特許 6382508 コーティング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6382508

(24)【登録日】2018年8月10日

(45)【発行日】2018年8月29日

(54)【発明の名称】コーティング装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20180820BHJP

【ＦＩ】

   C23C14/24 M

【請求項の数】10

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-255872(P2013-255872)

(22)【出願日】2013年12月11日

(65)【公開番号】特開2014-181402(P2014-181402A)

(43)【公開日】2014年9月29日

【審査請求日】2016年12月12日

(31)【優先権主張番号】10-2013-0027933

(32)【優先日】2013年3月15日

(33)【優先権主張国】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】512187343

【氏名又は名称】三星ディスプレイ株式會社

【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．

(73)【特許権者】

【識別番号】513313288

【氏名又は名称】ヌリ テック カンパニー リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110000051

【氏名又は名称】特許業務法人共生国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】朴 宰 徹

(72)【発明者】

【氏名】李 忠 ヒョク

(72)【発明者】

【氏名】宋 大 鎬

(72)【発明者】

【氏名】崔 洛 初

(72)【発明者】

【氏名】魚 慶 恩

(72)【発明者】

【氏名】呉 旻 貞

(72)【発明者】

【氏名】李 民 雨

(72)【発明者】

【氏名】ベ 相 鈞

【審査官】 宮崎 園子

(56)【参考文献】

【文献】 韓国登録特許第１０−０７２０１２５（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】 特開昭６１−２６３１１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１９１３０２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １４／２４

Ｈ０１Ｌ ２１／２０３

Ｈ０１Ｌ ２１／２０５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

蒸着物質の二量体（ｄｉｍｅｒ）を気化させる気化部と、
前記気化された蒸着物質の前記二量体を単量体（ｍｏｎｏｍｅｒ）に熱分解させる熱分解部と、
前記蒸着物質の前記単量体が蒸着される複数個の被コーティング部材が配置された下側部と、前記下側部と対向する上側部と、前記下側部と前記上側部とを連結し、流入口及び前記下側部と前記上側部との間に配置された第１排出口、第２排出口、第３排出口、及び第４排出口を具備する側壁部とを含む蒸着チャンバーと、
前記第１排出口と前記第２排出口とに連結された第１補助管と、前記第３排出口と前記第４排出口とに連結された第２補助管と、前記第１補助管と前記第２補助管とに連結された中間管と、前記中間管に連結されたメイン管とを具備する排出管と、
前記気化部から前記排出管までの前記蒸着物質の流体経路を形成し、前記蒸着物質の前記単量体の中の未蒸着である単量体の一部を前記排出管を通じて前記蒸着チャンバーから排出させる真空ポンプとを有し、
前記気化部は、管状形状を有し、前記気化部を囲むように空冷式冷却装置が配置され、
前記空冷式冷却装置は、その中を空気又は窒素を含む気体が通るチューブ形状で構成され、前記気体を排出させる複数の排出ホールを含み、前記排出ホールから排出された気体により前記気化部を冷却させることを特徴とするコーティング装置。

【請求項2】

前記第１排出口、前記第２排出口、前記第３排出口、及び前記第４排出口は、前記下側部と前記上側部との間に均等に離隔されていることを特徴とする請求項１に記載のコーティング装置。

【請求項3】

前記複数個の被コーティング部材は、実質的に前記下側部と平行であり、前記下側部と前記上側部との間に均等な間隔を有して配置されることを特徴とする請求項１に記載のコーティング装置。

【請求項4】

前記蒸着チャンバーの内側に配置され、前記複数個の被コーティング部材を各々支持する複数個の支持部と、前記支持部を固定させる固定軸とを含むステージをさらに有することを特徴とする請求項３に記載のコーティング装置。

【請求項5】

前記複数個の支持部に各々配置されて、前記支持部周囲の蒸着温度を制御する複数個の冷却装置をさらに有することを特徴とする請求項４に記載のコーティング装置。

【請求項6】

前記流入口は、整列された前記第１排出口、前記第２排出口、前記第３排出口、及び前記第４排出口と対向することを特徴とする請求項３に記載のコーティング装置。

【請求項7】

前記蒸着チャンバーの内側に、前記流入口と対向するように配置される拡散板をさらに有することを特徴とする請求項６に記載のコーティング装置。

【請求項8】

前記拡散板は、前記流入口と対向する曲面部を含むことを特徴とする請求項７に記載のコーティング装置。

【請求項9】

前記第１排出口、前記第２排出口、前記第３排出口、及び前記第４排出口が整列された方向を第１方向として定義し、前記第１方向に直交する方向を第２方向として定義し、
前記拡散板は、前記第１方向に配置された上側部、中心部、及び下側部に区分され、
前記中心部の前記第２方向の幅は、前記上側部及び前記下側部の前記第２方向の幅より大きく、
前記上側部及び前記下側部の前記第２方向の幅は、前記中心部から遠くなるほど減少することを特徴とする請求項８に記載のコーティング装置。

【請求項10】

前記中間管の断面積は、前記第１補助管の断面積及び前記第２補助管の断面積より大きく、前記メイン管の断面積は、前記中間管の断面積より大きいことを特徴とする請求項１に記載のコーティング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はコーティング装置に関し、特に均一な保護膜を形成することのできるコーティング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

印刷回路基板、医療用器具、表示パネル等のような製品は、耐腐蝕性の向上、酸化防止、防湿性の向上等のための保護膜を含む。
保護膜は、製品の最外層をなす。
保護膜は、製品の領域にしたがって異なる厚さを有することがあり得る。

【0003】

従って、保護膜の厚さ偏差は、保護膜の機能を弱化させる。
即ち、保護膜の厚さが薄い領域で製品の腐蝕及び酸化等が発生する可能性があるという問題がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】韓国特許第１０−０７２０１２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は上記従来の製品の保護膜における問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、均一な保護膜を形成するコーティング装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するためになされた本発明によるコーティング装置は、蒸着物質の二量体（ｄｉｍｅｒ）を気化させる気化部と、前記気化された蒸着物質の前記二量体を単量体（ｍｏｎｏｍｅｒ）に熱分解させる熱分解部と、前記蒸着物質の前記単量体が蒸着される複数個の被コーティング部材が配置された下側部と、前記下側部と対向する上側部と、前記下側部と前記上側部とを連結し、流入口及び前記下側部と前記上側部との間に配置された第１排出口、第２排出口、第３排出口、及び第４排出口を具備する側壁部とを含む蒸着チャンバーと、前記第１排出口と前記第２排出口とに連結された第１補助管と、前記第３排出口と前記第４排出口とに連結された第２補助管と、前記第１補助管と前記第２補助管とに連結された中間管と、前記中間管に連結されたメイン管とを具備する排出管と、前記気化部から前記排出管までの前記蒸着物質の流体経路を形成し、前記蒸着物質の前記単量体の中の未蒸着である単量体の一部を前記排出管を通じて前記蒸着チャンバーから排出させる真空ポンプとを有し、前記気化部は、管状形状を有し、前記気化部を囲むように空冷式冷却装置が配置され、前記空冷式冷却装置は、その中を空気又は窒素を含む気体が通るチューブ形状で構成され、前記気体を排出させる複数の排出ホールを含み、前記排出ホールから排出された気体により前記気化部を冷却させることを特徴とする。

【0007】

前記第１排出口、前記第２排出口、前記第３排出口、及び前記第４排出口は、前記下側部と前記上側部との間に均等に離隔されていることが好ましい。
前記複数個の被コーティング部材は、実質的に前記下側部と平行であり、前記下側部と前記上側部との間に均等な間隔を有して配置されることが好ましい。
前記蒸着チャンバーの内側に配置され、前記複数個の被コーティング部材を各々支持する複数個の支持部と、前記支持部を固定させる固定軸とを含むステージをさらに有することが好ましい。
前記複数個の支持部に各々配置されて、前記支持部周囲の蒸着温度を制御する複数個の冷却装置をさらに有することが好ましい。
前記流入口は、整列された前記第１排出口、前記第２排出口、前記第３排出口、及び前記第４排出口と対向することが好ましい。
前記蒸着チャンバーの内側に、前記流入口と対向するように配置される拡散板をさらに有することが好ましい。
前記拡散板は、前記流入口と対向する曲面部を含むことが好ましい。
前記第１排出口、前記第２排出口、前記第３排出口、及び前記第４排出口が整列された方向を第１方向として定義し、前記第１方向に直交する方向を第２方向として定義し、前記拡散板は、前記第１方向に配置された上側部、中心部、及び下側部に区分され、前記中心部の前記第２方向の幅は、前記上側部及び前記下側部の前記第２方向の幅より大きく、前記上側部及び前記下側部の前記第２方向の幅は、前記中心部から遠くなるほど減少することが好ましい。
前記中間管の断面積は、前記第１補助管の断面積及び前記第２補助管の断面積より大きく、前記メイン管の断面積は、前記中間管の断面積より大きいことが好ましい。

【発明の効果】

【0008】

本発明に係るコーティング装置によれば、排出管は、蒸着チャンバーから領域に関わらず均一な排出経路を形成される。従ってコーティング装置によって、複数個の被コーティング部材の位置に関わらず均一な厚さの保護膜が複数個の被コーティング部材に各々形成されるという効果がある。
また、ステージに配置された冷却装置は、被蒸着部材が加熱されることを防止し、ステージ周辺部の温度を制御してパリレン単量体の蒸着効率を向上させ、蒸着チャンバーに配置された加熱装置はパリレンの単量体が蒸着チャンバーの内壁に蒸着されることを防止するという効果がある。
また、拡散板は、蒸着チャンバーの流入口からパリレン単量体を蒸着チャンバーの全体に分散させるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施形態によるコーティング装置のブロック図である。

【図2】本発明の一実施形態による蒸着チャンバーと排出管との斜視図である。

【図3】図２に示す蒸着チャンバーに形成された流体経路を示す図である。

【図4】図２に示した蒸着チャンバーの部分切開斜視図である。

【図5】図４に示した被蒸着部材の部分斜視図である。

【図6】本発明の一実施形態によるコーティング装置の排出管の図である。

【図7A】本発明の一実施形態によるコーティング装置の蒸着チャンバーの流入領域を示す図である。

【図7B】本発明の一実施形態によるコーティング装置の蒸着チャンバーの流入領域を示す図である。

【図7C】本発明の一実施形態によるコーティング装置の蒸着チャンバーの流入領域を示す図である。

【図8A】本発明の一実施形態によるコーティング装置の拡散板を示す図である。

【図8B】本発明の一実施形態によるコーティング装置の拡散板を示す図である。

【図9】本発明の一実施形態によるコーティング装置の気化部を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

次に、本発明に係るコーティング装置を実施するための形態の具体例を図面を参照しながら説明する。

【0011】

図１は、本発明の一実施形態によるコーティング装置のブロック図である。
コーティング装置は、原料供給部１００、気化部２００、熱分解部３００、蒸着チャンバー４００、コールドトラップ５００、真空ポンプ６００、制御部７００を含む。

【0012】

原料供給部１００は、蒸着物質の粉末形二量体を気化部２００へ供給する。
本実施形態で蒸着物質はパリレン（ＰＡＲＹＬＥＮＥ）として説明される。但し、蒸着物質はパリレンに制限されなく、気化された二量体が単量体に熱分解される他の物質が適用され得る。
原料供給部１００と気化部２００とは第１連結管ＦＰ１によって連結される。
原料供給部１００は気化部２００へ一定な量のパリレン二量体を供給する。
原料供給部１００に収容されたパリレン二量体の質量変化量を算出して、パリレン二量体の供給流量を制御することができる。

【0013】

気化部２００は、流入されたパリレン二量体を気化させる。
気化部２００は、パリレン二量体を約１５０℃〜２３０℃の温度に加熱する。
気化部２００と熱分解部３００とは第２連結管ＦＰ２によって連結される。
気化部２００は、気化されたパリレン二量体を第２連結管ＦＰ２を通じて熱分解部３００へ提供する。

【0014】

熱分解部３００は、気化されたパリレン二量体をパリレン単量体に熱分解する。
熱分解部３００は、熱分解反応のために気化されたパリレン二量体を約６５０℃以上に加熱する。
パリレン二量体は、置換基にしたがって、パラキシレン、モノクロロパラキシレン、ジクロロパラキシレン等であり得る。
熱分解部３００と蒸着チャンバー４００とは第３連結管ＦＰ３によって連結される。
熱分解部３００は、パリレン単量体を第３連結管ＦＰ３を通じて蒸着チャンバー４００へ提供する。

【0015】

蒸着チャンバー４００は、少なくとも１つの被コーティング部材を収容する。
パリレン単量体は被コーティング部材に蒸着される。
パリレン単量体は被コーティング部材に蒸着され、ポリマーをなす。ポリマーは被コーティング部材を保護する保護膜をなす。
被コーティング部材は、表示パネルであり得る。但し、被コーティング部材の種類は制限されない。
蒸着チャンバー４００とコールドトラップ５００とは第４連結管ＦＰ４によって連結される。
第４連結管ＦＰ４を通じて蒸着されなかったパリレン単量体が蒸着チャンバー４００から排出される。

【0016】

コールドトラップ５００は、蒸着されなかったパリレン単量体を冷却させる。
冷却されたパリレン単量体は、蒸着チャンバー４００へ逆流させない。
コールドトラップ５００と真空ポンプ６００とは第５連結管ＦＰ５によって連結される。
一方、コールドトラップ５００は省略され得る。この時、第４連結管ＦＰ４は蒸着チャンバー４００と真空ポンプ６００とを直接連結する。

【0017】

パリレン単量体の流体経路は、真空ポンプ６００（図１参照）の吸入によって形成される。
真空ポンプ６００の吸入強さによって、パリレン単量体の流速が決定される。

【0018】

制御部７００は、コーティング装置を制御する。
制御部７００は、原料供給部１００のパリレン二量体の排出量を調節する。
また、制御部７００は気化部２００及び熱分解部３００の温度を制御する。
また、制御部７００は真空ポンプ６００の吸入強さを制御する。
また、図には示していないが、第１〜第５連結管（ＦＰ１〜ＦＰ５）には各連結管を流れる流体の量を制御するバルブが具備され得る。

【0019】

図２は、本発明の一実施形態による蒸着チャンバーと排出管との斜視図であり、図３は図２に示す蒸着チャンバーに形成された流体経路を示す図である。
図２に示すように、蒸着チャンバー４００は、下側部４１０、上側部４２０、下側部４１０と上側部４２０とを連結する側壁部４３０を含む。
蒸着チャンバー４００は図２に示すように、円筒形であり得る。

【0020】

下側部４１０上にパリレン単量体が蒸着される被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）が配置される。
図２には板形状の１０つの被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）を例示的に示す。
板形状の被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）は下側部４１０と並行に配置される。
被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）は下側部４１０と上側部４２０との間に均等な間隔を有して配列される。

【0021】

蒸着チャンバー４００は、側壁部４３０に配置された流入口（４３０−Ｉ）と第１排出口（４３０−０１）、第２排出口（４３０−０２）、第３排出口（４３０−０３）、及び第４排出口（４３０−０４）を含む。
第１排出口（４３０−０１）、第２排出口（４３０−０２）、第３排出口（４３０−０３）、及び第４排出口（４３０−０４）は、下側部４１０と上側部４２０との間に均等な間隔に配列される。

【0022】

第１排出口（４３０−０１）と第２排出口（４３０−０２）との間隔ＩＤ１、第２排出口（４３０−０２）と第３排出口（４３０−０３）との間隔ＩＤ２、及び第３排出口（４３０−０３）と第４排出口（４３０−０４）との間隔ＩＤ３は同一である。
ここで、第１排出口（４３０−０１）、第２排出口（４３０−０２）、第３排出口（４３０−０３）、及び第４排出口（４３０−０４）が配列される方向は、第１方向ＤＲ１として定義される。第１方向ＤＲ１は、下側部４１０の法線方向である。

【0023】

流入口（４３０−Ｉ）は、整列された第１排出口（４３０−０１）、第２排出口（４３０−０２）、第３排出口（４３０−０３）、及び第４排出口（４３０−０４）と対向するように配置される。
それによって、流入口（４３０−Ｉ）から第１〜第４排出口（４３０−０１〜４３０−０４）の間の流体経路が長くなり、パリレン単量体が被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）に蒸着される確率が高くなる。

【0024】

第４連結管ＦＰ４は、パリレン単量体の中で被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）に蒸着されなかった一部のパリレン単量体を蒸着チャンバー４００から排出させる。
第４連結管ＦＰ４は、機能的には蒸着チャンバー４００の排出管である。
第４連結管（排出管）ＦＰ４は、第１補助管（ＦＰ４−１）、第２補助管（ＦＰ４−２）、中間管（ＦＰ４−３）、メイン管（ＦＰ４−４）を含む。

【0025】

第１補助管（ＦＰ４−１）は、第１排出口（４３０−０１）及び第２排出口（４３０−０２）に連結され、第２補助管（ＦＰ４−２）は、第３排出口（４３０−０３）及び第４排出口（４３０−０４）に連結される。
中間管（ＦＰ４−３）は、第１補助管（ＦＰ４−１）と第２補助管（ＦＰ４−２）とに連結される。メイン管（ＦＰ４−４）は、中間管（ＦＰ４−３）及びコールドトラップ５００（図１参照）に連結される。

【0026】

図３に示すように、第１補助管（ＦＰ４−１）は、第１排出口（４３０−０１）及び第２排出口（４３０−０２）から１つの中間排出経路を形成し、第２補助管（ＦＰ４−２）は、第３排出口（４３０−０３）及び第４排出口（４３０−０４）から他の１つの中間排出経路を形成する。
中間管（ＦＰ４−３）は、第１補助管（ＦＰ４−１）及び第２補助管（ＦＰ４−２）から１つのメイン排出経路を形成する。

【0027】

第４連結管（排出管）ＦＰ４によって、流入口（４３０−Ｉ）と第１〜第４排出口（４３０−０１〜４３０−０４）との間には蒸着チャンバー４００の領域に関わらず均一な流体経路が形成される。
したがって、被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）の位置に関わらず均一な厚さの保護膜が形成される。

【0028】

図４は、図２に示した蒸着チャンバーの部分切開斜視図である。
以下、図４を参照して蒸着チャンバーの内部構成に対してさらに詳細に説明する。

【0029】

蒸着チャンバー４００は、内側にステージＳＴが配置される。
ステージＳＴは、支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）及び支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）を固定させる固定軸ＳＰＴを含む。
図４は、１０つの支持部の中で４つの支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）とそれに対応する４つの被コーティング部材（ＳＵＢ７〜ＳＵＢ１０）のみを示した。

【0030】

支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）は、第１方向ＤＲ１に均一に離隔される。
支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）は、被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）を各々支持する。
支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）に冷却装置（ＣＡ７〜ＣＡ１０）が各々配置される。
冷却装置（ＣＡ７〜ＣＡ１０）の各々は、対応する支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）の下面に付着される。冷却装置（ＣＡ７〜ＣＡ１０）の各々は冷媒ガス又は水が循環する配管で構成することができる。他の実施形態で冷却装置（ＣＡ１〜ＣＡ１０）は対応する支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）の内部に具備され得る。

【0031】

冷却装置（ＣＡ７〜ＣＡ１０）は、支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）周囲の温度を他の領域の温度より低くする。
パリレン単量体は約３０℃で蒸着効率が高いが、熱分解された後、直ちに蒸着チャンバー４００へ進入したパリレン単量体は３０℃より高温である。
冷却装置（ＣＡ７〜ＣＡ１０）は、支持部（ＳＳ７〜ＳＳ１０）の周辺を低温雰囲気に作って被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）に蒸着されるパリレン単量体の温度を間接的に低くする。
それによって、パリレン単量体の蒸着効率が向上される。

【0032】

蒸着チャンバー４００の側壁部４３０に加熱装置ＨＡが配置される。
加熱装置ＨＡは、側壁部４３０の内側面に配置された熱線又は高温の液体が循環する配管で構成することができる。
加熱装置ＨＡは、パリレン単量体が側壁部４３０の内側面に蒸着されないように側壁部４３０を加熱する。

【0033】

図５は、図４に示した被蒸着部材の部分斜視図である。
図５には表示パネルを例示的に示した。
図５に示すように、表示パネルＤＰは複数個の画素領域ＰＸＡが具備されたベース基板ＢＳを含む。

【0034】

ベース基板ＢＳ上に複数個の画素領域ＰＸＡに対応するように複数個の第１電極ＥＬ１が配置される。
ベース基板ＢＳ上に複数個の画素領域ＰＸＡに対応する複数個のトンネルを有する第２電極ＥＬ２が配置される。
複数個のトンネルには液晶分子ＬＣが配置される。
複数個の画素領域ＰＸＡに配置された第１電極ＥＬ１と第２電極ＥＬ２とが形成する電界によって、複数個のトンネルには配置された液晶分子ＬＣの配向配列が変更する。
蒸着チャンバー４００で表示パネルＤＰ上に第２電極ＥＬ２をカバーするパリレン保護膜が形成する。パリレン保護膜は複数個のトンネルの開口を密閉する。

【0035】

一方、図に示していないが、ベース基板ＢＳは複数個の第１電極ＥＬ１へ信号を提供する配線とスイッチング素子とをさらに含むことができる。
また、表示パネルＤＰは、パリレン保護膜を形成する以前に第２電極ＥＬ２上に形成された有機膜又は無機膜をさらに含むことができる。
図５に示すものとは異なり、複数個のトンネルは有機膜又は無機膜によって形成することができる。この時、第２電極ＥＬ２は第１電極ＥＬ１に対向するようにトンネルの上側に配置される。

【0036】

図６は、本発明の一実施形態によるコーティング装置の排出管の図である。
図２を参照して説明した構成と同一である構成に対する詳細な説明は省略する。
図６に示すように、排出管ＦＰ４０は、第１補助管（ＦＰ４０−１）、第２補助管（ＦＰ４０−２）、中間管（ＦＰ４０−３）、メイン管（ＦＰ４０−４）を含む。

【0037】

図６に示すように、中間管（ＦＰ４０−３）の直径ＤＭ３は第１補助管（ＦＰ４０−１）の直径ＤＭ１及び第２補助管（ＦＰ４０−２）の直径ＤＭ２より大きいことが望ましい。
メイン管（ＦＰ４０−４）の直径ＤＭ４は中間管（ＦＰ４０−３）の直径ＤＭ３より大きいことが望ましい。
言い換えれば、中間管（ＦＰ４０−３）の断面積は、第１補助管（ＦＰ４０−１）の断面積及び第２補助管（ＦＰ４０−２）の断面積より大きくて、メイン管（ＦＰ４０−４）の断面積は中間管（ＦＰ４０−３）の断面積より大きい。

【0038】

第１補助管（ＦＰ４０−１）及び第２補助管（ＦＰ４０−２）を流れるパリレン単量体が中間管（ＦＰ４０−３）へ流れ込んでも流速が減少しなく、中間管（ＦＰ４０−３）を流れるパリレン単量体がメイン管（ＦＰ４０−４）へ流れ込んでも、流速が減少しない。
したがって、未蒸着のパリレン単量体は、排出管ＦＰ４０を通じて蒸着チャンバー４００から円滑に排出される。

【0039】

第１補助管（ＦＰ４０−１）、第２補助管（ＦＰ４０−２）、及び中間管（ＦＰ４０−３）の各々は少なくとも１つの変曲部ＶＰを含む。第１補助管（ＦＰ４０−１）、第２補助管（ＦＰ４０−２）、及び中間管（ＦＰ４０−３）の各々は、変曲部ＶＰで曲線をなして湾曲される。
図６は、２つの変曲部ＶＰを具備する“Ｕ”形態の第１補助管（ＦＰ４０−１）、第２補助管（ＦＰ４０−２）、及び中間管（ＦＰ４０−３）を例示的に示した。曲線をなす変曲部ＶＰは流速減少を最少化し、変曲部ＶＰに加えられる圧力を低くする。

【0040】

排出管ＦＰ４０は、第１補助管（ＦＰ４０−１）の末端と第１排出口（４３０−０１）（図２参照）及び第２排出口（４３０−０２）（図２参照）の間に各々具備されたホーン型連結管ＢＰをさらに含む。
ホーン型連結管ＢＰは、第１補助管（ＦＰ４０−１）の一側の末端から第１排出口（４３０−０１）に行くほど、断面積が増加する。
ホーン型連結管ＢＰは、第２補助管（ＦＰ４０−２）の末端と第３排出口（４３０−０３）及び第４排出口（４３０−０４）との間にも配置される。ホーン型連結管ＢＰは排出管ＦＰ４０へ流れ込む未蒸着のパリレン単量体の量を増加させる。

【0041】

図７Ａ〜図７Ｃは、本発明の一実施形態によるコーティング装置のチャンバーの流入領域を示す図であり、図８Ａ、図８Ｂは、本発明の一実施形態によるコーティング装置の拡散板を示す図である。
図７Ａ〜図７Ｃに示すように、蒸着チャンバー４００は側壁部４３０から突出した流入領域（４３０−ＩＡ）を含む。流入領域（４３０−ＩＡ）に流入口（４３０−Ｉ）が配置される。

【0042】

蒸着チャンバー４００の内側に流入口（４３０−Ｉ）に対向する拡散板ＤＳが配置される。
流入口（４３０−Ｉ）へ流入したパリレン単量体は、拡散板ＤＳにぶつかって均一に分散される。
拡散板ＤＳは、ステンレススチールで構成することができる。

【0043】

図８Ａ及び図８Ｂに示すように、拡散板ＤＳは、流入口（４３０−Ｉ）に対向する曲面ＣＳを含む。
図８Ａ及び図８Ｂには、曲線に曲がった形状の拡散板ＤＳを例示的に示した。

【0044】

拡散板は、第１方向ＤＲ１に配列された上側部ＵＰ、中心部ＣＰ、及び下側部ＬＰに区分される。
中心部ＣＰの第１方向ＤＲ１と直交する第２方向ＤＲ２の幅Ｗ１０は、上側部ＵＰ及び下側部ＬＰの第２方向ＤＲ２の幅Ｗ２０、Ｗ３０より大きい。
また、上側部ＵＰ及び下側部ＬＰの第２方向ＤＲ２の幅Ｗ２０、Ｗ３０は、中心部ＣＰから遠くなるほど、減少する。

【0045】

上側部ＵＰ、中心部ＣＰ、及び下側部ＬＰの第１方向ＤＲ１の長さは実質的に同一であり得る。中心部ＣＰは八角形状であり、上側部ＵＰ、及び下側部ＬＰは等辺台形形状であり得る。
流入口（４３０−Ｉ）に対向する中心部ＣＰはパリレン単量体が被コーティング部材（ＳＵＢ１〜ＳＵＢ１０）の中に一部が直接提供されることを防止する。上側部ＵＰ及び下側部ＬＰは蒸着チャンバー４００の上側と下側とへ分散されるパリレン単量体の量を増加させる。

【0046】

図９は、本発明の一実施形態によるコーティング装置の気化部を示す図である。
気化部２００は管状形状を有する。
気化部２００の内部には図に示していない熱線が配置される。パリレン二量体の気化される量は温度によって敏感に変化する。

【0047】

気化部２００を冷却させる空冷式冷却装置ＡＣＡが気化部２００の外部に配置される。
空冷式冷却装置ＡＣＡは、気化部２００を囲む。
空冷式冷却装置ＡＣＡは、気体が排出される排出ホールＯＨを具備するチューブで構成される。気体は空気であるか、あるいは窒素であり得る。排出ホールＯＨから排出された気体は気化部２００を冷却させる。

【0048】

蒸着チャンバー４００の蒸着終了に対応して空冷式冷却装置ＡＣＡが動作する。
パリレン単量体の蒸着が終了した以後、気化部２００が空冷式冷却装置ＡＣＡによって迅速に冷却されることによって、パリレン単量体の気化が中断される。それによって、不必要なパリレン単量体又はパリレン二量体が蒸着チャンバー４００へ流れ込むことを防止することができる。

【0049】

尚、本発明は、上述の実施形態に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。

【符号の説明】

【0050】

１００ 原料供給部
２００ 気化部
３００ 熱分解部
４００ 蒸着チャンバー
４３０−１ 流入口
４３０−０１〜０４ （第１〜第４）排出口
５００ コールドトラップ
６００ 真空ポンプ
７００ 制御部
ＡＣＡ 空冷式冷却装置
ＣＡ７〜ＣＡ１０ 冷却装置
ＤＳ 拡散板
ＦＰ１〜ＦＰ５ （第１〜第５）連結管
ＦＰ４、ＦＰ４０−１、２ （第１、第２）補助管
ＦＰ４、ＦＰ４０−３ 中間管
ＦＰ４、ＦＰ４０−４ メイン管
ＨＡ 加熱装置
ＳＰＴ 固定軸
ＳＳ７〜ＳＳ１０ 支持部
ＳＴ ステージ
ＳＵＢ７〜ＳＵＢ１０ 被コーティング部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【図7C】

【図8A】

【図8B】

【図9】