特許 6396257 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6396257

(24)【登録日】2018年9月7日

(45)【発行日】2018年9月26日

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20180913BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20180913BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65D85/30 500

【請求項の数】6

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2015-113881(P2015-113881)

(22)【出願日】2015年6月4日

(65)【公開番号】特開2017-4991(P2017-4991A)

(43)【公開日】2017年1月5日

【審査請求日】2017年10月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100144048

【弁理士】

【氏名又は名称】坂本 智弘

(74)【代理人】

【識別番号】100186679

【弁理士】

【氏名又は名称】矢田 歩

(74)【代理人】

【識別番号】100189186

【弁理士】

【氏名又は名称】大石 敏弘

(72)【発明者】

【氏名】大貫 和正

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 晃裕

【審査官】 杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−１８２９４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−０６８３６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０５２７５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１１／０９２７９９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００７／０１７５７９２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板収納容器であって、
開口を有する容器本体と、
前記開口に嵌合されて前記容器本体に一体化される蓋体と、
前記容器本体と前記蓋体の間をシールする環状のガスケットであって、前記開口の内周に向けて延出するシール形成部をもつ前記ガスケットと、
前記容器本体と前記蓋体の一方に設けられ、前記蓋体が前記容器本体に一体化された状態において前記ガスケットの前記シール形成部に接触するシール形成面と、
前記シール形成面に対向するように前記容器本体と前記蓋体の他方に設けられ、前記シール形成面に当接することで前記蓋体の、前記容器本体の奥側へ移動を規制するストッパーであって、前記蓋体に着脱可能に取り付けられる前記ストッパーと、を有し、
前記ストッパーが、前記シール形成面が前記シール形成部に接触した状態において前記シール形成面との間に隙間を有するように配置されることを特徴とする基板収納容器。

【請求項2】

基板収納容器であって、
開口を有する容器本体と、
前記開口に嵌合されて前記容器本体に一体化される蓋体と、
前記容器本体と前記蓋体の間をシールする環状のガスケットであって、前記開口の内周に向けて延出するシール形成部をもつ前記ガスケットと、
前記容器本体と前記蓋体の一方に設けられ、前記蓋体が前記容器本体に一体化された状態において前記ガスケットの前記シール形成部に接触するシール形成面と、
前記シール形成面に対向するように前記容器本体と前記蓋体の他方に設けられ、前記シール形成面に当接することで前記蓋体の、前記容器本体の奥側へ移動を規制するストッパーと、
前記容器本体の奥側に向く方向と直交する方向において前記蓋体の前記容器本体に対する位置を規制するガイドをもつ取付け部品と、を有し、
前記取付け部品が、前記ストッパーを有するとともに前記蓋体に着脱可能に取り付けられ、
前記ストッパーが、前記シール形成面が前記シール形成部に接触した状態において前記シール形成面との間に隙間を有するように配置されることを特徴とする基板収納容器。

【請求項3】

前記取付け部品が、横断面視において第１の方向の長さが第２の方向の長さよりも大きい軸部と、前記軸部の第１の端部に垂直に連結され、前記第１の方向に延出するとともに前記ストッパーを先端部にもち前記ガイドを外面にもつ第１の板部と、前記軸部の第２の端部に連結部を介して垂直に連結され、前記第２の端部に対向する第２の板部と、前記第２の板部の前記軸部側とは反対側に連結される被操作部と、を有し、
前記蓋体が、前記開口の内周に沿って形成される周壁と、前記周壁の周方向に沿って長い貫通穴であって前記第１の板部及び前記軸部を挿入可能な前記貫通穴と、前記貫通穴の周縁のうち前記軸部が挿入される部分に突出して形成される係止リブと、を有し、
前記取付け部品が、前記第１の板部及び前記軸部が前記周壁の内側から前記貫通穴に挿入されて前記第１の板部が前記周壁の外側に露出した後に、前記被操作部が第１の操作方向に回転操作されて、前記軸部の前記第２の端部と前記第２の板部とが前記係止リブを挟持することにより、前記ストッパーが前記シール形成面に対向した姿勢で前記蓋体に取り付けられる一方、前記被操作部が前記第１の操作方向とは反対側に向く第２の操作方向に回転操作されることにより、前記蓋体から取り外し可能であることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。

【請求項4】

前記貫通穴が、前記取付け部品が前記蓋体に取り付けられた状態において、前記第２の方向に沿って延出する前記第２の板部により、閉鎖されることを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。

【請求項5】

前記取付け部品が、前記ストッパーを先端部にもち前記ガイドを外面にもつ第１の板部と、前記第１の板部の基端部に直角に連結される第２の板部と、前記第２の板部の幅方向に突出して設けられる第１の係止部と、を有し、
前記蓋体が、前記開口の内周に沿って形成される周壁と、前記周壁に設けられ、前記第１の板部を挿入可能な貫通穴と、前記貫通穴に対向するように前記周壁の内側に設けられる第２の係止部と、を有し、
前記取付け部品が、前記第１の板部が前記周壁の内側から前記貫通穴に挿入されて前記周壁の外側に露出した後に、前記周壁の周方向に沿う第１の操作方向に摺動操作されて、前記第１の係止部が前記第２の係止部に係止されることにより、前記ストッパーが前記シール形成面に対向した姿勢で前記蓋体に取り付けられる一方、前記第１の操作方向とは反対側に向く第２の操作方向に摺動操作されることにより、前記蓋体から取り外し可能であることを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。

【請求項6】

前記ストッパーが、前記シール形成部の外側に配置されることを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウェーハからなる複数の基板を収納する基板収納容器に関し、リップ状のシール形成部をもつガスケットにより、容器本体と蓋体の間をシールする技術が提案されている（例えば、特許文献１参照。）

【0003】

特許文献１には、精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口正面内周と蓋体の外周のいずれか一方に切り欠き形成される嵌合保持部と、この嵌合保持部に嵌められて容器本体と蓋体との間に介在する弾性変形可能なシール部材とを備えた密封容器が開示されている。シール部材（ガスケット）は、嵌合保持部に嵌め込まれるエンドレス部と、このエンドレス部から斜めに延びる屈曲可能な突片（シール形成部）とを有し、突片が屈曲して容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面に接触することで容器本体と蓋体の間をシールする。

【0004】

また、特許文献２には、容器本体の開口部内周と蓋体のいずれか一方に、ガスケット用の収納凹部を形成した基板収納容器が開示されている。ガスケットは、収納凹部に収納される基体と、基体の周面に形成されて容器本体と蓋体との間に斜めに延びる屈曲片（シール形成部）と、基体から突出して収納凹部の内面に接触する第１の突起群及び第２の突起群とを有する。

【0005】

特許文献１，２に記載される従来の基板収納容器においては、例えば、ガスケットを蓋体側に設け、ガスケットと接触するシール形成面を容器本体の開口に設けた構成の場合、ガスケットのシール形成部が、蓋体とシール形成面との接触を防止することにより、樹脂同士（蓋体と容器本体）の接触による摩耗を防止していた。

【0006】

しかし、輸送途中の基板輸送容器における振動や衝撃が大きい場合、蓋体がガスケットをさらに圧縮する方向（容器本体の奥側に向く方向）に限度を超えて移動してしまうことがある。このように蓋体が容器本体の奥側に限度を超えて移動すると、ガスケットが損傷したり、場合によってはガスケットを挟んだまま蓋体と容器本体とが強く嵌合したりする不具合が生じる。また、蓋体と容器本体とが強く嵌合すると、ドアが開かなくなるため、蓋体開閉機がエラーで停止してしまい、生産効率が低下したり、ガスケットの各部が損傷したりするため、基板収納容器のシール性が低下するなどの問題が生じる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特許第３５５６１８５号

【特許文献2】特許第４９５３６９０号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、大きな振動や衝撃を受けても、ガスケットが蓋体と容器本体との間で必要以上に圧縮されて変形したり、損傷したり、蓋体が容器本体に強く嵌合したりすることを防止できる基板収納容器を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、以下の構成によって把握される。
（１）本発明は、基板収納容器であって、開口を有する容器本体と、前記開口に嵌合されて前記容器本体に一体化される蓋体と、前記容器本体と前記蓋体の間をシールする環状のガスケットであって前記開口の内周に向けて延出するシール形成部をもつ前記ガスケットと、前記容器本体と前記蓋体の一方に設けられ、前記蓋体が前記容器本体に一体化された状態において前記ガスケットの前記シール形成部に接触するシール形成面と、前記シール形成面に対向するように前記容器本体と前記蓋体の他方に設けられ、前記シール形成面に当接することで前記蓋体の、前記容器本体の奥側へ移動を規制するストッパーと、を有し、前記ストッパーが、前記シール形成面が前記シール形成部に接触した状態において前記シール形成面との間に隙間を有するように配置されることを特徴とする。

【0010】

（２）本発明は、（１）の構成において、前記ストッパーが、前記シール形成部の外側に配置されることを特徴とする。

【0011】

（３）本発明は、（１）又は（２）の構成において、前記容器本体の奥側に向く方向と直交する方向において前記蓋体の前記容器本体に対する位置を規制するガイドをもつ取付け部品をさらに備え、前記取付け部品が、前記ストッパーを有するとともに前記蓋体に着脱可能に取り付けられることを特徴とする。

【0012】

（４）本発明は、（３）の構成において、前記取付け部品が、横断面視において第１の方向の長さが第２の方向の長さよりも大きい軸部と、前記軸部の第１の端部に垂直に連結され、前記第１の方向に延出するとともに前記ストッパーを先端部にもち前記ガイドを外面にもつ第１の板部と、前記軸部の第２の端部に連結部を介して垂直に連結され、前記第２の端部に対向する第２の板部と、前記第２の板部の前記軸部側とは反対側に連結される被操作部と、を有し、前記蓋体が、前記開口の内周に沿って形成される周壁と、前記周壁の周方向に沿って長い貫通穴であって前記第１の板部及び前記軸部を挿入可能な前記貫通穴と、前記貫通穴の周縁のうち前記軸部が挿入される部分に突出して形成される係止リブと、を有し、前記取付け部品が、前記第１の板部及び前記軸部が前記周壁の内側から前記貫通穴に挿入されて前記第１の板部が前記周壁の外側に露出した後に、前記被操作部が第１の操作方向に回転操作されて、前記軸部の前記第２の端部と前記第２の板部とが前記係止リブを挟持することにより、前記ストッパーが前記シール形成面に対向した姿勢で前記蓋体に取り付けられる一方、前記被操作部が前記第１の操作方向とは反対側に向く第２の操作方向に回転操作されることにより、前記蓋体から取り外し可能であることを特徴とする。

【0013】

（５）本発明は、（４）の構成において、前記貫通穴が、前記取付け部品が前記蓋体に取り付けられた状態において、前記第２の方向に沿って延出する前記第２の板部により、閉鎖されることを特徴とする。

【0014】

（６）本発明は、（３）の構成において、前記取付け部品が、前記ストッパーを先端部にもち前記ガイドを外面にもつ第１の板部と、前記第１の板部の基端部に直角に連結される第２の板部と、前記第２の板部の幅方向に突出して設けられる第１の係止部と、を有し、前記蓋体が、前記開口の内周に沿って形成される周壁と、前記周壁に設けられ、前記第１の板部を挿入可能な貫通穴と、前記貫通穴に対向するように前記周壁の内側に設けられる第２の係止部と、を有し、前記取付け部品が、前記第１の板部が前記周壁の内側から前記貫通穴に挿入されて前記周壁の外側に露出した後に、前記周壁の周方向に沿う第１の操作方向に摺動操作されて、前記第１の係止部が前記第２の係止部に係止されることにより、前記ストッパーが前記シール形成面に対向した姿勢で前記蓋体に取り付けられる一方、前記第１の操作方向とは反対側に向く第２の操作方向に摺動操作されることにより、前記蓋体から取り外し可能であることを特徴とする。

【発明の効果】

【0015】

本発明の基板収納容器によれば、大きな振動や衝撃を受けても、ガスケットが蓋体と容器本体との間で必要以上に圧縮されて変形したり、損傷したり、蓋体が容器本体に強く嵌合したりすることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の斜視図である。

【図2】第１実施形態に係る容器本体の斜視図である。

【図3】第１実施形態に係る蓋体の正面図である。

【図4】第１実施形態に係る蓋体の裏面図である。

【図5】第１実施形態に係る蓋体の底面図である。

【図6】図５のＡ部拡大図である。

【図7】第１実施形態に係る取付け部品及びその周辺構造を示す斜視図である。

【図8】図６のＢ−Ｂ断面図であり、取付け部品及びその周辺構造の構成説明図である。

【図9】図６のＢ−Ｂ断面図であり、各部における荷重の受け方を説明する図である。

【図10】第１実施形態に係る取付け部品の取付け方法を説明する図であり、（ａ）は取付け部品を貫通穴に挿入する状態を示す図、（ｂ）は取付け部品を回転させる状態を示す図、（ｃ）は取付け部品の取付けが完了した状態を示す図である。

【図11】第２実施形態に係る蓋体の正面図である。

【図12】図１１のＣ矢視図であり、図６に対応する図である。

【図13】図１２のＤ−Ｄ断面図であり、取付け部品及びその周辺構造の構成説明図である。

【図14】第２実施形態に係る取付け部品の取付け方法を説明する図であり、（ａ）は取付け部品の貫通穴への挿入の仕方を説明する図、（ｂ）は取付け部品の周壁の外側方向への移動の仕方を説明する図、（ｃ）は取付け部品を摺動操作した状態を示す図、（ｄ）は取付け部品を周壁の内側方向に移動させた状態を示す図である。

【図15】第２実施形態に係る取付け部品の取付け方法を説明する図であり、第１係止部の第２係止部への係止の仕方を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」と称する）について詳細に説明する。実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。

【0018】

（第１実施形態）
まず、第１実施形態に係る基板収納容器の全体構成を図１から図４に基づいて説明する。図１に示すように、第１実施形態に係る基板収納容器１は、容器本体２の前面に開口４を有し複数の基板（図示省略）を整列させて（水平にして垂直方向に並べて）収納する容器本体２と、開口４を閉鎖する蓋体１１と、容器本体２の開口４と蓋体１１の間に設けられ、容器本体２と蓋体１１の間をシールする環状のガスケット１２と、を備える。

【0019】

以下の説明及び図中において、矢印Ｙで示される方向（以下、「Ｙ方向」と称する）は蓋体１１側から容器本体２の奥側に向く方向を示し、矢印Ｘで示される方向（以下、「Ｘ方向」と称する）はＹ方向と直交する方向であって蓋体１１の横方向を示し、矢印Ｚで示される方向（以下、「Ｚ方向」と称する）はＹ方向及びＸ方向と直交する方向であって蓋体１１の高さ方向を示す。

【0020】

図２に示すように、容器本体２の天井面２ａには、ロボティックフランジ７が着脱自在に装着される。基板収納容器１は、このロボティックフランジ７が自動の天井搬送機に保持されることにより、工程内及び工程間を搬送される。また、容器本体２の開口４の内周は、蓋体１１が開口４を閉鎖した状態においてガスケット１２のシール形成部１２ｂ（後述）に接触する環状のシール形成面４ａを有する。さらに、開口４の内周には、施錠機構１１ａの動力伝達プレート１１ａ２（後述）が挿入される複数の係合穴４ｂが設けられる。

【0021】

また、容器本体２には、その対向する内面２ｂに一対の支持部材８が設けられ、支持部材８には、基板の周縁部を水平に保持する支持部がＺ方向に一定間隔で形成されている。また、蓋体１１の裏面には、基板の周縁部を保持する保持部材１３が取り付けられる（図４参照）。

【0022】

図３に示すように、蓋体１１は、本体１１ｂと、本体１１ｂの前側を覆うカバー部材１１ｃとを備える。本体１１ｂには、施錠機構１１ａが組み込まれ、施錠機構１１ａは、図示しないキーによって回転される回転プレート１１ａ１と、この回転プレート１１ａ１に連結されてＺ方向に摺動可能な一対の動力伝達プレート１１ａ２と、を備え、キーによって回転プレート１１ａ１を回転操作することにより、動力伝達プレート１１ａ２の先端部を係合穴４ｂに挿入・係合させ、蓋体１１を容器本体２に施錠した状態で一体化することができる。

【0023】

蓋体１１の本体１１ｂは、開口４の内周に沿って形成される周壁１１ｄを有し、この周壁１１ｄには、蓋体１１のＹ方向（図１参照）への移動を規制する機能と蓋体１１のＺ方向の位置を規制する機能を兼ね備える取付け部品２０が着脱可能に取り付けられる。周壁１１ｄに設けられる取付け部品２０の個数及び配置は任意であるが、この例では、蓋体１１の本体１１ｂのＺ方向に対向する２つの辺部のそれぞれに、複数（例えば、２つ）の取付け部品２０を配置する。

【0024】

なお、容器本体２と蓋体１１は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの合成樹脂から形成することができる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどを添加して、導電性を付与することもできる。

【0025】

（取付け部品及びその周辺構造）
次に、取付け部品２０及びその周辺構造を図５から図９に基づいて説明する。ガスケット１２は、蓋体１１の本体１１ｂの内面側に設けられた嵌合保持溝１１ｂ１に着脱可能に嵌合される基体１２ａ（図８参照）と、この基体１２ａから容器本体２と蓋体１１の間に延出するリップ状のシール形成部１２ｂ（図８参照）とを有する。

【0026】

図８において、基体１２ａの表面には、その長手方向に延在する複数の凸条部１２ｃが形成されており、これら凸条部１２ｃの弾力によって嵌合保持溝１１ｂ１に対するガスケット１２の気密性が確保されている。また、嵌合保持溝１１ｂ１は、Ｚ方向と反対向きに開放する溝であり、ガスケット１２は、基体１２ａが嵌合保持溝１１ｂ１からＺ方向と反対向きに引き抜かれることで取り外し可能である。シール形成部１２ｂは、基体１２ａから斜めに湾曲しながらシール形成面４ａに向けて延出され、蓋体１１が開口４を閉塞した状態においてシール形成面４ａに接触する。これにより、開口４の内周と蓋体１１との間がシールされている。

【0027】

図５及び図６に示すように、周壁１１ｄは、Ｘ方向及びＹ方向に延びる複数の補強リブ１１ｅと、周壁１１ｄの厚み方向（Ｚ方向）に貫通する貫通穴１１ｆとを有する。貫通穴１１ｆは、周壁１１ｄの周方向に沿って長い穴であって、取付け部品２０を周壁１１ｄの内側から挿入させて周壁１１ｄの外側に露出させるとともに回転可能に支持する。貫通穴１１ｆは、取付け部品２０を回転可能に支持する円形の軸穴１１ｆ１と、軸穴１１ｆ１に連なり取付け部品２０における第１の板部２１（後述）の先端側部分を挿入可能な四角形状の挿入穴１１ｆ２とを有する。また、貫通穴１１ｆには、対向する一対の係止リブ１１ｇが形成されており、これら一対の係止リブ１１ｇは、貫通穴１１ｆの周縁のうち、取付け部品２０の軸部２２（後述）が挿入される軸穴１１ｆ１に突出して形成される。さらに、周壁１１ｄの外側であって貫通穴１１ｆのＹ方向側の近傍には、取付け部品２０の第１の凸部２１ｃ（後述）に係合する第２の凸部１１ｈが設けられる（図７参照）。

【0028】

図８に示すように、取付け部品２０は、第１の板部２１、軸部２２、第２の板部２３及び被操作部２５を有する。

【0029】

軸部２２は、その軸線をＺ方向に向けており、横断面視においてＹ方向（第１の方向）の長さＬ１（図６参照）が、Ｘ方向（第２の方向）の長さＬ２（図６参照）よりも大きく形成されている。軸部２２は、軸穴１１ｆ１に嵌合可能であり、取付け部品２０は、軸部２２と軸穴１１ｆ１の嵌合により、Ｘ方向及びＹ方向の移動が防止されている。

【0030】

図８に示すように、第１の板部２１は、軸部２２の第１の端部２２ａに垂直に連結されており、Ｙ方向に延出している。第１の板部２１は、Ｙ方向に突出するストッパー２１ａを先端部にもち、Ｚ方向と反対向きに突出するリブ状のガイド２１ｂを外面にもつ。また、第１の板部２１は、ストッパー２１ａの内側に設けられる第１の凸部２１ｃを有する。ガイド２１ｂは、開口４の内周に沿うように形成されており、開口４の内周に当接することで、Ｚ方向において、蓋体１１の容器本体２に対する位置を規制する。

【0031】

ストッパー２１ａは、蓋体１１が開口４を閉鎖し、シール形成面４ａがシール形成部１２ｂに接触した状態において、シール形成面４ａに対向し、かつ、シール形成面４ａとの間に隙間Ｃを有するように配置される。この例では、ストッパー２１ａの先端は、Ｙ方向において、シール形成部１２ｂの基端と略同じ位置にある。そして、ストッパー２１ａは、シール形成面４ａに当接することで蓋体１１のＹ方向への必要以上の移動を規制する。

【0032】

すなわち、図９に示すように、ストッパー２１ａは、蓋体１１をＹ方向に移動させる衝撃や振動を蓋体１１が受けると（矢印（１））、隙間Ｃを移動し、その先端がシール形成面４ａに当接する（矢印（２））。これにより、白抜きの矢印（３）で示す荷重がストッパー２１ａの先端に加わり、白抜きの矢印（４）で示す荷重が周壁１１ｄの一部（ここでは、貫通穴１１ｆに連なる荷重受け部１１ｉ）に加わる。したがって、ストッパー２１ａは、蓋体１１が隙間Ｃの大きさ以上にＹ方向に移動することを防止する。一方、通常の状態では、ストッパー２１ａとシール形成面４ａとの間には隙間Ｃがあるため、ガスケット１２のシール形成部１２ｂの弾性に影響を与えることがない。

【0033】

第２の板部２３は、軸部２２の第２の端部２２ｂに連結部２２ｃを介して垂直に連結され、Ｘ方向に延出する。第２の板部２３は、軸部２２の第２の端部２２ｂとの間で一対の係止リブ１１ｇを挟持することにより、取付け部品２０のＺ方向の移動を防止している。また、第２の板部２３は、貫通穴１１ｆのうち第１の板部２１が出し入れされる挿入穴１１ｆ２（図６参照）を閉塞可能である。

【0034】

被操作部２５は、第２の板部２３の軸部２２側とは反対側に連結されており、Ｙ方向と反対向きに延びる板状の摘まみ２５ａを有する。

【0035】

（第１実施形態に係る取付け部品の取付け方法）
続いて、取付け部品２０の取付け方法を図１０に基づいて説明する。図１０（ａ）に示すように、まず、取付け部品２０の第１の板部２１及び軸部２２を、周壁１１ｄの内側から外側に、貫通穴１１ｆを通じて挿入し（矢印（５））、第１の板部２１を露出させる。次に、図１０（ｂ）に示すように、被操作部２５の摘まみ２５ａを第１の操作方向に起こすように回転操作する（矢印（６））。

【0036】

これにより、図１０（ｃ）に示すように、第２の板部２３が貫通穴１１ｆの挿入穴１１ｆ２を閉塞するともに、第１の板部２１が回転し、第１の板部２１の第１の凸部２１ｃが周壁１１ｄの第２の凸部１１ｈを乗り越え（図７参照）、かつ、軸部２２の第２の端部２２ｂと第２の板部２３とが係止リブ１１ｇを挟持する。これにより、取付け部品２０は、戻り方向の回転が防止された状態で、ストッパー２１ａがシール形成面４ａに隙間Ｃを有して対向する姿勢で、蓋体１１に取り付けられる（図８参照）。

【0037】

そして、取付け部品２０を蓋体１１から取り外すときは、被操作部２５の摘まみ２５ａを第１の操作方向とは反対側に向く第２の操作方向に回転操作する（図１０（ｃ）、矢印（７））。これにより、第１の凸部２１ｃが第２の凸部１１ｈから外れるともに第２の板部２３が係止リブ１１ｇを解放するため、貫通穴１１ｆから第１の板部２１をＺ方向に引き抜くことが可能となり、取付け部品２０は、蓋体１１から取り外し可能となる。

【0038】

（第１実施形態の効果）
以上、説明した実施形態の効果について述べる。基板収納容器１によれば、大きな振動や衝撃を受けても、ストッパー２１ａにより、蓋体１１が隙間Ｃの大きさ以上にＹ方向に移動することを規制できるため、ガスケット１２が蓋体１１と容器本体２との間で必要以上に圧縮されて変形することを防止することができる。これにより、ガスケット１２やシール形成面４ａが損傷することがないので、基板収納容器１の密封性を良好に維持することができる。また、蓋体１１が容器本体２に強く嵌合することを防止できるので、蓋体開閉装置がエラーで停止するなどの不具合も防止される。したがって、蓋体開閉装置において、蓋体１１を円滑に自動で開けることができので、生産効率の向上を図ることができる。

【0039】

また、蓋体１１とは別部品である取付け部品２０にガイド２１ｂを設けたので、取付け部品２０を滑り性のよい材料（例えば、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタールなど滑り性のよい合成樹脂で、容器本体２との摩擦係数が低い材料）で構成することができる。このため、蓋体１１を容器本体２により円滑に位置決めすることができる。また、ストッパー２１ａとガイド２１ｂを１つの部品（取付け部品２０）で構成できるので、部品点数を抑えることもできる。

【0040】

さらに、ガスケット１２が嵌合保持溝１１ｂ１からＺ方向に沿って取り外されるものであり、ストッパー２１ａが、シール形成部１２ｂの外側においてシール形成部１２ｂを覆うように配置されていても、取付け部品２０が蓋体１１に着脱可能であるため、取付け部品２０を蓋体１１から取り外すことで、嵌合保持溝１１ｂ１の側方に十分な空間を確保でき、治具などを用いてガスケット１２を容易に取り外すことができる。

【0041】

加えて、取付け部品２０を蓋体１１の本体１１ｂの内側にて着脱できるようにしたので、取付け部品２０は、取り外し可能である一方、蓋体１１から容易に外れてしまうことも防止されている。

【0042】

（第２実施形態）
次に、本発明に係る第１実施形態を図１１から図１５に基づいて説明する。なお、前述した基板収納容器１（図１参照）と共通する要素には同じ符号を付して、重複する説明を省略することとする。

【0043】

前述した第１実施形態に係る基板収納容器１においては、取付け部品２０を回転操作により蓋体１１に取り付けたが、取付け部品の取付けは、回転操作以外の操作によって行われてもよい。

【0044】

例えば、図１１に示すように、第２実施形態に係る基板収納容器１Ｂでは、摺動操作によって取付け可能な取付け部品３０が周壁１１ｄに設けられる。

【0045】

図１２に示すように、周壁１１ｄは、その厚み方向（Ｚ方向）に貫通する貫通穴４１ｆを有する。貫通穴４１ｆは、取付け部品３０の第２の板部３２（後述）を摺動可能に支持するスリット状の摺動穴４１ｆ１と、取付け部品３０の第１の板部３１（後述）の外形に対応した内形を有するように摺動穴４１ｆ１よりも大きく形成される四角形状の挿入穴４１ｆ２とを有する。

【0046】

図１３に示すように、取付け部品３０は、板状の部品であって、第１の板部３１、第２の板部３２及び第３の板部３３を有する。

【0047】

第１の板部３１は、Ｙ方向に突出するストッパー３１ａを先端部にもち、Ｚ方向と反対向きに突出するリブ状のガイド３１ｂを外面にもつ。また、第１の板部３１は、Ｙ方向と反対向きに突出する突起３１ｃを有する。ガイド３１ｂは、開口４の内周に沿うように形成されており、開口４の内周に当接することで、Ｚ方向における蓋体１１の容器本体２に対する位置を規制する。

【0048】

ストッパー３１ａは、蓋体１１が開口４を閉鎖し、シール形成面４ａがシール形成部１２ｂに接触した状態において、シール形成面４ａに隙間Ｃを有して対向する。ストッパー３１ａは、前述したストッパー２１ａ（図８参照）と同様に、蓋体１１のＹ方向の移動を規制する。なお、この例では、ストッパー３１ａの先端がシール形成面４ａから受ける荷重は、突起３１ｃを介して周壁１１ｄの荷重受け部１１ｉに加わる。

【0049】

第２の板部３２は、第１の板部３１の基端部に直角に連結されており、Ｚ方向に沿って延びる。第２の板部３２の幅方向（Ｘ方向）の両側には、一対の第１の係止部３２ａが突出して設けられる。これら一対の第１の係止部３２ａに対応するように、周壁１１ｄの内側には、Ｘ方向に離間して並ぶ一対の第２の係止部４１ｇが設けられる。一対の第１の係止部３２ａは、一対の第２の係止部４１ｇによりＸ方向及びＺ方向に係止されており、これにより、取付け部品３０は、移動が防止された状態で、その位置が保持されている。

【0050】

第３の板部３３は、第２の板部３２の第１の板部３１側とは反対側に直角に連結される。第３の板部３３は、第２の板部３２に対して、第１の板部３１の屈曲方向とは反対向き（Ｙ方向と反対向き）に屈曲し、カバー部材１１ｃに向かって延びている。

【0051】

（第２実施形態に係る取付け部品の取付け方法）
続いて、取付け部品３０の取付け方法を図１４に基づいて説明する。図１４（ａ）に示すように、まず、取付け部品３０の第１の板部３１を、貫通穴４１ｆの挿入穴４１ｆ２を通じて、周壁１１ｄの内側から外側に向けて（Ｚ方向と反対向きに）挿入し（矢印（８））、第１の板部３１を露出させる。次に、図１４（ｂ）に示すように、第３の板部３３を摘むなどして、取付け部品３０を周壁１１ｄの周方向に沿う第１の操作方向（Ｘ方向）に摺動操作する（矢印（９））。

【0052】

これにより、図１４（ｃ）に示すように、第１の板部３１が摺動穴４１ｆ１のＸ方向の端部まで移動し、第１の板部３１のＹ方向における移動が摺動穴４１ｆ１によって防止される。そして、この状態から、第３の板部３３をＹ方向と反対向きに少し持ち上げながら取付け部品３０をＺ方向に移動させる（図１５参照）。

【0053】

すると、図１４（ｄ）に示すように、取付け部品３０側の一対の第１の係止部３２ａが、蓋体１１側の一対の第２の係止部４１ｇを乗り越えるため、取付け部品３０は、Ｘ方向及びＺ方向においても移動が防止される。これにより、取付け部品３０は、移動が防止され、かつ、第１の板部３１のストッパー３１ａがシール形成面４ａに隙間Ｃを有して対向する姿勢で、蓋体１１に取り付けられる（図１３参照）。

【0054】

一方、取付け部品３０を蓋体１１から取り外すときは、一対の第１の係止部３２ａを一対の第２の係止部４１ｇから外しながら、第３の板部３３を第１の操作方向とは反対側に向く第２の操作方向（Ｘ方向と反対向き）に摺動操作する（図１４（ｄ）、矢印（１０））。これにより、取付け部品３０は、その第１の板部３１が貫通穴４１ｆから引き抜き可能となり、蓋体１１から取り外される。

【0055】

（第２実施形態の効果）
この第２実施形態に係る基板収納容器１Ｂにおいても、前述した基板収納容器１と同様に、大きな振動や衝撃を受けても、ストッパー３１ａにより、蓋体１１が隙間Ｃの大きさ以上にＹ方向に移動することを規制できるため、ガスケット１２が蓋体１１と容器本体２との間で必要以上に圧縮されて変形することを防止することができる。また、蓋体１１が容器本体２に強く嵌合することを防止することができる。

【0056】

以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またそのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

【0057】

例えば、実施形態では、容器本体２側にシール形成面４ａが設けられ、蓋体１１側にストッパー２１ａ，３１ａが設けられる構成を示したが、蓋体１１側にシール形成面が設けられ、容器本体２側にストッパーが設けられてもよく、要は、容器本体２と蓋体１１のうち、一方にシール形成面が設けられ、他方にストッパーが設けられる構成であればよい。また、実施形態では、ストッパーとガイドを１つの部品（取付け部品２０，３０）で構成したが、ストッパーとガイドは、それぞれ別の部品で構成することもできる。

【符号の説明】

【0058】

１ 基板収納容器
１Ｂ 基板収納容器
２ 容器本体
４ 開口
４ａ シール形成面
１１ 蓋体
１１ｄ 周壁
１１ｆ 貫通穴
１１ｆ１ 軸穴（軸部が挿入される部分）
１１ｇ 係止リブ
１２ ガスケット
１２ａ 基体
１２ｂ シール形成部
２０ 取付け部品
２１ 第１の板部
２１ａ ストッパー
２１ｂ ガイド
２２ 軸部
２２ａ 第１の端部
２２ｂ 第２の端部
２２ｃ 連結部
２３ 第２の板部
２５ 被操作部
３０ 取付け部品
３１ 第１の板部
３１ａ ストッパー
３１ｂ ガイド
３２ 第２の板部
３２ａ 第１の係止部
３３ 第３の板部
４１ｆ 貫通穴
４１ｇ 第２の係止部
Ｃ 隙間
Ｌ１ 長さ（第１の方向）
Ｌ２ 長さ（第２の方向）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】