特許 6369242 ペースト材印刷装置、マスク、スキージおよびペースト材印刷方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6369242

(24)【登録日】2018年7月20日

(45)【発行日】2018年8月8日

(54)【発明の名称】ペースト材印刷装置、マスク、スキージおよびペースト材印刷方法

(51)【国際特許分類】

   B41N 1/24 20060101AFI20180730BHJP

   B41F 15/08 20060101ALI20180730BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20180730BHJP

【ＦＩ】

   B41N1/24

   B41F15/08 303E

   H05K3/34 505D

【請求項の数】10

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2014-181898(P2014-181898)

(22)【出願日】2014年9月8日

(65)【公開番号】特開2016-55468(P2016-55468A)

(43)【公開日】2016年4月21日

【審査請求日】2017年8月9日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004237

【氏名又は名称】日本電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109313

【弁理士】

【氏名又は名称】机 昌彦

(74)【代理人】

【識別番号】100124154

【弁理士】

【氏名又は名称】下坂 直樹

(72)【発明者】

【氏名】百川 裕希

【審査官】 村田 顕一郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０６−０２４１６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１３６６７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／０７６７６２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００２−２００７３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１４８１４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０１−３００５８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０５６６９９７０（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ４１Ｎ １／００−９９／００

Ｂ４１Ｍ １／１２

Ｂ４１Ｆ １５／００−１５／４６

Ｈ０５Ｋ ３／３４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設け、
前記接触面に、前記母材および前記第１部材とは異なる摩擦係数の第２の部材の第２摩擦変更部をさらに設ける
ことを特徴とするペースト材印刷装置。

【請求項2】

前記第１摩擦変更部が前記母材に設けられた充填部に前記第１部材が充填される
ことを特徴とする請求項１に記載のペースト材印刷装置。

【請求項3】

前記充填部が前記母材を貫通する、または前記接触面から所定の深さを備える
ことを特徴とする請求項２に記載のペースト材印刷装置。

【請求項4】

前記第１部材が前記接触面にメッキ、蒸着、または塗布される
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のペースト材印刷装置。

【請求項5】

前記母材より前記第１部材の前記摩擦係数が大きい
ことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のペースト材印刷装置。

【請求項6】

マスク母材およびスキージ母材のうち少なくとも一方が前記母材である
ことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のペースト材印刷装置。

【請求項7】

ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設け、
前記接触面に、前記母材および前記第１部材とは異なる摩擦係数の第２の部材の第２摩擦変更部をさらに設ける
ことを特徴とするマスク。

【請求項8】

ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設け、
前記接触面に、前記母材および前記第１部材とは異なる摩擦係数の第２の部材の第２摩擦変更部をさらに設ける
ことを特徴とするスキージ

【請求項9】

ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設け、
前記第１摩擦変更部が前記母材に設けられた所定の深さを備える充填部に前記第１部材が充填される
ことを特徴とするペースト材印刷装置。

【請求項10】

母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部をペースト材との接触面に設け、
前記母材および前記第１部材とは異なる摩擦係数の第２の部材の第２摩擦変更部を前記ペースト材との接触面に設けて、
前記母材と前記第１摩擦変更部および前記第２摩擦変更部が前記ペースト材と接触して前記ペースト材を印刷する
ことを特徴とするペースト材印刷方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ペースト材印刷装置、マスク、スキージおよびペースト材印刷方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、電子機器の小型化、薄型化に伴って、電子機器に用いられる電子部品の小型化、薄型化および高集積化の動きが活発である。

【0003】

電子部品には様々な形態のものがある。上述の動きの中で、半導体部品では、ＢＧＡ（Ball Grid Array）やＣＳＰ（Chip Scale Package）などの表面実装用ＬＳＩ（Large Scale Integrated circuits）パッケージが多用され、小型化、薄型化、多ピン化および狭ピッチ化が図られている。また、抵抗、コンデンサなどの角形チップタイプの電子部品についても微細化の対応が図られている。

【0004】

そのため、半導体部品やチップタイプの電子部品の基板への実装では、基板の導通部の微細化に対応して、これまで以上に精度の高いペースト材の供給が求められる。

【0005】

特許文献１には、スキージの移動に伴うペースト材のローリング回転速度を増大させる方法と印刷装置が開示されている。特許文献１の技術は、ローリングの略中心部に備えられたローラによってローリング回転速度を増大させて、ペースト材のローリングを促進する技術である。

【0006】

特許文献２には、単一のマスクを使用して同一基板上に厚みの異なるペースト材を供給する方法とマスクの構造が開示されている。特許文献２の技術では、紫外線硬化性樹脂あるいは紫外線軟化性樹脂よりなる樹脂層を備えた印刷マスクが用いられる。特許文献２の技術は、選択的に紫外線照査された領域と照射されなかった領域にある各開口部の近傍の樹脂層がスキージの移動により弾性変形するか否かによって、各開口部へのペースト材の供給量を変える技術である。

【0007】

特許文献３には、マスクからのペースト材の抜け性を改善するためのマスクの構造が開示されている。特許文献３の技術は、マスクのスキージ面側の開口部の外周部に連続した凹部を設けることで、ペースト材の抜け性を改善する技術である。

【0008】

特許文献４には、バネ性のある金属薄板スキージを用いた印刷機が開示されている。特許文献４の技術は、ペースト材に接する面に所定の深さの凸凹部を設けたバネ性の金属薄板スキージによりペースト材のローリングを促進する技術である。

【0009】

なお、ペースト材のローリングを促進することは、ペースト材の「チクソ性」を増すこととなる。「チクソ性」とは、粘度の高い液体または流体に負荷（力）を加えると流動性が生じ、負荷を無くすと粘度が回復する性質のことをいう。ペースト材はチクソ性を備えている。そのため、ペースト材のローリングを促進することは、ペースト材の流動性をさらに高めて、マスクに設けられた開口部へのペースト材の供給を容易化することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２０１０−２６０２９３号公報（第３−５頁、図１−４）

【特許文献2】特開２００８−０７８５７１号公報（第５−７頁、図２）

【特許文献3】特開２００５−０３９１２４号公報（第３−６頁）

【特許文献4】特開平０１−３００５８９号公報（第２、３頁、図１、３）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

特許文献１の技術は、ペースト材のローリング回転速度をローリングの略中心部に備えられたローラによって増大させるため、ローリングを促進することができる。しかし、ローラを備えることは、印刷用ヘッドを複雑化する。

【0012】

特許文献２の技術は、単一のマスクの厚みを樹脂層の弾性変形を使用して同一基板上に厚みの異なるペースト材を印刷する技術であり、ペースト材のローリングを促進することは期待できない。

【0013】

特許文献３の技術は、マスクのスキージ面側の開口部に連続した凹部を設けて、ペースト材のローリングを促進し、ペースト材の抜け性を改善する技術である。特許文献４の技術は、スキージに凸凹部を設けることで、ペースト材のローリングを促進する技術である。

【0014】

このように、特許文献１、３および４の技術は、印刷用ヘッド、マスクあるいはスキージの構造を変更して、ペースト材のローリングを促進する。しかし、特許文献１、３および４の技術は、印刷用ヘッドを複雑化し、マウスやスキージに凹部や凹凸部を設けるため、スキージが凹凸に引っかかり、滑らかなスキージの移動を妨げ、スキージの損耗を招いたり、印刷性を損なったりする課題がある。また、印刷用ヘッド、マスクおよびスキージへのペースト材の残存を許容してしまう。そのため、特許文献１、３および４の技術には、印刷用ヘッド、マスクおよびスキージの清浄性を損なうという課題がある。

【0015】

本発明の目的は、上記の課題に鑑みてなされたもので、ペースト材印刷装置の清浄性を確保して、ペースト材のローリングを促進できるペースト材印刷装置、マスク、スキージおよびペースト材印刷方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0016】

本発明のペースト材印刷装置は、ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設けることを特徴とする。

【0017】

本発明のマスクは、ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設けることを特徴とする。

【0018】

本発明のスキージは、ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設けることを特徴とする。

【0019】

本発明のペースト材印刷方法は、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部をペースト材との接触面に設けて、母材と第１摩擦変更部がペースト材と接触してペースト材を印刷することを特徴とする。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、ペースト材印刷装置の清浄性を確保して、ペースト材のローリングを促進できる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の第１の実施形態のペースト材印刷装置の構成例を示した断面説明図である。

【図2】本発明の第１の実施形態の印刷工程を例示した説明図である。

【図3】本発明の第１の実施形態のマスクを例示した説明図である。

【図4】本発明の第１の実施形態のマスクの他の例を示した説明図である。

【図5】本発明の第１の実施形態のマスクの他の例を示した説明図である。

【図6】本発明の第２の実施形態のペースト材印刷装置の構成例を示した断面説明図である。

【図7】本発明の第３の実施形態のペースト材印刷装置の構成例を示した断面説明図である。

【図8】本発明の第４の実施形態のペースト材印刷装置の構成例を示した断面説明図である。

【図9】本発明の第４の実施形態のスキージを例示した説明図である。

【図10】本発明の第４の実施形態のスキージの他の例を示した説明図である。

【図11】本発明の第５の実施形態のペースト材印刷装置の構成例を示した断面説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下に、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態のペースト材印刷装置１の構成例を示した断面説明図である。

【0023】

図１を参照して、本実施形態のペースト材印刷装置１について説明する。ペースト材印刷装置１は、ワーク（図示せず）にペースト材３０を印刷するためのマスク１０と、ペースト材３０を「スキージング」するスキージ２０を備える。スキージングについては後述する。

【0024】

マスク１０は、マスク母材１０ａと、ワークにペースト材３０を印刷するための印刷開口部１０ｂと、マスク母材１０ａとは摩擦係数の異なる部材が充填部１０ｃに充填された摩擦変更部４０を備える。摩擦変更部４０はスキージングの上流部分に形成する。

【0025】

スキージ２０は、マスク１０との間にペースト材３０を挟んで、ペースト材３０に下方向への印圧をかけながらマスク１０の表面を左方向から右方向にペースト材３０を移動させる。

【0026】

このとき、マスク１０の表面上のペースト材３０には、スキージ２０からの印圧とマスク１０からの摩擦力を受けて、左方向へのペースト材の流れ３０ａが発生する。そして、スキージ２０に遮られたペースト材３０には、スキージ２０からの印圧に対するマスク１０からの反発力とスキージ２０からの摩擦力を受けて、スキージ２０の表面に沿って右上方向へのペースト材の流れ３０ａが発生する。さらに、スキージ２０の上辺付近のペースト材３０には、重力によりスキージ２０の表面を離れて右下方向へ向きを変えたペースト材の流れ３０ａが発生する。

【0027】

このように、ペースト材３０には、スキージ２０によってマスク１０の表面を移動させられることにより、上述のペースト材の流れ３０ａが、それぞれ発生する。そのため、ペースト材３０には、それぞれのペースト材３０の流れ３０ａの大きな流れとして、全体的ローリング３０ｂが発生する。スキージングとは、スキージ２０がマスク１０の表面を移動し、上述のようにペースト材３０を移動させることである。

【0028】

ペースト材３０は、スキージ２０によりスキージングされ、ローリングされることによって流動性が高められる。流動性が高められたペースト材３０は、マスク１０の印刷開口部１０ｂから所定の位置に印刷される。

【0029】

マスク１０は、マスク母材１０ａとは摩擦係数が異なる部材が充填された摩擦変更部４０を備える。そのため、ペースト材３０には、マスク母材１０ａと摩擦変更部４０の境界で摩擦係数が異なることにより、マスク１０から受ける摩擦力が局所的に不連続となり負荷が発生する。負荷の発生により、マスク１０の表面のペースト材の流れ３０ａには、局所的ローリング３０ｃが発生する。局所的ローリング３０ｃの発生により、ペースト材３０の流動性がさらに高められて、印刷開口部１０ｂへのペースト材３０の供給が容易化される。

【0030】

図２は、本実施形態の印刷工程を例示した説明図である。図２を参照して、ペースト材印刷装置１の印刷工程を説明する。

【0031】

図２（ａ）では、ペースト材３０が印刷されるワーク１００が準備される。ワーク１００は、表面に導通部１０１を備える。図２（ｂ）では、準備されたワーク１００の上に、マスク１０が位置合わせされて載せられる。

【0032】

図２（ｃ）では、マスク１０の表面の左側にスキージ２０とペースト材３０が準備され、スキージ２０がペースト材３０を右方向にスキージングする。これによって、ペースト材３０には、前述したように全体的ローリング３０ｂと、摩擦変更部４０による局所的ローリング３０ｃが発生する。局所的ローリング３０ｃが発生することによって、ペースト材３０のローリングが促進されて、印刷開口部１０ｂからワーク１００の所定の導通部１０１にペースト材３０が印刷される。

【0033】

図２（ｄ）では、マスク１０がワーク１００から離される。このとき、ワーク１００の導通部１０１の所定の箇所にはマスク１０から抜けた所定量の被印刷ペースト材３１が印刷されて残る。このように、ペースト材印刷装置１は、ペースト材３０をワーク１００に印刷する。

【0034】

図３は、本実施形態のマスクを例示した説明図である。図３を参照して、マスク１０について説明する。

【0035】

図３（ａ）は、図２（ｃ）で説明したスキージ２０による印刷工程の図である（ワーク１００は図示せず）。図３（ｂ）は、マスク１０がスキージ２０およびペースト材３０と接触する面である。図３（ｂ）のマスク１０のＡ−Ａ’線での断面が図３（ａ）のマスク１０である。

【0036】

マスク１０は、マスク母材１０ａに印刷開口部１０ｂと摩擦変更部４０を備える。マスク１０には、丸型の摩擦変更部４０が、複数、格子状に配列される。スキージ２０によってスキージングされたペースト材３０は、複数の摩擦変更部４０によって流動性を高められて、各印刷開口部１０ｂに供給される。

【0037】

図４は、本実施形態のマスクの他の例を示した説明図である。図４を参照して、マスク１１について説明する。

【0038】

図４（ａ）は、図２（ｃ）で説明したスキージ２０による印刷工程の図（ワーク１００は図示せず）に対して、マスク１０がマスク１１に変更された図である。図４（ｂ）は、マスク１１がスキージ２０およびペースト材３０と接触する面である。図４（ｂ）のマスク１１のＡ−Ａ’線での断面が図４（ａ）のマスク１１である。

【0039】

マスク１１は、マスク母材１１ａに印刷開口部１１ｂと摩擦変更部４１を備える。マスク１１には、長方形の摩擦変更部４１が、複数、列状に配列される。スキージ２０によってスキージングされたペースト材３０は、複数の摩擦変更部４１によって流動性を高められて、各印刷開口部１１ｂに供給される。

【0040】

図５は、本実施形態のマスクの他の例を示した説明図である。図５を参照して、マスク１２について説明する。

【0041】

図５（ａ）は、図２（ｃ）で説明したスキージ２０による印刷工程の図（ワーク１００は図示せず）に対して、マスク１０がマスク１２に変更された図である。図５（ｂ）のマスク１２では、図４（ｂ）で説明したマスク１１に、さらに図３（ｂ）で説明した丸型の摩擦変更部４０が、複数、印刷開口部１２ｂの周辺部に格子状に配置される。図５（ｂ）のマスク１２のＡ−Ａ’線での断面が図５（ａ）のマスク１２である。

【0042】

マスク１２は、マスク母材１２ａに印刷開口部１２ｂと丸型の摩擦変更部４０と長方形の摩擦変更部４１を備える。スキージ２０によってスキージングされたペースト材３０は、複数の摩擦変更部４０と４１によってさらに流動性を高められて、各印刷開口部１２ｂに供給される。

【0043】

このように、本実施形態では、マスク母材に設けられた充填部にマスク母材とは異なる摩擦係数の部材が充填された摩擦変更部の近傍で、ペースト材の局所的ローリングが発生する。全体的ローリングに加えて局所的ローリングが発生することによって、ペースト材のローリングが促進される。そのため、本実施形態は、ペースト材の流動性がさらに高められ、印刷開口部へのペースト材の供給を容易化することができる。なお、マスク表面の摩擦変更部の平坦性が確保されているので、マスクへのペースト材の残存はなく、マスクの清浄性は確保される。

【0044】

以上、本実施形態のペースト材印刷装置は、清浄性を確保して、ペースト材のローリングを促進することができる。

【0045】

なお、本実施形態では、マスク母材とは摩擦係数が異なる部材による摩擦変更部を設けると説明したが、摩擦変更部の部材の摩擦係数はマスク母材の摩擦係数に対して大きくてもよいし、小さくてもよい。すなわち、マスク母材と摩擦変更部に接触して移動するペースト材に摩擦変更部の近傍で前述の局所的ローリングが発生させられればよい。そのため、摩擦変更部の部材の摩擦係数がマスク母材の摩擦係数と異なっていればよい。

【0046】

さらに、本実施形態では、マスク母材に対して、摩擦係数の大きい摩擦変更部と、摩擦係数の小さい摩擦変更部が混在して設けられてもよい。なお、マスクの全体的摩擦力を大きくしてペースト材の全体的ローリングを促進する上では、摩擦変更部の部材の摩擦係数はマスク母材の摩擦係数より大きい方が望ましい。

【0047】

また、本実施形態では、マスク母材の材質は限定されないが、一般的にメタルマスク母材として用いられている、ステンレス鋼やニッケル、ニッケル合金などを用いることができる。摩擦変更部の部材としては、マスク母材の摩擦係数とは異なる摩擦係数である、エポキシ等の樹脂や異種の金属を用いることができる。

【0048】

また、本実施形態では、摩擦変更部の表面形状は、丸型または長方形として説明した。しかし、摩擦変更部の表面形状は、丸型や長方形に限定されない。すなわち、摩擦変更部は、前述したようにマスク母材と摩擦変更部とでペースト材に局所的ローリングが発生させられればよい。そのため、摩擦変更部の表面形状は、例えば、ひし形や星形、三角形でもよいし、略ドーナツ形状でもよい。略ドーナツ形状の摩擦変更部の内側に印刷開口部があってもよい。さらに、摩擦変更部の表面形状のサイズや組合せも限定されない。例えば、摩擦変更部は、大きい丸型と小さい丸型のものや、丸型と矩形のものが、それぞれ、混在して設けられてもよい。そして、摩擦変更部の数量は印刷開口部より先にスキージングされる配置のものが１つ以上あればよい。

【0049】

また、本実施形態では、摩擦変更部の平面配置形状は、格子状や列状など規則的に配置して説明した。しかし、摩擦変更部の平面配置形状は、格子状や列状などの規則的な配置に限定されない。すなわち、摩擦変更部の平面配置形状は、印刷開口部と干渉しなければよい。したがって、摩擦変更部は、印刷開口部と混在して配置されてもよく、千鳥格子状や不規則に配置されてもよいし、各配置形状が組合せられてもよい。そして、摩擦変更部相互の間隔についても限定されない。

【0050】

このように、摩擦変更部の表面形状やサイズ、組合せ、数量、平面配置形状、相互の間隔は、摩擦変更部がペースト材に局所的ローリングを発生させるものであればよく、上記のように、それぞれ、限定されない。そして、様々な摩擦変更部がマスクに設けられることで、様々な局所的ローリングが発生され、ペースト材のローリングがさらに促進される。そのため、ペースト材の流動性がさらに高められ、より微細な印刷開口部へのペースト材の供給が容易化される。

【0051】

例えば、印刷開口部や印刷開口部の相互の間隔において、より精細さが要求されるとき、精細さの度合いに対応して、摩擦変更部を密に設けて、ペースト材の流動性をより高めることができる。

【0052】

また、本実施形態の充填部の断面形状は限定されない。すなわち、充填部に充填される部材によって摩擦変更部がマスク表面に設けられればよく、充填部の断面形状は限定されない。例えば、充填部の断面形状は、テーパ形状や段付き形状、鼓形状であってもよい。充填部の断面形状がテーパ形状や段付き形状、鼓形状とすることで、充填部の加工が容易となる、充填部への部材の充填が容易となる、あるいは充填された部材の脱落を抑制するなどの効果が得られる。

【0053】

また、本実施形態のペースト材はペースト材のローリングを促進することで流動性が高められるものであればよい。例えば、ペースト材ははんだペースト材でもよいし、印刷インキペースト材でもよい。
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態について説明する。図６は、本発明の第２の実施形態のペースト材印刷装置２の構成例を示した断面説明図である。

【0054】

図６を参照して、本実施形態のペースト材印刷装置２について説明する。ペースト材印刷装置２は、図１で説明したマスク１０がマスク１３に変更されていることが、第１の実施形態と相違する。よって、第１の実施形態と同一の構成要素には同一の参照番号を付記して、その説明を省略する。

【0055】

マスク１３は、マスク母材１３ａと、ワーク（図示せず）にペースト材３０を印刷するための印刷開口部１３ｂと、マスク母材１３ａとは摩擦係数の異なる部材が充填部１３ｃに充填された摩擦変更部４２を備える。充填部１３ｃは、図１で説明したマスク１０の充填部１０ｃとは異なり、マスク１０を貫通しない。摩擦変更部４２は、所定の深さの充填部１３ｃにマスク母材１３ａとは摩擦係数の異なる部材が充填される。したがって、マスク１３は、摩擦変更部４２によって局所的ローテーション３０ｃを発生させ、ペースト材３０のローテーションを促進することができる。

【0056】

以上、本実施形態のマスクは、摩擦変更部によって局所的ローテーションを発生させ、ペースト材のローテーションを促進するので、前述の実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態では、充填部がマスクを貫通しないため、充填部材の使用量が削減され、マスクの強度の低下が抑制される。

【0057】

なお、本実施形態の充填部のマスク表面からの深さは限定されない。すなわち、充填部に充填される部材によって摩擦変更部がマスク表面に設けられればよく、充填部の深さは限定されない。
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態について説明する。図７は、本発明の第３の実施形態のペースト材印刷装置３の構成例を示した断面説明図である。

【0058】

図７を参照して、本実施形態のペースト材印刷装置３について説明する。ペースト材印刷装置３は、図２で説明したマスク１３がマスク１４に変更されていることが、第２の実施形態と相違する。よって、第２の実施形態と同一の構成要素には同一の参照番号を付記して、その説明を省略する。

【0059】

マスク１４は、マスク母材１４ａと、ワーク（図示せず）にペースト材３０を印刷するための印刷開口部１４ｂと、マスク母材１４ａとは摩擦係数の異なる部材がマスク母材１４ａの表面にメッキされた摩擦変更部４３を備える。摩擦変更部４３は、図１や図６で説明したマスクの充填部１０ｃや１３ｃをマスクに設けず、マスク母材１４ａとは摩擦係数の異なる部材がマスク母材１４ａにメッキされる。したがって、マスク１４は、摩擦変更部４３によって局所的ローテーション３０ｃを発生させ、ペースト材３０のローテーションを促進することができる。

【0060】

以上、本実施形態のマスクは、摩擦変更部によって局所的ローテーションを発生させ、ペースト材のローテーションを促進するので、前述の実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態では、マスク表面にマスク母材とは異なる摩擦係数の部材がメッキされるため、摩擦変更部の部材の使用量が削減される。さらに、本実施形態では、マスクに充填部を設けないので、マスクの強度は低下しない。

【0061】

なお、本実施形態では、摩擦変更部の部材はメッキされると説明した。しかし、摩擦変更部の部材はメッキされることに限定されない。すなわち、摩擦変更部の部材が所定の摩擦力を維持でき、ペースト材の残存を少なくできる厚さでマスク表面に摩擦変更部は設けられればよい。例えば、摩擦変更部の部材が蒸着または塗布されて、摩擦変更部は形成されてもよい。
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態について説明する。図８は、本発明の第４の実施形態のペースト材印刷装置４の構成例を示した断面説明図である。

【0062】

図８を参照して、本実施形態のペースト材印刷装置４について説明する。ペースト材印刷装置４は、図１で説明したマスク１０がマスク１５に、スキージ２０がスキージ２１に変更されていることが、第１の実施形態と相違する。よって、第１の実施形態と同一の構成要素には同一の参照番号を付記して、その説明を省略する。

【0063】

マスク１５は、マスク母材１５ａと、ワーク（図示せず）にペースト材３０を印刷するための印刷開口部１５ｂを備える。スキージ２１は、スキージ母材２１ａと、スキージ母材２１ａとは摩擦係数の異なる部材が充填部２１ｂに充填された摩擦変更部４４を備える。

【0064】

スキージ２１は、マスク１５との間にペースト材３０を挟んで、ペースト材３０に下方向への印圧をかけながらマスク１５の表面を左方向から右方向にペースト材３０を移動させる。このとき、ペースト材３０は、スキージ母材２１ａと摩擦変更部４４の境界で摩擦係数が異なることにより、スキージ２１から受ける摩擦力が局所的に不連続となり負荷が発生する。負荷の発生により、スキージ２１の表面のペースト材の流れ３０ａには、局所的ローリング３０ｃが発生する。局所的ローリング３０ｃの発生により、ペースト材３０の流動性がさらに高められて、印刷開口部１５ｂへのペースト材３０の供給が容易化される。

【0065】

図９は、本実施形態のスキージを例示した説明図である。図９を参照して、スキージ２１について説明する。

【0066】

図９（ａ）は、図２（ｃ）で説明したスキージ２０による印刷工程の図（ワーク１００は図示せず）に対して、マスク１０がマスク１５に、スキージ２０がスキージ２１にそれぞれ変更された図である。図９（ｂ）は、スキージ２１がペースト材３０と接触する面の図である。図９（ｂ）のスキージ２１のＢ−Ｂ’線での断面が図９（ａ）のスキージ２１である。

【0067】

スキージ２１は、スキージ母材２１ａに前述の摩擦変更部４４を備える。スキージ２１では、丸型の摩擦変更部４４が、複数、格子状に配列される。スキージ２１によってスキージングされたペースト材３０は、複数の摩擦変更部４４によって流動性を高められて、各印刷開口部１５ｂに供給される。

【0068】

図１０は、本実施形態のスキージの他の例を示した説明図である。図１０を参照して、スキージ２２について説明する。

【0069】

図１０（ａ）は、図２（ｃ）で説明したスキージ２０による印刷工程の図（ワーク１００は図示せず）に対して、マスク１０がマスク１５に、スキージ２０がスキージ２２にそれぞれ変更された図である。図１０（ｂ）は、スキージ２２がペースト材３０と接触する面の図である。図１０（ｂ）のスキージ２２のＢ−Ｂ’線での断面が図１０（ａ）のスキージ２２である。

【0070】

スキージ２２では、長方形の摩擦変更部４５が、複数、列状に配列される。スキージ２２によってスキージングされたペースト材３０は、複数の摩擦変更部４５によって流動性を高められて、各印刷開口部１５ｂに供給される。

【0071】

このように、本実施形態では、ペースト材に接触するスキージ母材に設けられた充填部にスキージ母材とは異なる摩擦係数の部材が充填された摩擦変更部の近傍で、ペースト材の局所的ローリングが発生する。全体的ローリングに加えて局所的ローリングが発生することによって、ペースト材のローリングが促進される。そのため、本実施形態は、ペースト材の流動性がさらに高められ、印刷開口部へのペースト材の供給を容易化することができる。なお、スキージ表面の平坦性が確保されているので、スキージへのペースト材の残存はなく、スキージの清浄性は確保される。

【0072】

以上、本実施形態のペースト材印刷装置は、清浄性を確保して、ペースト材のローリングを促進することができる。さらに、本実施形態では、マスクに変更を加えることがないため、各ワークに対応して制作されるマスクの制作費用や制作期間に影響を与えず、スキージのみの対応でペースト材のローリングを促進することができる。したがって、本実施形態は、スキージのみの対応でペースト材印刷装置としての印刷性能を向上できる。

【0073】

なお、本実施形態では、スキージ母材とは摩擦係数が異なる部材による摩擦変更部を設けると説明したが、摩擦変更部の部材の摩擦係数はスキージ母材の摩擦係数に対して大きくてもよいし、小さくてもよい。すなわち、スキージ母材と摩擦変更部に接触して移動するペースト材に摩擦変更部の近傍で前述の局所的ローリングが発生させられればよい。そのため、摩擦変更部の部材の摩擦係数がスキージ母材の摩擦係数と異なっていればよい。

【0074】

さらに、本実施形態では、スキージ母材に対して、摩擦係数の大きい摩擦変更部と、摩擦係数の小さい摩擦変更部が混在して設けられてもよい。なお、スキージの全体的摩擦力を大きくしてペースト材の全体的ローリングを促進する上では、摩擦変更部の部材の摩擦係数はスキージ母材の摩擦係数より大きい方が望ましい。

【0075】

また、本実施形態では、スキージ母材の材質は限定されないが、一般的にメタルマスク母材として用いられている、ステンレス鋼やニッケル、ニッケル合金などやウレタンゴムなどを用いることができる。摩擦変更部の部材としては、スキージ母材の摩擦係数と異なる摩擦係数のエポキシ等の樹脂や異種の金属を用いることができる。

【0076】

また、本実施形態では、摩擦変更部の表面形状は、丸型または長方形として説明した。しかし、摩擦変更部の表面形状は、丸型や長方形に限定されない。すなわち、前述したようにスキージ母材と摩擦変更部とでペースト材に局所的ローリングが発生させられればよい。そのため、摩擦変更部の表面形状は、例えば、ひし形、星形、三角形でもよいし、略ドーナツ形状でもよい。さらに、摩擦変更部の表面形状のサイズや組合せも限定されない。例えば、摩擦変更部は、大きい丸型と小さい丸型のものや、丸型と矩形のものが、それぞれ、混在して設けられてもよい。そして、摩擦変更部の数量は１つ以上であればよい。

【0077】

また、本実施形態では、摩擦変更部の平面配置形状は、格子状や列状など規則的に配置して説明した。しかし、摩擦変更部の平面配置形状は、格子状や列状などの規則的な配置に限定されない。すなわち、摩擦変更部は、千鳥格子状や不規則に配置されてもよいし、各配置形状が組合せられてもよい。そして、摩擦変更部相互の間隔についても限定されない。

【0078】

このように、摩擦変更部の表面形状やサイズ、組合せ、数量、平面配置形状、相互の間隔は、摩擦変更部がペースト材に局所的ローリングを発生させるものであればよく、上記のように、それぞれ、限定されない。そして、様々な摩擦変更部がスキージに設けられることで、様々な局所ローリングが発生され、ペースト材のローリングがさらに促進される。そのため、ペースト材の流動性がさらに高められ、より微細な印刷開口部へのペースト材の供給が容易化される。

【0079】

また、本実施形態の充填部の断面形状は限定されない。すなわち、充填部に充填される部材によって摩擦変更部がスキージ表面に設けられればよく、充填部の断面形状は限定されない。例えば、充填部の断面形状は、テーパ形状や段付き形状、鼓形状であってもよい。充填部の断面形状がテーパ形状や段付き形状、鼓形状とすることで、充填部の加工が容易となる、充填部への部材の充填が容易となる、あるいは充填された部材の脱落を抑制するなどの効果が得られる。

【0080】

また、本実施形態の摩擦変更部は、第２の実施形態や第３の実施形態と同様に、スキージを貫通しない充填部やスキージ表面に設けられてもよく、それぞれ同様の効果が得られる。
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態について説明する。図１１は、本発明の第５実施形態のペースト材印刷装置５構成例を示した断面説明図である。

【0081】

図１１を参照して、本実施形態のペースト材印刷装置５について説明する。ペースト材印刷装置５は、図８で説明したマスク１５がシルクスクリーン５０に、スキージ２１がスキージ２３に変更され、ワーク２００が追加されていることが、第４の実施形態と相違する。よって、第４の実施形態と同一の構成要素には同一の参照番号を付記して、その説明を省略する。

【0082】

ペースト材印刷装置５は、ワーク２００と、ペースト材３０をワーク２００に印刷するためのシルクスクリーン５０と、スキージ２３を備える。

【0083】

シルクスクリーン５０は、ワーク２００にペースト材３０を印刷しない部分にはマスク用乳剤５０ａが塗布され、ペースト材３０を印刷する部分にはマスク用乳剤５０ａが塗布されない印刷開口部５０ｂを備える。

【0084】

スキージ２３は、スキージ母材２３ａとは摩擦係数の異なる部材がスキージ母材２３ａの表面にメッキされた摩擦変更部４６を備える。摩擦変更部４６は、図８で説明したスキージ２１の充填部２１ｃをスキージに設けず、スキージ母材２３ａとは摩擦係数の異なる部材がスキージ母材２３ａにメッキされて設けられる。

【0085】

スキージ２３は、シルクスクリーン５０との間にペースト材３０を挟んで、ペースト材３０に下方向への印圧をかけながらシルクスクリーン５０の表面を左方向から右方向にペースト材３０を移動させる。

【0086】

このとき、シルクスクリーン５０の表面上のペースト材３０には、スキージ２３からの印圧とシルクスクリーン５０からの摩擦力を受けて、左方向へのペースト材の流れ３０ａが発生する。そして、スキージ２３に遮られたペースト材３０には、スキージ２３からの印圧に対するシルクスクリーン５０からの反発力とスキージ２３からの摩擦力を受けて、スキージ２３の表面に沿って右上方向へのペースト材の流れ３０ａが発生する。さらに、スキージ２３の上辺付近のペースト材３０には、重力によりスキージ２３の表面を離れて右下方向へ向きを変えたペースト材の流れ３０ａが発生する。

【0087】

このように、ペースト材３０には、スキージ２３によってシルクスクリーン５０の表面を移動させられることにより、上述のペースト材の流れ３０ａが、それぞれ発生する。そのため、ペースト材３０には、それぞれのペースト材３０の流れ３０ａの大きな流れとして、全体的ローリング３０ｂが発生する。

【0088】

さらに、ペースト材３０は、スキージ２３によりスキージングされ、ローリングされることによって流動性が高められる。流動性が高められたペースト材３０は、マスク用乳剤５０ａが塗布されていない印刷開口部５０ｂからワーク２００に押し出される。

【0089】

スキージ２３がペースト材３０をスキージングした後方では、シルクスクリーン５０がワーク２００から離れる。シルクスクリーン５０が離れた後のワーク２００の所定の位置には、所定の量のペースト材３０が被印刷ペースト材３２として印刷される。

【0090】

ここで、スキージ２３は、スキージ母材２３ａとは摩擦係数が異なる部材がメッキされた摩擦変更部４６を備える。そのため、ペースト材３０は、スキージ母材２３ａと摩擦変更部４６の境界で摩擦係数が異なることにより、スキージ２３から受ける摩擦力が局所的に不連続となり負荷が発生する。負荷の発生により、スキージ表面のペースト材の流れ３０ａには、局所的ローリング３０ｃが発生する。局所的ローリング３０ｃの発生により、ペースト材３０の流動性がさらに高められ、印刷開口部５０ｂへのペースト材３０の供給が容易化される。

【0091】

このように、本実施形態では、ペースト材に接触するスキージ母材に設けられた充填部にスキージ母材とは異なる摩擦係数の部材が充填された摩擦変更部の近傍で、ペースト材の局所的ローリングが発生する。全体的ローリングに加えて局所的ローリングが発生することによって、ペースト材のローリングが促進される。そのため、本実施形態は、ペースト材の流動性がさらに高められ、印刷開口部へのペースト材の供給を容易化することができる。なお、スキージ表面の平坦性が確保されているので、スキージへのペースト材の残存はなく、スキージの清浄性は確保される。なお、シルクスクリーンを使用したペースト材印刷装置においても、上述のように、ペースト材のローリングを促進することは、ワークにより精細なペースト材の印刷を行うために有効である。

【0092】

以上、本実施形態のペースト材印刷装置は、これまでの実施形態と同様に、清浄性を確保して、ペースト材のローリングを促進することができる。さらに、本実施形態では、シルクスクリーンに変更を加えることがないため、各ワークに対応して制作されるシルクスクリーンの制作費用や制作期間に影響を与えず、スキージのみの対応でペースト材のローリングを促進することができる。したがって、本実施形態は、スキージのみの対応でペースト材印刷装置としての印刷性能を向上できる。そして、本実施形態では、スキージ表面にスキージ母材とは異なる摩擦係数の部材がメッキされるため、摩擦変更部の部材の使用量が削減される。また、本実施形態では、スキージに充填部を設けないので、スキージの強度は低下しない。

【0093】

なお、本実施形態では、摩擦変更部の部材はメッキされると説明した。しかし、摩擦変更部の部材はメッキされることに限定されない。すなわち、摩擦変更部の部材が所定の摩擦力を維持でき、ペースト材の残存を少なくできる厚さでスキージ表面に摩擦変更部は設けられればよい。例えば、摩擦変更部の部材が蒸着または塗布されて、摩擦変更部は形成されてもよい。

【0094】

なお、本願発明は、上述の各実施形態に限定されるものではなく、本願発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更、変形して実施することができる。

【0095】

例えば、本発明の第１から第４の実施形態では、摩擦変更部がマスクとスキージのどちらか一方に設けられると説明が、摩擦変更部はマスクとスキージの双方に設けられてもよい。マスクとスキージの双方に摩擦変更部が設けられることで、ペースト材のローリングはさらに促進される。

【0096】

上記の実施形態の一部または全部は、以下の付記のように記載されうるが、以下には限られない。
（付記１）
ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設ける
ことを特徴とするペースト材印刷装置。
（付記２）
前記第１摩擦変更部は前記母材に設けられた充填部に前記第１部材が充填される
ことを特徴とする付記１に記載のペースト材印刷装置。
（付記３）
前記充填部が前記母材を貫通する、または前記接触面から所定の深さを備える
ことを特徴とする付記２に記載のペースト材印刷装置。
（付記４）
前記充填部の断面形状がテーパ形状、段付き形状または鼓形状である
ことを特徴とする付記３に記載のペースト材印刷装置。
（付記５）
前記第１部材が前記接触面にメッキ、蒸着、または塗布される
ことを特徴とする付記１から４のいずれかに記載のペースト材印刷装置。
（付記６）
前記母材より前記第１部材の前記摩擦係数が大きい
ことを特徴とする付記１から５のいずれかに記載のペースト材印刷装置。
（付記７）
前記第１摩擦変更部が前記母材に１つ以上設けられる
ことを特徴とする付記１から６のいずれかに記載のペースト材印刷装置。
（付記８）
前記第１摩擦変更部の前記接触面の平面形状が、円形、多角形、略ドーナツ形状またはそれらの組み合わせである
ことを特徴とする付記１から７のいずれかに記載のペースト材印刷装置。
（付記９）
前記第１摩擦変更部の前記接触面の平面配置形状が、列状、格子状、千鳥格子状または不規則である
ことを特徴とする付記１から８のいずれかに記載のペースト材印刷装置。
（付記１０）
印刷開口部および前記印刷開口部の相互の間隔の精細さの度合いに対応して、前記第１摩擦変更部の配置密度を高める
ことを特徴とする付記１から９のいずれかに記載のペースト材印刷装置。
（付記１１）
前記接触面に、前記母材および前記第１部材とは異なる摩擦係数の第２部材の第２摩擦変更部をさらに設ける
ことを特徴とする付記１から１０のいずれかに記載のペースト材印刷装置。
（付記１２）
マスク母材およびスキージ母材のうち少なくとも一方が前記母材である
ことを特徴とする付記１から１１のいずれかに記載のペースト材印刷装置。
（付記１３）
前記母材がマスク母材であるとき、前記第１摩擦変更部および前記第２摩擦変更部のうち少なくとも一方がスキージングの上流部分に設けられる
ことを特徴とする付記１２に記載のペースト材印刷装置。
（付記１４）
前記ペースト材がはんだペースト材である
ことを特徴とする付記１から１３のいずれかに記載のペースト材印刷装置。
（付記１５）
ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設ける
ことを特徴とするマスク。
（付記１６）
印刷用開口部よりも先にスキージングされる前記第１摩擦変更部が１つ以上配置される
ことを特徴とする付記１５に記載のマスク。
（付記１７）
ペースト材との接触面に、母材とは異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部を設ける
ことを特徴とするスキージ。
（付記１８）
母材と異なる摩擦係数の第１部材の第１摩擦変更部をペースト材との接触面に設けて、前記母材と前記第１摩擦変更部がペースト材と接触してペースト材を印刷する
ことを特徴とするペースト材印刷方法。

【符号の説明】

【0097】

１、２、３、４、５ ペースト材印刷装置
１０、１１、１２、１３、１４、１５ マスク
１０ａ、１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａ、１５ａ マスク母材
１０ｂ、１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂ、１５ｂ、５０ｂ 印刷開口部
１０ｃ、１３ｃ、２１ｂ 充填部
２０、２１、２２、２３ スキージ
２１ａ、２３ａ スキージ母材
３０ ペースト材
３０ａ ペースト材の流れ
３０ｂ 全体的ローリング
３０ｃ 局所的ローリング
３１、３２ 被印刷ペースト材
４０、４１、４２、４３、４４、４５、４６ 摩擦変更部
５０ シルクスクリーン
５０ａ マスク用乳剤
１００、２００ ワーク
１０１ 導通部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】