特許 6385668 検査ポイント選別装置、及びプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6385668

(24)【登録日】2018年8月17日

(45)【発行日】2018年9月5日

(54)【発明の名称】検査ポイント選別装置、及びプログラム

(51)【国際特許分類】

   H05K 3/00 20060101AFI20180827BHJP

   G01R 31/02 20060101ALI20180827BHJP

【ＦＩ】

   H05K3/00 T

   G01R31/02

【請求項の数】16

【全頁数】26

(21)【出願番号】特願2013-230915(P2013-230915)

(22)【出願日】2013年11月7日

(65)【公開番号】特開2015-90947(P2015-90947A)

(43)【公開日】2015年5月11日

【審査請求日】2016年10月6日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088306

【弁理士】

【氏名又は名称】小宮 良雄

(74)【代理人】

【識別番号】100126343

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 浩之

(72)【発明者】

【氏名】大兼 和幸

【審査官】 ゆずりは 広行

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０９−０５０４４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−２１１０５３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ ３／００

Ｇ０１Ｒ ３１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

検査対象となる基板の導体パターンを示す導体パターンデータ、及びレジストを示すレジストデータに基づいて、検査ポイントの候補となるレジスト開口部を選別する検査ポイント選別装置であって、
前記導体パターンデータ、及び前記レジストデータを読み込むデータ読込手段と、
前記導体パターンデータに基づいて、前記導体パターンの輪郭を導体パターン輪郭として抽出する導体パターン輪郭抽出手段と、
前記レジストデータに基づいて、各々の前記レジスト開口部の輪郭をレジスト開口輪郭として抽出し、抽出した各々の前記レジスト開口輪郭に対して識別子を付与するレジスト開口輪郭抽出手段と、
前記導体パターン輪郭上に各々の前記レジスト開口輪郭を位置合わせする位置合わせ手段と、
各々の前記レジスト開口輪郭から所定距離内に位置している前記導体パターン輪郭の構成部に、各々の前記レジスト開口輪郭の識別子に対応付けて解析用ポイントを設定する解析用ポイント設定手段と、
前記導体パターン輪郭に沿って周回するときの前記解析用ポイントの並び順を判別し、この並び順を前記レジスト開口輪郭の識別子で表現した周回順リストを作成する周回順リスト作成手段とを、
備えることを特徴とする検査ポイント選別装置。

【請求項2】

前記周回順リストに基づいて前記検査ポイントを設定する検査ポイント設定手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の検査ポイント選別装置。

【請求項3】

前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が少なくとも３つ連続する、又は少なくとも３つ存在する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする請求項２に記載の検査ポイント選別装置。

【請求項4】

前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が２つ連続する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする請求項２又は３に記載の検査ポイント選別装置。

【請求項5】

前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が連続せずに２つ存在する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載の検査ポイント選別装置。

【請求項6】

前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に連続せずに存在する２つの同じ前記識別子を判定し、前記周回順リストの中で連続する同じ前記識別子を１つの識別子として数えて、前記判定した２つの同じ前記識別子の中間に位置する前記識別子の前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする請求項２から５のいずれかに記載の検査ポイント選別装置。

【請求項7】

画像を表示可能な表示手段と、
前記導体パターン輪郭、及び前記レジスト開口輪郭を前記表示手段に表示させる表示処理手段とを備え、
前記表示処理手段が、前記周回順リストに識別子が存在していることを識別可能に、前記レジスト開口輪郭を前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の検査ポイント選別装置。

【請求項8】

操作手段を備え、
前記検査ポイント設定手段が、前記操作手段の手動操作に基づいて、前記各々のレジスト開口輪郭に対して、前記検査ポイントの追加、及び設定されている前記検査ポイントの解除を行うことを特徴とする請求項２から６のいずれかに記載の検査ポイント選別装置。

【請求項9】

検査対象となる基板の導体パターンを示す導体パターンデータ、及びレジストを示すレジストデータに基づいて、検査ポイントの候補となるレジスト開口部を選別するためのプログラムであって、
コンピュータを、
前記導体パターンデータ、及び前記レジストデータを読み込むデータ読込手段と、
前記導体パターンデータに基づいて、前記導体パターンの輪郭を導体パターン輪郭として抽出する導体パターン輪郭抽出手段と、
前記レジストデータに基づいて、各々の前記レジスト開口部の輪郭をレジスト開口輪郭として抽出し、抽出した各々の前記レジスト開口輪郭に対して識別子を付与するレジスト開口輪郭抽出手段と、
前記導体パターン輪郭上に各々の前記レジスト開口輪郭を位置合わせする位置合わせ手段と、
各々の前記レジスト開口輪郭から所定距離内に位置している前記導体パターン輪郭の構成部に、各々の前記レジスト開口輪郭の識別子に対応付けて解析用ポイントを設定する解析用ポイント設定手段と、
前記導体パターン輪郭に沿って周回するときの前記解析用ポイントの並び順を判別し、この並び順を前記レジスト開口輪郭の識別子で表現した周回順リストを作成する周回順リスト作成手段として、
動作させることを特徴とするプログラム。

【請求項10】

前記コンピュータを、
前記周回順リストに基づいて前記検査ポイントを設定する検査ポイント設定手段として動作させることを特徴とする請求項９に記載のプログラム。

【請求項11】

前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が少なくとも３つ連続する、又は少なくとも３つ存在する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする請求項１０に記載のプログラム。

【請求項12】

前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が２つ連続する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする請求項１０又は１１に記載のプログラム。

【請求項13】

前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が連続せずに２つ存在する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする請求項１０から１２のいずれかに記載のプログラム。

【請求項14】

前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に連続せずに存在する２つの同じ前記識別子を判定し、前記周回順リストの中で連続する同じ前記識別子を１つの識別子として数えて、前記判定した２つの同じ前記識別子の中間に位置する前記識別子の前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする請求項１０から１３のいずれかに記載のプログラム。

【請求項15】

画像を表示可能な表示手段を備える前記コンピュータを、
前記導体パターン輪郭、及び前記レジスト開口輪郭を前記表示手段に表示させる表示処理手段として動作させ、
前記表示処理手段が、前記周回順リストに識別子が存在していることを識別可能に、前記レジスト開口輪郭を前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項９から１４のいずれかに記載のプログラム。

【請求項16】

操作手段を備える前記コンピュータを動作させ、
前記検査ポイント設定手段が、前記操作手段の手動操作に基づいて、前記各々のレジスト開口輪郭に対して、前記検査ポイントの追加、及び設定されている前記検査ポイントの解除を行うことを特徴とする請求項１０から１４のいずれかに記載のプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板の導体パターンを示す導体パターンデータ、及びレジストを示すレジストデータに基づいて、検査ポイントの候補となるレジスト開口部を選別する検査ポイント選別装置、及びプログラムに関するものである。

【背景技術】

【0002】

プリント基板に形成された導体パターンの良否を検査するために、導体パターンの断線検査（抵抗値検査）が行われる。導体パターンの断線検査では、導体パターン上に予め設定された一対の検査ポイントに、基板検査装置が一対のプローブを移動させて接触させ、抵抗値を測定し、抵抗値が所定閾値を超えていれば導体パターンが断線している（不良である）と判定し、抵抗値が所定閾値以下であれば導体パターンが導通している（良好である）と判定する。例えば、特許文献１に、検査ポイントのＸＹ座標の位置を含むＣＡＤデータの供給を受け、その検査ポイントにプローブを接触させて検査を行う検査システムが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−１９１３００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載のように、検査ポイントがＣＡＤデータに含まれていれば、検査ポイントを一から設定することは不要である。ＣＡＤデータに検査ポイントが含まれていない場合や含まれていてもそのまま使用できない場合には、基板上の適切な位置に検査ポイントを設定する必要がある。

【0005】

検査ポイントの設定が必要な場合、基板に形成された部品実装用のランド（パッド）やスルーホールなど、導体パターンに対してプローブを接触可能なレジスト開口部に、検査ポイントの設定を行う。

【0006】

導体パターンの中には、ベタパターンと呼ばれるものがある。ベタパターンとは、信号線になる線状（ライン状）に形成された導体パターンではなく、面状に形成された導体パターンであり、電源パターンやグランドパターンとしてよく用いられている。ベタパターンにライン状パターンが繋がっていて、導体パターンにベタパターン及びライン状パターンが含まれている場合もある。

【0007】

ベタパターンには、他層の電源又はグランドを低インピーダンスで接続するために、多数のスルーホール（レジスト開口部）が例えばマトリクス状に配置されている場合が多い。ベタパターン中の多数のレジスト開口部の全てを検査ポイントとして検査を行うことは、検査ステップが膨大な数になると共に、ベタパターンは断線の可能性が低いため無駄である。そのため、ベタパターン中の多数のレジスト開口部の内、検査ポイントとするレジスト開口部を絞り込み、検査ポイントの数を少なくしたいという課題がある。又、検査ポイントを設定するために、レジスト開口部の相対的な並び順を把握したいという課題がある。

【0008】

本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、ベタパターンが含まれる導体パターンに検査ポイントを設定するために、並び順を把握可能に検査ポイントの候補となるレジスト開口部を選別する検査ポイント選別装置及びプログラムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載された検査ポイント選別装置は、検査対象となる基板の導体パターンを示す導体パターンデータ、及びレジストを示すレジストデータに基づいて、検査ポイントの候補となるレジスト開口部を選別する検査ポイント選別装置であって、前記導体パターンデータ、及び前記レジストデータを読み込むデータ読込手段と、前記導体パターンデータに基づいて、前記導体パターンの輪郭を導体パターン輪郭として抽出する導体パターン輪郭抽出手段と、前記レジストデータに基づいて、各々の前記レジスト開口部の輪郭をレジスト開口輪郭として抽出し、抽出した各々の前記レジスト開口輪郭に対して識別子を付与するレジスト開口輪郭抽出手段と、前記導体パターン輪郭上に各々の前記レジスト開口輪郭を位置合わせする位置合わせ手段と、各々の前記レジスト開口輪郭から所定距離内に位置している前記導体パターン輪郭の構成部に、各々の前記レジスト開口輪郭の識別子に対応付けて解析用ポイントを設定する解析用ポイント設定手段と、前記導体パターン輪郭に沿って周回するときの前記解析用ポイントの並び順を判別し、この並び順を前記レジスト開口輪郭の識別子で表現した周回順リストを作成する周回順リスト作成手段とを、備えることを特徴とする。

【0010】

請求項２に記載された検査ポイント選別装置は、請求項１に記載のものであり、前記周回順リストに基づいて前記検査ポイントを設定する検査ポイント設定手段を備えることを特徴とする。

【0011】

請求項３に記載された検査ポイント選別装置は、請求項２に記載のものであり、前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が少なくとも３つ連続する、又は少なくとも３つ存在する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする。

【0012】

請求項４に記載された検査ポイント選別装置は、請求項２又は３に記載のものであり、前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が２つ連続する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする。

【0013】

請求項５に記載された検査ポイント選別装置は、請求項２から４のいずれかに記載のものであり、前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が連続せずに２つ存在する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする。

【0014】

請求項６に記載された検査ポイント選別装置は、請求項２から５のいずれかに記載のものであり、前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に連続せずに存在する２つの同じ前記識別子を判定し、前記周回順リストの中で連続する同じ前記識別子を１つの識別子として数えて、前記判定した２つの同じ前記識別子の中間に位置する前記識別子の前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする。

【0015】

請求項７に記載された検査ポイント選別装置は、請求項１から６のいずれかに記載のものであり、画像を表示可能な表示手段と、前記導体パターン輪郭、及び前記レジスト開口輪郭を前記表示手段に表示させる表示処理手段とを備え、前記表示処理手段が、前記周回順リストに識別子が存在していることを識別可能に、前記レジスト開口輪郭を前記表示手段に表示させることを特徴とする。

【0016】

請求項８に記載された検査ポイント選別装置は、請求項２から６のいずれかに記載のものであり、操作手段を備え、前記検査ポイント設定手段が、前記操作手段の手動操作に基づいて、前記各々のレジスト開口輪郭に対して、前記検査ポイントの追加、及び設定されている前記検査ポイントの解除を行うことを特徴とする。

【0017】

請求項９に記載されたプログラムは、検査対象となる基板の導体パターンを示す導体パターンデータ、及びレジストを示すレジストデータに基づいて、検査ポイントの候補となるレジスト開口部を選別するためのプログラムであって、コンピュータを、前記導体パターンデータ、及び前記レジストデータを読み込むデータ読込手段と、前記導体パターンデータに基づいて、前記導体パターンの輪郭を導体パターン輪郭として抽出する導体パターン輪郭抽出手段と、前記レジストデータに基づいて、各々の前記レジスト開口部の輪郭をレジスト開口輪郭として抽出し、抽出した各々の前記レジスト開口輪郭に対して識別子を付与するレジスト開口輪郭抽出手段と、前記導体パターン輪郭上に各々の前記レジスト開口輪郭を位置合わせする位置合わせ手段と、各々の前記レジスト開口輪郭から所定距離内に位置している前記導体パターン輪郭の構成部に、各々の前記レジスト開口輪郭の識別子に対応付けて解析用ポイントを設定する解析用ポイント設定手段と、前記導体パターン輪郭に沿って周回するときの前記解析用ポイントの並び順を判別し、この並び順を前記レジスト開口輪郭の識別子で表現した周回順リストを作成する周回順リスト作成手段として、動作させることを特徴とする。

【0018】

請求項１０に記載されたプログラムは、請求項９に記載のものであり、前記コンピュータを、前記周回順リストに基づいて前記検査ポイントを設定する検査ポイント設定手段として動作させることを特徴とする。

【0019】

請求項１１に記載されたプログラムは、請求項１０に記載のものであり、前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が少なくとも３つ連続する、又は少なくとも３つ存在する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする。

【0020】

請求項１２に記載されたプログラムは、請求項１０又は１１に記載のものであり、前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が２つ連続する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする。

【0021】

請求項１３に記載されたプログラムは、請求項１０から１２のいずれかに記載のものであり、前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に同じ前記識別子が連続せずに２つ存在する前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする。

【0022】

請求項１４に記載されたプログラムは、請求項１０から１３のいずれかに記載のものであり、前記検査ポイント設定手段が、前記周回順リストの中に連続せずに存在する２つの同じ前記識別子を判定し、前記周回順リストの中で連続する同じ前記識別子を１つの識別子として数えて、前記判定した２つの同じ前記識別子の中間に位置する前記識別子の前記レジスト開口輪郭に対し、前記検査ポイントを設定することを特徴とする。

【0023】

請求項１５に記載されたプログラムは、請求項９から１４のいずれかに記載のものであり、画像を表示可能な表示手段を備える前記コンピュータを、前記導体パターン輪郭、及び前記レジスト開口輪郭を前記表示手段に表示させる表示処理手段として動作させ、前記表示処理手段が、前記周回順リストに識別子が存在していることを識別可能に、前記レジスト開口輪郭を前記表示手段に表示させることを特徴とする。

【0024】

請求項１６に記載されたプログラムは、請求項１０から１４のいずれかに記載のものであり、操作手段を備える前記コンピュータを動作させ、前記検査ポイント設定手段が、前記操作手段の手動操作に基づいて、前記各々のレジスト開口輪郭に対して、前記検査ポイントの追加、及び設定されている前記検査ポイントの解除を行うことを特徴とする。

【発明の効果】

【0025】

本発明の検査ポイント選別装置、及びプログラムによれば、ベタパターンを含む導体パターンを有する基板に対し、検査ポイントの候補になるレジスト開口部を選別した周回順リストを作成することができる。この周回順リストから、検査ポイントの候補となるレジスト開口部の並び順を把握することができる。

【0026】

検査ポイント設定手段が周回順リストに基づいて検査ポイントを設定する場合、自動的に検査ポイントを設定することができるため、オペレータが手動設定する場合よりも簡便、迅速、かつ設定漏れすることなく検査ポイントを設定することができ、便利である。

【0027】

検査ポイント設定手段が周回順リストの中に同じ識別子が少なくとも３つ連続する、又は少なくとも３つ存在するレジスト開口輪郭に対し検査ポイントを設定する場合、枝状（ライン状）の導体パターン（ベタパターン及びライン状パターン）の端部に位置するレジスト開口部に検査ポイントを自動的に設定することができる。

【0028】

検査ポイント設定手段が周回順リストの中に同じ識別子が２つ連続するレジスト開口輪郭に対し検査ポイントを設定する場合、導体パターンの角部に位置するレジスト開口部に検査ポイントを自動的に設定することができる。

【0029】

検査ポイント設定手段が周回順リストの中に同じ識別子が連続せずに２つ存在するレジスト開口輪郭に対し検査ポイントを設定する場合、枝状ベタパターンやライン状パターンがベタパターンから分岐する分岐点に位置するレジスト開口部に検査ポイントを設定することができる。

【0030】

検査ポイント設定手段が周回順リストの中に連続せずに存在する２つの同じ識別子を判定し、連続する同じ識別子を１つと数え、前記判定した２つの同じ識別子の中間に位置する識別子のレジスト開口輪郭に対し検査ポイントを設定する場合、分岐点から見てループの中間に位置するレジスト開口部に検査ポイントを設定することができる。

【0031】

表示処理手段が周回順リストに識別子が存在していることを識別可能にレジスト開口輪郭を表示手段に表示させる場合、オペレータは検査ポイントの候補となるレジスト開口輪郭を、簡便に、かつ、見落とすことなく認識することができる。検査ポイント設定手段が操作手段の手動操作に基づいてレジスト開口輪郭に対して検査ポイントの追加、及び設定されている検査ポイントの解除が可能な場合、オペレータは意図する場所に検査ポイントを手動で設定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0032】

【図1】本発明を適用する検査ポイント選別装置のブロック図である。

【図2】検査ポイントの設定対象となる導体パターン及びレジストを示す基板の一部拡大図である。

【図3】本発明を適用する検査ポイント選別装置及びプログラムの動作を示す周回順リスト作成処理のフローチャートである。

【図4】導体パターンデータによる導体パターンの表現例を示す模式図である。

【図5】導体パターン輪郭を示す模式図である。

【図6】レジストパターンデータによるレジスト開口部の表現例を示す模式図である。

【図7】レジスト開口輪郭を示す模式図である。

【図8】導体パターン輪郭とレジスト開口輪郭とを位置合わせした状態を示す模式図である。

【図9】解析用ポイントを設定した状態を示す模式図である。

【図10】周回順リストである。

【図11】本発明を適用する検査ポイント選別装置及びプログラムの動作を示す検査ポイント設定処理のフローチャートである。

【図12】図１２（ａ）は置換周回順リスト（反時計回り）であり、図１２（ｂ）は置換周回順リスト（時計回り）である。

【図13】本発明を適用する他の検査ポイント選別装置のブロック図である。

【図14】他の検査ポイント設定処理を示すフローチャートである。

【図15】レジスト開口輪郭の内部にレジスト開口点を設定した状態を示す模式図である。

【図16】導体パターン輪郭とレジスト開口点とを位置合わせした状態を示す模式図である。

【図17】各レジスト開口点に放射状線を設定した状態を示す模式図である。

【図18】各レジスト開口点の一対の対向線を示す模式図である。

【図19】他の対向線の存在しない一対の対向線を繋ぐ経路を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0033】

以下、本発明を実施するための形態を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの例に限定されるものではない。

【0034】

図１に、本発明を適用する検査ポイント選別装置１の構成を示す。この検査ポイント選別装置１は、一例として、ハードウエアが汎用的なコンピュータにより構成されており、このコンピュータを、本発明を適用するプログラムで動作させることで実現されている。検査ポイント選別装置１のハードウエア（コンピュータ）は、ＣＰＵ２、データ読込手段３、記憶手段４、表示手段５、及び操作手段６を備えている。

【0035】

ＣＰＵ２は、プログラムに従って演算処理や各部の制御を行い、コンピュータ全体を統括的に制御するものである。ＣＰＵ２は、プログラムに従って動作して、本発明における導体パターン輪郭抽出手段１１、レジスト開口輪郭抽出手段１２、位置合わせ手段１３、解析用ポイント設定手段１４、周回順リスト作成手段１５、検査ポイント設定手段１６、及び表示処理手段１７として動作する。

【0036】

データ読込手段３は、ＣＰＵ２に制御されて、基板データを外部から読み込むためのものである。データ読込手段３は、外部Ｉ／Ｆ（インタフェース）部２１、及び外部記録装置２２によって構成されている。外部Ｉ／Ｆ部２１は、外部機器接続用のインタフェースである。外部Ｉ／Ｆ部２１は、例えば、無線や有線によるＬＡＮ（ローカル・エリア・ネットワーク）、モデム、ＵＳＢ（ユニバーサル・シリアル・バス）、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）などである。外部記録装置２２は、ＵＳＢメモリやＳＤ（エスディー）メモリカードなどの携帯可能な半導体メモリや、ＣＤ（コンパクトディスク）−Ｒ（レコーダブル）／ＲＷ（リライタブル）、ＤＶＤといった光学ディスクメモリなどの外部記録媒体にデータを記録したり、外部記録媒体からデータを読み込んだりするための外部記憶媒体の書込／読込装置である。データ読込手段３として、外部Ｉ／Ｆ部２１及び外部記録装置２２のいずれか一方だけが備えられていてもよい。

【0037】

記憶手段４は、書き換え可能な不揮発性メモリであり、一例として、フラッシュメモリなどの半導体メモリやハードディスクである。この例では、記憶手段４が、動作用のプログラムを記憶するプログラム記憶用メモリと、基板データ、導体パターン輪郭データ、レジスト開口輪郭データ、解析用ポイントデータ、周回順リストデータ、及び検査ポイントデータなどの検査用のデータを記憶するデータ記憶用メモリとを兼ねている。

【0038】

表示手段５は、画像を表示可能な表示画面を有する例えば液晶パネル、ＣＲＴ（陰極線管）である。操作手段６は、オペレータの操作を検査ポイント選別装置１に入力するためのものであり、例えばキーボードやマウスである。表示手段５及び操作手段６がタッチパネルで構成されていてもよい。

【0039】

次に、検査ポイント選別装置１の動作について説明する。

【0040】

ここでは、図２に一部拡大図で示す基板５０の導体パターン６０に対し、断線検査用の検査ポイントの設定を行う例を説明する。基板５０に形成された導体パターン６０は、ベタパターンである。この導体パターン６０上には、一例として円形のランド６１〜６６が形成されている。各ランド６１〜６６は、導体パターン６０の辺よりも内側に形成されている。ランド６１は、ランド６１よりも多少幅広に形成された枝状（ライン状）ベタパターンの端部に位置し、その枝状ベタパターンの根元側にランド６２が位置している。ランド６３、６４は、ベタパターンの角部に位置し、ランド６５は、ベタパターンの辺部に位置し、ランド６６は、ベタパターンの中央部に位置している。各ランド６１〜６６の中心部には、ランド径よりも小径のスルーホールＴＨが形成されている。ここでは、各ランド６１〜６６がスルーホールＴＨを有している例を示しているが、各ランド６１〜６６がスルーホールＴＨを有さない例えば四角形状や円形状に形成された表面実装部品の半田付け用のパッドであってもよい。

【0041】

導体パターン６０上には、同図にハッチング（斜線）で示すレジスト７０が形成されている。レジスト７０には、導体パターン６０の各ランド６１〜６６を基板５０の表面に表出させるために、各ランド６１〜６６と同形に開口するレジスト開口部７１〜７６が形成されている。つまり、レジスト開口部７１〜７６が導体パターン６０上のレジスト７０に形成されていることで、導体パターン６０にランド６１〜６６が形成されている。

【0042】

ＣＰＵ２は、データ読込手段３により本発明を適用するプログラムを外部から読み込んで、記憶手段４に予め記憶させておく。ＣＰＵ２は、オペレータの操作により、又は起動と共に自動的に、記憶手段４に記憶されているプログラムを読み込んで動作を開始する。

【0043】

図３に、本発明のプログラムにより検査ポイント選別装置１が動作する周回順リスト作成処理のフローチャートを示す。

【0044】

ステップＳ１で、ＣＰＵ２は、データ読込手段３により、外部から基板データを読み込む。基板データは、基板設計用ＣＡＤ装置から、基板の製造用データとして、例えばガーバーデータ形式で出力されるものである。読み込むデータは、オペレータによる操作手段６の操作で選択可能であってもよいし、例えばファイル名や拡張子名でＣＰＵ２が基板データであることを判別し、自動的に読み込むようにしてもよい。

【0045】

基板データは、基板を製造するために必要な、導体パターンの配置（形状及び位置）を示す導体パターンデータ、レジスト（レジスト開口部）の配置を示すレジストデータ、ビア（スルーホール含む）の配置を示すビアデータ、基板の形状寸法を示す形状データ、シンボルマーク（シルク）の配置を示すシンボルマークデータなどを含んでいる。基板データは、ネット情報を示すネット情報データなど、他のデータを含んでいてもよい。多層基板の場合であれば、基板データは、各層の導体パターンデータを含んでいることが好ましい。本発明では、基板データが少なくとも導体パターンデータ、及びレジストデータを含んでいることが必要である。基板データとして、導体パターンデータと、レジストデータとが別々のファイルで作成されていて、別々のファイルを個々に読み込むようにしてもよい。ＣＰＵ２は、読み込んだ基板データを記憶手段４に記憶させる。なお、基板データが、基板５０を撮像した画像から、導体パターン６０とレジスト７０とを画像処理で識別したデータであってもよい。

【0046】

続いて、ステップＳ２に進み、ＣＰＵ２は、導体パターン輪郭抽出手段１１として動作する。導体パターン輪郭抽出手段１１は、記憶手段４に記憶されている導体パターンデータに基づいて、導体パターンの輪郭を抽出し、導体パターン輪郭を生成する。導体パターン輪郭抽出手段１１は、導体パターン輪郭データを、基板５０に対する配置（形状及び位置）を特定可能に、例えば基板５０のＸＹ座標に対応付けて記憶手段４に記憶させる。導体パターン（導体パターン輪郭）は複数存在する場合が多いため、導体パターン輪郭抽出手段１１は、各々の導体パターン輪郭を識別可能に、抽出した各々の導体パターン輪郭に対して識別子を付与する。例えば、導体パターン輪郭の識別子としてその導体パターンのネットを付与してもよいし、アルファベットや数字などの識別符号を付与してもよい。導体パターンが１つの場合、導体パターン輪郭に識別子を付与しなくてもよい。導体パターン輪郭に識別子を付与した場合、導体パターン輪郭抽出手段１１は、導体パターン輪郭に識別子を付与して記憶手段４に記憶させる。

【0047】

図４に、ステップＳ１で読み込んだ導体パターン６０を示す導体パターンデータの幾つかの表現例を示す。図４（ａ）は、導体パターン６０の領域（ベタパターン）を多数の細いライン状パターン１００で塗り潰すように配置して表現すると共に、ランド６１〜６６を予め決められた丸型、四角型などの形状のフラッシュ１０１で表現した例である。ライン状パターン１００とフラッシュ１０１とが１つのファイル（データ）内に記録されている場合もあるし、別々のファイルで作成されていて両ファイルのデータを重ね合わせることでランド６１〜６６を含む導体パターン６０が表現される場合もある。図４（ｂ）は、導体パターン６０の輪郭（外縁）をポリゴン１１０で表現すると共に、ランド６１〜６６の部位をそれぞれ多数の細いライン状パターン１１１で塗り潰すように表現した例である。ポリゴン１１０とライン状パターン１１１とが１つのファイル（データ）内に記録されている場合もあるし、別々のファイルで作成されている場合もある。導体パターン６０を示す導体パターンデータの表現例はこれらの例に限られず、その表現形式は限定されない。

【0048】

図５に、ステップＳ２で輪郭化した導体パターン６０の導体パターン輪郭Ｌを示す。導体パターン輪郭抽出手段１１は、例えば図４（ａ）の場合、ライン状パターン１００、１００・・・とフラッシュ１０１、１０１・・・との論理和を算出後その外縁を抽出することで、導体パターン輪郭Ｌを生成する。輪郭は、公知の種々の方法で抽出することができる。導体パターン輪郭Ｌは、どのような形式で基板データが表現されていたとしても同じ形になる。従って、本発明では、基板データの表現形式に関わらず使用することができる。

【0049】

導体パターン輪郭Ｌは、一例として辺Ｌ_１〜Ｌ_７によって構成されている。これらの辺Ｌ_１〜Ｌ_７が、導体パターン輪郭Ｌの構成部（構成辺）になる。後の処理を容易にするために、同図に矢印を付して示すように、導体パターン輪郭Ｌに対し一方向の反時計回り（又は時計回り）で辺Ｌ_１〜Ｌ_７が繋がるように、辺Ｌ_１〜Ｌ_７を方向付け（ベクトル化）しておくことが好ましい。この例では辺Ｌ_１〜Ｌ_７は直線であるが、曲線であってもよい。

【0050】

続いて、ステップＳ３（図３参照）に進み、ＣＰＵ２は、レジスト開口輪郭抽出手段１２として動作する。レジスト開口輪郭抽出手段１２は、記憶手段４に記憶されているレジストデータに基づいて、各々のレジスト開口部の輪郭をレジスト開口輪郭として抽出し、抽出した各々のレジスト開口輪郭に対して識別子を付与する。レジスト開口輪郭抽出手段１２は、識別子の付されたレジスト開口輪郭データを、基板５０に対する配置（形状及び位置）を特定可能に、例えば基板５０のＸＹ座標に対応付けて記憶手段４に記憶させる。ステップＳ２とステップＳ３とを行う順番は、逆にしてもよい。

【0051】

図６に、ステップＳ１で読み込んだレジスト７０を示すレジストデータの表現例を示す。同図は、レジスト開口部７１〜７６の部位をそれぞれ多数の細いライン状パターン１２１で塗り潰すように表現した例である。この例ではレジスト７０を反転表現（ネガ表示）して表している。図示しないが、レジスト開口部７１〜７６以外のレジスト７０がライン状パターンで塗り潰されて表現（ポジ表示）されている場合もある。レジスト開口部７１〜７６がフラッシュで表現されている場合もある。レジストデータの表現例はこれらの例に限られず、その表現形式は限定されない。

【0052】

図７に、ステップＳ３で輪郭化したレジスト開口輪郭Ａ〜Ｆを示す。レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆは、レジスト開口部７１〜７６に対応している。一例として、符号のＡ〜Ｆが、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆに対して付された識別子になっている。このように、識別子は、各々のレジスト開口輪郭を特定可能に、アルファベットや数字などで表現すればよい。レジスト開口輪郭抽出手段１２は、例えば図６に示したレジスト開口部７１〜７６のライン状パターン１２１の論理和を算出後、それらの外縁を抽出することで、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆを生成する。輪郭は、公知の種々の方法で抽出することができる。本発明では、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆを輪郭化することで、基板データの表現形式に関わらず使用することができる。

【0053】

続いて、ステップＳ４（図３参照）に進み、ＣＰＵ２は、位置合わせ手段１３として動作して、図８に示すように、導体パターン輪郭Ｌと、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆとを位置合わせする。

【0054】

続いて、ステップＳ５（図３参照）に進み、ＣＰＵ２は、解析用ポイント設定手段１４として動作する。図９に示すように、解析用ポイント設定手段１４は、各々のレジスト開口輪郭Ａ〜Ｆから所定距離内に位置している導体パターン輪郭Ｌの辺Ｌ_１〜Ｌ_７に、各々のレジスト開口輪郭Ａ〜Ｆの識別子[Ａ〜Ｆ]に対応付けて解析用ポイントＰを設定する。

【0055】

所定距離は、各レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆが、導体パターン輪郭Ｌの辺Ｌ_１〜Ｌ_７から近い距離に位置しているか判別するための距離である。所定距離は、パターン幅、パターン密度、レジスト開口部の密度などにより適宜定めればよい。各レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆが辺Ｌ_１〜Ｌ_７から所定距離内に位置しているか判別する方法は、公知の種々の方法で行うことができる。例えば、各レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆから各辺Ｌ_１〜Ｌ_７までのそれぞれの最短距離を算出し、この最短距離が所定距離内にある辺Ｌ_１〜Ｌ_７を選別してもよい。所定距離は、プログラム中に予め固定値として設定されていてもよいが、ステップＳ６（図３参照）に示すように、操作手段６（図１参照）の操作により、オペレータが数値入力したり、複数の候補の中から選択したりすることで、所定距離を任意の値に設定可能に構成されていることが好ましい。複数の導体パターン輪郭Ｌ、Ｌ・・・が存在するときに、全ての導体パターンＬに共通する所定距離を設定できるようにしてもよいし、操作手段６の操作により１つ又は複数の導体パターン輪郭Ｌを選択し、選択した導体パターン輪郭Ｌに適用される所定距離を設定できるようにしてもよい。

【0056】

図９では、各レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆから所定距離の範囲を破線の円で示している。レジスト開口輪郭Ａに対し、解析用ポイント設定手段１４は、レジスト開口輪郭Ａから所定距離（破線の円）内に位置している導体パターン輪郭Ｌの構成部が、辺Ｌ_１、Ｌ_２、Ｌ_７であると判別する。解析用ポイント設定手段１４は、レジスト開口輪郭Ａから辺Ｌ_１上の最短距離の位置に、レジスト開口輪郭Ａに対応付けて、解析用ポイントＰ_Ａ１を設定する。同図では、解析用ポイントＰ_Ａ１がレジスト開口輪郭Ａに対応付けられていることを表すために、符号Ｐ_Ａ１の後に識別子[Ａ]を付して表している。解析用ポイント設定手段１４は、解析用ポイントＰ_Ａ１の位置（例えば基板上のＸＹ座標）、及び解析用ポイントＰ_Ａ１に対応付けたレジスト開口輪郭Ａの識別子[Ａ]を記憶手段４に記憶させる。同様に、解析用ポイント設定手段１４は、レジスト開口輪郭Ａから辺Ｌ_２上の最短距離の位置に解析用ポイントＰ_Ａ２を識別子[Ａ]に対応付けて設定して記憶手段４に記憶させると共に、レジスト開口輪郭Ａから辺Ｌ_７上の最短距離の位置に解析用ポイントＰ_Ａ３を識別子[Ａ]に対応付けて設定して記憶手段４に記憶させる。

【0057】

同様に、解析用ポイント設定手段１４は、レジスト開口輪郭Ｂに対し、辺Ｌ_２上に解析用ポイントＰ_Ｂ１を識別子[Ｂ]に対応付けて設定し、辺Ｌ_７上に解析用ポイントＰ_Ｂ２を識別子[Ｂ]に対応付けて設定する。レジスト開口輪郭Ｃに対し、辺Ｌ_３上に解析用ポイントＰ_Ｃ１を識別子[Ｃ]に対応付けて設定し、辺Ｌ_４上に解析用ポイントＰ_Ｃ２を識別子[Ｃ]に対応付けて設定する。レジスト開口輪郭Ｄに対し、辺Ｌ_６上に解析用ポイントＰ_Ｄ１を識別子[Ｄ]に対応付けて設定し、辺Ｌ_７上に解析用ポイントＰ_Ｄ２を識別子[Ｄ]に対応付けて設定する。レジスト開口輪郭Ｅに対し、辺Ｌ_７上に解析用ポイントＰ_Ｅ１を識別子[Ｅ]に対応付けて設定する。

【0058】

レジスト開口輪郭Ｆに対して、解析用ポイント設定手段１４は、レジスト開口輪郭Ｆから所定距離内に位置している導体パターン輪郭Ｌの構成部が無いと判別し、解析用ポイントＰを設定しない。

【0059】

なお、同じ距離であると見なす距離範囲Ｗを予め定めておき、解析用ポイント設定手段１４が、レジスト開口輪郭Ａから最短距離に位置する辺Ｌ_１〜Ｌ_７を判別してその最短距離Ｓを求め、最短距離Ｓ＋距離範囲Ｗの距離内に位置している辺Ｌ_１〜Ｌ_７を、レジスト開口輪郭Ａから所定距離内に位置している辺として判別してもよい。この場合、最短距離Ｓ（又は最短距離Ｓ＋距離範囲Ｗ）が予め設定された最大許容距離Ｍを超えるときには、辺Ｌ_１〜Ｌ_７がレジスト開口輪郭Ａの所定距離外に位置していると判別する。レジスト開口輪郭Ｂ〜Ｆについても同様に判別する。距離範囲Ｗ、及び最大許容距離Ｍがプログラム中に予め固定値として設定されていてもよいが、ステップＳ６（図３参照）のように、距離範囲Ｗ、及び最大許容距離Ｍの少なくとも一方を、操作手段６（図１参照）の操作により設定可能に構成されていることが好ましい。複数の導体パターン輪郭Ｌ、Ｌ・・・が存在するときに、距離範囲Ｗや最大許容距離Ｍを、全ての導体パターンＬに共通する値として設定できるようにしてもよいし、操作手段６の操作により１つ又は複数の導体パターン輪郭Ｌに適用される値として設定できるようにしてもよい。

【0060】

表面実装部品用のパッドのように、レジスト開口輪郭が多角形状（例えば四角形状）に形成されている場合、レジスト開口輪郭の辺と、導体パターン輪郭Ｌの辺Ｌ_１〜Ｌ_７とが並行になる場合がある。このような場合、平行なレジスト開口輪郭の辺と導体パターン輪郭Ｌの辺Ｌ_１〜Ｌ_７とは、対向する範囲の何れのポイントでも最短距離になる。そのため、解析用ポイントＰを１つ設定するために、レジスト開口輪郭の中心（重心）から最短距離になる辺Ｌ_１〜Ｌ_７上のポイントに、解析用ポイントＰを設定してもよい。レジスト開口輪郭が円形状の場合であっても、レジスト開口輪郭の中心から辺Ｌ_１〜Ｌ_７までの距離を算出するようにしてもよい。

【0061】

続いて、ステップＳ７（図３参照）に進み、ＣＰＵ２は、周回順リスト作成手段１５として動作する。周回順リスト作成手段１５は、導体パターン輪郭Ｌに沿って周回したときの解析用ポイントＰの並び順を判別し、この並び順をレジスト開口輪郭Ａ〜Ｆの識別子[Ａ〜Ｆ]で表現した周回順リストを作成する。周回順リスト作成手段１５は、作成した周回順リストを記憶手段４に記憶させる。

【0062】

導体パターン輪郭Ｌに沿って周回する方向は、反時計回り、時計回りのいずれでもよいが、ステップＳ２でベクトル化した辺Ｌ_１〜Ｌ_７の方向（図５参照）に従って周回すると、導体パターン輪郭Ｌの追跡を簡便に行うことができるため、好ましい。周回する開始点は、いずれの解析用ポイントＰから開始してもよい。周回順リスト作成手段１５は、導体パターン輪郭Ｌを追跡し、解析用ポイントＰが現れるたびにその識別子[Ａ〜Ｅ]を順番に記録していく。

【0063】

図１０に、一例として、解析用ポイントＰ_Ａ１から反時計回りに導体パターン輪郭Ｌを周回（一周）したときに作成される周回順リストを示す。この周回順リストは、同図中に矢印で示すように、Ｎｏ.１〜Ｎｏ.１０に示された順で、識別子[Ａ〜Ｅ]（解析用ポイントＰ）が導体パターン輪郭Ｌ上に並んでいることを示している。周回順リストの最終行のＮｏ.１０は、一周して開始点に戻る直前の解析用ポイントＰ_Ａ３の示す識別子[Ａ]を示している。従って、周回順リストでは、最終行のＮｏ.１０と開始行のＮｏ.１とが導体パターンＬ上で順に並んでいることを意味している。つまり、周回順リストは環状に繋がっている。同図の周回順リストは、一例として解析用ポイントＰ_Ａ１を開始点として作成しているが、いずれの解析用ポイントＰを開始点として作成しても、周回順リストは環状に繋がっているので単にリスト上で何れの解析用ポイントＰの識別子が開始行として表現されるかが変わるだけであり、周回順リストの意味する識別子の並び順は変わらない。なお、周回順リストにＮｏ.１１（図示せず）の行を設け、一周して戻った開始点の識別子（Ｎｏ.１の識別子）を確認的に記載するようにしてもよい。又、同図では、周回順リストに備考欄を設けて解析用ポイントＰの情報を記しているが、周回順リストは解析用ポイントＰの情報を持たなくてもよい。又、この例では、周回順リストを一例として表形式で示しているが、環状に並ぶ解析用ポイントＰの識別子の並び順が判れば、どのように表現してもよい。

【0064】

この周回順リストは、導体パターン輪郭Ｌの縁（辺Ｌ_１〜Ｌ_７）に近接するレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅの並び順（接続順）を示している。このように縁に近接するレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅは、検査ポイントの候補になる。つまり、周回順リストは、検査ポイントの候補を表している。周回順リストには、レジスト開口輪郭Ｆの識別子は含まれない。ベタパターンの中央部に位置するレジスト開口部Ｆは、断線の可能性も低く、検査ポイントから除外したいポイントである。

【0065】

従って、オペレータは、周回順リストに含まれるレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅの中から、検査ポイントを設定すればよい。

【0066】

ＣＰＵ２が、表示処理手段１７として動作して、図８に示すように導体パターン輪郭Ｌ及びレジスト開口輪郭Ａ〜Ｆを表示手段５に表示させると共に、周回順リストに存在しているレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅを識別可能に表示させることが好ましい。レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆの内側や横に、識別子を示すＡ〜Ｆの文字や記号等を表示させてもよい。表示処理手段１７は、周回順リスト外のレジスト開口輪郭Ｆから区別可能に、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｅの色調や輝度、輪郭線を変えて表示させたり、点滅させて表示させたりする。レジスト開口輪郭Ａ〜Ｅの内側や横に、周回順リスト中に存在していることを示す例えば星マーク等の記号や文字を表示させてもよい。表示処理手段１７は、周回順リストに存在しているレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅだけを導体パターン輪郭Ｌと共に表示手段５に表示させてもよい。又、表示処理手段１７は、周回順リストの並び順（Ｎｏ.１〜Ｎｏ.１０）に従って、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｅの色調、輝度、点滅の有無等を順次変えて、表示させてもよい。例えば、Ｎｏ.１〜２のレジスト開口輪郭Ａの色調等を所定時間だけ変え、次に、Ｎｏ.３のレジスト開口輪郭Ｂの色調等を所定時間だけ変え、次にＮｏ.４〜５のレジスト開口輪郭Ｃの色調等を所定時間だけ変えるという具合に、順次、色調等を変えていく。この色調等の変化を、周回順リストが循環するものとして繰り返す。

【0067】

このように、周回順リスト中に存在しているレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅを識別可能に表示させると、オペレータは、表示手段５に表示された画像から、検査ポイントの候補となるレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅを、簡便に、かつ、見落とすことなく認識することができる。又、周回順リスト中の順番も識別可能に表示させると、オペレータは、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｅの繋がりや関係性を、簡便に認識することができる。

【0068】

ＣＰＵ２は、検査ポイント設定手段１６として動作して、操作手段６の手動操作により、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆに対して、検査ポイントの追加設定、及び設定されている検査ポイントの解除を行うことが可能に構成されていることが好ましい。例えば、検査ポイントを設定する場合、オペレータが例えばマウス等の操作手段６を操作して、検査ポイントを設定したい例えばレジスト開口輪郭Ａ（Ａ〜Ｅ）を表示手段５の表示画面上で選択し、検査ポイントの設定操作を行う。検査ポイント設定手段１６は、選択された検査ポイントをレジスト開口輪郭Ａ内のいずれの位置に設定してもよいが、例えばレジスト開口輪郭Ａの中心に設定する。検査ポイント設定手段１６は、設定された検査ポイントのデータを、例えば基板５０上の位置、レジスト開口輪郭、レジスト開口部、又はランドに対応付けて、記憶手段４に記憶させる。検査ポイントを解除する場合、オペレータが操作手段６を操作して、すでに検査ポイントの設定されている例えばレジスト開口輪郭Ａを表示画面上で選択し、検査ポイントの解除操作を行う。検査ポイント設定手段１６は、解除された検査ポイントのデータを、記憶手段４から消去させる。

【0069】

オペレータは、導体パターンの縁に沿うレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅの並び順（接続順）を、周回順リストや周回順リストに基づく画像表示から知ることができる。そのため、断線検査に適した検査ポイントを簡便に設定できるだけでなく、例えば、ガーディングポイントとなる検査ポイントを簡便に決定することができる。ガーディングポイントとは、回り込み電流を抑制するためのものであり、離れた２点のレジスト開口部間に信号を流して抵抗等の電気的特性を測定する場合、２点間に信号が流れる経路が並列的に複数存在するときに、検査対象となる１つの経路以外の他の経路中にガーディングポイントを設定し、このガーディングポイントに信号の電位と同電位を印加して、測定に他の経路の影響を及ぼさせないようにするためのものである。オペレータは、例えば、周回順リストの並び順の中で、離れた２点のレジスト開口部Ａ〜Ｅの間に位置している１つのレジスト開口部Ａ〜Ｅを選択し、そこにガーディングポイントとなる検査ポイントを設定する。

【0070】

又、導体パターンの縁に沿うレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅの並び順（接続順）が判るので、例えば導体パターンの区間ごと（レジスト開口輪郭Ａ〜Ｅの区間ごと）の抵抗値の算出を簡便に行うことができる。

【0071】

検査ポイント設定手段１６は、周回順リストに基づいて、検査ポイントを自動的に設定することが好ましい。検査ポイント設定手段１６が周回順リストに存在する全てのレジスト開口輪郭Ａ〜Ｅに対して自動的に検査ポイントを設定するようにしてもよいが、検査ポイント設定手段１６が周回順リストの内容を判別して、必要な分の検査ポイントを自動的に設定するようにすることが好ましい。

【0072】

ここで、周回順リストが示す内容（周回順リストの特性）について予め説明する。なお、周回順リストで同じ識別子が連続するか否かは、前述したように周回順リストが環状に繋がる（循環する）ものとして周回順リストの中の識別子の並びを判別する。例えば、図１０に示す周回順リストの最終行Ｎｏ.１０（開始点直前のレジスト開口輪郭）と、開始行Ｎｏ.１（開始点のレジスト開口輪郭）とは並んでいるものとして判別する。

【0073】

図９に示されるように、レジスト開口輪郭Ａは、枝状ベタパターンの端部（枝状端部）に位置しており、三方向を導体パターン輪郭Ｌ（辺Ｌ_１、Ｌ_２、Ｌ_７）に囲まれている。この場合、周回順リストに同じ識別子「Ａ」が３つ連続して存在する。枝状ベタパターンが曲がって形成されている場合、周回順リストに同じ識別子が４つ以上連続する場合もある。このことから、周回順リストに同じ識別子が少なくとも３つ連続して存在している場合、そのレジスト開口輪郭は、枝状ベタパターンの端部に位置していると判別できる。周回順リストに同じ識別子が連続せずに少なくとも３つ存在する場合は殆ど有り得ないため、連続するか否かを判別せずに、周回順リストに少なくとも３つ同じ識別子が存在する場合、そのレジスト開口輪郭は枝状ベタパターンの端部に位置していると判別してもよい。

【0074】

レジスト開口輪郭Ｂは、枝状ベタパターンの分岐点（枝状ベタパターンの根本）に位置しており、上下を導体パターン輪郭Ｌ（辺Ｌ２、Ｌ７）に挟まれている。この場合、周回順リストに連続せずに同じ識別子「Ｂ」が２つ存在する。このことから、周回順リストに連続せずに同じ識別子が２つ存在している場合、そのレジスト開口輪郭は、枝状ベタパターンの分岐点に位置していると判別できる。

【0075】

レジスト開口輪郭Ｃは、ベタパターンの角部に位置しており、二方向を導体パターン輪郭Ｌ（辺Ｌ_３、Ｌ_４）に囲まれている。この場合、周回順リストに同じ識別子「Ｃ」が２つ連続する。このことから、周回順リストに同じ識別子が２つ連続している場合、そのレジスト開口輪郭は、ベタパターンの角部に位置していると判別できる。レジスト開口輪郭Ｄも同様に、周回順リストに同じ識別子「Ｄ」が２つ連続し、角部に位置していると判別できる。

【0076】

レジスト開口輪郭Ｅは、ベタパターンの辺の中程（角部以外の箇所）の近くに位置している。この場合、周回順リストに識別子「Ｅ」が１つだけ存在する。このことから、周回順リストに識別子が１つだけ存在している場合、そのレジスト開口輪郭は、ベタパターンの辺の中程の近くに位置していると判別できる。

【0077】

レジスト開口輪郭Ｆは、ベタパターンの中央部に位置している。この場合、周回順リストに識別子「Ｆ」は存在しない。このことから、周回順リストに識別子が存在しない場合、そのレジスト開口輪郭は、ベタパターンの中央部に位置していると判別できる。

【0078】

又、レジスト開口部Ｄは、枝状に分岐している枝状ベタパターンの分岐点（レジスト開口輪郭Ｂ）から見て、距離を無視すると、広い面的なベタパターンのループ（レジスト開口輪郭Ｂ→Ｃ→Ｄ→Ｅ→Ｂ）の中間点に位置している。このようなループの中間点のレジスト開口輪郭Ｄは、枝状ベタパターンの端部のレジスト開口輪郭Ａ、又は枝状ベタパターンの分岐点のレジスト開口輪郭Ｂと断線検査を行うための検査ポイントになり得る。周回順リストにおいては、レジスト開口輪郭Ｄの識別子「Ｄ」は、周回順リストに連続せずに同じ識別子「Ｂ」が２つ存在している場合、周回順リストの中の連続する同じ識別子を１つの識別子として数えたときに、２つの識別子「Ｂ」、「Ｂ」の中間に位置していると判別できる。

【0079】

以上の周回順リストの示す特性を利用することで、検査ポイント設定手段１６は検査ポイントを自動的に設定することができる。

【0080】

図１１に、本発明のプログラムにより動作する検査ポイント設定処理のフローチャートを示す。この検査ポイント設定処理は、周回順リスト作成処理（図３参照）の後に実行される。なお、検査ポイント設定手段１６は、前述したように、識別子が連続しているか否かを、周回順リストの識別子の並びが循環するものとして判別する。

【0081】

検査ポイント設定処理が開始されると、検査ポイント設定手段１６は、ステップＳ１１で、周回順リストを記憶手段４から読み込む。続いて、ステップＳ１２に進み、表示処理手段１７が、表示手段５に、『検査ポイントを枝状ベタパターンの端部に設定するか否か』を問う表示を表示させる。オペレータの操作手段６の操作により、『Ｙｅｓ』（設定する）が選択されると、ステップＳ１３に進む。

【0082】

ステップＳ１３では、検査ポイント設定手段１６が、周回順リストの中に、同じ識別子が少なくとも３つ連続する（又は少なくとも３つ存在する）レジスト開口輪郭に対し、検査ポイントを設定する。図１０に示す周回順リストでは、検査ポイント設定手段１６は、Ｎｏ.１、Ｎｏ.２、Ｎｏ.１０に識別子「Ａ」が３つ連続（又は存在）していると判別して、レジスト開口輪郭Ａに検査ポイントを自動的に設定する。

【0083】

図１１のステップＳ１３が終了したとき、同じ識別子が少なくとも３つ連続（又は存在）していないとき、又はステップＳ１２で『Ｎｏ』（設定しない）が選択されたとき、ステップＳ１４に進む。

【0084】

ステップＳ１４では、表示処理手段１７が、表示手段５に、『検査ポイントを枝状ベタパターンの分岐点に設定するか否か』を問う表示を表示させる。オペレータの操作手段６の操作により、『Ｙｅｓ』が選択されると、ステップＳ１５に進む。

【0085】

ステップＳ１５では、検査ポイント設定手段１６が、周回順リストの中に同じ識別子が連続せずに２つ存在するレジスト開口輪郭に対し、検査ポイントを設定する。図１０の例では、検査ポイント設定手段１６は、周回順リストのＮｏ.３の識別子「Ｂ」、Ｎｏ.９の識別子「Ｂ」が連続せずに２つ連続していると判別して、レジスト開口輪郭Ｂに検査ポイントを自動的に設定する。

【0086】

図１１のステップＳ１５が終了したとき、同じ識別子が連続せずに２つ存在していないとき、又はステップＳ１４で『Ｎｏ』が選択されたとき、ステップＳ１６に進む。

【0087】

ステップＳ１６では、表示処理手段１７が、表示手段５に、『枝状ベタパターンから見て、ベタパターンのループの中間に位置するレジスト開口輪郭に、検査ポイントを設定するか否か』を問う表示を表示させる。オペレータの操作手段６の操作により、『Ｙｅｓ』が選択されると、ステップＳ１７に進む。

【0088】

ステップＳ１７では、検査ポイント設定手段１６が、周回順リストの中に連続せずに存在する２つの同じ識別子を判定し、周回順リストの中で連続する同じ識別子を１つの識別子として数えて、前記判定した２つの同じ識別子の中間に位置する識別子のレジスト開口輪郭に対し、検査ポイントを設定する。図１０の例では、検査ポイント設定手段１６は、周回順リストのＮｏ.３の識別子「Ｂ」、Ｎｏ.９の識別子「Ｂ」が連続せずに２つ連続していると判定する。連続する同じ識別子を１つの識別子とすると、周回順リストは、Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄ→Ｅ→Ｂになる。この並びの中で２つの識別子[Ｂ]、[Ｂ]に挟まれて中間に位置しているレジスト開口輪郭Ｄに対し、検査ポイントを自動的に設定する。

【0089】

この場合、検査ポイント設定手段１６は、演算を簡便に行うために、連続している同じ識別子を１つの識別子に置換することで、周回順リストから置換周回順リストを作成して判別するようにしてもよい。

【0090】

図１２（ａ）に、図１０に示した周回順リスト中の連続する同じ識別子を１つに置き換えて作成した置換周回順リストを示す。図１０の例では、周回順リストは環状に繋がるため、検査ポイント設定手段１６は、Ｎｏ.１０、Ｎｏ.１、Ｎｏ.２で識別子[Ａ]が３つ連続していると判定する。そのため、検査ポイント設定手段１６は、連続する３つの識別子[Ａ]を１つに置換して、図１２のＮｏ.１ａを識別子[Ａ]とする。図１０中で、識別子[Ｃ]はＮｏ.４、Ｎｏ.５で２つ連続している。そのため、この連続する２つの識別子[Ｃ]を１つに置換して、図１２のＮｏ.３ａを識別子[Ｃ]とする。同様に、図１０中で連続する２つの識別子[Ｄ]を１つに置換して、図１２のＮｏ.４ａを識別子[Ｄ]とする。このような置換周回順リストを作成することで、連続しない２つの識別子[Ｂ]、[Ｂ]の中間に識別子[Ｄ]が位置していることを簡便に判別することができる。例えば、検査ポイント設定手段１６は、置換周回順リスト中で識別子[Ｂ]のあるＮｏ.２ａとＮｏ.６ａとが４行分だけ差がある（離れている）と判別し、Ｎｏ.２ａ及びＮｏ.６ａから等距離（差の半分の２行分）の位置にあるＮｏ.４ａの識別子「Ｄ」を選別する。

【0091】

なお、連続しない２つの識別子[Ｂ]、[Ｂ]に挟まれて偶数の識別子が存在するときには、識別子[Ｂ]、[Ｂ]の中間の位置に２つの識別子が存在する。このような場合、中間に位置する２つの識別子のレジスト輪郭開口の両方に検査ポイントを設定してもよいし、いずれか一方に検査ポイントを設定してもよい。又、置換周回順リストも循環するので、Ｂ（Ｎｏ.６ａ）→Ａ（Ｎｏ.１ａ）→Ｂ（Ｎｏ.２ａ）の中間に、Ａ（Ｎｏ.１ａ）が存在している。ここでは、ループの中間に位置するレジスト開口輪郭を探索するのが目的であるので、識別子[Ｂ]から遠い位置に存在する識別子[Ｄ]（Ｎｏ.４ａ）を採用する。又は、枝状ベタパターンに位置するレジスト開口輪郭Ａを除外するようにしてもよい。

【0092】

又、図１２（ａ）の置換周回順リスト（反時計回り）、及び図１２（ｂ）の置換周回順リスト（時計回り）の２つを作成して、枝状ベタパターンから見たときにベタパターンのループの中間に位置するレジスト開口輪郭を判別するようにしてもよい。図１２（ｂ）の置換周回順リスト（時計回り）は、図１２（ａ）の置換周回順リスト（反時計回り）を、逆回りの順に並べ直すことで作成したものである。つまり、図１２（ａ）の置換周回順リストをＮｏ.１ａ→Ｎｏ.６ａ→Ｎｏ.５ａ→Ｎｏ.４ａ→Ｎｏ.３ａ→Ｎｏ.２ａのように並べ直したものが、図１２（ｂ）に示す置換周回順リストのＮｏ.１ｂ→Ｎｏ.２ｂ→Ｎｏ.３ｂ→Ｎｏ.４ｂ→Ｎｏ.５ｂ→Ｎｏ.６ｂである。図１２（ａ）及び図１２（ｂ）の開始点は同じである。なお、図１２（ｂ）の置換周回順リストを、導体パターン輪郭Ｌを時計回りに解析用パターンＰを追跡することで作成してもよい。

【0093】

図１２（ａ）と図１２（ｂ）とを比較すると、図１２（ａ）のＢ→Ｃ→Ｄ→Ｅ→Ｂの並びと、図１２（ｂ）のＢ→Ｅ→Ｄ→Ｃ→Ｂの並びとは、識別子[Ｄ]を中心として、反転している（前後が入れ替わっている）。この性質を利用して、検査ポイント設定手段１６は、反時計回り及び時計回りの２つの置換周回順リストを作成し、両リストを比較して、並び順が反転する中心に位置するレジスト開口輪郭Ｄを選別し、そこに検査ポイントを設定するようにしてもよい。

【0094】

図１１のステップＳ１７が終了したとき、同じ識別子が連続せずに２つ存在していないとき、又はステップＳ１６で『Ｎｏ』が選択されたとき、ステップＳ１８に進む。

【0095】

ステップＳ１８では、表示処理手段１７が、表示手段５に、『検査ポイントをベタパターンの角部に設定するか否か』を問う表示を表示させる。オペレータの操作手段６の操作により、『Ｙｅｓ』が選択されると、ステップＳ１９に進む。

【0096】

ステップＳ１９では、検査ポイント設定手段１６が、周回順リストの中で同じ識別子が２つ連続するレジスト開口輪郭に対し、検査ポイントを設定する。図１０の例では、検査ポイント設定手段１６は、周回順リストのＮｏ.４、Ｎｏ.５の識別子「Ｃ」が２つ連続すると判別してレジスト開口輪郭Ｃに検査ポイントを自動的に設定すると共に、周回順リストのＮｏ.６、Ｎｏ.７の識別子「Ｄ」が２つ連続すると判別してレジスト開口輪郭Ｄに検査ポイントを自動的に設定する。

【0097】

図１１のステップＳ１９が終了したとき、同じ識別子が２つ連続していないとき、又はステップＳ１８で『Ｎｏ』が選択されたとき、ステップＳ２０に進む。

【0098】

ステップＳ２０では、表示処理手段１７が、表示手段５に、『検査ポイントをベタパターンの辺の近く（角部以外）に設定するか否か』を問う表示を表示させる。オペレータの操作手段６の操作により、『Ｙｅｓ』が選択されると、ステップＳ２１に進む。

【0099】

ステップＳ２１では、検査ポイント設定手段１６が、周回順リストの中に、識別子が１つだけ存在するレジスト開口輪郭に対し、検査ポイントを設定する。図１０の例では、検査ポイント設定手段１６は、周回順リストのＮｏ.８に識別子「Ｅ」が１つだけ存在すると判別してレジスト開口輪郭Ｅに検査ポイントを自動的に設定する。

【0100】

ステップＳ２１が終了したとき、識別子が１つだけ存在するものがないとき、又はステップＳ２０で『Ｎｏ』が選択されたとき、検査ポイント設定処理を終了する。検査ポイント設定手段１６は、自動的に設定した各検査ポイントのデータを記憶手段４に記憶させる。又、表示処理手段１７は、検査ポイントを設定したレジスト開口輪郭を識別可能に、表示手段５に表示させる。

【0101】

このように、ステップＳ１２、Ｓ１４、Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ２０で検査ポイントを設定する場所の種類をオペレータに問うことで、オペレータの意図を反映させつつ検査ポイントを自動的に設定することができる。ステップＳ１２、Ｓ１４、Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ２０を行わず、オペレータに場所の種類を問うことなく検査ポイントを自動的に設定するようにしてもよい。ステップＳ１２〜Ｓ２１のうち、必要なステップだけを行うようにしてもよい。例えば、検査ポイント設定処理として、ステップＳ１１、Ｓ１３、Ｓ１５、Ｓ１９だけを行うようにしてもよいし、ステップＳ１１〜Ｓ１５だけを行うようにしてもよい。又、枝状ベタパターンの端部、及びベタパターンの角部の両方に検査ポイントを設定するときに、検査ポイント設定手段１６は、周回順リストに同じ識別子が少なくとも２つ連続しているレジスト開口輪郭に対し、検査ポイントを設定するように処理してもよい。又、ベタパターンの角部、及び枝状ベタパターンの分岐点の両方に検査ポイントを設定するときに、検査ポイント設定手段１６は、周回順リストに同じ識別子が２つ存在しているレジスト開口輪郭に対し、検査ポイントを設定するように処理してもよい。

【0102】

図１１に示した検査ポイント設定処理と、他の検査ポイント設定処理とを組み合わせて、検査ポイントを設定するようにしてもよい。

【0103】

図１３に、検査ポイント設定処理及び他の検査ポイント設定処理を行う検査ポイント選別装置１ａのブロック図を示す。既に説明した構成と同様の構成については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。

【0104】

検査ポイント選別装置１ａのＣＰＵ２ａは、プログラムに従って動作することで、検査ポイント選別装置１のＣＰＵ２の各手段に加えて、レジスト開口点設定手段８１、放射状線設定手段８２、対向線選択手段８３、及び他の検査ポイント設定手段８４として動作する。又、検査ポイント選別装置１ａの記憶手段４ａは、検査ポイント選別装置１の記憶手段４に加えて、後述するレジスト開口点データ、放射状線データ、及び対向線データを記憶する。

【0105】

他の検査ポイント設定処理に関する構成として、検査ポイント選別装置１ａは、導体パターンデータ及びレジストデータを読み込むデータ読込手段３と、導体パターンデータに基づいて導体パターンの輪郭を抽出する導体パターン輪郭抽出手段１１と、レジストデータに基づいてレジスト開口部の輪郭を抽出するレジスト開口輪郭抽出手段１２と、レジスト開口輪郭の内部に含まれる点であるレジスト開口点を、各々のレジスト開口輪郭に対して設定するレジスト開口点設定手段８１と、レジスト開口点から放射する仮想の放射状線を、レジスト開口点ごとに設定する放射状線設定手段８２と、レジスト開口点から導体パターン輪郭までの放射状線の各々長さを算出し、この長さに基づいて放射状線の中から逆向きの対向関係にある一対の対向線を、レジスト開口点ごとに選択する対向線選択手段８３と、導体パターン輪郭に沿う、注目しているレジスト開口点の一対の対向線を繋ぐ経路の中に、他のレジスト開口点から生じた対向線の存在していない経路があるときに、注目しているレジスト開口点に対応するレジスト開口部に検査ポイントを設定する他の検査ポイント設定手段８４とを、備えている。

【0106】

検査ポイント選別装置１ａは、最初に他の検査ポイント設定処理を行い、次に、前述した周回順リスト作成処理（図３参照）及び検査ポイント設定処理（図１１参照）を実行する。

【0107】

図１４に、他の検査ポイント設定処理のフローチャートを示す。ここでは、図２に示した導体パターン６０及びレジスト７０を有する基板５０に、検査ポイントを設定する例について説明する。

【0108】

検査ポイント選別装置１ａが他の検査ポイント設定処理を開始すると、ステップＳ３１で、ＣＰＵ２ａは、データ読込手段３により、外部から基板データを読み込む。この処理は、既に説明した検査ポイント設定処理のステップＳ１（図３参照）と同様の処理である。

【0109】

続いて、ステップＳ３２に進み、ＣＰＵ２ａは、導体パターン輪郭抽出手段１１として動作して、導体パターンデータから導体パターン輪郭Ｌ（図５参照）を抽出する。この処理はステップＳ２（図３参照）と同様の処理である。

【0110】

続いて、ステップＳ３３に進み、ＣＰＵ２ａは、レジスト開口輪郭抽出手段１２として動作して、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆ（図７参照）を抽出する。この処理はステップＳ３（図３参照）と同様の処理である。

【0111】

続いて、ステップＳ３４に進み、ＣＰＵ２ａは、レジスト開口点設定手段８１として動作して、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆの内部に含まれる点であるレジスト開口点ａ〜ｆを設定する。図１５に示すように、レジスト開口点ａ〜ｆを、レジスト開口輪郭Ａ〜Ｆの中央部、特に中心点に設定することが好ましい。ＣＰＵ２ａは、設定したレジスト開口点ａ〜ｆを、記憶手段４ａに記憶させる。

【0112】

続いて、ステップＳ３５に進み、ＣＰＵ２ａは、位置合わせ手段１３として動作して、図１６に示すように、導体パターン輪郭Ｌと、レジスト開口点ａ〜ｆとを位置合わせする。

【0113】

続いて、ステップＳ３６に進み、ＣＰＵ２ａは、放射状線設定手段８２として動作する。図１７に示すように、放射状線設定手段８２は、各々のレジスト開口点ａ〜ｆから放射する仮想の放射状線を設定する。放射状線は、導体パターン輪郭Ｌまで少なくとも達する長さで設定する。放射状線は、等角度の間隔で放射するように設定する。放射状線は偶数本（偶数方向）で設定し、少なくとも４本（４方向）以上で設定することが好ましく、ここでは８本（８方向）に設定した例を示している。放射状線の数は限定されないが、計算量を考慮して８本程度であることが好ましい。又、角度が９０度の関係にある放射状線が含まれるように、放射状線の数を４の倍数で設定することが好ましい。同図に示すように、レジスト開口点ａに放射状線ａ_１〜ａ_８を設定し、レジスト開口点ｂに放射状線ｂ_１〜ｂ_８を設定し、レジスト開口点ｃに対し放射状線ｃ_１〜ｃ_８を設定し、レジスト開口点ｄに放射状線ｄ_１〜ｄ_８を設定し、レジスト開口点ｅに放射状線ｅ_１〜ｅ_８を設定し、レジスト開口点ｆに対し放射状線ｆ_１〜ｆ_８を設定する。

【0114】

次に、ステップＳ３７に進み、ＣＰＵ２ａは、対向線選択手段８３として動作する。対向線選択手段８３は、レジスト開口点ａから導体パターン輪郭Ｌまでの放射状線ａ_１〜ａ_８の各々長さを算出し、この長さに基づいて、図１８に示すように、放射状線ａ_１〜ａ_８の中から逆向きの対向（対角）関係にある一対の対向線ａ_３、ａ_７を選択する。このとき、対向線選択手段８３は、導体パターン輪郭Ｌまでの長さを足し合わせたときに最短で、かつ対向関係になっている放射状線ａ_３、ａ_７の組を、一対の対向線ａ_３、ａ_７として選択する。足し合わせた長さが最短になる対向関係の組が複数あるときは、いずれの組を一対の対向線として選択してもよい。同様にして、対向線選択手段８３は、レジスト開口点ｂに対し一対の対向線ｂ_３、ｂ_７を選択し、レジスト開口点ｃに対し一対の対向線ｃ_４、ｃ_８を選択し、レジスト開口点ｄに対し一対の対向線ｄ_４、ｄ_８を選択し、レジスト開口点ｅに対し一対の対向線ｅ_３、ｅ_７を選択し、レジスト開口点ｆに対し一対の対向線ｆ_３、ｆ_７を選択する。

【0115】

なお、対向線選択手段８３は、放射状線ａ_１〜ａ_８の中で、導体パターン輪郭Ｌまで最短の長さの放射状線ａ_３、及びこの最短の長さの放射状線ａ_３と対向関係になっている放射状線ａ_７を、一対の対向線ａ_３、ａ_７として選択してもよい。

【0116】

続いて、ステップＳ３８に進み、ＣＰＵ２ａは、他の検査ポイント設定手段８４として動作する。他の検査ポイント設定手段８４は、複数存在しているレジスト開口点ａ〜ｆの中から注目するレジスト開口点を１つ選択する。一例として、検査ポイント設定手段１６は、レジスト開口点ａを選択する。レジスト開口点ａ〜ｆの中から選択する順番は、どのように設定してもよい。

【0117】

続いて、ステップＳ３９に進み、他の検査ポイント設定手段８４は、導体パターン輪郭Ｌに沿う、注目しているレジスト開口点ａの一対の対向線ａ_３、ａ_７を繋ぐ経路の中に、他のレジスト開口点ｂ〜ｆから生じた対向線ｂ_３、ｂ_７、対向線ｃ_４、ｃ_８、対向線ｄ_４、ｄ_８、対向線ｅ_３、ｅ_７、対向線ｆ_３、ｆ_７のいずれも存在していない経路があるか判別する。導体パターン輪郭Ｌに沿う一対の対向線ａ_３、ａ_７を繋ぐ経路とは、導体パターン輪郭Ｌ及び対向線ａ_３の交点と、導体パターン輪郭Ｌ及び対向線ａ_７の交点とを繋ぐ、導体パターン輪郭Ｌに沿う経路である。

【0118】

導体パターン輪郭Ｌに沿う経路の中で、対向線ａ_３、ａ_７を繋ぐ経路として考えられるものは、対向線ａ_３から時計回りに対向線ａ_７に至る経路、対向線ａ_３から反時計回りに対向線ａ_７に至る経路、対向線ａ_７から時計回りに対向線ａ_３に至る経路、及び、対向線ａ_７から反時計回りに対向線ａ_３に至る経路の４通りの経路がある。このうち対向線ａ_３から時計回りに対向線ａ_７に至る経路と、対向線ａ_７から反時計回りに対向線ａ_３に至る経路とは、方向が逆方向という違いはあるが重複している。又、対向線ａ_３から反時計回りに対向線ａ_７に至る経路と、対向線ａ_７から時計回りに対向線ａ_３に至る経路も重複している。したがって、他の検査ポイント設定手段８４は、上記の４通りの経路の中から重複していない２つの経路について探索を行えばよい。ここでは、他の検査ポイント設定手段８４は、導体パターン輪郭Ｌを構成する辺Ｌ_１〜Ｌ_７を予めベクトル化した（方向付けた）反時計回りの方向に進む経路で探索する。

【0119】

図１９に示すように、対向線ａ_３から対向線ａ_７までを反時計回りに繋ぐ経路Ｒａには、他のレジスト開口点ｂ〜ｆの対向線が存在していない。他の検査ポイント設定手段８４は、経路Ｒａの発見により、ステップＳ４０に進む。このように、他の検査ポイント設定手段８４は、ステップＳ３９で他の対向線の存在しない経路Ｒａを１つ発見したときに、対向線ａ_７から対向線ａ_３までを反時計回りに繋ぐ他の経路の探索を省略してもよい。

【0120】

図１４のステップＳ４０で、他の検査ポイント設定手段８４は、注目しているレジスト開口点ａに対応するレジスト開口輪郭Ａに、検査ポイントを設定する。検査ポイントは、レジスト開口輪郭Ａ内であればいずれの位置に設定してもよいが、一例として中心に設定する。他の検査ポイント設定手段８４は、設定した検査ポイントのデータを、記憶手段４ａに記憶させる。

【0121】

続いて、ステップＳ４１に進み、他の検査ポイント設定手段８４は、導体パターン輪郭Ｌに対応する全てのレジスト開口点ａ〜ｆについて処理（ステップＳ３８、Ｓ３９）が終了したか判別し、終了していなければステップＳ３８に戻り、終了していれば他の検査ポイント設定処理を終了する。この例では、まだレジスト開口点ａについての処理が行われただけであるので、ステップＳ３８に戻る。

【0122】

ステップＳ３８で、他の検査ポイント設定手段８４は、まだ選択されていないレジスト開口点ｂ〜ｆの中から、一例として、注目するレジスト開口点ｂを選択する。続いて、ステップＳ３９に進み、他の検査ポイント設定手段８４は、導体パターン輪郭Ｌに沿う、注目しているレジスト開口点ｂの一対の対向線ｂ_３、ｂ_７を繋ぐ経路の中に、他のレジスト開口点ａ、ｃ〜ｆから生じた対向線の存在していない経路があるか判別する。この場合、対向線ｂ_３から導体パターン輪郭Ｌを反時計回りに進むと、対向線ａ_３が存在し、対向線ｂ_７から導体パターン輪郭Ｌを反時計回りに進むと、対向線ｃ_４が存在する。このため、他の検査ポイント設定手段８４は、ステップＳ３９で『Ｎｏ』と判別し、レジスト開口輪郭Ｂに対し検査ポイントの設定を行わない。

【0123】

同様に、残りのレジスト開口点ｃ〜ｆに対し、ステップＳ３８〜Ｓ４１のループを実行する。レジスト開口点ｃに対しては、他のレジスト開口点ａ、ｂ、ｄ〜ｆの各対向線の存在しない経路Ｒｃが発見されるので、他の検査ポイント設定手段８４は、レジスト開口点ｃ（レジスト開口輪郭Ｃ）に検査ポイントを設定する。又、レジスト開口点ｄに対しては、他のレジスト開口点ａ〜ｃ、ｅ、ｆの各対向線の存在しない経路Ｒｄが発見されるので、他の検査ポイント設定手段８４は、レジスト開口点ｄ（レジスト開口輪郭Ｄ）に検査ポイントを設定する。レジスト開口点ｅ、ｆに対しては、経路が存在しないため、他の検査ポイント設定手段８４は、検査ポイントを設定しない。

【0124】

以上により、レジスト開口輪郭Ａ、Ｃ、Ｄに検査ポイントが設定されて、他の検査ポイント設定処理が終了する。

【0125】

他の検査ポイント設定処理は、導体パターン輪郭Ｌ（導体パターン６０）の枝状ベタパターンの端部、及びベタパターンの角部に位置するレジスト開口輪郭Ａ、Ｃ、Ｄ（レジスト開口部）を検出することができ、そこに検査ポイントを自動的に設定することができる。表示処理手段１７は、設定した検査ポイントを識別可能に、表示手段５に表示させる。

【0126】

続いて、検査ポイント選別装置１ａは、図３に示した周回順リスト作成処理を実行する。周回順リスト作成処理のステップＳ１〜Ｓ３は、他の検査ポイント設定処理のステップＳ３１〜Ｓ３３と共通の処理内容であるので、ステップＳ３１〜Ｓ３３の処理結果を利用すればよい。

【0127】

ステップＳ７で周回順リストを作成するときに、いずれの解析用ポイントＰ（図９参照）を開始点としてもよいが、解析用ポイントの数は多いので、他の検査ポイント設定処理で検査ポイントを設定したレジスト開口輪郭Ａ、Ｃ、Ｄの解析用ポイントＰのうちのいずれかを開始点として用いるようにしてもよい。レジスト開口輪郭Ａ、Ｃ、Ｄの解析用ポイントＰの数は、全体の解析用ポイントＰの数に比べて少ないので、開始点を簡便に決定することができる。

【0128】

続いて、検査ポイント選別装置１ａは、図１１に示した検査ポイント設定処理を実行する。すでに、枝状ベタパターンの端部、及びベタパターンの角部に位置するレジスト開口輪郭Ａ、Ｃ、Ｄに検査ポイントが設定されているため、検査ポイント設定手段１６は、図１１の検査ポイント設定処理中のステップＳ１２、Ｓ１３、Ｓ１８、Ｓ１９を省略して実行すればよい。検査ポイント設定手段１６は、残りのステップＳ１４〜Ｓ１７、Ｓ２０、Ｓ２１を実行してもよいし、一部の例えば、枝状ベタパターンの分岐点に検査ポイントを設定するステップＳ１４、Ｓ１５だけを行うようにしてもよい。実行するステップは適宜設定すればよい。

【0129】

このように、検査ポイント設定処理と他の検査ポイント設定処理とを組み合わせて実行することで、検査ポイントの設定漏れを少なくすることができる。又、種々の条件で検査ポイントを設定することができる。検査ポイント設定処理と組み合わせる他の検査ポイント設定処理はどのような処理であってもよい。

【0130】

又、他の検査ポイント設定処理で設定されたレジスト開口輪郭Ａ、Ｃ、Ｄについて周回順リストを参照することで、レジスト開口輪郭Ａ、Ｃの間にレジスト開口輪郭Ｂが有ることが判る。又、レジスト開口輪郭Ａ、Ｄの間にレジスト開口輪郭Ｅ、Ｂが有ることが判る。このように周回順リストを参照することで、他の検査ポイント設定処理で設定された検査ポイントの位置関係や並び順を把握することができる。このため、例えばレジスト開口輪郭Ａ、Ｃ間で断線検査を行うことで、レジスト開口輪郭Ｂまで含んで検査が実行されることが判り、レジスト開口輪郭Ａ、Ｄ間で断線検査を行うことで、レジスト開口輪郭Ｅ、Ｂまで含んで検査が実行されることが判る。オペレータは、例えばレジスト開口輪郭Ａ、Ｄ間の距離が長い場合、周回順リストからレジスト開口輪郭Ａ、Ｄ間にレジスト開口輪郭Ｅ、Ｂが位置することを識別して、レジスト開口輪郭Ｅ又はレジスト開口輪郭Ｂに検査ポイントを手動で追加設定してもよい。

【0131】

なお、汎用的なコンピュータを本発明に係るプログラムで動作させることで、検査ポイント選別装置１、１ａとした例について説明したが、汎用的なコンピュータを用いずに、専用のハードウエアで検査ポイント選別装置１、１ａを構成してもよい。ＣＰＵ２、２ａは、図２に示す基板５０の画像、及び、図４〜図９、図１５〜図１９に示す処理途中の画像を、表示手段５に表示可能であることが好ましい。表示させる画像は、操作手段６の操作によって、任意に切り替え可能であることが好ましい。又、基板上の表示位置、表示倍率を、操作手段６の操作で変更可能であることが好ましい。又、検査ポイント設定処理、他の検査ポイント設定処理を、基板に含まれる複数の全ての導体パターンに対して実行してもよいし、注目する１つ、又は例えば領域で選択された複数の導体パターンに対して実行してもよい。又、ランド６１、６２（レジスト開口輪郭Ａ、Ｂ）が枝状ベタパターン上に設けられている例について説明したが、ランド径よりも幅の狭いライン状パターン上に設けられている場合であっても本発明を適用することができる。

【符号の説明】

【0132】

１・１ａは検査ポイント選別装置、２・２ａはＣＰＵ、３はデータ読込手段、４・４ａは記憶手段、５は表示手段、６は操作手段、１１は導体パターン輪郭抽出手段、１２はレジスト開口輪郭抽出手段、１３は位置合わせ手段、１４は解析用ポイント設定手段、１５は周回順リスト作成手段、１６は検査ポイント設定手段、１７は表示処理手段、２１は外部Ｉ／Ｆ部、２２は外部記録装置、５０は基板、６０は導体パターン、６１〜６６はランド、７０はレジスト、７１〜７６はレジスト開口部、８１はレジスト開口点設定手段、８２は放射状線設定手段、８３は対向線選択手段、８４は他の検査ポイント設定手段、１００はライン状パターン、１０１はフラッシュ、１１０はポリゴン、１１１はライン状パターン、１２１はライン状パターン、Ａ・Ｂ・Ｃ・Ｄ・Ｅ・Ｆはレジスト開口輪郭、a・ｂ・ｃ・ｄ・ｅ・ｆはレジスト開口点、ａ_１〜ａ_８・ｂ_１〜ｂ_８・ｃ_１〜ｃ_８・ｄ_１〜ｄ_８・ｅ_１〜ｅ_８・ｆ_１〜ｆ_８は放射状線、ａ_３・ａ_７・ｂ_３・ｂ_７・ｃ_４・ｃ_８・ｄ_４・ｄ_８・ｅ_３・ｅ_７・ｆ_３・ｆ_７は対向線（放射状線）、Ｌは導体パターン輪郭、Ｌ_１〜Ｌ_７は辺（構成部）、Ｐ_Ａ１・Ｐ_Ａ２・Ｐ_Ａ３・Ｐ_Ｂ１・Ｐ_Ｂ２・Ｐ_Ｃ１・Ｐ_Ｃ２・Ｐ_Ｄ１・Ｐ_Ｄ２・Ｐ_Ｅ１は解析用ポイント、Ｒａ・Ｒｃ・Ｒｄは経路、ＴＨはスルーホールである。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】