特許第6374417号(P6374417)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6374417窒化アルミニウム基板、半導体製造用部品、ＣＶＤヒータ、及び窒化アルミニウム基板の製造方法
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