(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本実施形態を、図面を用いて説明する。説明には、相互に直交するX軸、Y軸、Z軸からなる直交座標系を用いる。
【0011】
図1は、本実施形態に係るインクジェットヘッド10を示す斜視図である。インクジェットヘッド10は、シェアモードシェアードウォール型のインクジェットヘッドである。このインクジェットヘッド10は、ベース基板20、フレーム30、オリフィスプレート40を有している。
【0012】
図2は、
図1に示されるインクジェットヘッド10の展開斜視図である。
図2に示されるように、ベース基板20は、長手方向をX軸方向とする長方形板状の部材である。ベース基板20は、例えばアルミナからなり、Y軸方向中央部には、X軸に沿って4つの開口21が形成されている。また、開口21の−Y側には、X軸に沿って4つの開口22
1が形成され、開口21の+Y側には、X軸に沿って4つの開口22
2が形成されている。本実施形態に係るインクジェットヘッド10では、開口21の内径の方が、開口22の内径よりもやや大きい。
【0013】
ベース基板20の上面には、2つの駆動ユニット50
1,50
2が配置されている。
図2に示されるように、駆動ユニット50
1は、開口21と開口22
1の間に配置され、駆動ユニット50
2は、開口21と開口22
2の間に配置されている。
【0014】
図3は、駆動ユニット50の一部を拡大して示す図である。
図3に示されるように、駆動ユニット50は、ベース基板20の上面に接着されるベース材51と、ベース材51に支持される複数の圧電素子53を有している。
【0015】
ベース材51は、ZY断面が台形で、長手方向をX軸方向とする部材である。ベース材51は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。このベース材51の上面には、上方(+Z方向)に突出する突出部51aが、X軸に沿って等間隔に形成されている。ベース材51の下面は、接着剤によって、ベース基板20の上面に接着されている。
【0016】
圧電素子53は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするピエゾ素子である。圧電素子53は、ZY断面が台形で、ベース材51に形成された突出部51aの上面に接着されている。
【0017】
圧電素子53とベース材51に形成された突出部51aは、アクチュエータ50aを構成している。上述したように、アクチュエータ50aを構成する圧電素子53と突出部51aは、ともに圧電材料からなる。そして、圧電素子53と突出部51aの分極方向はZ軸に平行であり、圧電素子53の極性と突出部51aの極性は逆になっている
駆動ユニット50では、隣接する1組のアクチュエータ50aの間が、圧力室Sとなっている。また、本実施形態では、
図2に示されるように、駆動ユニット50
1のアクチュエータ50aの配列ピッチと、駆動ユニット50
2のアクチュエータ50aの配列ピッチは等しいが、駆動ユニット50
2のアクチュエータ50aの位置が、−X方向へオフセットしている。このため、駆動ユニット50
1の圧力室Sに対して、駆動ユニット50
2の圧力室Sは、アクチュエータ50aの配列ピッチAPの1/2(=AP/2)だけ、−X方向にオフセットしている。
【0018】
また、
図1乃至
図3では、図示が省略されているが、
図4示さるように、各圧力室Sの内壁面から、ベース基板20の上面にかけて、電極パターン60が形成されている。この電極パターン60は、例えば、ニッケル膜からなるパターンであり、アクチュエータ50aに電圧を印加するための電極として機能する。
【0019】
各電極パターン60に選択的に電圧を印加することで、
図5に示されるように、直線的になっているアクチュエータ50aを、
図6に示されるように、屈曲させることができる。アクチュエータ50aが屈曲すると、圧力室Sの体積が小さくなる。
【0020】
図2に戻り、フレーム30は、長手方向をX軸方向とする部材である。フレーム30は、例えば、セラミックやアルミナ、又は、表面が絶縁材料によって被覆されたアルミニウム或いはステンレスなどの金属からなる。また、フレーム30は、ベース基板20よりも一回り小さい。
【0021】
フレーム30の中央には、開口31が形成されている。開口31の内壁面には、外側に向かって窪む8つの凹部32が形成されている。フレーム30は、
図7に示されるように、ベース基板20に接着される。この状態のときには、フレーム30の内壁面に形成された凹部32に、ベース基板20に形成された開口22が位置した状態になる。
【0022】
図2に戻り、オリフィスプレート40は、ポリイミド等を素材とし、長手方向をX軸方向とする長方形のシートである。オリフィスプレート40のX軸方向の大きさは、フレーム30のX軸方向の大きさに等しい。また、オリフィスプレート40のY軸方向の大きさは、フレーム30のY軸方向の大きさに等しい。
【0023】
このオリフィスプレート40には、X軸に沿って等間隔に円形の開口41
1が形成されている。また、開口41
1の+Y側には、Y軸に沿って等間隔に円形の開口41
2が形成されている。開口41は、インクジェットヘッド10を循環するインクを、紙などの記録媒体に吐出するためのノズルとして機能する。これらの開口41の配列ピッチは、
図2に示されるアクチュエータ50aのX軸方向の配列ピッチに等しい。
【0024】
オリフィスプレート40は、
図1に示されるように、フレーム30の上面に接着される。
図5を参照するとわかるように、この状態のときには、オリフィスプレート40に設けられた開口41が、アクチュエータ50aによって規定される圧力室Sそれぞれの上方に位置する。
【0025】
上述のように構成されるベース基板20、フレーム30、オリフィスプレート40は、ベース基板20の上面にフレーム30が接着され、フレーム30の上面と駆動ユニット50の圧電素子53の上面とにオリフィスプレート40が接着されることで一体化される。
【0026】
オリフィスプレート40が接着される際には、まずオリフィスプレート40の下面に、接着剤が塗布される。
図8に着色して示されるように、接着剤は、オリフィスプレート40の下面の領域R1と領域R2に塗布される。領域R1は、フレーム30に重なる領域である。また、領域R2は、アクチュエータ50aの圧電素子53に重なる部分と圧力室に面する部分にわたる領域である。
【0027】
領域R1と領域R2に接着剤が塗布されることで、領域R1と領域R2に接着剤からなる接着層42が形成される。オリフィスプレート40は、接着層42を介して、フレーム30の上面、及び圧電素子53の上面に接着される。接着剤としては、熱硬化性、或いは紫外線硬化性を有する接着剤を用いることが考えられる。
【0028】
接着剤は、厚さが5μm以下程度となるように均一に塗布するのがよく、例えば、厚さが3.5μm以下となるように塗布するのが好ましい。硬化前の接着層42の厚さが5μmを上回ると、接着時に接着剤が流動して、硬化した接着層42の厚さが不均一になるおそれがあるからである。
【0029】
図9は、
図1に示されるインクジェットヘッド10のAA断面を示す図である。
図9に示されるように、ベース基板20、フレーム30、オリフィスプレート40が一体化されたときには、圧力室Sの上方がオリフィスプレート40によって塞がれた状態になる。
【0030】
これにより、ベース基板20に形成される開口21,22と、駆動ユニット50の圧力室Sとの間をインクが循環するための流路が形成される。
図9に実線で示されるように、インクジェットヘッド10では、ベース基板20の開口21から流入したインクは、駆動ユニット50の圧力室Sを通過して、ベース基板20の開口22から流出する。
【0031】
また、インクが、
図9に実線で示されるように循環しているときに、
図4に示される電極パターン60に選択的に電圧を印加すると、アクチュエータ50aが、
図5に示される状態から、
図6に示される状態に変形する。これにより、
図9の白抜き矢印に示されるように、オリフィスプレート40に形成された開口41からインクが吐出する。
【0032】
次に、上述のように構成されたインクジェットヘッド10の製造方法について説明する。まず、ベース基板20と同じ素材からなる基板200を準備する。そして、
図10に示されるように、この基板200に、機械加工を施して、開口21,22を形成(型成形)する。
【0033】
次に、
図11を参照するとわかるように、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするシート510と、シート530とが張り合わされることにより形成されたシートブロック500
1,500
2を用意する。
【0034】
これらのシートブロック500
1,500
2は、長手方向をX軸方向とする直方体状の部材である。シートブロック500
1,500
2を構成するシート510,530の分極方向はシート510,530の法線に平行な方向(Z軸方向)であり、本実施形態では、シート510の極性が+Z方向となり、シート530の極性が−Z方向となっている。
【0035】
次に、2つのシートブロック500
1,500
2を、例えば、熱硬化性を有する接着剤或いは紫外線硬化性を有する接着剤を用いて、ベース基板20の上面に接着する。これにより、
図11に示されるように、シートブロック500
1,500
2は、開口21と開口22の間に固定される。
【0036】
次に、ダイシングソーを用いて、シートブロック500
1,500
2それぞれの+Y側の側面及び−Y側の側面が、
図12に示されるように、斜めになるように、シートブロック500
1,500
2それぞれを整形する。これにより、シートブロック500
1,500
2それぞれは、YZ断面が台形の角柱状に整形される。
【0037】
次に、
図13に示されるように、ダイヤモンドソーを用いて、シートブロック500
1,500
2それぞれに、Y軸に平行な溝500aを等間隔に複数形成する。なお、溝500aは、Y軸に平行でなくてもよい。シートブロック500
1,500
2それぞれを構成するシート530は、溝500aが形成されることにより、小片に分割される。シート530が分割されることにより形成される小片は、
図3に示される圧電素子53となる。また、シート510には、溝500aが形成されることで、突出部51aが形成される。これにより、アクチュエータ50aが形成される。
【0038】
次に、隣接するアクチュエータ50aの間から基板200の上面に、
図4に示される電極パターン60を形成する。具体的には、まず、シートブロック500及び基板200の表面全体にレジスト層を形成する。そして、このレジスト層を露光して、レジスト層にパターンを焼き付けた後、レジスト層を現像する。これにより、レジスト層のうちの露光されていない部分が溶解し、レジスト層に、電極パターン60が形成される部分が露出する開口部が形成される。
【0039】
次に、レジスト層に形成された開口部から露出するシートブロック及び基板200に例えばニッケルからなる金属層を形成する。そして、レジスト層を除去する。これにより、
図4に示されるように、各圧力室Sの内壁面から、ベース基板20の上面にわたって、電極パターン60が形成される。以上の工程を経て、
図2に示されるベース基板20が完成する。
【0040】
次に、
図14に示されるように、ベース基板20の上面に、フレーム30を接着するとともに、フレーム30の上面に、オリフィスプレート40となるシート400を接着する。これにより、
図5に示されるように、アクチュエータ50aとシート400によって囲まれる部分に圧力室Sが形成される。
【0041】
次に、シート400の上面にレーザ光を照射して、シート400の上方から圧力室Sに通じる開口41を形成する。本実施形態では、
図8に示されるように、オリフィスプレート40の下面のうち、圧力室Sに面する部分にも接着剤による接着層42が形成されている。オリフィスプレート40に開口41を形成する際に照射されるレーザ光によって、接着層42にも、
図5或いは
図6に示されるように、開口42aが形成される。開口41が形成されたシート400は、
図9に示されるように、開口41がノズルとなったオリフィスプレート40となる。
【0042】
インクジェットヘッド10は、以上の工程を経て、製造される。このインクジェットヘッド10は、電極パターン60に、ドライバICが接続され、ベース基板20の開口21,22に、インク循環系が接続される。
【0043】
以上説明したように、本実施形態では、フレーム30とオリフィスプレート40の接着に用いられる接着剤が、
図8に示されるように、アクチュエータ50aに重なる部分と圧力室Sに面する部分にわたる領域R2に塗布される。このため、オリフィスプレート40を、アクチュエータ50aの圧電素子53に接着したときに、濡れ性や粘性により接着剤が、オリフィスプレート40と圧電素子53の間からはみ出して、圧電素子53の側面にまわりこむことがなくなる。
【0044】
例えば、従来のように、圧電素子53の上面に接着剤を塗布し、オリフィスプレート40を圧電素子53に接着すると、
図15に示されるように、接着剤が、オリフィスプレート40と圧電素子53の間からはみ出して、圧電素子53の側面にまわりこんでしまうことがある。この場合、圧電素子53の側面にまわりこむ接着剤の量が、アクチュエータ50a相互間でばらつくと、ノズルとなる開口41の周囲に不均一に接着剤が分布することになる。この場合には、インクを吐出したときに、インクの量や、インクの吐出方向が、ノズル相互間で不均一になる。
【0045】
一方、本実施形態では、接着剤が、オリフィスプレート40と圧電素子53の間からはみ出して、圧電素子53の側面にまわりこむことがなくなる。このため、オリフィスプレート40に形成される開口41の周囲には、
図5に示されるように、厚みが均一の接着層42が分布することになる。このため、開口41の周囲では、オリフィスプレート40の厚さが、接着層42の分だけ見かけ上厚くなるが、厚さは均一になる。
【0046】
したがって、インクジェットヘッド10のノズル相互間で、吐出するインクの量や、インクの吐出方向のばらつきが少なくなり、結果として、精度よく画像を形成することが可能となる。
【0047】
特に、解像度が高い画像を形成するためのインクジェットヘッドでは、圧電素子53同士の間隔が小さくなる。この場合には、ノズルから吐出するインクの量や、インクの吐出方向は、ノズル周囲の接着剤の分布の影響を大きく受ける。本実施形態では、ノズルとなる開口41の周囲に形成される接着層42の厚さが均一になるため、精度よくインクを吐出することが可能となる。
【0048】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態によって限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、
図8に示されるように、オリフィスプレート40の下面のうち、圧力室Sに面する部分全部に接着層42が形成されている場合について説明した。これに限らず、一例として、
図16に着色して示されるように、圧力室Sに面する部分全部ではなくて、圧力室Sに面する部分のうち、ノズルとなる開口41が形成される部分を包囲するように、接着層42を形成することとしてもよい。
【0049】
この場合にも、ノズルとなる開口41の周囲に形成される接着層42の厚さが均一になるため、精度よくインクを吐出することが可能となる。また、接着層42が、開口41を包囲するように形成されていれば、オリフィスプレート40の下面全部に接着層42が形成されていてもよい。
【0050】
上記実施形態では、ベース基板20やフレーム30が、セラミックやアルミナ等から形成されている場合について説明した。ベース基板20及びフレーム30の素材は、上記材料に限定されるものではなく、例えば樹脂等であってもよい。
【0051】
上記実施形態では、オリフィスプレート40が、ポリイミド等からなる場合について説明した。これに限らず、オリフィスプレート40は、ポリイミド以外の金属や樹脂から構成されていてもよい。
【0052】
上記実施形態に係るインクジェットヘッド10は一例であり、ベース基板20に形成される開口21,22の数や、アクチュエータ50aの数は、インクジェットヘッド10の用途や解像度に応じて、適宜変更することができる。
【0053】
次に、上述したインクジェットヘッドを用いたインクジェット記録装置70について説明する。
図17は、インクジェット記録装置70を示す図である。このインクジェット記録装置70には、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの4色のインクジェットヘッド10C、10M、10Y、10Kが用いられる。これらのインクジェットヘッド10C、10M、10Y、10Kは、上述したインクジェットヘッド10と同等の構成のものである。
【0054】
インクジェット記録装置70は、例えば記録媒体である用紙Pを搬送しながら、画像形成等の各種処理を行う装置である。インクジェット記録装置70は、筐体80と、筐体80内部に設けられる給紙カセット71と、筐体80の上部に設けられる排紙トレイ72と、用紙Pを保持した状態で回転する保持ローラ73と、給紙カセット71から保持ローラ73を経由し、排紙トレイ72にわたって形成される搬送路A1に沿って用紙Pを搬送する搬送装置74と、保持ローラ73から剥離した用紙Pの表裏面を反転させて再び保持ローラ73に供給する反転装置78と、を備える。
【0055】
保持ローラ73の周りには、上流側から下流側に向かって順番に、用紙Pを保持ローラ73の外面に押圧することで、用紙Pを保持ローラ73の表面(外周面)に吸着させる保持装置75と、保持ローラ73に保持された用紙Pに画像を形成する画像形成装置76と、用紙Pを除電して保持ローラ73から剥離する除電剥離装置77と、保持ローラ73をクリーニングするクリーニング装置79と、が設けられている。
【0056】
搬送装置74は、搬送路A1に沿って設けられた複数のガイド部材81〜83や、複数の搬送用ローラ84〜89を備えている。搬送用ローラとしては、ピックアップローラ84、給紙ローラ対85、レジストローラ対86、分離ローラ対87、搬送ローラ対88、排出ローラ対89が設けられている。これらの搬送用ローラ84〜89は、搬送用モータに駆動されることで回転する。これにより、用紙Pは、搬送路A1に沿って下流側に送られる。
【0057】
搬送路A1におけるレジストローラ対86のニップ近傍には、用紙Pの先端位置を検知する用紙位置センサ107が設けられている。さらに、ユーザによって各種の項目が設定可能なオペレーションパネルが設けられている。また、インクジェット記録装置70の内部には、インクジェット記録装置70の内部の温度を検出する温度センサ108が設けられている。そのほか、用紙Pの搬送状況を監視するためのセンサなどが各所に配置されている。
【0058】
保持ローラ73は、回転軸71aと、アルミニウムからなる円筒状の円筒フレーム91と、円筒フレーム91の表面に形成された絶縁層92と、を備えている。円筒フレーム91は、接地されていて、帯電ローラ97による帯電時には対抗電極として電位が0Vに保持される。保持ローラ73は、用紙Pを保持した状態で回転することにより用紙Pを搬送する。ここでは、
図8に示される矢印に示される向きに回転することにより、用紙Pを時計回りに搬送する。
【0059】
保持装置75は、用紙Pを保持ローラ73に対して押圧する押圧装置93と、静電気により用紙Pを保持ローラ73に吸着させる吸着装置94と、を備えている。
【0060】
押圧装置93は、回転軸95cと、保持ローラ73の表面に対向して配置される押圧ローラ95(押圧部材)と、押圧ローラ95を駆動する押圧モータと、を備えている。
【0061】
押圧ローラ95は、回転することにより、保持ローラ73の表面を第1の押圧力で押し付ける第1状態と、第1の押圧力よりも小さい第2の押圧力で押し付ける第2状態と、保持ローラ73から離間して押圧力が解除される第3状態とに遷移する。
【0062】
押圧ローラ95と保持ローラ73間にかかる力は、用紙Pが変形せず、また、画質が低下しないような適正値に設定される。用紙Pが保持ローラ73と押圧ローラ95のニップ部を通過する際に、押圧ローラ95により用紙Pが保持ローラ73に押し付けられる。これにより、用紙Pが保持ローラ73に密着する。
【0063】
押圧ローラ95の外周面は、絶縁材からなる絶縁層95bで覆われ、帯電した用紙Pの電荷が押圧ローラ95を介してリークしないようになっている。
【0064】
吸着装置94は、押圧ローラ95の下流側に配置される帯電ローラ97を備えている。帯電ローラ97は、帯電可能な金属製の帯電軸97aと帯電軸97aの外周に形成された表層部97bと、を有し、保持ローラ73に対向して配置されている。この帯電ローラ97に対しては、電荷の供給が可能である。また、帯電ローラ97は、保持ローラ73に対して、移動可能になっている。
【0065】
帯電ローラ97が保持ローラ73に近接した状態で、帯電ローラ97に電力が供給されると、帯電ローラ97と接地された円筒フレーム91との間に電位差が生じる。その結果、用紙Pを保持ローラ73に吸着させる方向の静電気力が発生(帯電)する。この静電気力により、用紙Pは、保持ローラ73の表面に吸着する。
【0066】
画像形成装置76は、保持ローラ73の上方に配置された4つのインクジェットヘッド10C、10M、10Y、10Kを備えている。4色のインクジェットヘッド10C、10M、10Y、10Kは、用紙Pにインクを吐出する。これにより用紙Pに画像が形成される。
【0067】
除電剥離装置77は、用紙Pの除電を行う除電装置101と、除電後に保持ローラ73の表面から用紙Pを剥離する剥離装置102と、を備えている。
【0068】
除電装置101は、画像形成装置76よりも下流側に設けられ、帯電可能な除電ローラ103を備えている。除電装置101は、電荷を供給して用紙Pを除電することで、用紙Pを保持ローラ13から剥離しやすい状態にする。
【0069】
剥離装置102は、除電装置101の下流側に設けられ、移動可能な分離爪105を備えている。分離爪105は、用紙Pと保持ローラ73の間に挿入される剥離位置と、保持ローラ73から退避する退避位置との間で移動可能である。分離爪105は、剥離位置に配置されたときに、用紙Pを保持ローラ73の表面から剥離する。なお、
図8では、剥離位置にある分離爪105が破線で示され、退避位置にある分離爪105が実線で示されている。
【0070】
クリーニング装置79は、除電剥離装置77よりも下流側に設けられている。クリーニング装置79は、保持ローラ73に当接する当接位置と保持ローラ73から退避する離間位置とで移動動作可能なクリーニング部材と、クリーニング部材を動作させるクリーニングモータとを備えている。クリーニング部材が、保持ローラ73の表面に当接した状態で、保持ローラ73が回転することにより、保持ローラ73の表面がクリーニングされる。
【0071】
反転装置78は、剥離装置102の下流側に設けられ、剥離装置102で剥離された用紙Pを反転させて再び保持ローラ73の表面上に供給する。反転装置78は、例えば用紙Pを前後方向逆にスイッチバックさせる所定の反転経路に沿って用紙Pを案内することにより、用紙Pを反転させる。
【0072】
上述したインクジェット記録装置70は、インクジェットヘッド10と同等の構成を有するインクジェットヘッド10C、10M、10Y、10Kを備えている。このため、インクを、記録媒体としての用紙Pに対して、精度よく吐出することができる。したがって、記録媒体に精度よく印刷を行うことが可能となる。
【0073】
本発明の実施形態を説明したが、上記実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施しうるものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。