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特許第6387289号(P6387289)
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特許
6387289
薄膜圧電体素子およびその製造方法並びにそれを有するヘッドジンバルアセンブリ、ハードディスク装置、インクジェットヘッド、可変焦点レンズおよびセンサ
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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