特許6371904ペリクルの製造方法およびペリクル付フォトマスクの製造方法

発明の名称　ペリクルの製造方法およびペリクル付フォトマスクの製造方法

出願人　三井化学株式会社　（識別番号 5887）

　　　　特許公開件数ランキング 87 位（332件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 107 位（248件）（共同出願を含む）

出願人　タツモ株式会社　（識別番号 108753）

　　　　特許公開件数ランキング 3971 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1676 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6371904

公報発行日　2018年8月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6371904

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