特許 6389928 露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6389928

(24)【登録日】2018年8月24日

(45)【発行日】2018年9月12日

(54)【発明の名称】露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20180903BHJP

【ＦＩ】

   G03F7/20 501

【請求項の数】9

【全頁数】27

(21)【出願番号】特願2017-125490(P2017-125490)

(22)【出願日】2017年6月27日

(62)【分割の表示】特願2012-215122(P2012-215122)の分割

【原出願日】2012年9月27日

(65)【公開番号】特開2017-161953(P2017-161953A)

(43)【公開日】2017年9月14日

【審査請求日】2017年6月27日

(73)【特許権者】

【識別番号】300091670

【氏名又は名称】株式会社アドテックエンジニアリング

(74)【代理人】

【識別番号】100079049

【弁理士】

【氏名又は名称】中島 淳

(74)【代理人】

【識別番号】100084995

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 和詳

(74)【代理人】

【識別番号】100099025

【弁理士】

【氏名又は名称】福田 浩志

(72)【発明者】

【氏名】尾崎 幸久

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 淳一

【審査官】 植木 隆和

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−２７９４４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０２２３０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−２８４２３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２７６２０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０４８２３９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｇ０３Ｆ ７／２０

Ｇ０２Ｂ ２６／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段と、
被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を、前記第１ジョブ情報とは別に記憶する記憶手段と、
前記記憶手段が記憶している前記複数の第２ジョブ情報から、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報に対応する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画する第２描画手段と、
を備えた露光描画装置。

【請求項2】

前記露光条件は、前記被露光基板のサイズ、前記被露光基板の露光対象とする枚数、前記被露光基板に画像の描画領域を決定するためのマークが設けられている場合の該マークの配置パターン、及び前記被露光基板の感材種の少なくとも１つを含む
請求項１記載の露光描画装置。

【請求項3】

被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段、及び
前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報を送信する送信手段
を備えた第１露光描画装置と、
被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられ複数の第２ジョブ情報を、前記第１ジョブ情報とは別に記憶する記憶手段、
前記送信手段により送信された前記露光条件情報を受信する受信手段、及び
前記記憶手段により記憶している前記複数の第２ジョブ情報から、前記受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有し、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報に対応する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段で前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を該第２面に描画する第２描画手段
を備えた第２露光描画装置と、
を有する露光描画システム。

【請求項4】

前記第１露光描画装置の前記送信手段は、前記第１描画手段による描画が正常に終了した場合の露光条件情報を送信する
請求項３記載の露光描画システム。

【請求項5】

前記第１露光描画装置の前記送信手段は、前記第１描画手段による描画が異常に終了した場合、エラーが発生した旨を示すエラー情報を送信する
請求項３または４記載の露光描画システム。

【請求項6】

被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段、及び
前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報を送信する第１送信手段
を備えた第１露光描画装置と、 被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を、前記第１ジョブ情報とは別に記憶する記憶手段、
前記第１送信手段により送信された露光条件情報を受信する第１受信手段、及び
前記記憶手段により記憶された前記複数の第２ジョブ情報から、前記第１受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有し、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報に対応する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報を送信する第２送信手段
を備えた制御装置と、
前記第２送信手段により送信された前記第２ジョブ情報を受信する第２受信手段、及び
前記第２受信手段により受信した前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段により前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を該第２面に描画する第２描画手段
を備えた第２露光描画装置と、
を有する露光描画システム。

【請求項7】

前記露光条件は、前記被露光基板のサイズ、前記被露光基板の露光対象とする枚数、前記被露光基板に画像の描画領域を決定するためのマークが設けられている場合の該マークの配置パターン、及び前記被露光基板の感材種の少なくとも１つを含む
請求項３乃至６の何れか１項記載の露光描画システム。

【請求項8】

コンピュータを、
第１描画手段に、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画させる第１制御手段と、
第２描画手段に、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報であり、前記第１ジョブ情報とは別に記憶された第２ジョブ情報から、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報に対応する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画させる第２制御手段と、
として機能させるためのプログラム。

【請求項9】

第１描画手段に、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画させる第１制御ステップと、
第２描画手段に、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報であり、前記第１ジョブ情報とは別に記憶された第２ジョブ情報から、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報に対応する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画させる第２制御ステップと、
を有する露光描画方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法に係り、特に、被露光基板の両面に画像を描画する露光描画装置及び露光描画システムと、当該露光描画装置及び露光描画システムにより実行されるプログラムと、被露光基板の両面に画像を描画する露光描画方法とに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、プリント基板である被露光基板に、画像情報に基づいて変調された光ビームを露光し、当該被露光基板に画像を描画する露光描画装置が開発されている。また、被露光基板の両面に画像を描画するために、この露光描画装置を２台並列させ、一方を第１面の描画に使用し、他方を第１面とは反対の第２面の描画に使用する露光描画システムも開発されている。この露光描画システムでは、第１面用の露光描画装置によって被露光基板の第１面に画像が描画された後、当該被露光基板が第２面用の露光描画装置の所定位置まで搬送され、当該露光描画装置によって被露光基板の第２面に画像が描画される。

【0003】

この露光描画システムに関する技術として、特許文献１には、２台の露光描画装置を用いて被露光基板の第１面及び第２面にそれぞれ画像を描画する際の被露光基板の搬送処理のスループットを向上させた露光描画システムが開示されている。

【0004】

この露光描画システムが有する各露光描画装置は、被露光基板が載置されるステージと、ステージを直線状に移動させるステージ移動手段と、ステージに載置された被露光基板の第１面に光ビームを走査するビーム走査手段とを有する描画ユニットを備える。また、各露光描画装置は、ステージの移動方向で、描画ユニットの上流側に配置された上流側ユニットと、ステージの移動方向で、描画ユニットの下流側に配置された下流側ユニットとを備える。また、各露光描画装置は、上流側ユニットの被露光基板を保持してステージの移動方向と同一方向である搬送方向に移動させるようにして、描画ユニット内のステージ上に被露光基板を搬入する搬入手段を備える。また、各露光描画装置は、描画ユニット内のステージ上の被露光基板を保持して搬送方向に移動させるようにして、下流側ユニットに被露光基板を搬出する搬出手段を備える。

【0005】

各露光描画装置では、被露光基板の第１面に光ビームを走査するときに、ステージを搬送方向の上流側から下流側に移動させ、上流側に位置するステージに被露光基板を搬入し、下流側に位置するステージから被露光基板を搬出する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００２−３４１５５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

一般に、露光描画装置を用いて被露光基板に画像を描画する際には、作業者が露光描画装置に対して、被露光基板に描画する画像、及び描画する際の露光条件が指定された処理要求（ジョブ）を示すジョブ情報を入力する。複数の被露光基板に同一の画像を同一の露光条件で連続して描画する場合には、ジョブ情報において一連の処理が一括りにされて表される。そして、露光描画装置は、入力されたジョブ情報に基づいて被露光基板に対する露光描画処理を行う。

【0008】

上記特許文献１に開示された露光描画システムでは、２台の露光描画装置の各々を用いて被露光基板の片面ずつ画像を描画するため、作業者は、一方の露光描画装置に第１面のジョブ情報を入力し、他方の露光描画装置に第２面のジョブ情報を入力する。このように、作業者が各露光描画装置に対して別個にジョブ情報を入力するため、作業者が入力を誤った場合には、被露光基板の各面で相互に対応しない画像が描画されてしまう可能性がある、という問題があった。

【0009】

また、一方の露光描画装置において露光描画処理に失敗し、不良品となった被露光基板が取り除かれることがある。この場合、ジョブ情報の入力が正しく行われていた場合であっても、他方の露光描画装置に入力されたジョブ情報が更新されなかった場合には、被露光基板の各面で相互に対応しない画像を描画してしまう可能性がある、という問題もあった。

【0010】

本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる露光描画装置、露光描画システム、プログラム及び露光描画方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記目的を達成するために、本発明に係る露光描画装置は、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段と、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を記憶する記憶手段と、前記記憶手段が記憶している前記複数の第２ジョブ情報から、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報により示される露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画する第２描画手段と、を備えている。

【0012】

本発明に係る露光描画装置によれば、第１描画手段により、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像が前記第１面に描画される。

【0013】

ここで、本発明では、記憶手段により、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報が記憶される。そして、本発明では、第２描画手段により、前記記憶手段が記憶している前記複数の第２ジョブ情報から、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報により示される露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像が前記第２面に描画される。

【0014】

このように、本発明の露光描画装置によれば、第１面に画像を描画した際に用いた第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する第２ジョブ情報を用いて第２面に画像を描画するので、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。

【0015】

なお、本発明に係る露光描画装置は、前記露光条件が、前記被露光基板のサイズ、前記被露光基板の露光対象とする枚数、前記被露光基板に画像の描画領域を決定するためのマークが設けられている場合の該マークの配置パターン、及び前記被露光基板の感材種の少なくとも１つを含むようにしても良い。これにより、適用した露光条件で被露光基板の各面に画像を描画することができる。

【0016】

一方、上記目的を達成するために、本発明に係る露光描画システムは、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段、及び前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報を送信する送信手段を備えた第１露光描画装置と、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を記憶する記憶手段、前記送信手段により送信された前記露光条件情報を受信する受信手段、及び前記記憶手段により記憶している前記複数の第２ジョブ情報から、前記受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段で前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を該第２面に描画する第２描画手段を備えた第２露光描画装置と、を有している。

【0017】

本発明に係る露光描画システムによれば、第１露光描画装置の第１描画手段により、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像が前記第１面に描画される。また、第１露光描画装置の送信手段により、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報が送信される。

【0018】

一方、本発明に係る露光描画システムでは、第２露光描画装置の第２記憶手段により、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報が記憶される。また、第２露光描画装置の受信手段により、前記送信手段により送信された前記露光条件情報が受信される。さらに、第２露光描画装置の第２描画手段により、前記記憶手段により記憶している前記複数の第２ジョブ情報から、前記受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段で前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像が該第２面に描画される。

【0019】

このように、本発明の露光描画システムによれば、第２露光描画装置が、第１面に画像を描画した際に用いた第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する第２ジョブ情報を用いて第２面に画像を描画するので、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。

【0020】

なお、本発明に係る露光描画システムは、前記第１露光描画装置の前記送信手段が、前記第１描画手段による描画が正常に終了した場合の露光条件情報を送信するようにしても良い。これにより、本発明を適用しない場合に比較して、より確実に、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。

【0021】

また、本発明に係る露光描画システムは、前記第１露光描画装置の前記送信手段が、前記第１描画手段による描画が異常に終了した場合、エラーが発生した旨を示すエラー情報を送信するようにしても良い。これにより、本発明を適用しない場合に比較して、より確実に、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。

【0022】

一方、上記目的を達成するために、本発明に係る露光描画システムは、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画する第１描画手段、及び前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報を送信する第１送信手段を備えた第１露光描画装置と、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報を記憶する記憶手段、前記第１送信手段により送信された露光条件情報を受信する第１受信手段、及び前記記憶手段により記憶された前記複数の第２ジョブ情報から、前記第１受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報を送信する第２送信手段を備えた制御装置と、前記第２送信手段により送信された前記第２ジョブ情報を受信する第２受信手段、及び前記第２受信手段により受信した前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段により前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を該第２面に描画する第２描画手段を備えた第２露光描画装置と、を有している。

【0023】

本発明に係る露光描画システムによれば、第１露光描画装置の第１描画手段により、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像が前記第１面に描画される。また、第１露光描画装置の第１送信手段により、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報が送信される。

【0024】

一方、本発明に係る露光描画システムでは、制御装置の記憶手段により、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報が記憶される。また、制御装置の第１受信手段により、前記第１送信手段により送信された露光条件情報が受信される。さらに、制御装置の第２送信手段により、前記記憶手段により記憶された前記複数の第２ジョブ情報から、前記第１受信手段により受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報が選択され、選択された前記第２ジョブ情報が送信される。

【0025】

さらに、本発明に係る露光描画システムでは、第２露光描画装置の第２受信手段により、前記第２送信手段により送信された前記第２ジョブ情報が受信され、第２露光描画装置の第２描画手段により、前記第２受信手段により受信した前記第２ジョブ情報に基づいて前記第１描画手段により前記第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像が該第２面に描画される。

【0026】

このように、本発明の露光描画システムによれば、制御装置が、第１露光描画装置から受信した、第１面に画像を描画した際に用いた第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する第２ジョブ情報を第２露光描画装置に送信するので、露光描画装置に新たな機能を追加することなく、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。

【0027】

なお、本発明に係る露光描画システムは、前記露光条件が、前記被露光基板のサイズ、前記被露光基板の露光対象とする枚数、前記被露光基板に画像の描画領域を決定するためにマークが設けられている場合の該マークの配置パターン、及び前記被露光基板の感材種の少なくとも１つを含むようにしても良い。これにより、適用した露光条件で被露光基板の各面に画像を描画することができる。

【0028】

一方、上記目的を達成するために、本発明に係るプログラムは、コンピュータを、第１描画手段に、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画させる第１制御手段と、第２描画手段に、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報から、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画させる第２制御手段と、として機能させる。

【0029】

従って、本発明に係るプログラムによれば、コンピュータを本発明に係る露光描画装置と同様に作用させることができるので、当該露光描画装置と同様に、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。

【0030】

さらに、上記目的を達成するために、本発明に係る露光描画方法は、第１描画手段に、被露光基板の第１面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが対応付けられた第１ジョブ情報に基づいて前記第１面を露光することにより、該第１ジョブ情報により示される画像を前記第１面に描画させる第１制御ステップと、第２描画手段に、被露光基板の前記第１面とは反対の第２面に描画する画像を示す画像情報と露光条件を示す露光条件情報とが各々対応付けられた複数の第２ジョブ情報から、前記第１描画手段で被露光基板の前記第１面に対する画像の描画に用いた前記第１ジョブ情報の露光条件情報と同一の露光条件情報を有する前記第２ジョブ情報を選択し、選択した前記第２ジョブ情報に基づいて該第１面に画像を描画した被露光基板の前記第２面を露光することにより、該第２ジョブ情報により示される画像を前記第２面に描画させる第２制御ステップと、を有している。

【0031】

従って、本発明に係る露光描画方法によれば、本発明に係る露光描画装置と同様に作用するので、当該露光描画装置と同様に、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる。

【発明の効果】

【0032】

本発明によれば、被露光基板の両面に画像を描画する際に各面で相互に対応しない画像を描画してしまうことを防止することができる、という効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0033】

【図1】実施形態に係る露光描画システムの全体の構成を示す概略平面図である。

【図2】実施形態に係る第１露光描画装置及び第２露光描画装置の構成を示す斜視図である。

【図3A】実施形態に係る露光ヘッドによる露光領域および露光ヘッドの配列パターンを示す概略平面図である。

【図3B】実施形態に係る露光ヘッドにより被露光基板上に描画される画像の画像領域を示す概略平面図である。

【図4】実施形態に係る反転装置の構成を示す一部破断斜視図である。

【図5】実施形態に係る第１露光描画装置及び第２露光描画装置の電気系の構成を示すブロック図である。

【図6】実施形態に係る制御装置の電気系の構成を示すブロック図である。

【図7A】実施形態に係るジョブ情報の一例を示す模式図である。

【図7B】実施形態に係るジョブ情報の一例を示す模式図である。

【図8】第１実施形態に係るジョブ設定処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

【図9】第１実施形態に係るジョブ入力画面の構成例を示す構成図である。

【図10】第１実施形態に係る露光描画システムによる露光描画処理の説明に供する模式図である。

【図11】第１実施形態に係る第１ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

【図12】第１実施形態に係る第２ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

【図13】第１実施形態に係るジョブ選択画面の構成例を示す構成図である。

【図14】第２実施形態に係るジョブ設定処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

【図15】第２実施形態に係る第１ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

【図16】第２実施形態に係るジョブ選択処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

【図17】第２実施形態に係る第２ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0034】

［第１実施形態］

【0035】

以下、実施形態に係る露光描画装置について添付図面を用いて詳細に説明する。なお、各実施形態では、本発明を、被露光基板（後述する被露光基板Ｃ）に光ビームを露光して回路パターンを示す画像を描画する露光描画システムに適用した場合を例に挙げて説明する。また、被露光基板Ｃは、プリント配線基板、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板などの平板基板である。

【0036】

図１に示すように、本実施形態に係る露光描画システム１は、被露光基板Ｃの第１面に対する露光を行う第１露光描画装置２、及び被露光基板Ｃの第１面とは反対の第２面に対する露光を行う第２露光描画装置３を備えている。また、露光描画システム１は、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３の間に設けられ、被露光基板Ｃの表裏を反転する反転装置４、及び被露光基板Ｃの第１面及び第２面に対する露光を制御する制御装置５を備えている。

【0037】

また、第１露光描画装置２と制御装置５との間、第２露光描画装置３と制御装置５との間は、それぞれ有線ケーブル８ａで接続されており、制御装置５は、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３との間で、有線ケーブル８ａを介して通信する。同様に、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３は有線ケーブル８ｂで接続されており、これらの各露光描画装置は、有線ケーブル８ｂを介して通信する。

【0038】

次に、本実施形態に係る第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３の構成について説明する。なお、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３は同一の構成を有するため、ここでは第１露光描画装置２について説明し、第２露光描画装置３についての説明を省略する。

【0039】

図２に示すように、本実施形態に係る第１露光描画装置２は、被露光基板Ｃを固定するための平板状のステージ１０を備えている。また、ステージ１０の上面には、空気を吸入する複数の吸入孔（図示省略）が設けられている。ステージ１０の上面に被露光基板Ｃが載置された際に、被露光基板Ｃ及びステージ１０間の空気が吸入孔を介して吸入されることで被露光基板Ｃがステージ１０に真空吸着される。

【0040】

また、ステージ１０は、卓状の基体１１の上面に移動可能に設けられた平板状の基台１２に支持されている。すなわち、基体１１の上面には、１本または複数本（本実施形態では、２本）のガイドレール１４が設けられている。基台１２は、ガイドレール１４に沿って自在に移動できるように支持されており、モータなどにより構成された駆動機構（後述するステージ駆動部４２）により駆動されて移動する。ステージ１０は、基台１２の移動に連動してガイドレール１４に沿って移動する。

【0041】

なお、以下では、ステージ１０が移動する方向をＹ方向と定め、このＹ方向に対して水平面内で直交する方向をＸ方向と定め、Ｙ方向に鉛直面内で直交する方向をＺ方向と定める。

【0042】

基体１１の上面には、２本のガイドレール１４を跨ぐように立設された門型のゲート１５が設けられている。ステージ１０に載置された被露光基板Ｃは、ゲート１５の開口部をガイドレール１４に沿って出入りするようにして移動する。ゲート１５の開口部の上部には、当該開口部に向けて光ビームを露光する露光部１６が取り付けられている。この露光部１６により、ステージ１０がガイドレール１４に沿って移動して上記開口部に位置している場合に、ステージ１０に載置された被露光基板Ｃの上面に光ビームが露光される。

【0043】

本実施形態に係る露光部１６は、複数個（本実施形態では、１６個）の露光ヘッド１６ａを含んで構成されている。露光ヘッド１６ａの各々は、露光部１６においてマトリクス状に配列されている。また、露光部１６には、後述する光源ユニット１７から引き出された光ファイバ１８と、後述する画像処理ユニット１９から引き出された信号ケーブル２０とがそれぞれ接続されている。

【0044】

露光ヘッド１６ａの各々は、反射型の空間光変調素子としてのデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を有している。露光ヘッド１６ａは、画像処理ユニット１９から入力される画像情報に基づいてＤＭＤを制御することで光源ユニット１７からの光ビームを変調する。第１露光描画装置２は、この変調した光ビームを被露光基板Ｃに照射することにより被露光基板Ｃに対する露光を行う。なお、空間光変調素子は反射型に限定されず、液晶などの透過型の空間光変調素子であっても良い。

【0045】

図３Ａに示すように、露光ヘッド１６ａで露光される領域である画像領域Ｐ１は、一方の辺が、ステージ１０の移動方向（Ｙ方向）に対して予め定められた傾斜角で傾斜した矩形状である。なお、図３Ａにおいては、本実施形態に係る複数の露光ヘッド１６ａのうちの一部のみを示している。また、ステージ１０がゲート１５の開口部を移動する際に露光ヘッド１６ａにより被露光基板Ｃに光ビームが露光されると、図３Ｂに示すように、ステージ１０の移動に伴って被露光基板Ｃに露光ヘッド１６ａ毎に帯状の露光済み領域Ｐ２が形成される。マトリクス状に配列された露光ヘッド１６ａの各々は、Ｘ方向に、画像領域Ｐ１の長辺の長さを自然数倍（本実施形態では、１倍）した距離ずつずらして配置されている。そして、露光済み領域Ｐ２の各々は、隣接する露光済み領域Ｐ２と部分的に重ねられて形成される。

【0046】

図２に示すように、基体１１の上面には、さらに、２本のガイドレール１４を跨ぐように立設された門型のゲート２２が設けられている。ステージ１０に載置された被露光基板Ｃは、ゲート２２の開口部をガイドレール１４に沿って出入りするようにして移動する。

【0047】

ゲート２２の開口部の上部には、開口部を撮影するための１個または複数個（本実施形態では、３個）の撮影部２３が取り付けられている。撮影部２３は、１回の発光時間が極めて短いストロボを内蔵したＣＣＤカメラなどである。また、ゲート２２の開口部の上部には、水平面内においてステージ１０の移動方向（Ｙ方向）に対して垂直な方向（Ｘ方向）に沿ってレール２３ａが設けられ、撮影部２３の各々はレール２３ａに案内されて移動可能に設けられている。この撮影部２３により、ステージ１０がガイドレール１４に沿って移動して上記開口部に位置している場合に、ステージ１０に載置された被露光基板Ｃの上面が撮影される。

【0048】

図１及び図２に示すように、第１露光描画装置２は、外部から搬入された被露光基板Ｃを第１露光描画装置２の所定位置まで搬送する第１搬送部６、被露光基板Ｃを第１露光描画装置２から反転装置４の所定位置まで搬送する第２搬送部７を備えている。同様に、第２露光描画装置３は、被露光基板Ｃを反転装置４から第２露光描画装置３の所定位置まで搬送する第１搬送部６、被露光基板Ｃを第２露光描画装置３の外部へ搬送する第２搬送部７を備えている。

【0049】

第１搬送部６及び第２搬送部７は、複数の回転ローラと当該回転ローラを回転する駆動モータとを有している。上記複数の回転ローラは、各々が平行に敷設され、回転ローラの一端にはベルト又はワイヤーによって伝達される回転力を受けるスプロケット又は滑車が取り付けられる。回転ローラを回転する駆動モータの回転力を伝達する手段としては、ベルト又はワイヤー以外に円筒状のマグネットによる伝達方法も採用できる。

【0050】

また、図２に示すように、第１露光描画装置２は、第１搬送部６により所定位置まで搬送されてきた被露光基板Ｃを、当該所定位置からステージ１０まで搬送するオートキャリアハンド（以下、ＡＣハンド）２４を備えている。ＡＣハンド２４は平板状に形成されるとともに、Ｘ方向及びＺ方向に移動可能に設けられている。ＡＣハンド２４の下面には、空気を吸入する複数の吸入孔２５が設けられている。ＡＣハンド２４は、ＡＣハンド２４の下面が被露光基板Ｃの上面に接する位置に移動した際に、ＡＣハンド２４及び被露光基板Ｃの間の空気を吸入孔２５で吸入することにより、被露光基板ＣをＡＣハンド２４の下面に真空吸着させて吸着保持する。また、ＡＣハンド２４の下面には、被露光基板Ｃを吸着保持した状態でＡＣハンド２４がステージ１０の上面まで移動した際に、被露光基板Ｃを下方に向けて押し出してステージ１０に押し付けるＺ方向に移動自在な押付部２６が設けられている。

【0051】

第１露光描画装置２のＡＣハンド２４は、第１搬送部６まで搬送されてきた未露光の被露光基板Ｃを吸着保持して上方に移動させ、ステージ１０の上面に載置する。また、第１露光描画装置２のＡＣハンド２４は、ステージ１０の上面に載置された第１面が露光済みの被露光基板Ｃを吸着保持することにより上方に移動させ、被露光基板Ｃを第２搬送部７まで移動させる。第２搬送部７まで移動した第１面が露光済みの被露光基板Ｃは、第２搬送部７により第１露光描画装置２の外部へ搬出される。

【0052】

また、第２露光描画装置３のＡＣハンド２４は、第１搬送部６まで搬送されてきた第１面が露光済みの被露光基板Ｃを吸着保持して上方に移動させ、被露光基板Ｃをステージ１０の上面に載置する。また、第２露光描画装置３のＡＣハンド２４は、ステージ１０の上面に載置された第１面及び第２面が露光済みの被露光基板Ｃを吸着保持することにより上方に移動させ、被露光基板Ｃを第２搬送部７まで移動させる。第２搬送部７まで移動した第１面及び第２面が露光済みの被露光基板Ｃは、第２搬送部７により露光描画システム１の外部へ搬出される。

【0053】

次に、本実施形態に係る反転装置４の構成について説明する。

【0054】

図４に示すように、反転装置４は、回動軸Ｌに回動自在に軸支された平板状のサブフレーム３０を備えている。サブフレーム３０は、被露光基板Ｃを内部に保持した状態で１８０度回転することにより被露光基板Ｃの表裏を反転させる。

【0055】

また、図４に示すように、サブフレーム３０が有する側面のうちの第１露光描画装置２が位置する側の側面に、被露光基板Ｃがサブフレーム３０の内部に搬入される搬入口３１設けられている。さらに、サブフレーム３０の内部にはモータ３３で駆動される複数のローラ対３４が設けられている。ローラ対３４は、サブフレーム３０の内部に収納された被露光基板Ｃを挟持した状態で搬送する。被露光基板Ｃは、ローラ対３４によって搬入口３１を介してサブフレーム３０の内部に搬送されると共に、サブフレーム３０の回転によって表裏が反転され、ローラ対３４によって搬入口３１を介してサブフレーム３０の外部に搬送される。なお、サブフレーム３０は、被露光基板Ｃの搬出を終えると、次の被露光基板Ｃを内部に搬入するために再び１８０度回動する。

【0056】

次に、本実施形態に係る第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３の電気系の構成について説明する。なお、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３は同一の電気系の構成を有するため、ここでは第１露光描画装置２について説明し、第２露光描画装置３についての説明を省略する。

【0057】

図５に示すように、第１露光描画装置２には、装置各部にそれぞれ電気的に接続されるシステム制御部４０が設けられており、このシステム制御部４０により第１露光描画装置２の各部が統括的に制御される。また、第１露光描画装置２は、ジョブ記憶部４１、ステージ駆動部４２、表示装置４３、入力装置４４、撮影駆動部４６、及び外部入出力部４８を有している。

【0058】

システム制御部４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、及びＨＤＤ（Hard Disk Drive）を有している。また、システム制御部４０は、上記ＣＰＵにより、ステージ１０の移動に応じたタイミングで、光源ユニット１７から光ビームを出射させると共に、対応する画像情報を画像処理ユニット１９により出力させる。システム制御部４０は、このようにして露光ヘッド１６ａによる被露光基板Ｃに対する光ビームの露光を制御する。

【0059】

ジョブ記憶部４１は、ＲＡＭや不揮発性メモリを有し、実行対象とするジョブを示すジョブ情報を記憶する。本実施形態におけるジョブは、同一種類の１枚または複数枚の被露光基板Ｃの第１面に同一の画像を同一条件で露光描画すると共に、第２面にも同一の画像を同一条件で露光描画する一括りの露光処理要求である。なお、ジョブ情報の詳細については後述する。本実施形態では、ジョブ記憶部４１は、実行対象とするジョブのジョブ情報をリスト形式で記憶するが、これに限定されず、キュー形式で記憶しても良い。

【0060】

ステージ駆動部４２は、モータまたは油圧ポンプなどにより構成された駆動機構を有しており、システム制御部４０の制御によってステージ１０を駆動する。

【0061】

表示装置４３は、システム制御部４０の制御により各種情報を表示する液晶ディスプレイ等の表示手段である。

【0062】

入力装置４４は、ユーザ操作により各種情報を入力するタッチセンサや操作ボタン等の入力手段である。

【0063】

撮影駆動部４６は、モータまたは油圧ポンプなどにより構成された駆動機構を有しており、システム制御部４０の制御によって撮影部２３を駆動する。

【0064】

外部入出力部４８は、第１露光描画装置２に接続された第２露光描画装置３及び制御装置５を含む各種情報処理装置との間で各種情報の入出力を行う。なお、第２露光描画装置３の外部入出力部４８は、第２露光描画装置３に接続された第１露光描画装置２及び制御装置５を含む各種情報処理装置との間で各種情報の入出力を行う。

【0065】

次に、本実施形態に係る制御装置５の電気系の構成について説明する。

【0066】

図６に示すように、制御装置５は、露光描画システム１における露光描画処理を制御する制御部５０を備えている。また、制御装置５は、制御部５０による露光描画処理に必要なプログラムや各種データを記憶するＲＯＭ及びＨＤＤ等を有する記憶部５１を備えている。なお、記憶部５１は、ジョブ情報、ジョブ設定処理プログラム、第１ジョブ実行処理プログラム、第２ジョブ実行処理プログラム、及び第２実施形態のジョブ選択処理プログラムも記憶している。

【0067】

また、制御装置５は、制御部５０の制御に基づいて各種情報を表示する液晶ディスプレイ等の表示部５２、及びユーザ操作により各種情報を入力するキーボードやマウス等の入力部５３を備えている。さらに、制御装置５は、制御部５０の制御に基づいて第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３に対する各種情報の送受信を行う通信インタフェース５４を備えている。

【0068】

ここで、本実施形態に係る制御装置５は、ユーザ操作によるジョブに関する情報の入力を受け付ける。また、制御装置５は、ジョブに関する情報の入力を受け付けた際、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３に各々対応するジョブ情報を生成し、生成したジョブ情報を各々対応する露光描画装置に送信する。本実施形態に係る第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３は、ジョブ情報を受信した際、受信したジョブ情報をジョブ記憶部４１に記憶し、記憶したジョブの内容に従って被露光基板Ｃに対する露光描画処理を実行する。この際、本実施形態に係る第１露光描画装置２は、複数のジョブ情報を記憶している場合には、各ジョブ情報を受信した順に、各ジョブ情報によって示されるジョブを実行する。なお、本実施形態に係る第２露光描画装置３は、第１露光描画装置２で実行されたジョブに対応するジョブを順次実行する。

【0069】

ジョブ情報の生成に際し、制御装置５は、第１露光描画装置２に被露光基板Ｃの第１面に画像を描画させるためのジョブ情報６０Ａ、及び第２露光描画装置３に被露光基板Ｃの第２面に画像を描画させるためのジョブ情報６０Ｂをそれぞれ生成する。すなわち、同一の被露光基板Ｃに関するジョブであっても、第１面及び第２面に対してそれぞれ別個の露光描画装置で露光描画処理を行うため、第１面用のジョブ情報６０Ａ、及び第２面用のジョブ情報６０Ｂをそれぞれ別個に生成する。

【0070】

ジョブ情報６０Ａ、６０Ｂは、一例として図７Ａ及び図７Ｂに示すように、ジョブ識別情報６１と、画像情報６２と、露光条件情報６３とがそれぞれジョブ毎に対応付けられた情報である。なお、ジョブ識別情報６１は、各々のジョブを識別するための情報である。また、画像情報６２は、描画対象とする画像を示す情報である。また、露光条件情報６３は、被露光基板Ｃに対応する画像を描画するために光ビームを露光する際の露光条件を示す情報である。本実施形態に係る露光条件情報６３は、描画対象とする被露光基板Ｃ（以下、「対象基板」という。）の基板サイズを示す基板サイズ情報、及び対象基板の描画枚数を示す描画枚数情報を含んでいる。また、本実施形態に係る露光条件情報６３は、対象基板に対応する画像の描画領域を決定するためのマークが設けられている場合の当該マークの配置パターンが座標で示されたマーク情報、及び対象基板の感材種を示す感材種情報等を含んでいる。しかしながら、露光条件情報６３に含まれる情報はこれらに限定されず、光ビームの強度を示す情報、ステージ１０の移動速度を示す情報等、露光描画処理を行う際に使用される情報であれば任意の情報であって良い。

【0071】

作業者は、第１露光描画装置２及び第２露光描画装置３にジョブを実行させたい場合に、入力部５３を介して、ジョブ情報６０Ａ、６０Ｂに含まれる各情報を制御装置５に入力する。これに応じて、制御装置５は、入力された各情報に基づいて第１面用のジョブ情報６０Ａ、及び第２面用のジョブ情報６０Ｂを生成して記憶部５１に記憶するジョブ設定処理を行う。

【0072】

次に、図８を参照して、本実施形態に係る露光描画システム１の作用を説明する。なお、図８は、入力部５３を介して実行指示が入力された際に制御装置５の制御部５０によって実行されるジョブ設定処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、記憶部５１のＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。

【0073】

まず、ステップＳ１０１では、ユーザによるジョブに関する情報の入力を補助するためのジョブ入力画面を表示部５２に表示させる制御を行う。図９に示すように、本実施形態に係るジョブ入力画面７０は、第１面のジョブに関する入力か第２面のジョブに関する入力かを選択する描画対象面選択欄７１を有している。また、ジョブ入力画面７０は、描画する画像を示す画像識別情報を入力する画像入力欄７２を有している。画像識別情報は、画像情報を含むファイルのファイル名や、画像ファイルの格納先を示すＵＲＬ（Uniform Resource Locator）等である。また、ジョブ入力画面７０は、入力対象とするジョブに適用される被露光基板Ｃの基板種類を示す基板種類情報を入力する基板種類入力欄７３を有している。また、ジョブ入力画面７０は、対象とするジョブにおける被露光基板Ｃの描画枚数を示す描画枚数情報を入力する描画枚数入力欄７４を有している。さらに、ジョブ入力画面７０は、入力が終了した旨を示す情報を指定するための入力終了ボタン７５を有している。なお、各入力欄に各情報を入力する際、入力欄毎にリスト表示等によって選択候補が表示され、表示された選択候補の何れか１つを入力部５３を介して選択するようにしても良い。ユーザは、入力部５３を用いて、描画対象面選択欄７１で描画対象とする面を選択し、各入力欄に対応する情報を入力した後、入力終了ボタン７５を指定する。

【0074】

そこで、次のステップＳ１０３では、入力終了ボタン７５が指定されるまで待機することにより、ジョブに関する情報の入力が終了するまで待機する。

【0075】

次のステップＳ１０５では、描画対象面選択欄７１で選択された描画対象の面、及び各入力欄に入力された各情報に基づいてジョブ情報６０Ａ、６０Ｂを生成し、生成したジョブ情報６０Ａ、６０Ｂを記憶部５１に記憶する。この際、制御部５０は、描画対象面選択欄７１で第１面が選択された場合、画像入力欄７２に入力された情報が示す画像の画像情報を画像情報６２とし、描画枚数入力欄７４に入力された情報を描画枚数情報とし、第１面のジョブ情報６０Ａを生成する。また、ジョブ情報６０Ａでは、基板種類入力欄７３に入力された情報から、基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報を決定する。すなわち、本実施形態に係る露光描画システム１では、被露光基板Ｃの基板種類毎に、基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報がそれぞれ対応付けられて記憶部５１に記憶されている。そして、本実施形態に係る露光描画システム１では、基板種類入力欄７３に入力された情報が示す基板種類に対応する基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報を、ジョブ情報６０Ａの基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報とする。

【0076】

また、制御部５０は、描画対象面選択欄７１で第２面が選択された場合、画像入力欄７２に入力された情報が示す画像の画像情報を画像情報６２とし、描画枚数入力欄７４に入力された情報を描画枚数情報として、第２面のジョブ情報６０Ｂを生成する。また、制御部５０は、ジョブ情報６０Ｂでも、ジョブ情報６０Ａと同様にして、基板サイズ情報、マーク情報、及び感材種情報を決定して適用する。

【0077】

次のステップＳ１０７では、上記ステップＳ１０５の処理において生成したジョブ情報が、第１面のジョブ情報６０Ａであるか否かを判定する。ステップＳ１０７で肯定判定となった場合はステップＳ１０９に移行し、生成したジョブ情報６０Ａを第１露光描画装置２に有線ケーブル８ａを介して送信する。これに対して第１露光描画装置２は、受信したジョブ情報６０Ａを自身のジョブ記憶部４１に記憶する。

【0078】

一方、ステップＳ１０７で否定判定となった場合は上記ステップＳ１０５の処理によって生成したジョブ情報が第２面のジョブ情報６０Ｂであったと見なしてステップＳ１１１に移行する。

【0079】

ステップＳ１１１では、生成したジョブ情報６０Ｂを第２露光描画装置３に有線ケーブル８ａを介して送信した後、本ジョブ設定処理プログラムを終了する。これに対して第２露光描画装置３は、受信したジョブ情報６０Ｂを自身のジョブ記憶部４１に記憶する。

【0080】

このように、本実施形態に係る露光描画システム１では、図１０に示すように、制御装置５が、ユーザによって入力された情報に基づいて第１面のジョブ情報６０Ａ、及び第２面のジョブ情報６０Ｂを生成する。そして、制御装置５によって生成された第１面のジョブ情報６０Ａは第１露光描画装置２のジョブ記憶部４１に受信された順に記憶され、第２面のジョブ情報６０Ｂは第２露光描画装置３のジョブ記憶部４１に受信された順に記憶される。

【0081】

第１露光描画装置２は、制御装置５からジョブ情報６０Ａを受信して記憶すると、予め定められたユーザ操作に従って、記憶したジョブ情報６０Ａを用いて被露光基板Ｃの第１面に画像を描画する第１ジョブ実行処理を行う。

【0082】

次に、図１１を参照して、本実施形態に係る第１ジョブ実行処理を実行する際の第１露光描画装置２の作用を説明する。なお、図１１は、この際に第１露光描画装置２のシステム制御部４０によって実行される第１ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、システム制御部４０が備えているＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、予め定められたユーザ操作に従ったタイミングに限らず、ジョブ情報６０Ａを受信したタイミングであっても良い。

【0083】

始めに、ステップＳ２００では、ジョブ記憶部４１に記憶しているジョブ情報６０Ａを表示装置４３に表示させる制御を行う。この際、システム制御部４０は、複数のジョブ情報６０Ａが記憶されている場合には、各ジョブ情報６０Ａをリスト形式で表示させる制御を行う。ユーザは、実行対象とするジョブ情報６０Ａの描画枚数情報により示される枚数の被露光基板Ｃを第１露光描画装置２の第１搬送部６の上流側に配置する。そして、ユーザは、入力装置４４を介して、表示されたジョブ情報６０Ａを選択指定することにより、指定したジョブ情報６０Ａによって示されるジョブの実行指示を入力する。

【0084】

次のステップＳ２０１では、上記ジョブの実行指示が入力されるまで待機し、次のステップＳ２０３では、実行が指示されたジョブ（以下、「実行第１面ジョブ」という。）に対応するジョブ情報６０Ａから画像情報６２を取得する。なお、本実施形態では、描画する画像の画像情報６２を取得する際、自身のジョブ記憶部４１に記憶されている画像情報（ジョブ情報６０Ａの画像情報６２）を取得するが、これに限定されない。すなわち、ジョブ情報６０Ａに上記画像識別情報を付与しておき、当該画像識別情報に基づいて、描画する画像の画像情報を、制御装置５や外部の記憶装置から取得しても良い。

【0085】

次のステップＳ２０５では、実行第１面ジョブの実行により被露光基板Ｃに画像を描画する際の露光条件を決定する。この際、システム制御部４０は、実行第１面ジョブのジョブ情報６０Ａにおける基板サイズ情報、描画枚数情報、マーク情報、及び感材種情報に基づいて露光条件を決定する。本実施形態では、まず、システム制御部４０は、撮影部２３により被露光基板Ｃに設けられた上記マークを撮影し、撮影によって得られた画像から当該マークの位置を計測する。また、システム制御部４０は、計測したマークの位置に基づいて画像を描画する描画領域を決定する。さらに、システム制御部４０は、決定した描画領域のサイズや形状に基づいて描画対象とする画像を変形させる。そして、システム制御部４０は、上記感材種情報が示す感材種に応じて、露光する光ビームの強度、ステージ１０の移動速度（または光ビームの露光時間）等を決定する。

【0086】

次のステップＳ２０７では、決定した露光条件に応じて、被露光基板Ｃに光ビームを露光して画像を描画する露光描画処理を開始する。本実施形態に係る露光描画処理では、システム制御部４０は、変形させた画像に基づいて変調させた光ビームを露光ヘッド１６ａにより露光することにより当該変形させた画像を被露光基板Ｃに描画する。

【0087】

次のステップＳ２０９では、予め定められたエラーが発生したか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、被露光基板Ｃの変形や位置決め不良、光源ユニット１７や画像処理ユニット１９、露光部１６等の露光描画を行う際に用いられる部位の故障等により露光描画処理が途中で停止した場合等に、エラーが発生したと判定する。ステップＳ２０９で肯定判定となった場合はステップＳ２１１に移行し、エラーが発生した旨を示すエラー情報を制御装置５に送信し、本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。これに対し、エラー情報を受信した制御装置５は、エラー情報を表示部５２に表示させる制御を行う。なお、システム制御部４０は、エラー情報を第２露光描画装置３に送信しても良い。これに対し、エラー情報を受信した第２露光描画装置３は、当該エラー情報を表示装置４３に表示する制御を行ったり、エラーが発生した実行第１面ジョブに対応するジョブのジョブ情報６０Ｂを削除したりする。

【0088】

一方、ステップＳ２０９で肯定判定となった場合はステップＳ２１３に移行する。

【0089】

ステップＳ２１３では、１枚の被露光基板Ｃに対する露光描画処理が完了したか否かを判定する。ステップＳ２１３で否定判定となった場合は上記ステップＳ２０９に戻る一方、ステップＳ２１３で肯定判定となった場合はステップＳ２１５に移行する。

【0090】

ステップＳ２１５では、実行第１面ジョブの露光条件情報６３を第２露光描画装置３に送信する。なお、本実施形態では、第１露光描画装置２から第２露光描画装置３に実行第１面ジョブの露光条件情報６３を送信するが、これに限定されない。すなわち、送信される情報は、第２露光描画装置３が実行第１面ジョブの露光条件情報６３を含んだ情報であれば良いため、例えばジョブ情報６０Ａそのものであっても良い。また、送信される情報は、実行第１面ジョブの露光条件情報６３に含まれる予め定められた情報（例えば基板サイズ情報のみ、基板サイズ及びマーク情報等）であってもよい。

【0091】

次のステップＳ２１７では、実行第１面ジョブが完了したか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、露光条件情報６３の描画枚数情報に示される描画枚数の被露光基板Ｃに対する露光描画処理が完了した場合に、実行第１面ジョブが完了したと判定する。

【0092】

ステップＳ２１７で否定判定となった場合は上記ステップＳ２０９に戻る一方、肯定判定となった場合は本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。

【0093】

本実施形態に係る第２露光描画装置３は、実行第１面ジョブの露光条件情報６３を第１露光描画装置２から受信すると、露光条件情報６３と制御装置５から受信したジョブ情報６０Ｂとに基づいて、被露光基板Ｃの第２面に画像を描画する第２ジョブ実行処理を行う。

【0094】

次に、図１２を参照して、本実施形態に係る第２ジョブ実行処理を実行する際の第２露光描画装置３の作用を説明する。なお、図１２は、この際に第２露光描画装置３のシステム制御部４０によって実行される第２ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、システム制御部４０が備えているＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、実行対象のジョブのジョブ識別情報を受信したタイミングに限らず、ユーザにより入力装置４４を介して予め定められた実行指示が入力されたタイミング等であっても良い。

【0095】

始めに、ステップＳ３０１では、ジョブ記憶部４１に記憶しているジョブ情報６０Ｂに、受信した実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有するジョブ情報６０Ｂが複数存在するか否かを判定する。

【0096】

ステップＳ３０１で肯定判定となった場合はステップＳ３０３に移行し、ユーザによるジョブの選択を補助するためのジョブ選択画面７６を表示装置４３に表示する制御を行う。図１３に示すように、本実施形態に係るジョブ選択画面７６は、ジョブ記憶部４１に記憶されているジョブ情報６０Ｂの何れか１つを選択する選択ボタン７７、及び何れのジョブも選択しない非選択ボタン７８を有している。ユーザは、入力装置４４を用いて、何れかの選択ボタン７７または非選択ボタン７８を指定する。

【0097】

次のステップＳ３０４では、何れかの選択ボタン７７または非選択ボタン７８が選択されるまで待機する。

【0098】

次のステップＳ３０５では、何れかのジョブが選択されたか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、何れかの選択ボタン７７が選択された場合、何れかのジョブが選択されたと判定（肯定判定）し、非選択ボタン７８が選択された場合、何れかのジョブが選択されなかったと判定（否定判定）する。

【0099】

ステップＳ３０５で肯定判定となった場合は、選択されたジョブを実行対象とするジョブ（以下、「実行第２面ジョブ」という。）とし、後述するステップＳ３０９に移行する。一方、ステップＳ３０５で否定判定となった場合はステップＳ３１７に移行し、ジョブが選択されなった旨を示すエラー情報を制御装置５に送信して、本第２ジョブ実行処理プログラムを終了する。これに対し、制御装置５は、受信したエラー情報を表示部５２に表示する制御を行う。

【0100】

一方、ステップＳ３０１で否定判定となった場合はステップＳ３０７に移行する。

【0101】

ステップＳ３０７では、ジョブ記憶部４１に記憶しているジョブ情報６０Ｂに、受信した実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有する第２面のジョブを示すジョブ情報６０Ｂが１つのみ存在するか否かを判定する

【0102】

ステップＳ３０７で否定判定となった場合はステップＳ３１７に移行し、実行対象とするジョブが存在しない旨を示すエラー情報を制御装置５に送信し、本第２ジョブ実行処理プログラムを終了する。これに対し、制御装置５は、受信したエラー情報を表示部５２に表示する制御を行う。

【0103】

一方、ステップＳ３０７で肯定判定となった場合は、上記ステップＳ３０７の処理によって存在すると判定されたジョブ情報６０Ｂを実行第２面ジョブとし、ステップＳ３０９に移行する。なお、この際、上記ステップＳ３０７の処理によって存在すると判定されたジョブ情報６０Ｂを表示装置４３に表示し、当該ジョブ情報６０Ｂにより示されるジョブの実行指示の入力を受け付けても良い。この場合には、実行指示の入力を受け付けた後に、ステップＳ３０９に移行する。

【0104】

ステップＳ３０９では、実行第２面ジョブのジョブ情報６０Ｂから被露光基板Ｃの第２面に描画する画像の画像情報６２を取得する。なお、本実施形態では、画像情報６２を取得する際、自身のジョブ記憶部４１に記憶されている画像情報（ジョブ情報６０Ｂの画像情報６２）を取得するが、これに限定されない。すなわち、ジョブ情報６０Ｂに上記画像識別情報を付与しておき、当該画像識別情報に基づいて、描画する画像の画像情報を、制御装置５や外部の記憶装置から取得しても良い。

【0105】

次のステップＳ３１１では、実行対象とするジョブである実行第２面ジョブにおいて被露光基板Ｃに画像を描画する際の露光条件を決定する。この際、システム制御部４０は、上記ステップＳ２０５と同様の手法で、実行第２面ジョブのジョブ情報６０Ｂにおける基板サイズ情報、描画枚数情報、マーク情報、及び感材種情報に基づいて露光条件を決定する。

【0106】

一例として図７Ａ及び図７Ｂに示すように、ジョブＡとジョブＡ’とは同一の露光条件情報６３を有し、ジョブＢとジョブＢ’とは同一の露光条件情報６３を有するとする。また、一例として図１０に示すように、第１露光描画装置２において、第１面に対応する画像を描画するジョブＡのジョブ情報６０Ａ、ジョブＢのジョブ情報６０Ａ等が記憶されているとする。さらに、第２露光描画装置３において、第２面に対応する画像を描画するジョブＡ’のジョブ情報６０Ｂ、ジョブＢ’のジョブ情報６０Ｂが記憶されているとする。この状態で第１露光描画装置２においてジョブＡが実行された場合、第２露光描画装置３では、ジョブＡと同一の露光条件情報６３を有するジョブＡ’が実行対象とされる。

【0107】

次のステップＳ３１３では、前述した第１ジョブ実行処理プログラムのステップＳ２０７の処理と同様に、決定した露光条件に応じて、被露光基板Ｃに光ビームを露光して画像を描画する露光描画処理を開始する。

【0108】

次のステップＳ３１５では、予め定められたエラーが発生したか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、被露光基板Ｃの変形や位置決め不良、光源ユニット１７や画像処理ユニット１９、露光部１６等の露光描画を行う際に用いられる部位の故障等により露光描画処理が途中で停止した場合等に、エラーが発生したと判定する。ステップＳ３１５で肯定判定となった場合はステップＳ３１７に移行し、エラーが発生した旨を示すエラー情報を制御装置５に送信し、本第２ジョブ実行処理プログラムを終了する。これに対し、制御装置５は、受信したエラー情報を表示部５２に表示する制御を行う。

【0109】

一方、ステップＳ３１５で肯定判定となった場合はステップＳ３１９に移行する。

【0110】

ステップＳ３１９では、被露光基板Ｃに対する露光描画処理が完了したか否かを判定する。ステップＳ３１９で否定判定となった場合は上記ステップＳ３１５に戻る一方、肯定判定となった場合はステップＳ３２１に移行する。

【0111】

次のステップＳ３２１では、実行第２面ジョブが完了したか否かを判定する。この際、システム制御部４０は、露光条件情報６３の描画枚数情報に示される描画枚数の被露光基板Ｃに対する露光描画処理が完了した場合に、実行第２面ジョブが完了したと判定する。ステップＳ３２１で否定判定となった場合はステップＳ３２３に移行する。

【0112】

ステップＳ３２３では、実行第２面ジョブにおける次の被露光基板Ｃに対する画像の描画を行うための露光条件情報を受信するまで待機する。

【0113】

次のステップＳ３２５では、受信した露光条件情報が、実行第２面ジョブのジョブ情報６０Ｂの露光条件情報と同一であるか否かを判定する。ステップＳ３２５で肯定判定となった場合は、実行第２面ジョブの実行を継続し、上記ステップＳ３１５に移行する。一方、ステップＳ３２５で否定判定となった場合はステップＳ３１７に移行し、実行第２面ジョブのジョブ情報６０Ｂの露光条件情報とは異なった露光条件情報を受信した旨を示すエラー情報を制御装置５に送信して、本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。

【0114】

一方、ステップＳ３２１で肯定判定となった場合は本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。

【0115】

［第２実施形態］

【0116】

以下、第２実施形態に係る露光描画システム１について添付図面を用いて詳細に説明する。

【0117】

上記第１実施形態では、第１露光描画装置２から第２露光描画装置３に実行第１面ジョブを示す情報を送信し、第２露光描画装置３で対応するジョブを選択して実行する。一方、第２実施形態では、第１露光描画装置２から制御装置５に実行第１面ジョブを示す情報を送信し、制御装置５で対応するジョブを選択し、選択したジョブを第２露光描画装置３に送信する。

【0118】

なお、第２実施形態に係る露光描画システム１の構成は、第１実施形態に係る露光描画システム１と同様であるので、ここでは説明は省略する。

【0119】

次に、図１４を参照して、本実施形態に係るジョブ設定処理を実行する際の制御装置５の作用を説明する。なお、図１４は、この際に制御装置５の制御部５０によって実行されるジョブ設定処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、記憶部５１のＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。

【0120】

まず、ステップＳ４０１乃至Ｓ４０５では、第１実施形態のステップＳ１０１乃至Ｓ１０５と同様の処理を行う。

【0121】

次のステップＳ４０７では、生成した第１面のジョブ情報６０Ａを第１露光描画装置２に有線ケーブル８ａを介して送信して、本ジョブ設定処理プログラムを終了する。第１露光描画装置２は、受信したジョブ情報６０Ａをジョブ記憶部４１に記憶する。

【0122】

第１露光描画装置２は、ジョブ情報６０Ａを記憶すると、予め定められたユーザ操作に従って、ジョブ情報６０Ａに基づいて被露光基板Ｃの第１面に画像を描画する第１ジョブ実行処理を行う。

【0123】

次に、図１５を参照して、本実施形態に係る第１ジョブ実行処理を実行する際の第１露光描画装置２の作用を説明する。なお、図１５は、この際に第１露光描画装置２のシステム制御部４０によって実行される第１ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、システム制御部４０が備えているＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、予め定められたユーザ操作に従ったタイミングに限らず、ジョブ情報６０Ａを受信したタイミング等であっても良い。

【0124】

ステップＳ５００乃至Ｓ５１３では、第１実施形態のステップＳ２０１乃至Ｓ２１３と同様の処理を行う。

【0125】

ステップＳ５１５では、実行第１面ジョブのジョブ情報６０Ａにおける露光条件情報６３を制御装置５に送信する。

【0126】

次のステップＳ５１７では、第１実施形態のステップＳ２１７と同様の処理を行い、本第１ジョブ実行処理プログラムを終了する。

【0127】

本実施形態に係る制御装置５は、ジョブ情報６０Ａの露光条件情報を第１露光描画装置２から受信すると、記憶部５１に記憶しているジョブ情報６０Ｂから、受信した露光条件情報と同一の露光条件情報を有するジョブ情報６０Ｂを選択するジョブ選択処理を行う。

【0128】

次に、図１６を参照して、本実施形態に係るジョブ選択処理を実行する際の制御装置５の作用を説明する。なお、図１６は、この際に制御装置５の制御部５０によって実行されるジョブ選択処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、記憶部５１のＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、露光条件情報を受信したタイミングに限らず、ユーザにより入力部５３を介して予め定められた実行指示が入力されたタイミング等であっても良い。

【0129】

まず、ステップＳ６０１では、記憶部５１に記憶している第２面のジョブ情報６０Ｂのうち、受信した実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有する第２面のジョブ情報６０Ｂが存在するか否かを判定する。

【0130】

ステップＳ６０１で肯定判定となった場合はステップＳ６０５に移行し、実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有する第２面のジョブ情報６０Ｂを第２露光描画装置３に有線ケーブル８ａを介して送信する。第２露光描画装置３は、受信した第２面のジョブ情報６０Ｂをジョブ記憶部４１に記憶する。

【0131】

一方、ステップＳ６０１で否定判定となった場合はステップＳ６０５に移行し、実行第１面ジョブの露光条件情報６３と同一の露光条件情報６３を有する第２面のジョブ情報６０Ｂが存在しない旨を示すエラー情報を表示部５２に表示する制御を行う。

【0132】

本実施形態に係る第２露光描画装置３は、上記第２面のジョブ情報６０Ｂを制御装置５から受信すると、受信したジョブ情報６０Ｂに基づいて、被露光基板Ｃの第２面に画像を描画する第２ジョブ実行処理を行う。

【0133】

次に、図１７を参照して、本実施形態に係る第２ジョブ実行処理を実行する際の第２露光描画装置３の作用を説明する。なお、図１７は、この際に第２露光描画装置３のシステム制御部４０によって実行される第２ジョブ実行処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。当該プログラムは、システム制御部４０が備えているＲＯＭの所定領域に予め記憶されている。なお、当該プログラムが実行されるタイミングは、ジョブ情報６０Ｂを受信したタイミングに限らず、ユーザにより入力装置４４を介して予め定められた実行指示が入力されたタイミング等であっても良い。

【0134】

始めに、ステップＳ７０１乃至Ｓ７０５では、第１実施形態のステップＳ３０１乃至３０５と同様の処理を行う。

【0135】

ステップＳ７０７乃至Ｓ７２３では、第１実施形態のステップＳ３０９乃至Ｓ３２５と同様の処理を行い、本第２ジョブ実行処理プログラムを終了する。

【符号の説明】

【0136】

１ 露光描画システム
２ 第１露光描画装置
３ 第２露光描画装置
４ 反転装置
５ 制御装置
１０ ステージ
１６ａ 露光ヘッド
４０ システム制御部
４１ ジョブ記憶部
５０ 制御部
５１ 記憶部
６０Ａ 第１ジョブ情報
６０Ｂ 第２ジョブ情報
Ｃ 被露光基板

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】