特許6371389リチウム含有薄膜層状構造を製造するための蒸着方法

発明の名称　リチウム含有薄膜層状構造を製造するための蒸着方法

出願人　イリカ　テクノロジーズ　リミテッド　（識別番号 515189520）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4051 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6371389

公報発行日　2018年8月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6371389

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