特許 6388704 ガラス基板のピック・アンド・プレース装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6388704

(24)【登録日】2018年8月24日

(45)【発行日】2018年9月12日

(54)【発明の名称】ガラス基板のピック・アンド・プレース装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20180903BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20180903BHJP

   B25J 15/08 20060101ALN20180903BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/06 A

   !B25J15/08 C

【請求項の数】16

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2017-500056(P2017-500056)

(86)(22)【出願日】2014年7月24日

(65)【公表番号】特表2017-521864(P2017-521864A)

(43)【公表日】2017年8月3日

(86)【国際出願番号】CN2014082943

(87)【国際公開番号】WO2016004655

(87)【国際公開日】20160114

【審査請求日】2017年2月27日

(31)【優先権主張番号】201410321724.6

(32)【優先日】2014年7月8日

(33)【優先権主張国】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】516010618

【氏名又は名称】深▲せん▼市華星光電技術有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＳＨＥＮＺＨＥＮ ＣＨＩＮＡ ＳＴＡＲ ＯＰＴＯＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＣＯ．， ＬＴＤ．

(74)【代理人】

【識別番号】110002262

【氏名又は名称】ＴＲＹ国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】孫 世英

【審査官】 小山 満

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−３２１１１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１７６６３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２６４５５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−２６４０７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００７／０７４８５５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００１−１５６１５５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｂ２５Ｊ １５／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、
マシンフレームと、
前記マシンフレームに設けられた載置部材と、
を備え、
前記載置部材は、
載置サポートと、
前記載置サポートに固定的に設けられた第１のストップブロックと、
前記載置サポートに可動的に設けられた第２のストップブロックと、
を有し、
前記第２のストップブロックには、伸縮可能機構が設けられ、
ここで、前記第１のストップブロックと前記第２のストップブロックの総数は少なくとも４個であり、
前記載置サポートは、ガラス基板を載置するためのものであり、２つの載置アームとして設けられ、２つの前記載置アームの前記マシンフレームに近接する一方端には、いずれも前記第１のストップブロックが設けられ、他方端には、いずれも前記第２のストップブロックが対応して設けられ、
前記第１のストップブロックは、前記載置サポート上に載置されたガラス基板に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第２のストップブロックは、前記伸縮可能機構による前記載置サポートにおける伸縮移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものであり、
前記２つの載置アームには、いずれも前記ガラス基板をピック・アンド・プレースする時に、前記ガラス基板を吸着して固定するためのエアクッションが設けられ、
前記載置アームがガラス基板を取出し、前記載置アームの作動中、当該ガラス基板の滑りが防止されるように、前記エアクッションの機能をオンにし、ガラス基板を固定し、
前記載置アームが位置決めに到達した後、前記エアクッションの機能をオフにし、さらに前記第１のストップブロックと前記第２のストップブロックを利用してガラス基板を調整して位置決めし、
調整終了後、前記エアクッションの機能をオンにし、ガラス基板を吸い込んで位置を固定して、前記第２のストップブロックを緩め、元の位置に戻すことを特徴とするガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項2】

前記エアクッションは、前記第２のストップブロックが前記載置サポート上を移動する時に、前記ガラス基板と前記載置サポートとの間の隙間に空気浮上を形成するためにも用いられる請求項１に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項3】

前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックは、前記載置アームの水平方向の移動によって、前記載置アーム上に載置されたガラス基板を固定するためのものである請求項１に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項4】

前記エアクッションは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの間に均一に設けられている請求項１に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項5】

２つの前記載置アームの前記ガラス基板の左右周辺に近接する側辺には、前記第２のストップブロックが対応して設けられている請求項１に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項6】

前記載置アームの前記側辺に設けられた第２のストップブロックは、前記載置アームの垂直方向の移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである請求項５に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項7】

２つの載置アームの側辺にいずれも１つの前記第２のストップブロックが設けられる場合、前記第２のストップブロックは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの中間に設けられている請求項３に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項8】

２つの載置アームの側辺にいずれも少なくとも２つの前記第２のストップブロックが設けられる場合、前記第２のストップブロックは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの間に均一に設けられている請求項３に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項9】

ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、
マシンフレームと、
前記マシンフレームに設けられた載置部材と、
を備え、
前記載置部材は、
載置サポートと、
前記載置サポートに固定的に設けられた第１のストップブロックと、
前記載置サポートに可動的に設けられた第２のストップブロックと、
を有し、
ここで、前記第１のストップブロックと前記第２のストップブロックの総数は少なくとも４個であり、
前記載置サポートは、ガラス基板を載置するためのものであり、２つの載置アームとして設けられ、２つの前記載置アームの前記マシンフレームに近接する一方端には、いずれも前記第１のストップブロックが設けられ、他方端には、いずれも前記第２のストップブロックが対応して設けられ、
前記第１のストップブロックは、前記載置サポート上に載置されたガラス基板に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第２のストップブロックは、前記載置サポートにおける移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものであり、
前記２つの載置アームには、いずれも前記ガラス基板をピック・アンド・プレースする時に、前記ガラス基板を吸着して固定するためのエアクッションが設けられ、
前記載置アームがガラス基板を取出し、前記載置アームの作動中、当該ガラス基板の滑りが防止されるように、前記エアクッションの機能をオンにし、ガラス基板を固定し、
前記載置アームが位置決めに到達した後、前記エアクッションの機能をオフにし、さらに前記第１のストップブロックと前記第２のストップブロックを利用してガラス基板を調整して位置決めし、
調整終了後、前記エアクッションの機能をオンにし、ガラス基板を吸い込んで位置を固定して、前記第２のストップブロックを緩め、元の位置に戻すことを特徴とするガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項10】

前記エアクッションは、前記第２のストップブロックが前記載置サポート上を移動する時に、前記ガラス基板と前記載置サポートとの間の隙間に空気浮上を形成するためにも用いられる請求項９に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項11】

前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックは、前記載置アームの水平方向の移動によって、前記載置アーム上に載置されたガラス基板を固定するためのものである請求項９に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項12】

前記エアクッションは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの間に均一に設けられている請求項９に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項13】

２つの前記載置アームの前記ガラス基板の左右周辺に近接する側辺には、前記第２のストップブロックが対応して設けられている請求項９に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項14】

前記載置アームの前記側辺に設けられた第２のストップブロックは、前記載置アームの垂直方向の移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである請求項１３に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項15】

２つの載置アームの側辺にいずれも１つの前記第２のストップブロックが設けられる場合、前記第２のストップブロックは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの中間に設けられている請求項１１に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【請求項16】

２つの載置アームの側辺にいずれも少なくとも２つの前記第２のストップブロックが設けられる場合、前記第２のストップブロックは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの間に均一に設けられている請求項１１に記載のガラス基板のピック・アンド・プレース装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液晶ディスプレイの技術分野に関し、特に、ガラス基板のピック・アンド・プレース装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶ディスプレイの製造工程において、ガラス基板をカセット（Ｃａｓｓｅｔｔｅ）からプロセスライン上に搬送し、係る製造工程を完成させる必要がある。さらに、搬送過程において、カセット中に載置されたガラス基板についてカセットから取り出して抜き取り検査する必要があり、またガラス基板がカセットから取り出され抜き取り検査に合格後もう一度カセットに戻す必要がある。

【0003】

しかしながら、普通のガラス基板の厚みは通常は０．４〜０．７ｍｍしかなく、且つ、通常は脆くて、ガラス基板の積卸し過程でガラス基板が破損しやすい。カセットにおいてガラス基板を置く位置が正しくないと、カセットからガラス基板を出し入れする時により容易に破片を形成し、図１ａから図１ｄを参照すると、カセットにおいてガラス基板を正しく置いていない幾つかの状況であり、ここで、図１ａはガラス基板が左よりにずれていることを示し、図１ｂはガラス基板が右よりにずれていることを示し、図１ｃはガラス基板が外よりにずれていることを示し、図１ｄはガラス基板が回転してずれていることを示す。また、輸送中に揺れや気流による不安定等の問題が生じやすいため、ガラス基板はその中から滑り落ちて破損されることもある。つまり、従来技術では、ガラス基板を置く精度が低いため、ガラス基板のピック・アンド・プレースによりガラス基板が破損しやすく、製造コストを増加させている。

【0004】

そこで、ガラス基板のピック・アンド・プレース装置を提供して上記問題を解決する必要がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、ガラス基板が漂って移動する危険性を大幅に低下し、ガラス基板の破損を低減して、製造コストを低減するガラス基板のピック・アンド・プレース装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、
マシンフレームと、
前記マシンフレームに設けられた載置部材と、
を備え、
前記載置部材は、
載置サポートと、
前記載置サポートに固定的に設けられた第１のストップブロックと、
前記載置サポートに可動的に設けられた第２のストップブロックと、
を有し、
前記第２のストップブロックには、伸縮可能機構が設けられ、
ここで、前記第１のストップブロックと前記第２のストップブロックの総数は、少なくとも４個であり、
前記載置サポートは、ガラス基板を載置するためのものであり、
前記第１のストップブロックは、前記載置サポート上に載置されたガラス基板に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第２のストップブロックは、前記伸縮可能機構による前記載置サポートにおける伸縮移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである。

【0007】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記載置サポートには、前記ガラス基板をピック・アンド・プレースする時に、前記ガラス基板を吸着して固定するためのエアクッションがさらに設けられている。

【0008】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記エアクッションは、前記第２のストップブロックが前記載置サポート上を移動する時に、前記ガラス基板と前記載置サポートとの間の隙間に空気浮上を形成するためにも用いられる。

【0009】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記載置サポートは、２つの載置アームとして設けられ、２つの前記載置アームの前記マシンフレームに近接する一方端には、いずれも前記第１のストップブロックが設けられ、他方端には、いずれも前記第２のストップブロックが対応して設けられている。

【0010】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックは、前記載置アームの水平方向の移動によって、前記載置アーム上に載置されたガラス基板を固定するためのものである。

【0011】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記２つの載置アームには、いずれも前記エアクッションが設けられ、且つ、前記エアクッションは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの間に均一に設けられている。

【0012】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、２つの前記載置アームの前記ガラス基板の左右周辺に近接する側辺には、前記第２のストップブロックが対応して設けられている。

【0013】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記載置アームの前記側辺に設けられた第２のストップブロックは、前記載置アームの垂直方向の移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである。

【0014】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、２つの載置アームの前記側辺にいずれも１つの前記第２のストップブロックが設けられる場合、前記第２のストップブロックは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの中間に設けられている。

【0015】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、２つの載置アームの前記側辺にいずれも少なくとも２つの前記第２のストップブロックが設けられる場合、前記第２のストップブロックは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの間に均一に設けられている。

【0016】

ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、
マシンフレームと、
前記マシンフレームに設けられた載置部材と、
を備え、
前記載置部材は、
載置サポートと、
前記載置サポートに固定的に設けられた第１のストップブロックと、
前記載置サポートに可動的に設けられた第２のストップブロックと、
を有し、
ここで、前記第１のストップブロックと前記第２のストップブロックの総数は、少なくとも４個であり、
前記載置サポートは、ガラス基板を載置するためのものであり、
前記第１のストップブロックは、前記載置サポート上に載置されたガラス基板に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第２のストップブロックは、前記載置サポートにおける移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである。

【0017】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記載置サポートには、前記ガラス基板をピック・アンド・プレースする時に、前記ガラス基板を吸着して固定するためのエアクッションがさらに設けられている。

【0018】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記エアクッションは、前記第２のストップブロックが前記載置サポート上を移動する時に、前記ガラス基板と前記載置サポートとの間の隙間に空気浮上を形成するためにも用いられる。

【0019】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記載置サポートは、２つの載置アームとして設けられ、２つの前記載置アームの前記マシンフレームに近接する一方端には、いずれも前記第１のストップブロックが設けられ、他方端には、いずれも前記第２のストップブロックが対応して設けられている。

【0020】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックは、前記載置アームの水平方向の移動によって、前記載置アーム上に載置されたガラス基板を固定するためのものである。

【0021】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記２つの載置アームには、いずれも前記エアクッションが設けられ、且つ、前記エアクッションは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの間に均一に設けられている。

【0022】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、２つの前記載置アームの前記ガラス基板の左右周辺に近接する側辺には、前記第２のストップブロックが対応して設けられている。

【0023】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、前記載置アームの前記側辺に設けられた第２のストップブロックは、前記載置アームの垂直方向の移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板を固定するためのものである。

【0024】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、２つの載置アームの前記側辺にいずれも１つの前記第２のストップブロックが設けられる場合、前記第２のストップブロックは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの間に設けられている。

【0025】

上記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置において、２つの載置アームの前記側辺にいずれも少なくとも２つの前記第２のストップブロックが設けられる場合、前記第２のストップブロックは、前記第１のストップブロックと、前記第１のストップブロックの対向端に設けられた第２のストップブロックとの間に均一に設けられている。

【発明の効果】

【0026】

従来技術に対し、本発明の提供するガラス基板のピック・アンド・プレース装置は、第１のストップブロックと第２のストップブロックを増加して、ガラス基板を調整して固定し、さらに、ガラス基板の載置アームにおける位置を確定した後、さらに真空吸着により固定し、ガラス基板が漂って移動する危険性を大幅に低下し、ガラス基板の破損を低減して、製造コストを低減する。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1a-1d】カセットにおいてガラス基板を正しく置いていない模式図ある。

【図2】本発明の提供するガラス基板のピック・アンド・プレース装置の構造模式図である。

【図3】本発明の提供するガラス基板のピック・アンド・プレース装置の別の構造模式図である。

【図4】本発明の提供するガラス基板のピック・アンド・プレース装置の側面模式図である。

【図5】本発明の提供するガラス基板のピック・アンド・プレース装置の別の側面模式図である。

【図6】本発明の提供する第２のストップブロックの構造模式簡略図である。

【図7】本発明の提供する第２のストップブロックの別の構造模式簡略図である。

【発明を実施するための最良の形態】

【0028】

図面に示すように、同じ構成要素の符号は同じ構成要素を表し、本発明の原理について、適切な演算環境で実施することにより例を挙げて説明する。以下の説明は、例示に基づく本発明の具体的な実施例であり、ここで詳しく説明しなかった本発明の他の具体的な実施例を制限するものであると見なしてはならない。

【0029】

図２を参照すると、図２は、本発明の実施例の提供するガラス基板のピック・アンド・プレース装置の模式図であり、前記ガラス基板のピック・アンド・プレース装置は、
マシンフレーム１０と、前記マシンフレーム１０に設けられた載置部材１１とを備え、
前記載置部材１１は、載置サポート１１０と、前記載置サポート１１０に固定的に設けられた第１のストップブロック１１１と、前記載置サポート１１０に可動的に設けられた第２のストップブロック１１２とを有し、前記第１のストップブロック１１１と前記第２のストップブロック１１２の総数は、少なくとも４個であり、
ここで、前記載置サポート１１０は、ガラス基板１２を載置するためのものであり、
前記第１のストップブロック１１１は、前記載置サポート１１０上に載置されたガラス基板１２に対して基準位置決めを行うためのものであり、
前記第２のストップブロック１１２は、前記載置サポート１１０における移動によって、前記載置サポート１１０上に載置されたガラス基板１２を固定するためのものである。

【0030】

理解されるように、前記載置サポート１１０上に設けられたストップブロックは、前記第１のストップブロック１１１と、前記第２のストップブロック１１２とを含み、且つ、前記第１のストップブロック１１１と前記第２のストップブロック１１２の総数は、少なくとも４個であり、好ましくは、図２に示すように、載置サポート１１０の４辺にそれぞれ設けることができ、少なくとも４個のストップブロックには、少なくとも１個の第１のストップブロック１１１が含まれる。

【0031】

好ましくは、図２に示すように、前記載置サポート１１０の４辺のそれぞれには、ストップブロックが１つずつ設けられ、前記載置サポート１１０のマシンフレーム１０に近接する１辺には、第１のストップブロック１１１が設けられ、前記載置サポート１１０の他の３辺のそれぞれには、第２のストップブロック１１２が１つずつ設けられている。

【0032】

前記ガラス基板１２を前記載置サポート１１０に置いた後、まず前記第１のストップブロック１１１を基準として、前記ガラス基板１２を位置決めしておき、その後、前記第２のストップブロック１１２をガラス基板１２の方向、即ち内へ移動させて、前記載置サポート１１０上に載置されたガラス基板１２に対する固定を実現でき、逆に、前記ガラス基板１２を前記載置サポート１１０の上からピック・アンド・プレースする必要がある場合、前記第２のストップブロック１１２を前記ガラス基板１２と反対の方向、即ち外へ移動させて、前記ガラス基板１２に対するピック・アンド・プレースを実現できる。図２において、それぞれの第２のストップブロック１１２の移動方向を矢印で示す。

【0033】

好ましくは、図２に示すように、前記載置サポート１１０上にはエアクッション１１４がさらに設けられ、前記エアクッション１１４は、前記ガラス基板１２をピック・アンド・プレースする時に、前記ガラス基板１２を吸着して固定するためのものである。つまり、前記エアクッション１１４は、前記ガラス基板１２をピック・アンド・プレースする時に、真空パッド（Ｖａｃｕｕｍ Ｐａｄ）として使用でき、ストップブロックにより位置決めを行い固定する前に、真空パッドの吸着機能を利用して、前記ガラス基板１２が滑り落ちることを防止するように前記ガラス基板１２を固定する。

【0034】

さらに好ましくは、前記エアクッション１１４は、前記第２のストップブロック１１２が前記載置サポート１１０上を移動する時に、前記ガラス基板１２と前記載置サポート１１０との間の隙間に空気浮上を形成するためにも用いられる。前記第２のストップブロック１１２は、前記載置サポート１１０上を移動する時に、前記ガラス基板１２を動かして移動させる可能性がある。その時、前記エアクッション１１４の吸着機能をオフにし、前記エアクッション１１４を空気浮上パッドとして使用する。つまり、空気浮上パッドによって底部に形成された空気薄層によって、前記ガラス基板１２のスクラッチを防止するように、空気浮上パッドと平面との間の隙間にほとんど摩擦のないスライド条件を形成させる。但し、当該空気薄層の厚みは、１ｍｍ程度であり、それより薄くてもよい。

【0035】

好ましくは、載置サポート１１０のコストを節約するために、前記載置サポート１１０を２つの載置アームとして配置してもよく、図３を参照すると、図３は、本発明の実施例の提供する他のガラス基板のピック・アンド・プレース装置の模式図である。

【0036】

好ましくは、前記載置サポート１１０は、２つの載置アームとして設けられ、２つの前記載置アームの前記マシンフレーム１０に近接する一方端には、いずれも前記第１のストップブロック１１１が設けられ、他方端には、いずれも前記第２のストップブロック１１２が対応して設けられている。２つの前記載置アームの前記ガラス基板１２の左右周辺に近接する側辺には、前記第２のストップブロック１１２が対応して設けられている。図２に示すように、２つの前記載置アームの外側辺には、いずれも２つの前記第２のストップブロック１１２が設けられている。

【0037】

図４及び図５を参照すると、いずれも図３に示すガラス基板のピック・アンド・プレース装置の側面図である。

【0038】

好ましくは、前記第２のストップブロック１１２の外形は、Ｌ字型を成すように設けられてもよく、前記第２のストップブロック１１２の長辺の先端は前記載置アームと連結され、図２を合わせて参照することができ、前記長辺は前記載置アームと垂直に設けられる。

【0039】

さらに、前記第２のストップブロック１１２の長辺内には伸縮可能機構が設けられている。

【0040】

前記第２のストップブロック１１２の長辺は、伸縮可能機構による伸縮移動によって、前記第２のストップブロック１１２の短辺を動かして、前記ガラス基板１２を前記載置アームに置く前に前記伸縮可能機構の移動する方向に沿って移動させ、前記第２のストップブロック１１２の伸縮可能機構及びそれと繋がる短辺は、図３に示すように、外へ伸び広がり、前記ガラス基板１２を前記載置アームに置いた後、前記第２のストップブロック１１２の伸縮可能機構及びそれと繋がる短辺は、図４に示すように前記第２のストップブロック１１２の短辺が前記ガラス基板１２に到着するまで内へ移動する。ここで、図３及び図４では第２のストップブロック１１２の移動方向を矢印で示している。

【0041】

つまり、前記第１のストップブロック１１１の対向端に設けられた第２のストップブロック１１２は、前記載置アームの水平方向の移動によって、前記載置アーム上に載置されたガラス基板１２を固定するためのものであり、前記載置アームの前記側辺に設けられた第２のストップブロック１１２は、前記載置アームの垂直方向の移動によって、前記載置サポート上に載置されたガラス基板１２を固定するためのものである。

【0042】

説明すべきことは、本発明の実施例の提供する第２のストップブロック１１２は、その外形が必ずしも非常に標準的なＬ字型に設置されることに限られないことである。ガラス基板の滑り落ちをさらに防止する等々のために、例えば、長辺と短辺との間は一定の角度(即ち直角に繋がれなくてもよい)を成してもよく、或いは、短辺の先端に１つの係止ブロックを設けてもよく、第２のストップブロック１１２の機能を実現するには影響がない。

【0043】

容易に想到できることであるが、前記図３及び図４において、１つの第２のストップブロック１１２のみについて示しているが、前記第１のストップブロック１１１の対向端に設けられた第２のストップブロック１１２及び左側辺に設けられた第２のストップブロック１１２についても同様に設置でき、ここではさらに詳しく説明しない。

【0044】

具体的には、前記第２のストップブロック１１２の長辺内に設けられた伸縮可能機構は、前記第２のストップブロック１１２の移動を実現するように、次のような構造を参照して設けることができる。

【0045】

図６を参照すると、図６は伸縮可能機構の構造模式図であり、１１５は前記伸縮可能機構であり、前記伸縮可能機構１１５は前記第２のストップブロック１１２の長辺内に設けられ、前記伸縮可能機構１１５はネジ配置を成し、且つ、前記長辺の内部もネジ配置を成して、伸縮可能機構１１５と互いに合わせることができる。

【0046】

スパナのような外部手段を用いて、前記伸縮可能機構に外力を印加し、当該外力の作用下で、前記伸縮可能機構は前記長辺内で回転移動すると共に、前記第２のストップブロック１１２の短辺を動かして移動させ、図６では伸縮可能機構１１５の移動方向を矢印で示している。

【0047】

図７を参照すると、図７は伸縮可能機構の別の構造模式図であり、１１６は前記伸縮可能機構であり、前記伸縮可能機構１１６は前記第２のストップブロック１１２の長辺に設けられ、長辺には水平案内溝１１７が設けられ、前記伸縮可能機構１１６上にはスライドピン１１８が設けられ、前記スライドピン１１８は、前記水平案内溝１１７内をスライドすることができる。

【0048】

前記スライドピン１１８と前記水平案内溝１１７とは互いに合わせられ、前記伸縮可能機構１１６は前記スライドピン１１８に制限されて移動すると共に、前記第２のストップブロック１１２の短辺を動かして移動させ、図７では伸縮可能機構１１５の移動方向を矢印で示している。

【0049】

ここで、前記伸縮可能機構１１６がユーザーの必要とする位置に到着した時に、例えば締付金具又はクリップ等で前記伸縮可能機構１１６を固定することができ、ここでは具体的に限定しない。

【0050】

容易に想到できることであるが、対象取替原理に従って、前記水平案内溝１１７は、前記伸縮可能機構１１６に設けられ、スライドピン１１８は、第２のストップブロック１１２の長辺に設けてもよく、その原理に関しては上記した説明を参照でき、ここではこのような実現形態について具体的には記述しない。

【0051】

理解されるように、本実施例は図６及び図７に示す第２のストップブロック１１２を例に挙げて説明しただけであり、本発明を限定するものではないことである。

【0052】

図３に示すように、前記２つの載置アームには、いずれも前記エアクッション１１４が設けられ、且つ、前記エアクッション１１４は、前記第１のストップブロック１１１と、前記第１のストップブロック１１１の対向端に設けられた第２のストップブロック１１２との間に均一に設けられている。本実施例において、前記載置アーム毎に３つの前記エアクッション１１４が均一に設けられ、ここではその数に対して限定しない。

【0053】

また、前記載置サポート１１０上に第２のストップブロック１１２を配置する数は、ガラス基板の大きさにより決められ、載置するガラス基板がＧ３．５のガラス基板であることに対し、２つの載置アームの左右両側辺にいずれも１つの前記第２のストップブロック１１２が設けられる場合、前記第２のストップブロック１１２は前記第１のストップブロック１１１と、前記第１のストップブロック１１１の対向端に設けられた第２のストップブロック１１２との中間に設けられる。

【0054】

載置するガラス基板がＧ５以上のガラス基板であることに対し、２つの載置アームの左右両側辺にいずれも少なくとも２つの前記第２のストップブロック１１２が設ける場合、前記第２のストップブロック１１２は、図３に示すように、前記第１のストップブロック１１１と、前記第１のストップブロック１１１の対向端に設けられた第２のストップブロック１１２との間に設けられる。

【0055】

本発明の実施例の提供するガラス基板のピック・アンド・プレース装置を容易に更に良く実施するために、以下、図３に示すようなガラス基板のピック・アンド・プレース装置に基づいて、ガラス基板のピック・アンド・プレース方法について簡単に説明する。

【0056】

第１のステップ：載置アームがカセット/機台からガラス基板を取出す。
載置アームの作動中、ガラス基板の滑りが防止されるように、エアクッション１１４のＶａｃｕｕｍ（真空）の機能をオンにし、ガラス基板を固定する。

【0057】

第２のステップ：載置アームが位置決めに到達した後、エアクッション１１４のＶａｃｕｕｍの機能をオフにし、空気浮上機能に替え、さらに第１のストップブロック１１１と第２のストップブロック１１２を利用してガラス基板を調整して位置決めする。

【0058】

第３のステップ：調整終了後、第２のストップブロック１１２はまだガラス基板から離れていない。その時、エアクッション１１４のＶａｃｕｕｍ機能をオンにし、ガラス基板を吸い込んで位置を固定する。

【0059】

第４のステップ：Ｖａｃｕｕｍをオンにした後、さらに第２のストップブロック１１２を緩め、元の位置に戻し、その時、載置アームのピック・アンド・プレースの動作が完了する。

【0060】

上記から分かるように、本発明の提供するガラス基板のピック・アンド・プレース装置は、載置アームのガラス基板をピック・アンド・プレースする時のずれ誤差を改善できる。載置アームは調整機構（即ち第１のストップブロック１１１と第２のストップブロック１１２）を組み込んでいない場合、そのピック・アンド・プレースするガラスの位置誤差は約１ｍｍ〜２ｍｍ程度であり、その誤差の原因は、ガラス基板をピックする瞬間に、載置アームにおけるＶａｃｕｕｍがまだオンにしていないからであり、その時にガラス基板は漂って移動する危険性がある。また、本発明では第１のストップブロック１１１と第２のストップブロック１１２が増加されて、ガラス基板を調整し、ガラス基板の載置アームにおける位置を確定した後さらにＶａｃｕｕｍをオンにして固定し、ガラス基板が漂って移動する危険性を大幅に低下でき、ガラス基板の破損を低減して、製造コストを低減する。

【0061】

上記実施例において、各実施例の記述はいずれもそれぞれの偏りがあり、ある実施例で詳記しなかった部分は、前記に関する詳細な記述を参照すればよく、ここではさらに詳しく説明しない。

【0062】

本分野の当業者であれば、本文で用いられる用語「好ましい」は、実例、例示又は例証として用いられることを理解できるであろう。本文で「好ましい」と記述されたいずれかの形態又は設計は、他の形態又は設計よりも有利であると解釈するわけにはいかない。それとは逆に、用語「好ましい」の使用は、具体的な形態で概念を提出することである。本願で用いられるような用語「又は」は、含むの「又は」であり、排除するの「又は」ではないことを意味する。即ち、別に指定、又は文脈から明瞭でない限り、「Ｘが１０１又は１０２を使用する」は、当然に列挙したいずれか1つを含んでいることを意味する。即ち、Ｘが１０１を使用し、Ｘが１０２を使用し、或いはＸが１０１及び１０２の双方を使用すれば、「Ｘが１０１又は１０２を使用する」との記載は、前記したいずれか１つの例示を満足できる。

【0063】

さらに、１つ又は複数の実現形態に対して既に本開示を示し記述したものの、本分野の当業者であれば、本明細書及び図面に対する読解に基づいて、等価な変形や修正を想到できるであろう。本開示はあらゆるこのような修正及び変形を含み、且つ、添付する特許請求の範囲のみに制限される。特に、上記モジュール（例えば、素子や資源等）で実行される各種類の機能に関して、このようなモジュールを記述する用語は、構造の点で本文に示す本開示の模範的な実現形態における機能を実行する開示構造と同等でなくても、前記モジュールの指定機能（例えば、機能上等価である）を実行する任意なモジュール（別に指示しない限り）に対応するものである。なお、本開示の特定の特徴は、幾つかの実現形態における１つのみに対して開示されたものの、このような特徴は所定又は特定の適用にとっては期待及び有利なものであるような他の実現形態の１つ又は複数の他の特徴と組み合せることができる。そして、用語「有する」、「備える」、「含む」又はその変形の具体的な実施形態或いは特許請求の範囲における利用について、このような用語は、用語「含む」と類似の方式で含まれる。

【0064】

以上、本発明を好ましい実施例で上記のように公開したが、本発明は上記好ましい実施例に限定されるものではなく、本分野の当業者であれば、本発明の趣旨及び範囲を逸脱しない限り、様々な変更や修飾を行うことができるため、本発明の保護範囲は、特許請求の範囲を基準とすることになる。

【図1a】

【図1b】

【図1c】

【図1d】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】