特許6387242マイクロ波プラズマ生成装置

発明の名称　マイクロ波プラズマ生成装置

出願人　株式会社ＩＨＩ　（識別番号 99）

　　　　特許公開件数ランキング 320 位（106件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 175 位（171件）（共同出願を含む）

出願人　学校法人東海大学　（識別番号 125369）

　　　　特許公開件数ランキング 1307 位（27件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1952 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6387242

公報発行日　2018年9月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6387242

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