特許6388623ｉｎ−ｓｉｔｕスペクトル工程監視

発明の名称　ｉｎ−ｓｉｔｕスペクトル工程監視

出願人　ジェイディーエス　ユニフェイズ　コーポレーション　（識別番号 502151820）

　　　　特許公開件数ランキング 1558 位（13件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1447 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6388623

公報発行日　2018年9月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6388623

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