発明の名称 欠陥検査装置
出願人 株式会社ヒューテック (識別番号 591114641)
特許公開件数ランキング 11770 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 24615 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6389977
公報発行日 2018年9月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6389977
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