特許 6394229 ターボ分子ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6394229

(24)【登録日】2018年9月7日

(45)【発行日】2018年9月26日

(54)【発明の名称】ターボ分子ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20180913BHJP

【ＦＩ】

   F04D19/04 H

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-193989(P2014-193989)

(22)【出願日】2014年9月24日

(65)【公開番号】特開2016-65478(P2016-65478A)

(43)【公開日】2016年4月28日

【審査請求日】2017年3月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100084412

【弁理士】

【氏名又は名称】永井 冬紀

(72)【発明者】

【氏名】森山 伸彦

【審査官】 谿花 正由輝

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１０−０７３０８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０１９７４０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ １９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

モータにより回転駆動される円筒状のロータと、
前記ロータに対応して設けられた円筒状のステータと、
前記ステータを堆積物付着防止温度である目標温度に昇温するヒータと、
前記ステータの温度を検出する温度センサと、
前記ロータの回転駆動を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記ヒータの通電開始後に回転開始指令が入力されると、前記ステータの温度が、当該温度において前記ロータを定常回転数に向けて加速開始した場合に前記ロータが定常回転数になる時点において前記ロータと前記ステータとが接触することがない所定温度に達するまでは、前記ロータを停止状態とさせる第１の制御、又は、前記ロータを前記定常回転数よりも低い回転数であって前記ロータが前記ステータに接触することのない所定回転数で回転駆動させる第２の制御を行い、前記ステータの温度が前記所定温度を超えた後に前記モータを加速させて前記ロータを前記定常回転数で回転駆動させるターボ分子ポンプ。

【請求項2】

請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記制御部は、
前記第２の制御を行っているときに前記ロータが停止状態であるか否かを判定する停止判定部と、
前記停止判定部で停止状態であると判定されると異常報知を行う報知部と、を備えるターボ分子ポンプ。

【請求項3】

請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記所定温度以下のポンプ使用温度領域は複数の温度範囲に区分され、前記所定回転数は高温側の温度範囲ほど大きく設定されている、ターボ分子ポンプ。

【請求項4】

請求項１乃至３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ステータの温度が前記目標温度に達すると昇温完了情報を提示する完了情報提示部を、さらに備えるターボ分子ポンプ。

【請求項5】

請求項１乃至４のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記温度センサで検出される前記ステータの温度に基づいて、前記ステータの温度が、前記目標温度に達するまでの昇温時間を推定し、その推定された昇温時間を提示する推定時間提示部を、さらに備えるターボ分子ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ステータを昇温する構成のターボ分子ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

ターボ分子ポンプにおいて、反応生成物の堆積を抑制するために、ターボ分子ポンプのステータをヒータで昇温する技術がある（例えば、特許文献１参照）。ステータを昇温すると、ステータが熱膨張してロータとステータとのギャップ寸法が変化し、排気性能が変化する。そのため、昇温して膨張した状態においてギャップ寸法が最適寸法となるように、ロータおよびステータの寸法が設定される。そのため、ステータ温度が常温におけるギャップ寸法は、昇温時の膨張変化が大きい場合ほど狭くなる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−８０４０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、昇温の設定温度が高くなるにつれ、常温時のギャップ寸法がより狭くなり、ステータの昇温が不十分なポンプ始動時（回転スタート時）にロータとステータとが接触するおそれがある。特に、ポンプ始動時のステータ温度が常温で、ロータ温度が高い場合には、接触の可能性が高くなる。そのため、昇温機能を備えるターボ分子ポンプを使用する場合、ユーザは、昇温完了を待ってからポンプ始動操作をする必要があり、操作が煩雑になるという課題があった。また、ユーザの誤操作により昇温開始直後にポンプ始動を行ってしまった場合、ロータとステータとが接触するという不都合が生じてしまう。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の好ましい実施形態によるターボ分子ポンプは、モータにより回転駆動される円筒状のロータと、前記ロータに対応して設けられた円筒状のステータと、前記ステータを堆積物付着防止温度である目標温度に昇温するヒータと、前記ステータの温度を検出する温度センサと、前記ロータの回転駆動を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記ヒータの通電開始後に回転開始指令が入力されると、前記ステータの温度が、当該温度において前記ロータを定常回転数に向けて加速開始した場合に前記ロータが定常回転数になる時点において前記ロータと前記ステータとが接触することがない所定温度に達するまでは、前記ロータを停止状態とさせる第１の制御、又は、前記ロータを前記定常回転数よりも低い回転数であって前記ロータが前記ステータに接触することのない所定回転数で回転駆動させる第２の制御を行い、前記ステータの温度が前記所定温度を超えた後に前記モータを加速させて前記ロータを前記定常回転数で回転駆動させる。
さらに好ましい実施形態では、前記制御部は、前記第２の制御を行っているときに前記ロータが停止状態であるか否かを判定する停止判定部と、前記停止判定部で停止状態であると判定されると異常報知を行う報知部と、を備える。
さらに好ましい実施形態では、前記所定温度以下のポンプ使用温度領域は複数の温度範囲に区分され、前記所定回転数は高温側の温度範囲ほど大きく設定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記ステータの温度が前記目標温度に達すると昇温完了情報を提示する完了情報提示部を、さらに備える。
さらに好ましい実施形態では、前記温度センサで検出される前記ステータの温度に基づいて、前記ステータの温度が、前記目標温度に達するまでの昇温時間を推定し、その推定された昇温時間を提示する推定時間提示部を、さらに備える。

【発明の効果】

【0006】

本発明によれば、ターボ分子ポンプの始動操作の簡素化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、ターボ分子ポンプの概略構成を示す図である。

【図2】図２は、コントロールユニットの概略構成を示すブロック図である。

【図3】図３は、ギャップ寸法を説明する模式図である。

【図4】図４は、始動制御を説明するためのフローチャートである。

【図5】図５は、所定温度を説明する図である。

【図6】図６は、相関関係ＬＴを説明する図である。

【図7】図７は、ステータ温度とロータ回転数との関係の一例を示す図である。

【図8】図８は、第２の実施の形態における制御動作を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１は、本実施の形態のターボ分子ポンプを示す図である。ターボ分子ポンプ１００は、真空排気を行うポンプユニット１と、ポンプユニット１を駆動制御するコントロールユニット２とを備えている。

【0009】

ポンプユニット１は、回転翼４１と固定翼３１とで構成されるターボポンプ段と、円筒部４２とステータ３２とで構成されるドラッグポンプ段（ネジ溝ポンプ段）とを有している。ネジ溝ポンプ段においては、ステータ３２または円筒部４２にネジ溝が形成されている。回転側排気機能部である回転翼４１および円筒部４２はポンプロータ４に形成されている。ポンプロータ４はシャフト５に締結されている。ポンプロータ４とシャフト５とによって回転体ユニットＲＹが構成される。

【0010】

複数段の固定翼３１は、軸方向に対して回転翼４１と交互に配置されている。各固定翼３１は、スペーサリング３３を介してベース３上に載置される。ポンプケーシング３０をベース３にボルト固定すると、積層されたスペーサリング３３がベース３とポンプケーシング３０の係止部３０ａとの間に挟持され、固定翼３１が位置決めされる。

【0011】

図１に示すターボ分子ポンプ１００は磁気浮上式のターボ分子ポンプであり、シャフト５は、ベース３に設けられた磁気軸受３４，３５，３６によって非接触支持される。詳細な図示は省略したが、各磁気軸受３４〜３６は電磁石と変位センサとを備えている。変位センサによりシャフト５の浮上位置が検出される。シャフト５、すなわちポンプロータ４の回転数（１秒当たりの回転数）は、回転センサ４３によって検出される。

【0012】

シャフト５はモータＭにより回転駆動される。磁気軸受が作動していない時には、シャフト５は非常用のメカニカルベアリング３７ａ，３７ｂによって支持される。ベース３の外周には、ステータ３２を昇温するためのヒータ３８が設けられている。ステータ３２の温度は温度センサ３９によって検出され、その検出結果はコントロールユニット２に入力される。

【0013】

図２は、コントロールユニット２の概略構成を示すブロック図である。コントロールユニット２は、主制御部２０、電源部２１、モータ制御部２２、軸受制御部２３、温度制御部２４、操作部２５および表示部２６を備えている。

【0014】

電源部２１には外部電源から交流電力が供給される。電源部２１は、供給された交流電力を直流電力に変換し、その直流電力を主制御部２０、モータ制御部２２、軸受制御部２３等に供給する。モータ制御部２２は、ポンプユニット１のモータステータ１０に駆動電力を供給し、モータＭの回転を制御する。軸受制御部２３は、磁気軸受３４〜３６に設けられた変位センサからの変位信号に基づいて磁気軸受３４〜３６の電磁石に励磁電流を供給し、シャフト５を所望の位置に磁気浮上させる。温度制御部２４は、温度センサ３９からの温度検出信号に基づいてヒータ３８の通電および非通電を制御し、ステータ３２を所望の目標温度Ｔ０に制御する。なお、温度センサ３９からの温度検出信号は主制御部２０に入力され、温度制御部２４は主制御部２０から温度情報を受けて通電制御を行う。

【0015】

操作部２５はコントロールユニット２への入力操作を行うものであり、電源スイッチ２５ａ、スタートスイッチ２５ｂが設けられている。電源スイッチ２５ａをオンすると電源部２１に電源が投入され、軸受制御部２３、温度制御部２４等に電力が供給され、磁気軸受３４〜３６による磁気浮上が開始される。スタートスイッチ２５ｂをオンすると、モータ制御部２２によるモータ駆動制御が開始される。表示部２６には、ポンプユニット１の状態、例えばロータ回転数や運転状態（加速、定常など）やステータ温度等、が表示される。

【0016】

主制御部２０はコントロールユニット２全体の制御を行うものであり、後述する始動制御も主制御部２０によって実行される。主制御部２０には、温度センサ３９からの温度検出信号および回転センサ４３からの回転検出信号が入力される。また、主制御部２０には、上位コントローラ（例えば、ポンプユニット１が搭載される真空装置のコントローラ）からの指令がリモート信号として入力される。また、主制御部２０から上位コントローラにポンプ情報を出力することもできる。

【0017】

前述したように、堆積物が生じるガスを排気すると、排気下流側のステータ３２や円筒部４２に堆積物が生じ易い。そのため、本実施の形態のターボ分子ポンプでは堆積物の生成を抑制するためにステータ３２をヒータ３８により昇温する。昇温の目標温度Ｔ０は排気するガスの種類によって異なるが、昇華温度の高い堆積物ではステータ温度を百数十℃程度まで昇温させる場合もある。

【0018】

ステータ温度が上昇するとステータ３２が熱膨張するので、ステータ３２と円筒部４２とのギャップ寸法が大きくなる。このギャップ寸法は、ステータ３２がヒータ３８により昇温され、所定の目標温度Ｔ０に維持されているときに最適ギャップ寸法となるように設定されている。そのため、ステータ温度が目標温度Ｔ０よりも低い場合には、ギャップ寸法が最適ギャップ寸法よりも小さくなり、円筒部４２とステータ３２とが接触するおそれがある。特に、ステータ３２が常温で、ロータ温度が上昇して円筒部４２が外周側に熱膨張した場合に、接触しやすくなる。

【0019】

図３は円筒部４２とステータ３２とのギャップ寸法を説明する模式図である。図３（ａ）は、ロータ回転数が定常回転数であって、ステータ３２の温度が目標温度Ｔ０となっているポンプ使用時の状況を示している。定常回転数とはポンプ仕様で定められた回転数であり、一般的に、ガス負荷の大小に関係なくロータ回転数が定常回転数となるように制御される。なお、ポンプ使用時においては円筒部４２の温度も上昇するが、ここでは常温であるとして考える。図３（ｂ）はポンプ停止時の状況、すなわちロータ回転数がゼロで、ステータ３２の温度が常温（例えば２０℃）の場合を示す。ｒは円筒部４２の外周半径であり、Ｒはステータ３２の内周半径である。

【0020】

図３（ａ）に示すポンプ使用状態では、ステータ３２は熱膨張により径方向外側（図示右側）に変形し、円筒部４２は遠心力により径方向外側に変形する。このときのステータ３２と円筒部４２とのギャップ寸法が、最適ギャップ寸法Ｇ０となるように設計されている。一方、図３（ｂ）のポンプ停止状態においては、遠心力による円筒部４２の変形、昇温によるステータ３２の熱膨張が生じていないので、ステータ３２と円筒部４２のギャップ寸法はＧ１（＜Ｇ０）となっている。昇温の目標温度Ｔ０が高い場合、図３に示すようにＧ１＜Ｇ０となる。そのため、図３（ｂ）に示す状態から、ステータ３２を昇温せずにポンプロータ４を回転させると、円筒部４２が遠心力により変形してギャップ寸法が減少し、円筒部４２がステータ３２に接触するおそれがある。

【0021】

本実施の形態では、上述のような接触が防止されるように、スタートスイッチ２５ｂのオン操作またはスタート信号の入力に対して図４に示すような始動制御を行う。図４のフローチャートは、電源投入後にスタートスイッチ２５ｂがオンされて、ロータ回転数が定常回転数となるまでの処理を示したものである。主制御部２０は、電源スイッチ２５ａのオン操作により電源が投入されると図４に示す制御を実行する。

【0022】

ステップＳ１０では、温度制御部２４によりヒータ３８の通電が開始される。ステップＳ２０では、スタート信号が主制御部２０に入力されたか否かを判定する。スタート信号は、スタートスイッチ２５ｂのオン操作またはリモート操作により主制御部２０に入力される。ステップＳ２０において入力有り（ＹＥＳ）と判定されると、ステップＳ３０へ進む。ステップＳ３０では、温度センサ３９の検出信号に基づいて、ステータ３２の温度Ｔが所定温度Ｔthを超えたか否かを判定する。所定温度Ｔthの詳細については後述する。

【0023】

ステップＳ３０でステータ３２の温度Ｔが所定温度Ｔthを超えたと判定されると、ステップＳ４０へ進み、定常回転数を目標回転数とする通常加速動作をモータ制御部２２に行わせる。ステップＳ４２では、加速開始から所定時間Δｔが経過したか否かを判定する。ステップＳ４２で所定時間Δｔが経過したと判定されると、ステップＳ５０へ進む。ステップＳ５０では、ロータ回転数ｎがｎ＞０か否か、すなわち、ポンプロータ４が回転し始めたか否かを判定する。この場合の所定時間Δｔとしては、２分程度で良い。これにより、ポンプロータ４が堆積物生成によりステータ３２と固着しているか否かを判断することができる。固着している場合には、ｎ＝０なのでステップＳ５０においてｎｏと判定され、ステップＳ５２へ進んでポンプロータ４の回転動作を停止する。続くステップＳ５４では、回転が開始されないことを報知する異常報知処理を行う。異常処理報知の方法としては、図２の表示部２６へのエラー表示や、上位コントローラへの異常信号出力などがある。

【0024】

ステップＳ６０では、ポンプロータ４の回転数が目標回転数である定常回転数に達したか否かを判定する。ステップＳ６０で定常回転数に達したと判定されると、一連の始動処理を終了し、一方、定常回転数に達していない場合にはステップＳ４２へ戻る。

【0025】

一方、ステップＳ３０でステータ温度Ｔが所定温度Ｔth以下であると判定されると、ステップＳ３２へ進み、定常回転数よりも遙かに低い低速回転数で回転させる低速動作（回転数＝０の回転停止の場合も含む）をモータ制御部２２に行わせる。低速回転数としては、ステータ温度Ｔが常温（例えば２０℃）であって、熱膨張および遠心力によりポンプロータ４が変形した場合でも、円筒部４２がステータ３２に接触しない回転数とする。例えば、接触に対する余裕を考慮して、定常回転数の１０％（数十rps）程度に設定される。

【0026】

ステップＳ３３およびステップＳ３４は、上述したステップＳ４２およびステップＳ５０と同様の処理である。ステップＳ３３で所定時間Δｔが経過していないと判定されるとステップＳ３０へ戻り、所定時間Δｔが経過していると判定されるとステップＳ３４へ進む。そして、ステップＳ３４でロータ回転数ｎがｎ＞０と判定されるとステップＳ３０へ戻り、ｎ＝０と判定されるとステップＳ５２へ進む。このように、ステータ３２の温度が所定温度Ｔthを超えるまでは、低速回転数での回転駆動が維持され、その間、ステップＳ３３，Ｓ３４においてポンプロータ４がステータ３２に固着しているか否かを判断する。そして、Ｔ＞ＴthとなったならばステップＳ３０からステップＳ４０へ進み、定常回転数への加速動作が自動的に開始される。

【0027】

（所定温度Ｔthの説明）
図５は、上述した所定温度Ｔthを説明する図である。図５（ａ）は、ポンプ始動後のステータ３２の熱膨張による変形、および円筒部４２の遠心力による変形の時間的変化を示す図である。曲線ＬＲはステータ３２の内周半径Ｒ（図３（ｂ）参照）を示したものであり、時刻ｔ＝０に昇温を開始し（ステータ温度は２０℃であるとする）、時刻ｔ１にステータ温度が目標温度Ｔ０に達している。時刻ｔ１以降は、ステータ温度は目標温度Ｔ０に維持される。一方、曲線Ｌｒは円筒部４２の外周半径ｒ（図３（ｂ）参照）を示したものであり、時刻ｔ１にロータ回転が開始され、時刻ｔ２にロータ回転数が定常回転数に到達している。

【0028】

ステータ３２の内周半径Ｒは、時刻ｔ＝０（ステータ温度２０℃）においてはＲ１(20)であり、時刻ｔ１（ステータ温度はＴ０）にはＲ０(T0)まで増加する。円筒部４２の外周半径ｒは、回転開始時（ｔ＝ｔ１）においてはｒ１であり、定常回転数に到達したとき（時刻ｔ２）にはｒ０まで増加する。時刻ｔ＝０におけるギャップ寸法Ｇ１（図３（ｂ）参照）はＧ１＝Ｒ１(20)−ｒ１で与えられ、時刻ｔ２における最適ギャップ寸法Ｇ０はＧ０＝Ｒ０(T0)−ｒ０で与えられる。図５（ａ）の場合には、昇温開始からポンプ使用可能状態（定常回転数、ステータ温度がＴ０）となるまでに要する時間は、昇温時間Δｔ１に加速時間Δｔ２を加えた時間となる。昇温時間Δｔ１は、ステータ３２の昇温設定温度（目標温度Ｔ０）やポンプ機種の容量（排気速度）、環境温度によって異なるが、通常は数十分から１時間程度である。

【0029】

本実施の形態では、図４において説明したように、ステータ温度Ｔが所定温度Ｔth以下の場合には、定常回転数よりも遙かに低い低速回転数（数十rps）で回転させる低速動作を行い、Ｔ＞Ｔthとなったならば定常回転数への加速動作を行うようにした。なお、所定温度Ｔthは、例えば、目標温度Ｔ０−１０℃に設定されると良い。低速回転数における円筒部４２の外周半径ｒはｒ２であり、Ｇ２（＝Ｒ１(20)−ｒ２）は回転開始時のギャップ寸法である。上記低速回転数は、ギャップ寸法Ｇ２がステータ３２と円筒部４２との接触が防止できる許容値以上となるように設定される。

【0030】

図５（ｂ）に示す例では、所定温度Ｔthとして、昇温開始から時間ｔ３が経過したときのステータ温度とした。時刻ｔ３から加速を開始すると時刻ｔ４に定常回転数となり、そのときの円筒部４２の外周半径ｒはｒ０となる。そして、時刻ｔ４におけるギャップ寸法Ｇ３が時刻ｔ＝０でのギャップ寸法Ｇ２と同程度以上となるように、時刻ｔ３すなわち所定温度Ｔthを設定する。

【0031】

破線で示す曲線Ｌｒ２は、時刻ｔ３よりも早い時刻に加速動作を開始した場合を示す。この場合、定常回転数到達時のギャップ寸法がＧ３よりも小さく、外乱等によるロータ振動により円筒部４２がステータ３２に接触するおそれがある。また、破線で示す曲線Ｌｒ１は、ステータ温度が目標温度Ｔ０に達する時刻ｔ１に、定常回転数に到達するように時刻ｔ５にロータ回転の加速開始した場合を示す。すなわち、ｔ４−ｔ３＝ｔ１−ｔ５である。

【0032】

低速回転数から加速動作へ移行する時刻を、時刻ｔ３と時刻ｔ５との間に設定することにより、昇温時間Δｔ１が経過したならば直ちにターボ分子ポンプは本排気状態となり、真空装置の処理動作を開始することが可能となる。図５（ａ）のようにステータ温度が目標温度Ｔ０となってから加速動作を開始する場合に比べて、加速時間Δｔ２だけポンプ起動時間を短縮することができる。もちろん、図５（ｂ）の時刻t４における温度をＴ(t4)としたとき、所定温度ＴthをＴ(t4)＜Ｔth≦Ｔ０のように設定しても構わない。この場合、処理可能状態となるまでの時間は昇温時間Δｔ１よりも長くなる。

【0033】

上述したように、本実施の形態では、スタートスイッチ２５ｂが操作されると、ステータ温度が所定温度Ｔthを超えるまでは、すなわち加速開始しても円筒部４２とステータ３２との接触を防止できるステータ温度となるまでは低速回転数で駆動され、所定温度Ｔthを超えると自動的に定常回転数への加速動作が開始される。そのため、オペレータは、予め決められた昇温時間を待ってからスタートスイッチ２５ｂをオン操作するという、煩わしい操作を行う必要がない。また、電源投入後のスタートスイッチ２５ｂの操作タイミングがどのようなタイミングであっても、円筒部４２とステータ３２とが接触するのを防止することができる。

【0034】

（変形例）
変形例においては、ステータ温度の状況を示す昇温情報を提示するような構成とした。具体的には、表示部２６に温度表示や昇温完了推定時間を表示したり、昇温完了表示を表示したりする。また、それらの情報（温度情報、推定時間情報、完了情報）を外部に出力するようにしても良い。昇温情報を提示することで、昇温系に異常が生じた場合に昇温情報から検知することが可能となる。また、昇温完了推定時間が分かることで、次の操作に対する準備を適切なタイミングで行うことができる。

【0035】

温度表示は温度センサ３９の出力信号に基づいて行い、温度センサ３９に基づく検出温度が目標温度Ｔ０となったならば昇温完了信号を表示部２６に表示する。また、昇温完了推定時間は、図６に示すような昇温時のステータ温度と時間との相関関係ＬＴを予め求めておき、その相関関係ＬＴを用いて昇温完了時間を推定する。図６において、縦軸は温度（℃）、横軸は時間である。また、ｔｓはヒータ通電開始時刻、Ｔｓは通電開始時のステータ温度、時刻ｔｅはステータ温度が目標温度Ｔ０となる時刻である。温度センサ３９で検出される現在（時刻ｔ１）のステータ温度がＴ１であるとすると、昇温完了推定時間ΔｔfはΔｔf＝ｔｅ−ｔ１となる。

【0036】

−第２の実施の形態−
図７，８は、本発明の第２の実施の形態を説明する図である。第２の実施の形態では、ステータ温度に応じて、円筒部４２とステータ３２とが接触しないようなロータ回転数を複数設定するようにした。図７は、ステータ温度Ｔとロータ回転数との関係の一例を示す図であり、縦軸Ｎは回転数を定常回転数に対する％で示したものである。第２の実施の形態では、ステータ温度が６０℃未満の場合には定常回転数の１０％の回転数で回転させ、ステータ温度が６０℃以上１００℃未満の場合には定常回転数の５０％の回転数で回転させ、ステータ温度が１００℃以上の場合には定常回転数（すなわち１００％の回転数）で回転させるようにした。

【0037】

図８は、第２の実施の形態における制御動作を示すフローチャートである。ステップＳ１１０では、温度制御部２４によりヒータ３８の通電が開始される。ステップＳ１２０ではスタート信号が主制御部２０に入力されたか否かを判定し、入力有り（ＹＥＳ）と判定されるとステップＳ１３０へ進む。

【0038】

ステップＳ１３０では、温度センサ３９の検出信号に基づいて、ステータ温度Ｔが６０℃未満であるか否かを判定し、Ｔ＜６０℃と判定されるとステップＳ１４０へ進み、それ以外の場合にはステップＳ１３２へ進む。ステップＳ１４０では、ロータ回転数を定常回転数の１０％に設定する。ステップＳ１５０では、加速開始から所定時間Δｔが経過したか否かを判定し、所定時間Δｔが経過するとステップＳ１５２へ進む。ステップＳ１５２では、ロータ回転数ｎがｎ＞０か否か、すなわち、ポンプロータ４が回転し始めたか否かを判定する。ステップＳ１５２でｎ＞０と判定されるとステップＳ１３０へ戻り、ｎ＝０と判定されるとステップＳ１６０へ進む。ステップＳ１６０ではロータ回転動作を停止し、続くステップＳ１７０では回転が開始されないことを報知する異常報知処理を行い、一連の処理を終了する。

【0039】

一方、ステップＳ１３０からステップＳ１３２へ進んだ場合には、ステップＳ１３２においてステータ温度Ｔが６０℃≦Ｔ＜１００℃を満足するか否かを判定する。ステップＳ１３２で６０℃≦Ｔ＜１００℃と判定されると、ステップＳ１３４へ進んでロータ回転数を定常回転数の６０％に変更し、ステップＳ１３２へ戻る。一方、ステップＳ１３２で６０℃≦Ｔ＜１００℃でないと判定されると、ステップＳ１３６へ進んでロータ回転数を定常回転数（１００％）に設定する。

【0040】

図７に示すように、ステータ温度の変化に対応させてロータ回転数を段階的に変更することにより、ステータ温度Ｔ＝Ｔ０および定常回転数の状態に達する時間を短縮することができ、ほぼ昇温時間と同程度とすることができる。

【0041】

以上説明した実施の形態では、ターボ分子ポンプ１００は、ステータ３２を目標温度Ｔ０に昇温するヒータ３８と、ステータ３２の温度を検出する温度センサ３９とを有するポンプユニット１と、制御部であるコントロールユニット２とを備える。コントロールユニット２は、ヒータ３８の通電開始後に回転開始指令が入力されると、ステータ３２の温度が目標温度Ｔ０未満に設定された所定温度Ｔthに達するまでは、ポンプロータ４の定常回転数での回転駆動を禁止し、ステータ３２の温度が所定温度Ｔthを超えると定常回転数での回転駆動を行わせる。

【0042】

このような構成としたことにより、オペレータは、ステータ３２の温度が目標温度Ｔ０に到達したのを見計らってスタート操作をするという、ポンプ始動時のスタート操作の煩わしさから解放される。さらに、所定温度Ｔthは目標温度Ｔ０未満に設定され、設定することにより、ポンプ始動に要する時間、すなわち、ヒータ通電から目標温度Ｔ０および定常回転数となるまでの時間を、（昇温時間Δｔ１＋加速時間Δｔ２）よりも短くすることができる。なお、所定温度Ｔthは、例えば、定常回転数に到達したときにポンプロータ４の円筒部４２とステータ３２とが接触しない温度に設定される。

【0043】

所定温度Ｔthに達するまでのロータ駆動制御としては、図５（ｂ）のように定常回転数よりも低い回転数でポンプロータ４を回転させても良いし、図５（ａ）の曲線Ｌｒの場合のようにポンプロータ４を停止状態としても良い。

【0044】

また、図５（ｂ）のように低回転数で回転駆動を開始させる場合において、回転開始した後にポンプロータ４が停止状態であることがコントロールユニット２の主制御部２０で判定されると、主制御部２０から異常信号を出力する構成や、表示部２６に異常であることを表示する構成とし、異常報知を行うようにしても良い。その結果、堆積物生成により円筒部４２がステータ３２に固着する等して、ポンプロータ４が回転しないことを検出することができる。

【0045】

また、図７に示すように、所定温度Ｔth（図７の場合には１００℃）以下のポンプ使用温度領域が複数の温度領域に区分され、所定回転数を高温側の温度範囲ほど大きく設定するようにしても良い。図７に示す例では、６０℃未満の温度領域ではロータ回転数は１０％とされ、より温度の高い６０℃以上１００℃未満の温度領域ではロータ回転数は５０％とされる。このように設定することで、ポンプ始動に要する時間を、昇温時間Δｔ１とほぼ同一程度まで短縮することができる。

【0046】

なお、上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。例えば、上述した実施の形態では、ベース３の外周にヒータ３８を設けたが、特許文献１に記載の発明のようにステータ３２にヒータを設けて、ステータ３２をヒータにより直接加熱するような構成としても良い。

【0047】

また、上述した実施の形態では、スタートスイッチ操作後にステータ温度が所定温度Ｔthを超えると自動的に定常回転数への加速動作を開始したが、スタートスイッチ２５ｂの操作と同時に定常回転数への加速動作を行う構成の場合にも、昇温完了信号や昇温完了推定時間を提示することで、オペレータはスタートスイッチ操作タイミングが分かりやすくなる。

【符号の説明】

【0048】

１…ポンプユニット、２…コントロールユニット、４…ポンプロータ、２０…主制御部、２１…電源部、２２…モータ制御部、２３…軸受制御部、２４…温度制御部、２５…操作部、２５ａ…電源スイッチ、２５ｂ…スタートスイッチ、２６…表示部、３２…ステータ、３８…ヒータ、３９…温度センサ、４２…円筒部、４３…回転センサ、１００…ターボ分子ポンプ、Ｍ…モータ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】