期限日
知財求人情報
特・実 審査基準
法文集
特許第6374878号(P6374878)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
ホーム
>
特許ランキング
>
ファイファー バキユーム
ツイート
知財求人
- 知財ポータルサイト「IP Force」
青山学院大学
(神奈川県相模原市中央区淵野辺)
▶ アデイクセン・バキユーム・プロダクトの特許一覧
特許
6374878
大気圧において半導体基板を搬送し格納する輸送キャリアの粒子汚染を測定するためのステーションおよび方法
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
通常表示
文字サイズ
小
中
大
PDF
Top
<
>
<
>
1
2
3a
3b
3c
3d
4
5a
5b
5c
5d
5e
6
7
8
15