じ材料で構成されている。なお、吸湿層１３５は、トップエミッション型である有機ＥＬ表示パネル１１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが必要となる。
（５）表面被覆層
表面被覆層１６３は、表示部１３１を被覆する。表面被覆層１６３は、表示部１３１が衝撃等により破損するのを防止する保護機能や、表示部１３１が直接水分や空気に晒されることを抑制する機能を有する。

【0114】

表面被覆層１６３は、例えば、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）などの材料を用い形成される。また、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）などの材料を用い形成された層の上に、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂などの樹脂材料をさらに形成した多層構造としてもよい。

【0115】

表面被覆層１６３は、トップエミッション型である本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル１１０の場合においては、光透過性の材料で形成されることが必要となる。
［第３の実施形態］
吸湿層は、水分の吸湿により何らかの性能低下を招いてしまう機能部に対して有効である。第２の実施形態では、ベース１３７として可撓性を有する樹脂フィルムを用いたが、ベースの材料として従来からのガラス材料を利用してもよい。第３の実施形態では、ベースにガラス材料を用い、表層に吸湿層を設けた有機ＥＬ装置（有機ＥＬ表示装置）について説明する。
１．全体構造
図９は、有機ＥＬ表示パネル２０１の１サブピクセル部分の断面図である。

【0116】

有機ＥＬ表示パネル２０１は、ベース２０３上に設けられた表示部２０５が吸湿層２０７により被覆された構造を有する。なお、複数のサブピクセルは、第２の実施形態と同様に、表示部２０５内において平面視２次元的に設けられている。第３の実施形態でも、第２の実施形態と同様に、Ｒ，Ｇ，Ｂ各色用のサブピクセルは、基本構成が同じであるため、以下の説明においては、発光色によって特に区別しない。
２．各部構成
（１）ベース
ベース２０３は、第２の実施形態のベース１３７と異なり、湾曲自在でない、つまり、実施レベルで可撓性を有しない材料により構成されている。ベース２０３は、ここでは、ガラス材料により構成されている。ガラス材料は、第２の実施形態で説明した樹脂材料のベース１３７と異なり水蒸気透過率が低い。このため、ベース２０３と表示部２０５との間には、吸湿層を設ける必要はない。但し、ベース２０３と表示部２０５との間に吸湿層を設けてもよく、その場合は、表示部２０５の寿命をより長くできたり、ベース２０３の膜厚を薄くできたりする利点がある。
（２）表示部
表示部２０５は、ＴＦＴ基板２１１をベースとして、その上に絶縁層２１３が積層されている。絶縁層２１３の上面のサブピクセル領域には、アノード２１５が形成されている。絶縁層２１３上及びアノード２１５のＸ軸方向両縁上を覆うようにバンク２１７が形成され、当該バンク２１７により区画された領域に有機ＥＬ層２１９が形成されている。

【0117】

有機ＥＬ層２１９上ならびにバンク２１７の側面上部及び頂面上を覆うように、カソード２２１が形成されている。
（３）吸湿層
吸湿層２０７は、第２の実施形態と同様に、第１被覆膜２３１、吸湿膜２３３及び第２被覆膜２３５を有する構造をしている。

【0118】

ここでは、第１及び第２被覆膜２３１，２３５は、無機材料から構成され、例えば、窒化シリコン膜が利用されている。吸湿膜２３３は、吸湿剤としてゼオライトの粒子が利用され、母材としての樹脂材料として、ポリカーボネートが利用されている。

【0119】

なお、ここでは、表示部２０５に接する（又は表示部２０５に近い側に配された）第１被覆膜２３１の膜厚は、第２被覆膜２３５の膜厚よりも厚くなっている。
（４）表面被覆層
表面被覆層２０９は、ここでは、無機材料、例えば、窒化シリコン膜により構成されている。なお、吸湿層の第２被覆膜２３５を無機材料で構成してもよく、その場合、第２被覆膜２３５が表面被覆層の役割を兼ねてもよい。
［変形例］
１．有機ＥＬ層
第２及び第３の実施形態では、吸湿層は、有機ＥＬ層への水分の浸入を抑制する目的で設けられているが、これに限られない。吸湿層は、有機ＥＬ層以外の機能層への水分浸入を抑制する目的にも適用できる。つまり、本来有している機能が水分吸湿により低下してしまうような機能層であれば、吸湿層により機能層への水分の浸入を抑制することにより、機能層の機能低下を抑制することができる。

【0120】

このような機能層を含むような例としては、ＴＦＴ層、薄膜コイル、薄膜トランジスタ、有機トランジスタ、薄膜フィルタ等の電子部品他、電子ペーパ、太陽電池、薄膜リチウムイオン電池等の電子デバイスの機能部等がある。
２．吸湿層
（１）構造
第１，第２，および第３の実施形態においては、表示部の一主面に対して設けられる吸湿層は一層だけであったが、これに限られない。例えば、表示部等の一主面に対して多層に吸湿層を設けてもよい。これにより、防水特性をより向上させることができる。

【0121】

さらに、第１，第２，および第３の実施形態においては、吸湿層が、１つの吸湿膜に対して第１被覆膜と第２被覆膜とを備える構成について説明した。具体的には、第１の実施形態における吸湿層５は、吸湿膜２３の一方の主面に第１被覆膜２１を、他方の主面に第２被覆膜２５を備えている。第２の実施形態における吸湿層１３３および１３５は、吸湿膜１４３の一方の主面に第１被覆膜１４１を、他方の主面に第２被覆膜１４５を備えている。第３の実施形態における吸湿層２０７は、吸湿膜２３３の一方の主面に第１被覆膜２３１を、他方の主面に第２被覆膜２３５を備えている。しかし、本発明の一態様に係る吸湿層の構成は、これらに限られない。

【0122】

吸湿膜の両主面に１以上の被覆膜があればよく、吸湿膜の各主面に複数の被覆膜があってもよい。このとき、両主面側の被覆膜の層数は同じでもよいし、異なっていてもよい。さらには、各被覆膜が同じ構成でもよいし、異なる構成でもよい。

【0123】

さらに、吸湿層は、複数の吸湿膜を備えてもよく、例えば、被覆膜、吸湿膜、被覆膜、吸湿膜、被覆膜のように積層された構成でもよい。このとき、複数の吸湿膜は、同じ構成でもよいし、異なる構成でもよい。
（２）吸湿膜
第１の実施形態における吸湿膜２３、第２の実施形態における吸湿膜１４３、および第３の実施形態における吸湿膜２３３は、それぞれ一種類の吸湿剤２７を含んでいる。しかしながら、吸湿膜は、１つの膜内に複数種類の吸湿剤を含んでもよい。また、吸湿膜を多層用いる場合、各層において、同じ種類の吸湿剤を用いて、異なる種類の母材を用いてもよいし、逆に、各層において、異なる吸湿剤を用いて、同じ種類の母材を用いてもよい。
（３）吸湿剤
第１，第２，第３の実施形態における吸湿剤２７は、水分（水蒸気）を吸収（吸湿）するものである。しかしながら、水蒸気以外の気体（酸素等）を吸収するものであってもよい。この場合においても、吸収すべき対象物の吸着性能を実験等により把握することで、被覆膜の欠陥を考慮した寿命設計が可能となる。
３．デバイス
第１の実施形態における有機ＥＬ装置１、第２の実施形態に係る有機ＥＬ表示装置１０１の有機ＥＬ表示パネル１１０、および第３の実施形態に係る有機ＥＬ表示パネル２０１は、それぞれ、表示部（７，１３１，２０５）に対して、１つ又は２つの吸湿層（５，９，１３３，１３５，２０７）を備えている。しかしながら、有機ＥＬ装置は、表示部の一部の構成を、吸湿層における表示部に近い側の被覆膜と兼用することもできる。

【0124】

例えば、第２の実施形態の表示部１３１は、カソード１６１を有している。このカソード１６１を、例えば、スパッタリングによって形成される酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）の金属酸化膜とした場合、この金属酸化膜を吸湿層における機能部に近い側の第２被覆膜１４５として利用することもできる。
４．表示部
第２及び第３の実施形態における表示部１３１，２０５について、基本的な構成を説明したが、表示部は、例えば、ホール注入層、ホール輸送層、電子輸送層、電子注入層等を備えてもよい。

【0125】

また、第２及び第３の実施形態における表示部１３１，２０５は、トップエミッションタイプであったが、ボトムエミッションタイプであってもよい。この場合、ベースに透光性材料を用い、ベースに近い側の電極（下部電極。第２，第３の実施形態においてはアノード１５５，２１５）として光透過性電極を、ベースから遠い側の電極（上部電極。第２，第３の実施形態においてはカソード１６１，２２１）として光反射性電極をそれぞれ用いる必要がある。

【0126】

第２及び第３の実施形態では、ベース１３７，２０３側にアノード１５５，２１５を配したが、例えば、ベース側にカソードを配してもよい。

【0127】

第２の実施形態では、有機ＥＬ表示装置をカラー有機ＥＬ表示装置として説明している。しかしながらこれに限られず、上記各実施形態および各変形例の構成は、例えば単色表示の有機ＥＬ表示装置にも適用することができる。

【0128】

さらに、上記各実施形態および各変形例の構成は、調光・調色機能を有する有機ＥＬ発光装置に適用することもできる。つまり、本発明の一態様に係る有機ＥＬ装置は、ディスプレイとしての機能を主に有する有機ＥＬ表示装置に適用できるほか、照明としての機能を主に有する有機ＥＬ発光装置にも適用可能である。有機ＥＬ発光装置として適用される場合、表示部はディスプレイ機能を有さないので、言わば発光部となる。

【産業上の利用可能性】

【0129】

本発明は、水分吸湿によって機能低下を生じる有機ＥＬ層への水分浸入を防止するのに有用である。

【符号の説明】

【0130】

１ 有機ＥＬ装置
５ 吸湿層
７ 表示部
９ 吸湿層
２１ 第１被覆膜
２３ 吸湿膜
２５ 第２被覆膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】