特許 6386914 真空ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6386914

(24)【登録日】2018年8月17日

(45)【発行日】2018年9月5日

(54)【発明の名称】真空ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20180827BHJP

   F04D 29/58 20060101ALI20180827BHJP

【ＦＩ】

   F04D19/04 E

   F04D29/58 L

【請求項の数】36

【全頁数】36

(21)【出願番号】特願2014-559528(P2014-559528)

(86)(22)【出願日】2013年12月25日

(86)【国際出願番号】JP2013084634

(87)【国際公開番号】WO2014119191

(87)【国際公開日】20140807

【審査請求日】2016年10月11日

(31)【優先権主張番号】特願2013-17234(P2013-17234)

(32)【優先日】2013年1月31日

(33)【優先権主張国】JP

(31)【優先権主張番号】特願2013-25936(P2013-25936)

(32)【優先日】2013年2月13日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】508275939

【氏名又は名称】エドワーズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100069431

【弁理士】

【氏名又は名称】和田 成則

(72)【発明者】

【氏名】時 永偉

(72)【発明者】

【氏名】野中 学

(72)【発明者】

【氏名】大立 好伸

(72)【発明者】

【氏名】前島 靖

(72)【発明者】

【氏名】高阿田 勉

【審査官】 大瀬 円

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−２１７７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平５−１２６９１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平７−１４５９５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１８０９８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−４８０８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５１−２９７５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００３／０１８０１６２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ １９／０４

Ｆ０４Ｄ ２９／５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ポンプケースに内包されたロータと、
前記ロータに固定された回転軸と、
前記回転軸を回転可能に支持する支持手段と、
前記回転軸を回転させる駆動手段と、
前記ロータの外周側又は内周側との間にネジ溝排気通路を形成するネジ溝排気部ステータと、
を備えた真空ポンプにおいて、
前記ネジ溝排気部ステータの下部に、加熱部を設け、
前記加熱部は、
ヨークと、
コイルと、
加熱板と、
を備え、
前記コイルが設けられた空間を大気圧に保つためのシール手段と、
前記ヨークが配置されたヒータスペーサと、を備え、
前記ヨークと前記ヒータスペーサが異なる材質の部材で形成されており、
前記コイルに交流電流を流すことによる電磁誘導加熱で前記ヨーク及び前記加熱板を加熱すること
を特徴とする真空ポンプ。

【請求項2】

前記ロータは、ベーススペーサに内包され、
前記ロータの下部にステータベースが配置され、
前記加熱部は、前記ネジ溝排気部ステータと前記ステータベースとの間に設けられ、
前記加熱板は、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記ヒータスペーサに取り付けられ、
前記ヨーク及び前記加熱板を加熱することにより前記ヒータスペーサ、前記ネジ溝排気部ステータ、前記ベーススペーサ又は前記ステータベースの少なくともいずれか１つを加熱すること
を特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

前記加熱部は、
凹部を有する前記ヒータスペーサと、
前記凹部内に配置された前記ヨークと、
前記ヨーク上に配置した前記コイルと、
前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記凹部を塞ぐように前記ヒータスペーサに取り付けられた前記加熱板とで、
構成されることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

前記加熱部は、
凹部を有する前記ヒータスペーサと、
前記凹部内に配置された前記ヨークと、
前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記凹部を塞ぐように前記ヒータスペーサに取り付けられた、溝を有する前記加熱板とで、
構成されることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

前記加熱部は、
前記ヒータスペーサと、
前記ヒータスペーサに取り付けられた前記ヨークと、
前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記ヨークを内包するように前記ヒータスペーサに取り付けられた、溝を有する前記加熱板と、
前記溝内に配置した前記コイルとで、
構成されることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

前記加熱板は溝を有し、
前記ヒータスペーサの外側面にコネクタを装着するためのコネクタ装着部と、前記ヒータスペーサのみ又は前記ヒータスペーサ及び前記ヨークの両方に形成した、前記凹部又は前記溝から前記コネクタ装着部に連通する配線通し孔と、前記配線通し孔に通されて前記コイルと前記コネクタとを接続する配線と、を備えること
を特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。

【請求項7】

前記ヒータスペーサの外側面にコネクタを装着するためのコネクタ装着部と、前記ヒータスペーサのみ又は前記ヒータスペーサ及び前記ヨークの両方に形成した、前記凹部又は前記溝から前記コネクタ装着部に連通する配線通し孔と、前記配線通し孔に通されて前記コイルと前記コネクタとを接続する配線と、を備えること
を特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。

【請求項8】

前記ヒータスペーサは凹部を有し、
前記ヒータスペーサの外側面にコネクタを装着するためのコネクタ装着部と、前記ヒータスペーサのみ又は前記ヒータスペーサ及び前記ヨークの両方に形成した、前記凹部又は前記溝から前記コネクタ装着部に連通する配線通し孔と、前記配線通し孔に通されて前記コイルと前記コネクタとを接続する配線と、を備えること
を特徴とする請求項５に記載の真空ポンプ。

【請求項9】

前記加熱部は、前記加熱板又は前記ネジ溝排気部ステータ又は前記ヨークに取り付けた温度センサと、前記温度センサでの検出値に基づいて前記加熱板又は前記ネジ溝排気部ステータ又は前記ヨークが所定の温度となるように制御する温度制御手段と、を備えること
を特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項10】

前記加熱部は、前記加熱板又は前記ネジ溝排気部ステータ又は前記ヨークに取り付けた温度センサと、前記温度センサでの検出値に基づいて前記加熱板又は前記ネジ溝排気部ステータ又は前記ヨークが所定の温度となるように制御する温度制御手段と、を備えること
を特徴とする請求項２ないし８のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項11】

前記加熱部は、前記コイルに取り付けた温度センサと、前記温度センサでの検出値に基づいて前記コイルが所定の温度を超えないように制御する保護制御手段と、を備えること
を特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項12】

前記加熱部は、前記コイルに取り付けた温度センサと、前記温度センサでの検出値に基づいて前記コイルが所定の温度を超えないように制御する保護制御手段と、を備えること
を特徴とする請求項２ないし８又は請求項１０のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項13】

前記ベーススペーサ及び前記ステータベースよりも前記ネジ溝排気部ステータを優先的に加熱できるようにする手段として、前記ネジ溝排気部ステータと前記ベーススペーサ又は前記ステータベースとの間に隙間を空けること又は熱伝導率がより低い中間部材を介在させることで、前記ネジ溝排気部ステータと前記ベーススペーサ又は前記ステータベースとが直接的に接触しないこと
を特徴とする請求項２ないし８、請求項１０又は請求項１２のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項14】

前記ロータは、ベーススペーサに内包され、前記ロータの下部にステータベースが配置され、
前記ベーススペーサ及び前記ステータベースよりも前記ネジ溝排気部ステータを優先的に加熱できるようにする手段として、前記ネジ溝排気部ステータと前記ベーススペーサ又は前記ステータベースとの間に隙間を空けること又は熱伝導率がより低い中間部材を介在させることで、前記ネジ溝排気部ステータと前記ベーススペーサ又は前記ステータベースとが直接的に接触しないこと
を特徴とする請求項９又は請求項１１に記載の真空ポンプ。

【請求項15】

前記ヒータスペーサと前記ベーススペーサとを一体に形成したこと
を特徴とする請求項２ないし８、請求項１０、請求項１２又は請求項１３のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項16】

前記ステータベースと前記ヒータスペーサと前記ベーススペーサとを一体に形成したこと
を特徴とする請求項２ないし８、請求項１０、請求項１２又は請求項１３のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項17】

前記ヒータスペーサと前記加熱板にボルト通し孔を設け、これらのボルト通し孔に通された締結ボルトで前記ヒータスペーサと前記加熱板を一体にして前記ネジ溝排気部ステータに取り付ける構成、又は、前記ネジ溝排気部ステータと前記加熱板にボルト通し孔を設け、これらのボルト通し孔に通された締結ボルトで前記ネジ溝排気部ステータと前記加熱板を一体にして前記ヒータスペーサに取り付ける構成、又は、前記ネジ溝排気部ステータにボルト通し孔を設け、該ボルト通し孔に通された締結ボルトで、前記ネジ溝排気部ステータの下側端面が前記加熱板と当接するように前記ネジ溝排気部ステータを前記ベーススペーサ又は前記ステータベースに取り付ける構成と、
前記ヒータスペーサよりも前記ネジ溝排気部ステータを優先的に加熱できるようにする手段として、前記ヒータスペーサと前記加熱板の境界付近において、肉抜き部を設けることにより、前記加熱板から前記ヒータスペーサへの伝熱を低減する構成とを、採用したこと
を特徴とする請求項２ないし８、請求項１０、請求項１２、請求項１３又は請求項１５ないし１６のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項18】

ポンプケースに内包されたロータと、
前記ロータに固定された回転軸と、
前記回転軸を回転可能に支持する支持手段と、
前記回転軸を回転させる駆動手段と、
前記ロータの外周側又は内周側との間にネジ溝排気通路を形成するネジ溝排気部ステータと、
を備えた真空ポンプにおいて、
前記ネジ溝排気部ステータの下部に、加熱部を設け、
前記加熱部は、
ヨークと、
コイルと、
加熱板と、
を備え、
更に、前記コイルをコネクタに接続する配線と、磁束漏れ低減手段と、
前記コイルが設けられた空間を大気圧に保つためのシール手段と、
前記ヨークが配置されたヒータスペーサと、を具備し、
前記ヨークと前記ヒータスペーサが異なる材質の部材で形成されており、
前記コイルに交流電流を流すことによる電磁誘導加熱で前記ヨーク及び前記加熱板を加熱すること
を特徴とする真空ポンプ。

【請求項19】

前記ロータは、ベーススペーサに内包され、
前記ロータの下部にステータベースが配置され、
前記加熱部は、前記ネジ溝排気部ステータと前記ベーススペーサとの間に設けられ、
前記加熱板は、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記ヒータスペーサに取り付けられ、
更に、前記加熱部は、
前記ヒータスペーサのみ又は前記ヒータスペーサ及び前記ヨークの両方に形成した配線通し孔を具備し、
前記配線は、前記配線通し孔に通され、
前記磁束漏れ低減手段は、前記配線通し孔又は前記コネクタの周囲に装着され、
前記交流電流は、前記コネクタから前記配線を介して流され、
前記ヨーク及び前記加熱板を加熱することにより前記ヒータスペーサ、前記ネジ溝排気部ステータ、前記ベーススペーサ又は前記ステータベースの少なくともいずれか１つを加熱すること
を特徴とする請求項１８に記載の真空ポンプ。

【請求項20】

前記加熱部は、
凹部を有する前記ヒータスペーサと、
前記凹部内に配置された前記ヨークと、
前記ヨーク上に配置した前記コイルと、
前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記凹部を塞ぐように前記ヒータスペーサに取り付けられた前記加熱板とで、
構成されることを特徴とする請求項１９に記載の真空ポンプ。

【請求項21】

前記加熱部は、
凹部を有する前記ヒータスペーサと、
前記凹部内に配置された前記ヨークと、
前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記凹部を塞ぐように前記ヒータスペーサに取り付けられた、溝を有する前記加熱板とで、
構成されることを特徴とする請求項１９に記載の真空ポンプ。

【請求項22】

前記加熱部は、
前記ヒータスペーサと、
前記ヒータスペーサに取り付けられた前記ヨークと、
前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記ヨークを内包するように前記ヒータスペーサに取り付けられた、溝を有する前記加熱板と、
前記溝内に配置した前記コイルとで、
構成されることを特徴とする請求項１９に記載の真空ポンプ。

【請求項23】

前記シール手段として弾性を持つＯリングと、
前記加熱板に前記Ｏリングを取り付けるＯリング溝と、
前記Ｏリング溝の開口端面から底面までの間に設けられる最小直径部と、を有し、
前記最小直径部は、前記Ｏリングの内径より大きいこと又は前記Ｏリング溝の縁に設けた突起部で構成されることにより、前記Ｏリングの脱落を防止するＯリング脱落防止手段として機能すること
を特徴とする請求項４又は請求項２１に記載の真空ポンプ。

【請求項24】

ポンプケースに内包されたロータと、
前記ロータに固定された回転軸と、
前記回転軸を回転可能に支持する支持手段と、
前記回転軸を回転させる駆動手段と、
前記ロータの外周側又は内周側との間にネジ溝排気通路を形成するネジ溝排気部ステータと、
を備えた真空ポンプにおいて、
前記ネジ溝排気部ステータの下部に、加熱部を設け、
前記加熱部は、
ヨークと、
コイルと、
加熱板と、
を備え、
前記ヨークが配置されたヒータスペーサを備え、
前記ヨークと前記ヒータスペーサが異なる材質の部材で形成されており、
前記コイルに交流電流を流すことによる電磁誘導加熱で前記ヨーク及び前記加熱板を加熱し、
前記ロータは、ポンプベースに内包され、
前記ネジ溝排気部ステータは、
前記ロータの外周側に外側ネジ溝排気部ステータと、
前記ロータの内周側に内側ネジ溝排気部ステータと、からなり、
前記加熱部は、前記内側ネジ溝排気部ステータ及び前記外側ネジ溝排気部ステータの下部に設けられ、
前記加熱板は、前記内側ネジ溝排気部ステータ又は前記外側ネジ溝排気部ステータいずれかに当接し、前記ヨークは、前記ポンプベースに配置され、前記コイルは、前記ヨーク上に配置されるとともに、前記加熱板及び前記ヨークを加熱することにより前記内側ネジ溝排気部ステータ、前記外側ネジ溝排気部ステータ又は前記ポンプベースの少なくともいずれか１つを加熱する機能を有し、
前記加熱板は、２以上の分離加熱板として、複数に分離していること
を特徴とする真空ポンプ。

【請求項25】

前記分離加熱板は、その材質が異なることにより、前記分離加熱板ごとに発熱量が異なること
を特徴とする請求項２４に記載の真空ポンプ。

【請求項26】

前記分離加熱板は、その分離による隙間部を基準として左右非対称の断面形状であることにより、前記分離加熱板ごとに発熱範囲及び発熱量が異なること
を特徴とする請求項２４又は２５に記載の真空ポンプ。

【請求項27】

前記分離加熱板は、少なくともいずれか一つの前記分離加熱板が積層材で形成されることにより、前記分離加熱板ごとに発熱量が異なること
を特徴とする請求項２４ないし２６のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項28】

前記分離加熱板は、その分離した部分が上下方向に重なることによって、該分離した部分が折れ曲がった通路形状になっていること
を特徴とする請求項２４ないし２７のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項29】

前記ポンプベースには、前記ヨークが配置された凹部と、コネクタを装着するためのコネクタ装着部と、前記コネクタ装着部から前記凹部に連通する配線通し孔と、前記配線通し孔に通されて前記コイルと前記コネクタとを接続する配線と、が設けられていること
を特徴とする請求項２４ないし２８のいずれかに記載の真空ポンプ。

【請求項30】

前記配線通し孔又は前記コネクタの周囲に装着した磁束漏れ低減手段、を備えたこと
を特徴とする請求項６又は請求項２９に記載の真空ポンプ。

【請求項31】

前記磁束漏れ低減手段は、前記配線通し孔に装着したシールドパイプであること
を特徴とする請求項３０に記載の真空ポンプ。

【請求項32】

前記配線通し孔又は前記コネクタの周囲に装着した磁束漏れ低減手段を備え、
前記磁束漏れ低減手段は、前記配線通し孔に装着したシールドパイプであること
を特徴とする請求項６に記載の真空ポンプ。

【請求項33】

前記磁束漏れ低減手段は、前記コネクタの周囲に装着したシールド板であること
を特徴とする請求項１９ないし２２又は請求項３０又は請求項３１に記載の真空ポンプ。

【請求項34】

前記配線通し孔又は前記コネクタの周囲に装着した磁束漏れ低減手段を備え、
前記磁束漏れ低減手段は、前記コネクタの周囲に装着したシールド板であること
を特徴とする請求項６に記載の真空ポンプ。

【請求項35】

前記ロータは、ポンプベースに内包され、
前記ネジ溝排気部ステータは、
前記ロータの外周側に外側ネジ溝排気部ステータと、
前記ロータの内周側に内側ネジ溝排気部ステータと、からなり、
前記加熱部は、前記内側ネジ溝排気部ステータ及び前記外側ネジ溝排気部ステータの下部に設けられ、
前記加熱板は、前記内側ネジ溝排気部ステータ又は前記外側ネジ溝排気部ステータいずれかに当接し、前記ヨークは、前記ポンプベースに配置され、前記コイルは、前記ヨーク上に配置されるとともに、前記加熱板及び前記ヨークを加熱することにより前記内側ネジ溝排気部ステータ、前記外側ネジ溝排気部ステータ又は前記ポンプベースの少なくともいずれか１つを加熱する機能を有し、
前記ポンプベースには、前記コネクタを装着するためのコネクタ装着部が設けられており、
前記磁束漏れ低減手段は、磁性材料からなるシールドパイプであり、
前記配線は、前記シールドパイプで覆われていること
を特徴とする請求項１８に記載の真空ポンプ。

【請求項36】

前記コネクタの周囲に、磁性材料からなるシールド板を設置したこと
を特徴とする請求項３５に記載の真空ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体製造装置、フラット・パネル・ディスプレイ製造装置、ソーラー・パネル製造装置におけるプロセスチャンバ、その他の密閉チャンバのガス排気手段等として利用される真空ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、この種の真空ポンプとしては、例えば、特許文献１に記載の真空ポンプが公知になっている。同文献１に記載の真空ポンプ（以下「従来の真空ポンプ」という）では、ポンプ内における生成物の付着を防止する手段として、同文献１の図２に図示されているコイル（２５）に交流電流を流すことで、良熱伝導体（２４）と放熱板（２０）の温度を上昇させ、放熱板（２０）を通じて動翼（５）、静翼（４）及びネジ溝ポンプ段（９）のガス流路を加熱している。

【0003】

しかしながら、従来の真空ポンプでは、前記の通り、動翼（５）、静翼（４）及びネジ溝ポンプ段（９）のガス流路は加熱できるが、ケーシング（１）内の下部側は加熱できないため（同文献１の図２を参照）、ケーシング（１）内の下部側に生成物が付着し易く、真空ポンプ全体としての生成物の付着量が比較的多いという問題点がある。

【0004】

また、従来の真空ポンプによると、特許文献１の図２に図示の通り、コイル（２５）を良熱伝導体（２４）に収容し、該良熱伝導体（２４）を貫通してコイル（２５）の配線がコネクタ（２６）に接続されている。このため、該良熱伝導体（２４）の貫通孔（コイル（２５）の配線が通っている孔）およびコイル（２５）の配線から磁束が漏洩し、その漏れ磁束によって真空ポンプ内部の電装部品が誤動作する等、磁束漏れによる真空ポンプ電気系統のトラブルが生じる可能性もある。

【0005】

ところで、従来の真空ポンプでは、ガス吸気口（２）のガスが動翼（５）、静翼（４）及びネジ溝ポンプ段（９）のガス流路を経て排気口（３）の方向へ流れることにより、吸気口（２）側が高真空となる一方、排気口（３）側が低真空となる（特許文献１の段落００５２の記載を参照）。この際、排気口（３）に近いネジ溝ポンプ段（９）の下流も、排気口（３）と同様に、低真空となる。

【0006】

しかしながら、従来の真空ポンプによると、前述のように、低真空となるネジ溝ポンプ段（９）下流にコイル（２５）が配置されているため（特許文献１の図２を参照）、真空放電によるコイル（２５）の絶縁被覆破壊が生じ、コイル（２５）の寿命が短い。また、コイル（２５）の絶縁被覆破壊によるショート等、ポンプ電気系統の故障も生じ、真空ポンプを長期間安定に連続運転できないという問題点もある。

【0007】

また、従来の真空ポンプでは、ケーシング（１）の下部外周にコネクタ（２６）を取付けるとともに、このコネクタ（２６）とコイル（２５）とを配線（符号なし）で接続し、コネクタ（２６）から前記配線を介してコイル（２５）に交流電流を流している（同文献１の図２を参照）。

【0008】

しかしながら、従来の真空ポンプによると、前記コネクタ（２６）の端部側、特に配線を接続した側がケーシング（１）内の真空中に配置されているため（同文献１の図２を参照）、コネクタ（２５）として高価な真空コネクタを使用しなければならず（同文献１の段落００５１の記載を参照）、真空ポンプ全体のコストが高くならざるを得ないという問題点もある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開２００２−２１７７５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、真空ポンプ全体としての生成物の付着量を低減すること、併せて、磁束漏れによる真空ポンプ電気系統のトラブルを効果的に防止することである。また、本発明の他の目的は、真空ポンプの長期間安定な連続運転を可能とすること、及び、真空ポンプ全体のコスト低減を図ることである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

前記目的を達成するために、第１の本発明は、ポンプケースに内包されたロータと、前記ロータに固定された回転軸と、前記回転軸を回転可能に支持する支持手段と、前記回転軸を回転させる駆動手段と、前記ロータの外周側又は内周側との間にネジ溝排気通路を形成するネジ溝排気部ステータと、を備えた真空ポンプにおいて、前記ネジ溝排気部ステータの下部に、加熱部を設け、前記加熱部は、ヨークと、コイルと、加熱板と、を備え、前記コイルが設けられた空間を大気圧に保つためのシール手段と、前記ヨークが配置されたヒータスペーサと、を備え、前記ヨークと前記ヒータスペーサが異なる材質の部材で形成されており、前記コイルに交流電流を流すことによる電磁誘導加熱で前記ヨーク及び前記加熱板を加熱することを特徴とする。

【0012】

前記第１の本発明において、前記ロータは、ベーススペーサに内包され、前記ロータの下部にステータベースが配置され、前記加熱部は、前記ネジ溝排気部ステータと前記ステータベースとの間に設けられ、前記加熱板は、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記ヒータスペーサに取り付けられ、前記ヨーク及び前記加熱板を加熱することにより前記ヒータスペーサ、前記ネジ溝排気部ステータ、前記ベーススペーサ又は前記ステータベースの少なくともいずれか１つを加熱することを特徴としてもよい。

【0013】

前記第１の本発明において、前記加熱部は、凹部を有する前記ヒータスペーサと、前記凹部内に配置された前記ヨークと、前記ヨーク上に配置した前記コイルと、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記凹部を塞ぐように前記ヒータスペーサに取り付けられた前記加熱板とで、構成されることを特徴としてもよい。

【0014】

前記第１の本発明において、前記加熱部は、凹部を有する前記ヒータスペーサと、前記凹部内に配置された前記ヨークと、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記凹部を塞ぐように前記ヒータスペーサに取り付けられた、溝を有する前記加熱板とで、構成されることを特徴としてもよい。

【0015】

前記第１の本発明において、前記加熱部は、前記ヒータスペーサと、前記ヒータスペーサに取り付けられた前記ヨークと、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記ヨークを内包するように前記ヒータスペーサに取り付けられた、溝を有する前記加熱板と、前記溝内に配置した前記コイルとで、構成されることを特徴としてもよい。

【0016】

前記第１の本発明において、前記ヒータスペーサの外側面にコネクタを装着するためのコネクタ装着部と、前記ヒータスペーサのみ又は前記ヒータスペーサ及び前記ヨークの両方に形成した、前記凹部又は前記溝から前記コネクタ装着部に連通する配線通し孔と、前記配線通し孔に通されて前記コイルと前記コネクタとを接続する配線と、を備えることを特徴としてもよい。

【0017】

前記第１の本発明において、前記加熱部は、前記加熱板又は前記ネジ溝排気部ステータ又は前記ヨークに取り付けた温度センサと、前記温度センサでの検出値に基づいて前記加熱板又は前記ネジ溝排気部ステータ又は前記ヨークが所定の温度となるように制御する温度制御手段と、を備えることを特徴としてもよい。

【0018】

前記第１の本発明において、前記加熱部は、前記コイルに取り付けた温度センサと、前記温度センサでの検出値に基づいて前記コイルが所定の温度を超えないように制御する保護制御手段と、を備えることを特徴としてもよい。

【0019】

前記第１の本発明において、前記ロータは、ベーススペーサに内包され、前記ロータの下部にステータベースが配置され、前記ベーススペーサ及び前記ステータベースよりも前記ネジ溝排気部ステータを優先的に加熱できるようにする手段として、前記ネジ溝排気部ステータと前記ベーススペーサ又は前記ステータベースとの間に隙間を空けること又は熱伝導率がより低い中間部材を介在させることで、前記ネジ溝排気部ステータと前記ベーススペーサ又は前記ステータベースとが直接的に接触しないことを特徴としてもよい。

【0021】

前記第１の本発明において、前記ヒータスペーサと前記ベーススペーサとを一体に形成したことを特徴としてもよい。

【0022】

前記第１の本発明において、前記ステータベースと前記ヒータスペーサと前記ベーススペーサとを一体に形成したことを特徴としてもよい。

【0023】

前記第１の本発明において、前記ヒータスペーサと前記加熱板にボルト通し孔を設け、これらのボルト通し孔に通された締結ボルトで前記ヒータスペーサと前記加熱板を一体にして前記ネジ溝排気部ステータに取り付ける構成、又は、前記ネジ溝排気部ステータと前記加熱板にボルト通し孔を設け、これらのボルト通し孔に通された締結ボルトで前記ネジ溝排気部ステータと前記加熱板を一体にして前記ヒータスペーサに取り付ける構成、又は、前記ネジ溝排気部ステータにボルト通し孔を設け、該ボルト通し孔に通された締結ボルトで、前記ネジ溝排気部ステータの下側端面が前記加熱板と当接するように前記ネジ溝排気部ステータを前記ベーススペーサ又は前記ステータベースに取り付ける構成と、前記ヒータスペーサよりも前記ネジ溝排気部ステータを優先的に加熱できるようにする手段として、前記ヒータスペーサと前記加熱板の境界付近において、肉抜き部を設けることにより、前記加熱板から前記ヒータスペーサへの伝熱を低減する構成とを、採用したことを特徴としてもよい。

【0024】

前記目的を達成するために、第２の本発明は、ポンプケースに内包されたロータと、前記ロータに固定された回転軸と、前記回転軸を回転可能に支持する支持手段と、前記回転軸を回転させる駆動手段と、前記ロータの外周側又は内周側との間にネジ溝排気通路を形成するネジ溝排気部ステータと、を備えた真空ポンプにおいて、前記ネジ溝排気部ステータの下部に、加熱部を設け、前記加熱部は、ヨークと、コイルと、加熱板と、を備え、更に、前記コイルをコネクタに接続する配線と、磁束漏れ低減手段と、前記コイルが設けられた空間を大気圧に保つためのシール手段と、前記ヨークが配置されたヒータスペーサと、を具備し、前記ヨークと前記ヒータスペーサが異なる材質の部材で形成されており、前記コイルに交流電流を流すことによる電磁誘導加熱で前記ヨーク及び前記加熱板を加熱することを特徴とする。

【0025】

前記第２の本発明において、前記ロータは、ベーススペーサに内包され、前記ロータの下部にステータベースが配置され、前記加熱部は、前記ネジ溝排気部ステータと前記ベーススペーサとの間に設けられ、前記加熱板は、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記ヒータスペーサに取り付けられ、更に、前記加熱部は、前記ヒータスペーサのみ又は前記ヒータスペーサ及び前記ヨークの両方に形成した配線通し孔を具備し、前記配線は、前記配線通し孔に通され、前記磁束漏れ低減手段は、前記配線通し孔又は前記コネクタの周囲に装着され、前記交流電流は、前記コネクタから前記配線を介して流され、前記ヨーク及び前記加熱板を加熱することにより前記ヒータスペーサ、前記ネジ溝排気部ステータ、前記ベーススペーサ又は前記ステータベースの少なくともいずれか１つを加熱することを特徴としてもよい。

【0026】

前記第２の本発明において、前記加熱部は、凹部を有する前記ヒータスペーサと、前記凹部内に配置された前記ヨークと、前記ヨーク上に配置した前記コイルと、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記凹部を塞ぐように前記ヒータスペーサに取り付けられた前記加熱板とで、構成されることを特徴としてもよい。

【0027】

前記第２の本発明において、前記加熱部は、凹部を有する前記ヒータスペーサと、前記凹部内に配置された前記ヨークと、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記凹部を塞ぐように前記ヒータスペーサに取り付けられた、溝を有する前記加熱板とで、構成されることを特徴としてもよい。

【0028】

前記第２の本発明において、前記加熱部は、前記ヒータスペーサと、前記ヒータスペーサに取り付けられた前記ヨークと、前記ネジ溝排気部ステータに当接し、前記ヨークを内包するように前記ヒータスペーサに取り付けられた、溝を有する前記加熱板と、前記溝内に配置した前記コイルとで、構成されることを特徴としてもよい。

【0030】

前記第１又は第２の本発明において、前記シール手段として弾性を持つＯリングと、前記加熱板に前記Ｏリングを取り付けるＯリング溝と、前記Ｏリング溝の開口端面から底面までの間に設けられる最小直径部と、を有し、前記最小直径部は、前記Ｏリングの内径より大きいこと又は前記Ｏリング溝の縁に設けた突起部で構成されることにより、前記Ｏリングの脱落を防止するＯリング脱落防止手段として機能することを特徴としてもよい。

【0031】

前記目的を達成するために、第３の本発明は、ポンプケースに内包されたロータと、前記ロータに固定された回転軸と、前記回転軸を回転可能に支持する支持手段と、前記回転軸を回転させる駆動手段と、前記ロータの外周側又は内周側との間にネジ溝排気通路を形成するネジ溝排気部ステータと、を備えた真空ポンプにおいて、前記ネジ溝排気部ステータの下部に、加熱部を設け、前記加熱部は、ヨークと、コイルと、加熱板と、を備え、前記ヨークが配置されたヒータスペーサを備え、前記ヨークと前記ヒータスペーサが異なる材質の部材で形成されており、前記コイルに交流電流を流すことによる電磁誘導加熱で前記ヨーク及び前記加熱板を加熱し、前記ロータは、ポンプベースに内包され、前記ネジ溝排気部ステータは、前記ロータの外周側に外側ネジ溝排気部ステータと、前記ロータの内周側に内側ネジ溝排気部ステータと、からなり、前記加熱部は、前記内側ネジ溝排気部ステータ及び前記外側ネジ溝排気部ステータの下部に設けられ、前記加熱板は、前記内側ネジ溝排気部ステータ又は前記外側ネジ溝排気部ステータいずれかに当接し、前記ヨークは、前記ポンプベースに配置され、前記コイルは、前記ヨーク上に配置されるとともに、前記加熱板及び前記ヨークを加熱することにより前記内側ネジ溝排気部ステータ、前記外側ネジ溝排気部ステータ又は前記ポンプベースの少なくともいずれか１つを加熱する機能を有し、前記加熱板は、２以上の分離加熱板として、複数に分離していることを特徴とする。

【0032】

前記分離加熱板は、その材質が異なることにより、前記分離加熱板ごとに発熱量が異なることを特徴としてもよい。

【0033】

前記分離加熱板は、その分離による隙間部を基準として左右非対称の断面形状であることにより、前記分離加熱板ごとに発熱範囲及び発熱量が異なることを特徴としてもよい。

【0034】

前記分離加熱板は、少なくともいずれか一つの前記分離加熱板が積層材で形成されることにより、前記分離加熱板ごとに発熱量が異なることを特徴としてもよい。

【0035】

前記分離加熱板は、その分離した部分が上下方向に重なることによって、該分離した部分が折れ曲がった通路形状になっていることを特徴としてもよい。

【0036】

前記第３の本発明において、前記ポンプベースには、前記ヨークが配置された凹部と、コネクタを装着するためのコネクタ装着部と、前記コネクタ装着部から前記凹部に連通する配線通し孔と、前記配線通し孔に通されて前記コイルと前記コネクタとを接続する配線と、が設けられていることを特徴としてもよい。

【0037】

前記第１又は第３の本発明において、前記配線通し孔又は前記コネクタの周囲に装着した磁束漏れ低減手段、を備えたことを特徴としてもよい。

【0038】

前記磁束漏れ低減手段は、前記配線通し孔に装着したシールドパイプであることを特徴としてもよい。

【0039】

前記磁束漏れ低減手段は、前記コネクタの周囲に装着したシールド板であることを特徴としてもよい。

【0040】

前記第２の本発明において、前記ロータは、ポンプベースに内包され、前記ネジ溝排気部ステータは、前記ロータの外周側に外側ネジ溝排気部ステータと、前記ロータの内周側に内側ネジ溝排気部ステータと、からなり、前記加熱部は、前記内側ネジ溝排気部ステータ及び前記外側ネジ溝排気部ステータの下部に設けられ、前記加熱板は、前記内側ネジ溝排気部ステータ又は前記外側ネジ溝排気部ステータいずれかに当接し、前記ヨークは、前記ポンプベースに配置され、前記コイルは、前記ヨーク上に配置されるとともに、前記加熱板及び前記ヨークを加熱することにより前記内側ネジ溝排気部ステータ、前記外側ネジ溝排気部ステータ又は前記ポンプベースの少なくともいずれか１つを加熱する機能を有し、前記ポンプベースには、前記コネクタを装着するためのコネクタ装着部が設けられており、前記磁束漏れ低減手段は、磁性材料からなるシールドパイプであり、前記配線は、前記シールドパイプで覆われていることを特徴としてもよい。

【0041】

前記コネクタの周囲に、磁性材料からなるシールド板を設置したことを特徴としてもよい。

【発明の効果】

【0042】

本発明にあっては、前記の通り、ネジ溝排気部ステータの下部に加熱部を設け、その加熱部の具体的な構成として、コイルに交流電流を流すことによる電磁誘導加熱でヨーク及び加熱板を加熱し、これによりヒータスペーサ、ネジ溝排気部ステータ、ベーススペーサ及びステータベースなど、ネジ溝排気部ステータ下部周辺の部材を加熱する構成を採用した。このため、加熱部によるベーススペーサ及びステータベースの加熱によってベーススペーサ内及びステータベースでの生成物の付着も防止できることより、真空ポンプ全体としての生成物の付着量を低減できる。

【0043】

特に、第２の本発明によると、加熱部の具体的な構成として、コイルを備えるとともに磁束漏れ低減手段も備える構成を採用したため、磁束漏れ低減手段によって当該コイルの磁束漏れを減らすことができ、漏れ磁束によって真空ポンプ内部の電装部品が誤動作する等、磁束漏れによる真空ポンプ電気系統のトラブルを効果的に防止することもできる。

【0044】

また、前記加熱部の具体的な構成において、前記凹部又は前記溝内を外気圧に設定可能とするシール手段を備えた構成によると、前記凹部や前記溝内を大気圧又はそれに近い圧力等、真空放電が生じない外気圧に設定することができ、これにより、真空放電によるコイルの絶縁被覆破壊を防止し、コイルの長寿命化を図ることができる。また、コイルの絶縁被覆破壊によるショート等、真空ポンプの電気系統の故障を未然に防止でき、真空ポンプの長期間安定な連続運転が可能になる。

【0045】

さらに、前記シール手段を備えた構成によると、前記凹部や前記溝内は例えば大気圧又はそれに近い圧力に設定可能であるから、前記凹部や前記溝内のコイルに配線を介してコネクタを接続する際、そのコネクタとして高価な真空コネクタを使用する必要がなく、安価なコネクタの使用で済み、真空ポンプ全体のコスト低減も図れる。

【図面の簡単な説明】

【0046】

【図1】本発明の第１実施形態である真空ポンプ（ネジ溝ポンプ並行流タイプ）の断面図。

【図2】図１のA部拡大図。

【図3】図１のB部拡大図。

【図4】加熱部の取付け構造例の説明図。

【図5】加熱部に冷却手段を設けた構造例の説明図。

【図6】排気口での生成物の付着を加熱により防止する構造例の説明図。

【図7】加熱部のヒータスペーサとベーススペーサとを一体化した構造例の説明図。

【図8】加熱部のヒータスペーサとベーススペーサとステータベースとを一体化した構造例の説明図。

【図9】温度センサの別の取付け例の説明図。

【図10】本発明の第２実施形態である真空ポンプ（ネジ溝ポンプ折り返し流タイプ）の断面図。

【図11】本発明の第３実施形態である真空ポンプ（ネジ溝ポンプ単流タイプ）の断面図。

【図12】加熱部のヨークを省略した構造例の説明図である。

【図13】コイルの磁束漏れをより一層効果的に低減し得る構造例の説明図。

【図14】加熱部の構造の別例の説明図。

【図15】図１４に示した加熱部の部分拡大図。

【図16】本発明の第４実施形態である真空ポンプ（ネジ溝ポンプ平行流タイプ）の断面図。

【図17】（ａ）は図１６のA部拡大図、（ｂ）は加熱板の拡大図。

【図18】加熱板の分離に関する他の実施形態の説明図。

【図19】加熱板の分離に関する他の実施形態の説明図。

【図20】加熱板の分離に関する他の実施形態の説明図。

【図21】加熱板の分離に関する他の実施形態の説明図。

【図22】加熱板の分離に関する他の実施形態の説明図。

【発明を実施するための最良の形態】

【0047】

以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。

【0048】

図１は、本発明の第１実施形態である真空ポンプ（ネジ溝ポンプ並行流タイプ）の断面図、図２は図１のA部拡大図、図３は図１のB部拡大図である。

【0049】

図１の真空ポンプＰ１は、例えば、半導体製造装置、フラット・パネル・ディスプレイ製造装置、ソーラー・パネル製造装置におけるプロセスチャンバやその他の密閉チャンバのガス排気手段等として利用される。この真空ポンプＰ１は、外装ケース１内に、回転翼１３と固定翼１４により気体を排気する翼排気部Ｐｔと、ネジ溝１９Ａ、１９Ｂを利用して気体を排気するネジ溝排気部Ｐｓと、これらの駆動系とを有している。

【0050】

外装ケース１は、筒状のポンプケース１Ａとベーススペーサ１Ｂとをその筒軸方向に締結ボルトで一体に連結した円筒形になっている。ポンプケース１Ａの上端部側はガス吸気口２として開口しており、ベーススペーサ１Ｂの下端部側面にはガス排気口３を設けてある。

【0051】

ガス吸気口２は、ポンプケース１Ａ上縁のフランジ１Ｃに設けた図示しない締結ボルトにより、例えば半導体製造装置のプロセスチャンバ等、高真空となる図示しない密閉チャンバに接続される。ガス排気口３は、図示しない補助ポンプに連通接続される。

【0052】

ポンプケース１Ａ内の中央部には各種電装品を内蔵する円筒状のステータベース４が設けられている。このステータベース４はベーススペーサ１Ｂの内底に一体に立設しているが、これとは別の実施形態として、例えば、そのステータベース４をベーススペーサ１Ｂとは別部品として形成してベーススペーサ１Ｂの内底にネジ止め固定してもよい。

【0053】

ステータベース４の内側には回転軸５が設けられており、回転軸５は、その上端部がガス吸気口２の方向を向き、その下端部がベーススペーサ１Ｂの方向を向くように配置してある。また、回転軸５の上端部はステータベース４の円筒上端面から上方に突出するように設けてある。

【0054】

また、前記回転軸５は、支持手段としての２組のラジアル磁気軸受１０、１０と１組のアキシャル磁気軸受１１により径方向と軸方向が回転可能に支持され、この状態で、駆動手段としての駆動モータ１２により回転駆動されるように構成してある。支持手段（ラジアル磁気軸受１０、１０、アキシャル磁気軸受１１）と駆動手段（駆動モータ１２）はステータベース４に収容してある。なお、ラジアル磁気軸受１０、１０、アキシャル磁気軸受１１及び駆動モータ１２は公知であるため、その具体的な詳細説明は省略する。

【0055】

ステータベース４の外側にはロータ６が設けられている。このロータ６は、ポンプケース１Ａ及びベーススペーサ１Ｂに内包され、ステータベース４の外周を囲む円筒形状であって、その略中間に位置する環状板体の連結部６０で、直径の異なる２つの筒体（第１の筒体６１と第２の筒体６２）をその筒軸方向に連結した形状になっている。

【0056】

第１の筒体６１の上端には、その上端面を構成する部材として、端部材６３が一体に設けられており、この端部材６３を介して、前記ロータ６は前記回転軸５に固定され、回転軸５を介して、ラジアル磁気軸受１０、１０及びアキシャル磁気軸受１１で、その軸心（回転軸５）周りに回転可能に支持されている。

【0057】

図１の真空ポンプＰ１におけるロータ６は一つのアルミ合金塊から切り出し加工したものであることより、ロータ６を構成する第１の筒体６１、第２の筒体６２、連結部６０、及び端部材６３は一部品として形成されているが、これとは別の実施例として、連結部６０を境にして第１の筒体６１と第２の筒体６２とが別部品で構成されるロータを採用することも可能である。この場合、第１の筒体６１はアルミニウム合金等の金属材料で形成し、第２の筒体６２は樹脂で形成する等、第１の筒体６１と第２の筒体６２の構成材料を異なるものとしてもよい。

【0058】

《翼排気部Ｐｔの詳細構成》
図１の真空ポンプＰ１では、ロータ６の略中間（具体的には、連結部６０）より上流（ロータ６の略中間からロータ６のガス吸気口２側端部までの範囲）が翼排気部Ｐｔとして機能する。以下、この翼排気部Ｐｔを詳細に説明する。

【0059】

ロータ６の略中間より上流側のロータ６外周面、具体的には該ロータ６を構成する第１の筒体６１の外周面には、複数の回転翼１３が一体に設けられている。これら複数の回転翼１３は、ロータ６の回転中心軸（回転軸５）若しくは外装ケース１の軸心（以下「真空ポンプ軸心」という）を中心として放射状に並んで配置されている。

【0060】

一方、ポンプケース１Ａの内周側には複数の固定翼１４が設けられており、これら複数の固定翼１４もまた、真空ポンプ軸心を中心として放射状に並んで配置されている。

【0061】

そして、図１の真空ポンプＰ１では、前記のように放射状に配置された回転翼１３と固定翼１４とが真空ポンプ軸心に沿って交互に多段に配置されることによって、真空ポンプＰ１の翼排気部Ｐｔが構成されている。

【0062】

なお、前記いずれの回転翼１３も、ロータ６の外径加工部と一体的に切削加工で切り出し形成したブレード状の切削加工品であって、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。前記いずれの固定翼１４もまた、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。

【0063】

《翼排気部Ｐｔによる排気動作説明》
以上の構成からなる翼排気部Ｐｔでは、駆動モータ１２の起動により、回転軸５、ロータ６および複数の回転翼１３が一体に高速回転し、最上段の回転翼１３がガス吸気口２から入射した気体分子に下向き方向の運動量を付与する。この下向き方向の運動量を有する気体分子が固定翼１４によって次段の回転翼１３側へ送り込まれる。以上のような気体分子への運動量の付与と送り込み動作とが繰り返し多段に行われることにより、ガス吸気口２側の気体分子はロータ６の下流に向かって順次移行するように排気される。

【0064】

《ネジ溝排気部Ｐｓの詳細構成》
図１の真空ポンプＰ１では、ロータ６の略中間（具体的には、連結部６０）より下流（ロータ６の略中間からロータ６のガス排気口３側端部までの範囲）がネジ溝排気部Ｐｓとして機能する。以下、このネジ溝排気部Ｐｓを詳細に説明する。

【0065】

ロータ６の略中間より下流側のロータ６、具体的には該ロータ６を構成する第２の筒体６２は、ネジ溝排気部Ｐｓの回転部材として回転する部分であって、ネジ溝排気部Ｐｓの内外２重円筒形のネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂ間に所定のギャップを介して挿入・収容される構成になっている。

【0066】

内外２重円筒形のネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂのうち、内側のネジ溝排気部ステータ１８Ａは、その外周面が第２の筒体６２の内周面と対向するように配置された円筒形の固定部材であって、第２の筒体６２の内周によって囲まれるように配置されている。

【0067】

一方、外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂは、その内周面が第２の筒体６２の外周面に対向するように配置された円筒形の固定部材であって、第２の筒体６２の外周を囲むように配置されている。

【0068】

内側のネジ溝排気部ステータ１８Ａの外周部には、ロータ６の内周側（具体的には第２の筒体６２の内周側）にネジ溝排気通路Ｒ１を形成する手段として、深さが下方に向けて小径化したテーパコーン形状に変化するネジ溝１９Ａを形成してある。ネジ溝１９Ａはネジ溝排気部ステータ１８Ａの上端から下端にかけて螺旋状に刻設してあり、このようなネジ溝１９Ａを備えたネジ溝排気部ステータ１８Ａにより、第２の筒体６２の内周側にはネジ溝排気流路（以下「内側ネジ溝排気流路Ｒ１」という）が形成される。尚、この内側のネジ溝排気部ステータ１８Ａはその下端が図２のように、加熱板２３で支持されている。

【0069】

外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂの内周部には、ロータ６の外周側（具体的には第２の筒体６２の外周側）にネジ溝排気通路Ｒ２を形成する手段として、前記ネジ溝１９Ａと同様のネジ溝１９Ｂを形成してある。このようなネジ溝１９Ｂを備えたネジ溝排気部ステータ１８Ｂにより、第２の筒体６２の外周側にはネジ溝排気流路（以下「外側ネジ溝排気流路Ｒ２」という）が形成される。なお、この外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂもその下端部が図２のように、加熱板２３で支持されている。

【0070】

図示は省略するが、先に説明したネジ溝１９Ａ、１９Ｂを第２の筒体６２の内周面又は外周面若しくはその両面に形成することで、前記のような内側ネジ溝排気流路Ｒ１又は外側ネジ溝排気流路Ｒ２が設けられるように構成してもよい。

【0071】

ネジ溝排気部Ｐｓでは、ネジ溝１９Ａと第２の筒体６２の内周面でのドラッグ効果やネジ溝１９Ｂと第２の筒体６２の外周面でのドラック効果により、気体を圧縮しながら移送するため、ネジ溝１９Ａの深さは、内側ネジ溝排気流路Ｒ１の上流入口側（ガス吸気口２に近い方の流路開口端）で最も深く、その下流出口側（ガス排気口３に近い方の流路開口端）で最も浅くなるように設定してある。このことはネジ溝１９Ｂも同様である。

【0072】

外側ネジ溝排気流路Ｒ２の上流入口は、多段に配置されている回転翼１３のうち最下段の回転翼１３Ｅと後述する連通開口部Ｈの上流端との間の隙間（以下「最終隙間Ｇ１」という）に連通している。また、同流路Ｒ２の下流出口は、図３のように、環状合流路Ｓ１と横穴流路Ｓ２と環状合流路Ｓ３を通じて、ガス排気口３側に連通している。

【0073】

内側ネジ溝排気流路Ｒ１の上流入口は、ロータ６の略中間でロータ６の内周面（具体的には、連結部６０の内面）に向って開口している。また、同流路Ｒ１の下流出口は、環状合流路Ｓ１と横穴流路Ｓ２と環状合流路Ｓ３を通じて、ガス排気口３側に連通している。

【0074】

環状合流路Ｓ１は、第２の筒体６２の端部と後述の加熱部２０との間に所定の隙間（図１の真空ポンプＰ１では、ステータベース４の下部外周を一周する形態の隙間）を設けることによって、内側及び外側ネジ溝排気流路Ｒ１、Ｒ２の下流出口と横穴流路Ｓ２とに連通するように形成してあり、また、横穴流路Ｓ２は、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂの端部に複数の切欠きを設けることによって、環状合流路Ｓ１と環状合流路Ｓ３とガス排気口３とに連通するように形成してある。

【0075】

ロータ６の略中間には連通開口部Ｈが開設されており、連通開口部Ｈは、ロータ６の表裏面間を貫通するように形成されることで、ロータ６の外周側に存在する気体の一部を内側ネジ溝排気流路Ｒ１へ導くように機能する。かかる機能を備えた連通開口部Ｈは、例えば、図１のように連結部６０の内外面を貫通するように形成してもよい。また、図１の真空ポンプＰ１では、前記連通開口部Ｈを複数設け、これら複数の連通開口部Ｈが真空ポンプ軸心に対して点対称となるように配置してある。

【0076】

《ネジ溝排気部Ｐｓにおける排気動作説明》
先に説明した翼排気部Ｐｔの排気動作による移送で外側ネジ溝排気流路Ｒ２の上流入口や最終隙間Ｇ１に到達した気体分子は、外側ネジ溝排気流路Ｒ２や連通開口部Ｈから内側ネジ溝排気流路Ｒ１に移行する。この移行した気体分子は、ロータ６の回転によって生じる効果、すなわち第２の筒体６２の外周面とネジ溝１９Ｂでのドラッグ効果や、第２の筒体６２の内周面とネジ溝１９Ａでのドラッグ効果によって、遷移流から粘性流に圧縮されながら環状合流路Ｓ１に向かって移行する。そして、環状合流路Ｓ１に到達した気体分子の粘性流は、横穴流路Ｓ２を通って環状合流路Ｓ３へ、そしてガス排気口３に流入し、ガス排気口３から図示しない補助ポンプを通じて外部へ排気される。

【0077】

《図１の真空ポンプにおける加熱部の説明》
図１の真空ポンプＰ１において、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの下部には、生成物の付着を防止する手段として、加熱部２０を設けている。具体的には、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂとその下部に配置されている前記ステータベース４との間に、この加熱部２０は設けられている。

【0078】

前記加熱部２０は、図２に示したように、凹部２１を有するヒータスペーサ２２と、凹部２１内に配置されたヨーク２５と、ヨーク２５上に配置したコイル２６と、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂに当接し、凹部２１を塞ぐようにヒータスペーサ２２に取り付けられた加熱板２３と、凹部２１内を外気圧に設定可能とするシール手段２４と、を備えている。

【0079】

そして、前記コイル２６に高周波の交流電流を流すことによる電磁誘導加熱により、前記加熱部２０は、ヨーク２５及び加熱板２３を加熱し、これにより前記ヒータスペーサ２２、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂ、ベーススペーサ１Ｂ及びステータベース４を加熱するように構成してある。

【0080】

ヒータスペーサ２２は、その外側面にコネクタ１００を装着するためのコネクタ装着部１０１と、前記凹部２１からコネクタ装着部１０１に連通する配線通し孔１０２と、配線通し孔１０２に通されてコイル２６とコネクタ１００とを接続するコイル２６の配線１０３と、を備えている。前記ヨーク２５にも、前記コイル２６の配線１０３や後述する温度センサ５１の配線を通すため、配線通し孔１０２を設けている。

【0081】

また、この図２に示すコネクタ１００、コネクタ装着部１０１、配線通し孔１０２、配線１０３、及び温度センサ５１の配線は水平位置（ベーススペーサ１Ｂの外周に向ける方向）に配置しているが、図１４に示したように垂直位置（ステータベース４の底面に向ける方向）に配置してもよい。

【0082】

前記シール手段２４は、Ｏリングその他のシール部材で凹部２１の開口周縁をシールすることにより、内側及び外側ネジ溝排気流路Ｒ１、Ｒ２等のように真空となる領域から凹部２１内を切り離し、凹部２１内だけを外気圧に設定可能としている。

【0083】

前記凹部２１内は、配線通し孔１０２を介してヒータスペーサ２２外部の大気が取り込まれることにより、大気圧となるように設定してある。なお、凹部２１内には大気以外の外気を取り込むことも可能である。また、凹部２１内の圧力は、大気圧に限定されることはなく、真空放電によるコイル２６の絶縁被覆破壊が生じない圧力であればよい。

【0084】

ヨーク２５とコイル２６との間は、その間に介在する絶縁板２７により電気的に絶縁されている。また、ヒータスペーサ２２はアルミニウム合金で形成され、加熱板２３とヨーク２５は、鉄系材料（例えば、純鉄、Ｓ１５Ｃ、Ｓ２５Ｃ）や磁性を有するステンレス材料（例えば、フェライト系ステンレス材料、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ４２０Ｊ２）等の磁性材料で形成され、前記コイル２６は、良導体（例えば、銅材料）で形成されている。

【0085】

前記コイル２６に高周波の交流電流を流すと、コイル２６と加熱板２３及びヨーク２５とが電磁結合し、加熱板２３及びヨーク２５の内部に渦電流が発生する。そうすると、加熱板２３やヨーク２５には固有の電気抵抗があるため、加熱板２３やヨーク２５でジュール熱が発生する。また、加熱板２３やヨーク２５では鉄損発熱、コイル２６では銅損発熱が生じ、これらの熱によって、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂとヒータスペーサ２２が優先的に加熱される。更に、ヒータスペーサ２２からの伝熱によって、ベーススペーサ１Ｂやステータベース４も加熱される。

【0086】

コイル２６から加熱板２３までの距離と、絶縁板２７の厚みに相当するコイル２６からヨーク２５までの距離は、必要に応じて適宜変更することができるが、ネジ溝排気部ステータ側での生成物の付着を防止する観点からは、その距離はヨーク２５よりも加熱板２３の方が有効に加熱できる距離に設定することが好ましい。

【0087】

また、前記加熱部２０では、ヨーク２５の断面形状をネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの端部に向かって上向きの溝形状とし、そのヨーク２５の上端部を加熱板２３に近づけて配置している。これにより、ヨーク２５内のコイル２６は磁性材料の加熱板２３とヨーク２５で囲まれた空間内に配置されるから、コイル２６の磁束漏れが少なくなり、加熱効率の向上が図られている。

【0088】

さらに、前記加熱部２０は、加熱板２３に取り付けた温度センサ５１と、温度センサ５１での検出値に基づいて加熱板２３が所定の温度となるように制御する温度制御手段（図示省略）と、を備えている。

【0089】

さらに、前記加熱部２０は、コイル２６に取り付けた温度センサ（図示省略）と、温度センサでの検出値に基づいてコイル２６が所定の温度を超えないように制御する保護制御手段（図示省略）と、を備えてもよい。

【0090】

加熱板２３への温度センサ５１の取付け方式としては、図２のように、凹部２１側のみに開口したセンサ取付け穴５０を加熱板２３に形成し、このセンサ取付け穴５０に温度センサ５１を挿入して接着材等で固定する方式を採用することができる。温度センサ５１の配線は、センサ取付け穴５０から凹部２１と配線通し孔１０２を通してコネクタ１００に接続してある。

【0091】

図１の真空ポンプＰ１では、前記加熱部２０がベーススペーサ１Ｂ及びステータベース４よりもネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂを優先的に加熱できるようにする手段として、外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂとベーススペーサ１Ｂとの間に隙間を空けること又は熱伝導率がより低いＯリングからなる中間部材Ｍを介在させることで、外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂとベーススペーサ１Ｂ又はステータベース４とが直接的に接触しないように構成している。なお、Ｏリング以外の部材を前記中間部材Ｍとして採用することもできる。

【0092】

図４は、加熱部の取付け構造例の説明図である。

【0093】

図１の真空ポンプＰ１において、加熱部２０は、この図４の取付け構造例のように、締結ボルトＢＴ１でネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの端部に取り付け固定することができる。

【0094】

特に、この図４の取付け構造例では、ヒータスペーサ２２と加熱板２３のそれぞれにボルト通し孔を設け、これらのボルト通し孔に通された締結ボルトＢＴ１でヒータスペーサ２２と加熱板２３とを一体にしてネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの端部に取り付け固定することで、加熱部２０とネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂからなる加熱ユニットが構成されるようにしている。

【0095】

また、この図４の取付け構造例では、ヒータスペーサ２２とベーススペーサ１Ｂとに共通のボルト通し孔を設け、この共通のボルト通し孔に通された締結ボルトＢＴ２で加熱部２０をベーススペーサ１Ｂに後付け固定している。

【0096】

図４のように、加熱部２０をベーススペーサ１Ｂに組み付けた後は、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの加熱状態を点検する作業において、特にそのネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂ下端付近の表面温度を温度計測器で測定することが困難である。しかしながら、先に説明した加熱部２０とネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂからなる加熱ユニットの状態では、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの周りにベーススペーサ１Ｂが存在しないので、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂ下端付近の表面温度を温度計測器で容易に測定することができる等、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの加熱状態を点検する際の作業性に優れる。

【0097】

また、この図４の取付け構造例では、ヒータスペーサ２２よりもネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂを優先的に加熱できるようにする手段として、ヒータスペーサ２２と加熱板２３の境界付近において、前記締結ボルトＢＴ１のボルト通し孔を内含する円周状の溝のような肉抜き部Ｎを設けることにより、加熱板２３とヒータスペーサ２２の接触面積を減らし、加熱板２３からヒータスペーサ２２への伝熱を低減している。

【0098】

前記加熱部２０において、凹部２１とヨーク２５の固定方式としては、凹部２１内にヨーク２５を圧入する方式、図示しないネジ止め固定する方式、あるいは、凹部２１内にヨーク２５を接着する方式を採用することができる。

【0099】

また、前記加熱部２０において、ヨーク２５とコイル２６の固定方式としては、ヨーク２５内に樹脂等を充填することで、コイル２６全体を樹脂等でモールドする方式を採用することができる。

【0100】

さらに、前記加熱部２０において、加熱板２３とネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの固定方式としては、例えば図４のように加熱板２３の表面に凸部を設け、この凸部を外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂと内側のネジ溝排気部ステータ１８Ａとの間に圧入する方式、あるいは、前記凸部を外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂと内側のネジ溝排気部ステータ１８Ａとの間に嵌め込み、それらを接着する方式を採用することができる。

【0101】

なお、前記加熱部２０において、加熱板２３とネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂは前記の通り締結ボルトＢＴ１によって締結されるので、先に説明した加熱板２３とネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの圧入や接着による固定方式は、必要に応じて省略することも可能である。

【0102】

図５は、加熱部に冷却手段を設けた構造例の説明図である。

【0103】

図１の真空ポンプＰ１において冷却手段を取り付ける場合は、例えば、この図５の構造例のように、加熱部２０のヒータスペーサ２２を鋳造で作製する際に、そのヒータスペーサ２２の中に冷却手段として水冷管７を埋め込むことができる。

【0104】

ヒータスペーサ２２とベーススペーサ１Ｂは別部品であり、ヒータスペーサ２２は全体として比較的薄いドーナツ形状板のような形態であることから、鋳造によるヒータスペーサ２２の作製作業、及び、その鋳造の際に前記水冷管７をヒータスペーサ２２に鋳込む作業自体は比較的容易なものである。

【0105】

図６は、排気口での生成物の付着を加熱により防止する構造例の説明図である。

【0106】

この図６の構造例は、排気口３を構成する排気管３０の外周に伝熱管８を装着し、その伝熱管８端部のフランジ部を締結ボルトＢＴ３で加熱部２０のヒータスペーサ２２外周部に取付けたものである。この構造例では、ヒータスペーサ２２の熱で伝熱管８を介して排気管３０を加熱し、排気口３における生成物の付着を防止する。

【0107】

伝熱管８を排気管３０に装着する方式としては、例えば、伝熱管８をその軸方向に縦割りで複数（例えば２分割）に分割して取り付ける方式や、排気管３０の直径以下に取り付ける方式を採用することができる。

【0108】

図７は、加熱部のヒータスペーサとベーススペーサとを一体化した構造例の説明図である。

【0109】

先に説明した加熱部２０のヒータスペーサ２２は、図７の構造例のようにベーススペーサ１Ｂと一体化することができる。これにより、部品点数が削減でき、ベーススペーサ１Ｂに対するヒータスペーサ２２の組み付け作業が不要となり、ポンプ組立精度の向上も図れる。

【0110】

図８は、加熱部のヒータスペーサとベーススペーサとステータベースとを一体化した構造例の説明図である。

【0111】

先に説明した加熱部２０のヒータスペーサ２２とベーススペーサ１Ｂとステータベース４とを図８のように一体化することもでき、これにより、更なる部品点数の削減、及びポンプ組立精度の向上も図れる。

【0112】

この図８の取付け構造例では、内側のネジ溝排気部ステータ１８Ａと加熱板２３のそれぞれにボルト通し孔を設け、これらのボルト通し孔に通された締結ボルトＢＴ４で内側のネジ溝排気部ステータ１８Ａと加熱板２３とを一体にしてステータベース４に取り付け固定する構成と、外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂにボルト通し孔を設け、該ボルト通し孔に通された締結ボルトＢＴ４で、外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂの下側の端面が加熱板２３と当接するように外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂをベーススペーサ１Ｂに取り付け固定する構成と、を採用している。

【0113】

図９は、温度センサの別の取付け例の説明図である。

【0114】

前記温度センサ５１は、この図９の取付け例のようにネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂに埋め込む形式で取り付けてもよい。図９の取付け例では、凹部２１から加熱板２３を通ってネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂに達する長さのセンサ取付け穴５０を形成し、このセンサ取付け穴５０に温度センサ５１を挿入して接着材等で固定している。この場合も、温度センサ５１の配線は、センサ取付け穴５０から凹部２１と配線通し孔１０２を通してコネクタ１００に接続してある。ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの下端部と加熱板２３の上端部との間にはシール手段５２（例えば、Ｏリング）を配置してある。

【0115】

図１０は、本発明の第２実施形態である真空ポンプ（ネジ溝ポンプ折り返し流タイプ）の断面図である。

【0116】

図１の真空ポンプＰ１は、ロータ６の略下半分（第２の筒体６２）の内周側と外周側を並行してガスが流れる構成（ネジ溝ポンプ並行流タイプ）であるが、この図１０の真空ポンプＰ２は、そのタイプが異なる。

【0117】

すなわち、図１０の真空ポンプＰ２は、同図矢印Ｕで示したように、ロータ６を構成する第２の筒体６２の下端側と上端側でガスの流れが上下方向に折り返すことにより、ロータ６の略下半分（第２の筒体６２）の内周側と外周側とでガスが逆向きに流れる構成（ネジ溝ポンプ折り返し流タイプ）である。なお、その構成以外の真空ポンプＰ２の基本的な構成については図１の真空ポンプＰ１と同様であるため、図１０では、図１に示した部材と同一部材に同一の符号を付し、その詳細説明は省略する。

【0118】

先に説明した図１の真空ポンプＰ１で採用の加熱部２０は、この図１０のようなネジ溝ポンプ折り返し流タイプの真空ポンプＰ２にも適用することができる。なお、図１０の真空ポンプＰ２に適用された加熱部２０の具体的な構成は、図１の真空ポンプＰ１で採用の加熱部２０と同様であるため、その詳細説明は省略する。

【0119】

また、図１０に示したガス排気口３は、図１に示したような排気口の構成をステータベース４に構成してもよい。

【0120】

図１１は、本発明の第３実施形態である真空ポンプ（ネジ溝ポンプ単流タイプ）の断面図である。

【0121】

この図１１の真空ポンプＰ３は、図１の真空ポンプＰ１において、内側のネジ溝排気部ステータ１８Ａを省略することで、ロータ６の外周側のみにネジ溝排気流路Ｒ２が形成されるように構成したものである。

【0122】

この図１１のような真空ポンプＰ３にも、図１の真空ポンプＰ１で採用の加熱部２０を適用することができる。特に、この図１１の適用例では、加熱部２０の具体的な構成として、第２の筒体６２に向かって突出した突起２８を加熱板２３に設けている。

【0123】

かかる突起２８は、第２の筒体６２の内周と対向するように配置されることでクリアランス・シールを形成し、ネジ溝排気流路Ｒ２の下流出口から環状合流路Ｓ１に到達したガスがロータ６の内側空間へ侵入することを減少する。

【0124】

なお、この図１１の加熱部２０において、前記突起６以外の具体的な構成は、図１の真空ポンプＰ１で採用の加熱部２０と同様であるため、その詳細説明は省略する。

【0125】

図１２は、加熱部のヨークを省略した構造例の説明図である。

【0126】

前記加熱部２０のヒータスペーサ２２は、磁性材料で形成することもできる。この場合には、図１２の構造例のように、ヨーク２５（図１参照）を省略することができ、これにより、部品点数の削減を図れる。

【0127】

この図１２の構造例においては、前記の通り、ヒータスペーサ２２が磁性材料であるため、コイル２６に高周波の交流電流が流れると、コイル２６と加熱板２３との電磁結合だけでなく、更に、コイル２６とヒータスペーサ２２とが電磁結合し、加熱板２３の他、ヒータスペーサ２２の内部にも渦電流が生じる。これにより、ヒータスペーサ２２でも十分なジュール熱が発生し、ヒータスペーサ２２からの伝熱によってベーススペーサ１Ｂやステータベース４を加熱することができる。

【0128】

図１３は、コイルの磁束漏れをより一層効果的に減少し得る構造例の説明図である。

【0129】

前記加熱部２０では、コイル２６の配線１０３や温度センサ５１の配線を通すため、前記の通り、ヨーク２５にも配線通し孔１０２を形成しているので、コイル２６の磁束がその配線通し孔１０２を通じて外部に漏れる可能性がある。

【0130】

この一方、図１３の構造例では、磁束漏れ低減手段として、ヨーク２５からコネクタ装着部１０１までの配線通し孔１０２全範囲及びコネクタ装着部１０１の一部に磁性材料からなるシールドパイプ２００を装着し、また、コネクタ１００の周囲に磁性材料からなるシールド板２０１を設置しているため、前記のような磁束漏れを効果的に減少することができる。

【0131】

なお、図１の真空ポンプＰ１でも、この図１３の構造例を適用することで、磁束漏れの減少を図っている。また、この図１３の構造例は、図１の真空ポンプＰ１のように、加熱部２０の凹部２１内が外気圧となる構成のものだけでなく、そのような凹部２１内が真空となる構成のものにも適用することができる。

【0132】

ところで、この図１３の構造例では、シールドパイプ２００とシールド板２０１を併用したが、シールドパイプ２００とシールド板２０１のいずれか一方だけでも、十分に磁束漏れを減少可能であるなら、他方を省略することもできる。

【0133】

図１４は加熱部の構造の別例の説明図、図１５は図１４に示した加熱部の部分拡大図である。

【0134】

この図１４に示した加熱部７０は、図１に示した本発明の第１実施形態である真空ポンプ（ネジ溝ポンプ並行流タイプ）に適用している。図１と同符号の構成の詳細説明は省略する。

【0135】

図１４の加熱部７０は、図１５に示したように、凹部７２を有するヒータスペーサ７１と、凹部７２内に配置されたヨーク７３と、図１４に示したネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの下側端面に当接し、凹部７２を塞ぐようにヒータスペーサ７１に取り付けられた溝７５を有する加熱板７４と、溝７５内に配置したコイル７７と、凹部７２及び溝７５内を外気圧に設定可能とするシール手段として弾性を持つＯリング８３と、を備えている。

【0136】

そして、コイル７７に高周波の交流電流を流すことによる電磁誘導加熱により、加熱部７０は、ヨーク７３及び加熱板７４を加熱し、これによりヒータスペーサ７１、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂ、ベーススペーサ１Ｂ及びステータベース４を加熱するように構成してある。

【0137】

前記Ｏリング８３は、図１５に示した凹部７２及び溝７５の開口周縁をシールすることにより、図１に示した内側及び外側ネジ溝排気流路Ｒ１、Ｒ２等のように真空となる領域から凹部７２及び溝７５内を切り離し、凹部７２及び溝７５内を外気圧に設定可能としている。

【0138】

前記Ｏリング８３を備える構成の場合は、図１５に示したように、Ｏリング８３を加熱板７４に取り付けるＯリング溝８４と、Ｏリング溝８４の開口端面から底面までの間に設けられる最小直径部８５と、を有し、最小直径部８５は、Ｏリング８３の内径より大きいこと又はＯリング溝８４の縁に設けた突起部８６で構成されることにより、Ｏリング８３の脱落を防止するＯリング脱落防止手段として機能するように構成してもよい。

【0139】

さらに、図１５に示したようなＯリング溝８４及びＯリング８３をヒータスペーサ７１に設置してもよく、この際には前記Ｏリング脱落防止手段を削除してもよい。

【0140】

図１５において、加熱板７４とコイル７７との間は、その間に介在する絶縁板８１により電気的に絶縁されている。ヒータスペーサ７１はアルミニウム合金で形成され、加熱板７４とヨーク７３は、鉄系材料（例えば、純鉄、Ｓ１５Ｃ、Ｓ２５Ｃ）や磁性を有するステンレス材料（例えば、フェライト系ステンレス材料、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ４２０Ｊ２）等の磁性材料で形成され、コイル７７は、良導体（例えば、銅材料）で形成されている。

【0141】

前記コイル７７に高周波の交流電流を流すと、コイル７７と加熱板７４及びヨーク７３とが電磁結合し、加熱板７４及びヨーク７３の内部に渦電流が発生する。そうすると、加熱板７４やヨーク７３には固有の電気抵抗があるため、加熱板７４やヨーク７３でジュール熱が発生する。また、加熱板７４やヨーク７３では鉄損発熱、コイル７７では銅損発熱が生じ、これらの熱によって、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂとヒータスペーサ７１が優先的に加熱される。更に、ヒータスペーサ７１からの伝熱によって、ベーススペーサ１Ｂやステータベース４も加熱される。

【0142】

コイル７７からヨーク７３までの距離と、絶縁板８１の厚みに相当するコイル７７から加熱板７４までの距離は、必要に応じて適宜変更することができるが、ネジ溝排気部ステータ側での生成物の付着を防止する観点からは、その距離はヨーク７３よりも加熱板７４の方が有効に加熱できる距離に設定することが好ましい。

【0143】

前記加熱部７０では、ヨーク７３の断面形状は板形状とし、そのヨーク７３の上端部を加熱板７４に近づけて配置している。これにより、加熱板７４内のコイル７７は磁性材料の加熱板７４とヨーク７３で囲まれた空間内に配置されるから、コイル７７の磁束漏れが少なくなり、加熱効率の向上が図られている。

【0144】

また、前記加熱部７０は、センサ取付け穴７８に取り付けた温度センサ７９と、温度センサ７９での検出値に基づいて加熱板７４が所定の温度となるように制御する温度制御手段（図示省略）と、を備えている。

【0145】

さらに、前記加熱部７０は、コイル７７に取り付けた温度センサ８０と、温度センサ８０での検出値に基づいてコイル７７が所定の温度を超えないように制御する保護制御手段（図示省略）と、を備えてもよい。

【0146】

前記加熱板７４への温度センサ７９の取付けは、図１５に示したように、溝７５側のみに開口したセンサ取付け穴７８を加熱板７４に形成し、このセンサ取付け穴７８に温度センサ７９を挿入している。また、コイル７７への温度センサ８０の取付けは、図１５に示したように、コイル７７の表面に温度センサ８０を貼り付けてある。そして、これら２つの温度センサ７９、８０のうち、温度センサ７９の配線は、センサ取付け穴７８から溝７５と凹部７２と配線通し孔１０２を通してコネクタ１００に接続し、また、温度センサ８０の配線は、溝７５から凹部７２と配線通し孔１０２を通してコネクタ１００に接続してある。

【0147】

図１５の加熱部７０では、前記溝７５及びセンサ取付け穴７８内に樹脂８２を充填することで、コイル７７、絶縁板８１、温度センサ７９、８０をモールドしている。また、コイル７７の脱落を防止する手段として、前記溝７５の縁に設けた突起部７６で構成した脱落防止手段を備えてもよい。

【0148】

図１５の加熱部７０は、ヨーク７３をヒータスペーサ７１の凹部７２内に締結ボルトＢＴ５で固定した構成を採用している。これとは違う構成として、図示は省略するが、かかる加熱部７０は、前記凹部７２を削除したヒータスペーサ７１と、ヨーク７３とを備え、かつ、該ヨーク７３を内包するように前記溝７５を加熱板７４に形成した構成と、ヒータスペーサ７１の上に締結ボルトＢＴ５でヨーク７３を固定した構成と、を採用してもよい。このような構成からなる加熱部７０によると、前記凹部７２を省略することができ、これにより加工部の削減を図れる。なお、このような構成からなる加熱部７０は、機能的には図１４、１５に示した構成の加熱部７０と同様であるため、その詳細説明は省略する。

【0149】

以上説明したように、第１から第３実施形態の真空ポンプＰ１、Ｐ２、Ｐ３では、加熱部２０（７０）の具体的な構成として、コイル２６（７７）に交流電流を流すことによる電磁誘導加熱でヨーク２５（７３）及び加熱板２３（７４）を加熱し、これによりヒータスペーサ２２（７１）、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂ、ベーススペーサ１Ｂ及びステータベース４を加熱する構成を採用した。このため、加熱部２０（７０）によるベーススペーサ１Ｂ及びステータベース４の加熱によってベーススペーサ１Ｂ及びステータベース４内での生成物の付着も防止できることより、真空ポンプ全体としての生成物の付着量を低減することができる。

【0150】

また、第１から第３実施形態の真空ポンプＰ１、Ｐ２、Ｐ３によると、加熱部２０（７０）の具体的な構成として、シール手段２４（８３）により外気圧に設定可能なヒータスペーサ２２の凹部２１（加熱板７４の溝７５）内に、コイル２６（７７）が配置される構成、及び、凹部２１（溝７５）内を大気圧又はそれに近い圧力等、真空放電が生じない外気圧に設定する構成を採用したため、真空放電によるコイル２６（７７）の絶縁被覆破壊を防止し、コイル２６（７７）の長寿命化を図ることができる。また、コイル２６（７７）の絶縁被覆破壊によるショート等、真空ポンプの電気系統の故障を防止でき、真空ポンプの長期間安定な連続運転が可能になる。

【0151】

更に、第１から第３実施形態の真空ポンプＰ１、Ｐ２、Ｐ３にあっては、凹部２１（溝７５）内は例えば大気圧又はそれに近い圧力に設定されるから、凹部２１（溝７５）内のコイル２６（７７）の配線１０３をコネクタ１００に接続する際、そのコネクタ１００として高価な真空コネクタを使用する必要がなく、安価なコネクタの使用で済み、真空ポンプ全体のコスト低減も図れる。

【0152】

図１６は、本発明の第４実施形態である真空ポンプ（ネジ溝ポンプ平行流タイプ）の断面図、図１７（ａ）は図１６のA部拡大図、図１７（ｂ）は加熱板の拡大図である。

【0153】

図１６の真空ポンプＰ４において、図１の真空ポンプＰ１と同一の部材には同一の符号を付し、その詳細説明は省略する。

【0154】

《図１６の真空ポンプにおける加熱部の説明》
図１６の真空ポンプＰ４もまた、図１の真空ポンプＰ１と同じく、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの下部に、生成物の付着を防止する手段として、加熱部２０を設けている。具体的には、この図１６の加熱部２０もまた、図１の加熱部２０と同じく、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂとその下部に配置されているステータベース４との間に設けられている。

【0155】

図１６の加熱部２０は、図１７に示したように、内側のネジ溝排気部ステータ１８Ａ（以下必要に応じて「内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ」という）又は外側のネジ溝排気部ステータ１８Ｂ（以下必要に応じて「外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂ」という）のいずれかに当接する加熱板２３と、ポンプベース１Ｄに配置されたヨーク２５と、ヨーク２５上に配置したコイル２６と、を備えている。なお、ポンプベース１Ｄは、図１のベーススペーサ１Ｂとステータベース４が一体になったものである。

【0156】

そして、前記コイル２６に高周波の交流電流を流すことによる電磁誘導加熱により、図１７の加熱部２０は、加熱板２３及びヨーク２５を加熱し、これにより内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂ、及びポンプベース１Ｄを加熱するように構成してある。更に、この加熱部２０はポンプベース１Ｄからの伝熱によってステータコラム４も加熱することができる。

【0157】

図１７の加熱部２０では、ポンプベース１Ｄ側に凹部２１を設け、凹部２１の開口付近に前記加熱板２３を配置するとともに、その凹部２１内に前記ヨーク２５を配置している。当該凹部２１は、ステータコラム４の下部外周を１周する環状の形態であって、ポンプベース１Ｄ側からネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの端部に向かって開口するように形成してあるが、このような凹部２１は省略することもできる。

【0158】

図１７の加熱部２０における加熱板２３は、前記凹部２１の開口とネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの端部との間に位置し、かつ、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂのいずれかに当接する２以上の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂとして、複数に分離している。

【0159】

前記のように複数に分離した加熱板２３の具体的な構造例として、図１６の真空ポンプＰ４では、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂが筒状であること、及び、凹部２１が環状であることに対応して、ステータコラム４の下部外周を１周する内外２重のリング状板材を用意し、それらを内側の分離加熱板２３Ａ及び外側の分離加熱板２３Ｂとして採用している。

【0160】

また、図１６の真空ポンプＰ４では、内側の分離加熱板２３Ａは、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａの端部に直接当接して取り付けられることによって、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａを集中的に加熱する手段として機能するように設けている。一方、外側の分離加熱板２３Ｂは、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂの端部に直接当接して取り付けられることによって、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂを集中的に加熱する手段として機能するように設けている。

【0161】

図１７の加熱部２０でも、ヨーク２５とコイル２６との間は、その間に介在する絶縁板２７により電気的に絶縁されている。また、図１７の加熱部２０における加熱板２３とヨーク２５も、鉄系材料（例えば、純鉄、Ｓ１５Ｃ、Ｓ２５Ｃ）や磁性を有するステンレス材料（例えば、フェライト系ステンレス材料、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ４２０Ｊ２）等の磁性材料で形成され、前記コイル２６は、良導体（例えば、銅材料）で形成されている。

【0162】

図１７を参照すると、ポンプベース１Ｄには、コネクタ１００を装着するためのコネクタ装着部１０１と、コネクタ装着部１０１から前記凹部２１に連通する配線通し孔１０２と、配線通し孔１０２に通されてコイル２６とコネクタ３０とを接続するコイル２６の配線１０３と、が設けられている。前記ヨーク２５にも、前記コイル３０の配線１０３や後述するセンサ５１の配線を通すため、配線通し孔１０２を設けている。また、図１７に示すコネクタ１００、コネクタ装着部１０１、配線通し孔１０２、配線１０３、及びセンサ５１の配線は水平位置（ベース１Ｂの外周に向ける方向）に配置しているが、垂直位置（ベース１Ｂの底面に向ける方向）に配置してもよい。

【0163】

図１７において、コネクタ１００から配線１０３を介してコイル２６に高周波の交流電流を流すと、コイル２６と加熱板２３（分離加熱板２３Ａ、２３Ｂ）及びヨーク２５とが電磁結合し、加熱板２３及びヨーク２５の内部に渦電流が発生する。そうすると、加熱板２３やヨーク２５には固有の電気抵抗があるため、加熱板２３やヨーク２５でジュール熱が発生する。また加熱板２３やヨーク２５では鉄損発熱、コイル２６では銅損発熱が生じる。これらの熱のうち、特に加熱板２３で発生した熱により内側及び外側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂが優先的に加熱され、また、ヨーク２５で発生した熱によりベーススペーサ１Ｂが優先的に加熱される。更に、ポンプベース１Ｄからの伝熱によってステータコラム４も加熱される。

【0164】

内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂは、同じ材質の磁性材料で形成することによって、分離加熱板２３Ａ、２３Ｂごとの発熱量が略同じになるように設定してもよいが、これとは別の実施形態として、それらを異なる材質の磁性材料で形成することにより、分離加熱板２３Ａ、２３Ｂごとに発熱量が異なるように構成してもよい。

【0165】

内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂは、その質量、材質、熱損失の違い等から熱容量が異なる場合がある。例えば、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａよりも外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂの熱容量の方が大きい場合もある。この場合は、例えば、外側の分離加熱板２３Ｂを純鉄系の材料で形成する一方、内側の分離加熱板２３Ａをステンレス材料で形成することで、内側の分離加熱板２３Ａの発熱量よりも外側の分離加熱板２３Ｂの発熱量の方が大きくなるように設定することができる。これにより、加熱板２３は、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａと外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂが略同じ温度となるように加熱したり、それぞれの目標温度となるように加熱したりする等、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの熱容量に応じてネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂを加熱することができる。

【0166】

他に材質を変更する方法としては、材料に添加物を加える方法がある。例えば、分離加熱板の材料にセラミックスを添加し、材料の電気抵抗等の物性を部分的に変化させる。それによって、分離加熱板の全体のみならず一部分についての発熱量の変更が可能となる。

【0167】

図１８から図２２は、先に説明した加熱板２３の分離に関する他の実施形態の説明図である。

【0168】

これらの図１８から図２２に示された加熱板２３もまた、先に説明した図１６、図１７の加熱板２３と同じく、内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂとして分離しているが、その具体的な分離構成は以下のように異なる。

【0169】

図１６、図１７の加熱板２３において、これを構成する内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂはその分離による隙間部Ｇ３（以下「分離隙間Ｇ３」という）を基準として左右対称の断面形状になっている。この一方、図１８、図１９の加熱板２３において、これを構成する内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂは、その分離隙間Ｇ３を基準として左右非対称の断面形状であることにより、分離加熱板２３Ａ、２３Ｂごとに発熱範囲及び発熱量が異なる構成になっている。

【0170】

特に、図１８の加熱板２３では、内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂの幅Ｌ１、Ｌ２が異なることにより、内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂは、その分離隙間Ｇ３を基準として左右非対称の断面形状になっている。ここで、例えば、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａよりも外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂの熱容量の方が大きい場合は、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂの方が温度上昇し難い。この場合は、この図１８のように、内側の分離加熱板２３Ａの幅Ｌ２よりも外側の分離加熱板２３Ａの幅Ｌ１を大きく設定する。これにより、加熱板２３は、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂが略同じ温度となるように加熱したり、それぞれの目標温度となるように加熱したりする等、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの熱容量に応じてネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂを加熱することができる。

【0171】

この一方、図１９の加熱板２３では、内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂの厚さＨ１、Ｈ２が異なることにより、内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂは、その分離隙間Ｇ３を基準として左右非対称の断面形状になっている。ここで、例えば、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａよりも外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂの熱容量の方が大きい場合には、この図１９のように、内側の分離加熱板２３Ａの厚さＨ２よりも外側の分離加熱板２３Ｂの厚さＨ１を大きく設定する。これにより、加熱板２３は、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂが略同じ温度となるように加熱したり、それぞれの目標温度となるように加熱したりする等、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの熱容量に応じてネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂを加熱することができる。

【0172】

図２０の加熱板２３において、これを構成する内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂは、内側の分離加熱板２３Ａを無垢材で形成し、外側の分離加熱板２３Ｂを積層材で形成したものであり、これにより、内側の分離加熱板２３Ａよりも外側の分離加熱板２３Ｂの方が発熱量は少なくなるように設定してある。この設定は、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａの熱容量よりも外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂの熱容量の方が小さい場合の例であり、この例とは逆の場合は、内側の分離加熱板２３Ａを積層材で形成し、外側の分離加熱板２３Ｂを無垢材で形成すればよい。

【0173】

前記のような積層材を採用した更に別の実施形態として、内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂを双方とも積層材で形成するとともに、その積層数を内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂで変えることにより、分離加熱板２３Ａ、２３Ｂごとに発熱量が異なるように設定することも可能である。

【0174】

図２１、図２２の加熱板２３において、これを構成する内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂは、その分離した部分が上下方向に重なることによって、分離隙間Ｇ３を基準として左右非対称の断面形状であることに加え、当該分離隙間Ｇ３（加熱板２３の分離した部分）がジグザグに折れ曲がった通路形状になっている。

【0175】

前記分離隙間Ｇ３は空隙であるため、そのような分離隙間Ｇ３から加熱板２３上部側へのコイル２６の磁束漏れは避けられない。しかしながら、図２１、図２２のような分離加熱板２３Ａ、２３Ｂの重ね構造によると、その分離隙間Ｇ３が前記のようにジグザグに折れ曲がった通路形状になることで、分離隙間Ｇ３の長さが増えるため、分離隙間Ｇ３から加熱板２３上部側へのコイル２６の磁束漏れを効果的に減少させることができる。

【0176】

特に、図２１のような分離加熱板２３Ａ、２３Ｂの重ね構造では、内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂの幅Ｌ１、Ｌ２も異なる構成になっているので、分離加熱板２３Ａ、２３Ｂごとに発熱範囲及び発熱量が異なり、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの熱容量に応じて、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂを加熱することもできる。

【0177】

また、図１６の真空ポンプＰ４では、前記加熱部２０がポンプベース１Ｄよりも内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａや外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂを優先的に加熱できるようにする手段として、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａとステータコラム４との間に空隙Ｇ２を設けたり、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂとポンプベース１Ｄとの間に空隙Ｇ２を設けたりすることで、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａとステータコラム４との接触面積及び外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂとポンプベース１Ｄとの接触面積が、いずれも小さくなるように設定している。

【0178】

図１６、図１７において、前記コイル２６から前記加熱板２３までの距離と、絶縁板２７の厚みに相当するコイル２６からヨーク２５までの距離は、必要に応じて適宜変更することができるが、ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂ側での生成物の付着を効果的に防止する観点からは、その距離は、ヨーク２５よりも加熱板２３の方を有効に加熱できる距離に設定することが好ましい。

【0179】

図１６、図１７の加熱部２０では、ヨーク２５の断面形状を内側及び外側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂに向かって上向きの溝形状とし、そのヨーク２５の上端部を加熱板２３に近づけて配置している。これにより、ヨーク２５内のコイル２６は磁性材料の加熱板２３とヨーク２５で囲まれた空間内に配置されるから、コイル２６の磁束漏れは少ない。

【0180】

また、図１６、図１７の加熱部２０では、ヨーク２５と加熱板２３との間に所定の隙間部を設けている。これにより、加熱板２３で発生した熱がヨーク２５を通じてポンプベース１Ｄ側に逃げ難くなり、加熱板２３によるネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの優先的な加熱が可能になる。

【0181】

図１６の真空ポンプＰ４は、更に、図１７にも示したように、ポンプ内の温度を検出する温度検出センサ５１と、温度検出センサ５１での検出値に基づいて加熱板２３が所定の温度となるように制御する温度制御手段（図示省略）と、を備えている。なお、この図１６の真空ポンプＰ４では、図１７のように、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂに温度検出センサ５１を取り付けているが、その取り付け位置に限定されることはない。例えば、内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａや加熱板２３に温度検出センサ５１を取り付けてもよい。

【0182】

図１６、図１７の加熱部２０は、前記コイル２６に取り付けたコイル温度検出センサ（図示なし）と、前記コイル温度検出センサでの検出値に基づいて前記コイルが所定の温度を超えないように制御する保護制御手段（図示省略）と、を備えてもよい。

【0183】

また、図１６の真空ポンプＰ４では、加熱板２３に貫通孔を形成し、この貫通孔と凹部２１と配線通し孔１０２とを通じて、温度検出センサ５１及びコイル温度検出センサの配線をコネクタ１００に接続しているが、これとは別の接続方式を採用してもよい。

【0184】

図１６、図１７の加熱部２０において、凹部２１とヨーク２５の固定方式としては、例えば、凹部２１内にヨーク２５を圧入する方式、図示しないネジ止め固定する方式、あるいは、凹部２１内にヨーク２５を接着剤で固定する方式を採用することができる。

【0185】

また、図１６、図１７の加熱部２０において、ヨーク２５とコイル２６の固定方式としては、ヨーク２５内に樹脂等を充填することで、コイル２６全体を樹脂等でモールドする方式を採用することができる。

【0186】

さらに、図１６、図１７の加熱部２０において、加熱板２３と内側及び外側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの固定方式としては、加熱板２３（分離加熱板２３Ａ、２３Ｂ）の表面に設けた凸部を外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂと内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａとの間に嵌め込み、加熱板２３とネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂとを締結ボルトで固定する方式（ボルト固定方式）や、それらを接着剤で固定する方式（接着固定方式）等を採用することができ、また、前記ボルト固定方式と接着固定方式を併用してもよい。

【0187】

図１６、図１７の加熱部２０では、コイル２６の配線１０３や温度センサ５１及びコイル温度検出センサの配線を通すため、ヨーク２５にも配線通し孔１０２を形成しているので、コイル２６の磁束がその配線通し孔１０２を通じて外部に漏れる可能性がある。このため、この図１６、図１７の加熱部２０では、磁束漏れ低減手段として、ヨーク２５からコネクタ装着部１０１までの配線通し孔１０２全範囲に磁性材料からなるシールドパイプ２００を装着し、また、コネクタ１００の周囲に磁性材料からなるシールド板２０１を設置している。なお、シールドパイプ２００とシールド板２０１いずれか一方だけでも、十分に磁束漏れを防止可能であるなら、他方を省略することもできる。

【0188】

図１６の真空ポンプＰ４は、加熱部２０とポンプベース１Ｄとステータコラム４とを一体化した構造になっているが、これらは別部品として形成することもできる。

【0189】

以上説明したように、第４実施形態の真空ポンプＰ４にあっては、加熱部２０の具体的な構成として、コイル２６に交流電流を流すことによる電磁誘導加熱で加熱板２３及びヨーク２５を加熱し、これにより内側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、外側ネジ溝排気部ステータ１８Ｂ、及びポンプベース１Ｄを加熱する機能を備えた。このため、加熱部２０によるポンプベース１Ｄの加熱によってポンプベース１Ｄ内での生成物の付着も防止でき、これに加えて更に、ポンプベース１Ｄからの伝熱によってステータコラム４も加熱でき、ステータコラム４での生成物の付着も防止できることより、真空ポンプＰ４全体としての生成物の付着量を低減できる。

【0190】

また、第４実施形態の真空ポンプＰ４では、配線通し孔１０２に磁性材料からなるシールドパイプ２００を装着する構成や、コネクタ１００の周囲に磁性材料からなるシールド板２０１を設置した構成を採用したため、シールドパイプ２００やシールド板２０１によってコイル２６の磁束漏れを減らすことができ、漏れ磁束によって真空ポンプＰ４内部の電装部品が誤動作する等、磁束漏れによる真空ポンプ電気系統のトラブルを効果的に防止することができる。

【0191】

更に、第４実施形態の真空ポンプＰ４によると、加熱板２０の具体的な構成として、加熱板２３は、内側及び外側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂのいずれかに当接する２以上の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂとして、複数に分離した構成を採用した。このため、例えば、当該加熱板２３を内側及び外側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂの端部に当接させて取付けるポンプ組立て段階において、加熱板２３は２以上に分離した状態の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂとして内外それぞれのネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂに個別に取り付けることができる。従って、内側及び外側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂにおいてその長さ方向の加工寸法誤差や取付け寸法誤差が存在する場合でも、これらの誤差の影響を受けることなく、加熱板２３を内側及び外側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂに容易に取り付けることができるし、内側及び外側ネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂにおける長さ方向の加工寸法や取り付け寸法を高精度なものとする必要がない点で、真空ポンプＰ４全体のコスト低減も図ることができる。

【0192】

図１８から図２２に示した加熱板２３の構造例や、内外の分離加熱板２３Ａ、２３Ｂでその材質を異なる構成例は、それぞれ単独で採用できるが、必要に応じて、それらを組み合わせて採用してもよい。

【0193】

また、第４実施形態の真空ポンプＰ４では、ネジ溝排気部Ｐｓがネジ溝ポンプ並行流タイプを構成しているが、このタイプのネジ溝排気部Ｐｓを限定するものではなく、ネジ溝排気部ステータを持つ全ての真空ポンプにも適応することができる。適用できる真空ポンプとしては、例えば、外側ネジ溝排気部ステータのみのネジ溝排気部Ｐｓを構成するタイプ、あるいは外側ネジ溝によって排気した後に内側ネジ溝によって繋ぎ排気するネジ溝排気部Ｐｓを構成するタイプがある。

【0194】

以上、説明した第１ないし第４実施形態の真空ポンプＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４では、翼排気部Ｐｔとネジ排気部Ｐｓとを構成しているが、本発明は、ネジ排気部Ｐｓのみのものにも適用することができる。

【符号の説明】

【0195】

１ 外装ケース
１Ａ ポンプケース
１Ｂ ベーススペーサ
１Ｃ フランジ
１Ｄ ポンプベース
２ ガス吸気口
３ ガス排気口
３０ 排気管
４ ステータベース
５ 回転軸
６ ロータ
６０ 連結部
６１ 第１の筒体
６２ 第２の筒体
６３ 端部材
７ 水冷管
８ 伝熱管
１０ ラジアル磁気軸受
１１ アキシャル磁気軸受
１２ 駆動モータ
１３ 回転翼
１３Ｅ 最下段の回転翼
１４ 固定翼
１８Ａ 内側のネジ溝排気部ステータ
１８Ｂ 外側のネジ溝排気部ステータ
１９Ａ、１９Ｂ ネジ溝
２０ 加熱部
２１ 凹部
２２ ヒータスペーサ
２３ 加熱板
２３Ａ、２３Ｂ 分離加熱板
２４ シール手段
２５ ヨーク
２６ コイル
２７ 絶縁板
２８ 突起
５０ センサ取付け穴
５１ 温度センサ
５２ シール手段
７０ 加熱板
７１ ヒータスペーサ
７２ 凹部
７３ ヨーク
７４ 加熱板
７５ 溝
７６ 突起部
７７ コイル
７８ センサ取付け穴
７９ 温度センサ
８０ 温度センサ
８１ 絶縁板
８２ 樹脂
８３ Ｏリング
８４ Ｏリング溝
８５ 最小直径部
８６ 突起部
１００ コネクタ
１０１ コネクタ装着部
１０２ 配線通し孔
１０３ コイルの配線
２００ シールドパイプ
２０１ シールド板
ＢＴ１、ＢＴ２、ＢＴ３、ＢＴ４、ＢＴ５ 締結ボルト
Ｇ１ 最終隙間（最下段の回転翼と連通開口部の上流端との間の隙間）
Ｇ２ 空隙
Ｇ３ 分離隙間
Ｈ 連通開口部
Ｍ 中間部材
Ｎ 肉抜き部
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４ 真空ポンプ
Ｐｔ 翼排気部
Ｐｓ ネジ溝排気部
Ｒ１ 内側ネジ溝排気通路
Ｒ２ 外側ネジ溝排気通路
Ｓ１ 環状合流路
Ｓ２ 横穴流路
Ｓ３ 環状合流路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】