特許 6397717 顕微鏡結像レンズ、顕微鏡装置、及び、撮像光学系

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6397717

(24)【登録日】2018年9月7日

(45)【発行日】2018年9月26日

(54)【発明の名称】顕微鏡結像レンズ、顕微鏡装置、及び、撮像光学系

(51)【国際特許分類】

   G02B 21/02 20060101AFI20180913BHJP

【ＦＩ】

   G02B21/02

【請求項の数】17

【全頁数】36

(21)【出願番号】特願2014-207624(P2014-207624)

(22)【出願日】2014年10月8日

(65)【公開番号】特開2016-75860(P2016-75860A)

(43)【公開日】2016年5月12日

【審査請求日】2017年7月19日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000376

【氏名又は名称】オリンパス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100074099

【弁理士】

【氏名又は名称】大菅 義之

(72)【発明者】

【氏名】古屋 陽

【審査官】 堀井 康司

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許第０５５００７７０（ＵＳ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２３４０５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２２２０７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｂ ９／００−１７／０８

Ｇ０２Ｂ ２１／０２−２１／０４

Ｇ０２Ｂ ２５／００−２５／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する、顕微鏡結像レンズであって、物体側から順に、
接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、
負のパワーを有する接合レンズからなる第２レンズ群と、
各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成され、
ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの入射瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３
を満たすことを特徴とする結像レンズ。

【請求項2】

請求項１に記載の結像レンズにおいて、
ＦＬＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ＦＬＧ２を前記第２レンズ群の焦点距離とし、Ｄ０を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記拡大像が形成される像面までの距離とし、Ｄ１を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの最も像側のレンズ面までの距離とするとき、以下の条件式
０．３ ＜ ＦＬＧ１／ＦＬ ＜ ３
−４ ＜ ＦＬＧ２／ＦＬ ＜ −０．０５
０．３ ＜ Ｄ１／Ｄ０ ＜ ０．８
を満たすことを特徴とする結像レンズ。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズ群は、像側に凹面を向けた第１レンズを含み、
前記第２レンズ群は、物体側に凹面を向けた第２レンズを含む
ことを特徴とする結像レンズ。

【請求項4】

請求項３に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズは、前記第１レンズ群の最も像側に配置された、像側に凹面を向けた、単レンズ又は接合レンズからなる、メニスカスレンズであり、
前記第２レンズは、前記第２レンズ群の最も物体側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズである
ことを特徴とする結像レンズ。

【請求項5】

請求項４に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズと前記第２レンズは、合計で４枚以上レンズからなり、
前記第１レンズと前記第２レンズの少なくとも一方は、接合レンズからなる
ことを特徴とする結像レンズ。

【請求項6】

請求項５に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズと前記第２レンズは、それぞれ接合レンズである
ことを特徴とする結像レンズ。

【請求項7】

請求項４に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズと前記第２レンズの少なくとも一方は、正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズであり、
νｌを当該接合レンズに含まれる正のパワーを有する前記レンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓを当該接合レンズに含まれる負のパワーを有する前記レンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式
３０＜νｌ−νｓ
を満たすことを特徴とする結像レンズ。

【請求項8】

請求項６に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズと前記第２レンズは、それぞれ正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズであり、
νｌ１を前記第１レンズ又は前記第２レンズの一方である第１接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓ１を前記第１接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とし、νｌ２を前記第１レンズ又は前記第２レンズの他方である第２接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓ２を前記第２接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式
３０＜νｌ１−νｓ１
２５＜νｌ２−νｓ２
を満たすことを特徴とする結像レンズ。

【請求項9】

請求項３乃至請求項８のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
ＲＧ１を前記第１レンズの像側に向けた前記凹面の曲率半径とし、ＲＧ２を前記第２レンズの物体側に向けた前記凹面の曲率半径とし、ＮｄＧ２を前記第２レンズのd線に対する屈折率又は前記第２レンズを構成する最も物体側のレンズのd線に対する屈折率とし、νｄＧ１を前記第１レンズ群に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数とするとき、以下の条件式
０ ＜ ｜ＲＧ２／ＲＧ１｜ ＜ ３
１．５ ＜ ＮｄＧ２
７０ ＜ νｄＧ１
を満たすことを特徴とする結像レンズ。

【請求項10】

請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズを含む
ことを特徴とする結像レンズ。

【請求項11】

請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、
最も物体側に配置された、正のパワーを有する第３レンズと、
最も像側に配置された、正のパワーを有する第４レンズと、を含み、
ＦＬＧ３ａを前記第３レンズの焦点距離とし、ＦＬＧ３ｂを前記第４レンズの焦点距離とするとき、以下の条件式
０．２＜ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＜５
を満たすことを特徴とする結像レンズ。

【請求項12】

請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
ＮｄＧ３を前記第３レンズ群に含まれるレンズの屈折率のうち最も大きい屈折率とし、
νｄＧ３を前記第３レンズ群に含まれるレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式
１．７＜ＮｄＧ３
νｄＧ３＜４５
を満たすことを特徴とする結像レンズ。

【請求項13】

請求項１乃至請求項１２のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
Ｈａを軸外の主光線が前記結像レンズの最も物体側のレンズ面に入射するときの光線高とし、Ｈｉを前記軸外の主光線が前記拡大像が形成される像面に入射するときの光線高とするとき、以下の条件式
０．３ ＜ Ｈａ／Ｈｉ ＜ １
を満たすことを特徴とする結像レンズ。

【請求項14】

請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載の結像レンズにおいて、
Ｅａを前記第１レンズ群に含まれるレンズの最大有効径とし、Ｅｃを前記第３レンズ群に含まれるレンズの最大有効径とするとき、以下の条件式
−０．０４＜（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＜０．０３
を満たすことを特徴とする結像レンズ。

【請求項15】

請求項１乃至請求項１４のいずれか１項に記載の結像レンズを備える
ことを特徴とする顕微鏡装置。

【請求項16】

請求項１５に記載の顕微鏡装置において、さらに、
前記結像レンズが形成する前記物体の拡大像を撮像する撮像素子を含み、
Ｌを前記撮像素子の画素サイズとするとき、以下の条件式
１μｍ≦Ｌ≦１７μｍ
を満たすことを特徴とする顕微鏡装置。

【請求項17】

無限遠補正型の対物レンズと、
顕微鏡結像レンズと、を備え、
前記顕微鏡結像レンズは、物体側から順に、
接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、
負のパワーを有する接合レンズからなる第２レンズ群と、
各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成され、
ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの入射瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３
を満たすことを特徴とする撮像光学系。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、顕微鏡結像レンズ、顕微鏡装置、及び、撮像光学系に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、撮像素子の高画素化が著しく、顕微鏡分野においても、広視野と高解像とを両立した観察及び画像取得が可能な顕微鏡装置への期待が高まっている。例えば、このような顕微鏡装置をバーチャルスライドに応用すると、スキャンスピードの高速化が可能になる。また、脳研究等の分野に応用すると、リアルタイムに脳全体を見つつその中の細胞の詳細な観察が可能になる。

【0003】

このような顕微鏡装置を実現するためには、広い視野を持つ対物レンズが使用されるので、このような対物レンズの性能を十分に発揮することが可能な結像レンズが望まれる。結像レンズについては、例えば、特許文献１に記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平０４−０９３９１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載の結像レンズは、像面湾曲とコマ収差の補正が十分ではない。このため、この結像レンズを備えた顕微鏡装置では、視野周辺部における高解像の実現が困難である。また、開口数を大きくしようとすればするほど、軸外収差に起因した性能の劣化が顕著となる。このため、広視野と高解像の両立は困難である。

【0006】

以上のような実情を踏まえ、本発明は、広い視野を持つ対物レンズに対応可能で、良好な光学性能をもつ顕微鏡結像レンズ、及び、それを備えた顕微鏡装置及び撮像光学系の技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の第１の態様は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する、顕微鏡結像レンズであって、物体側から順に、接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、負のパワーを有する接合レンズからなる第２レンズ群と、各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成され、ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの入射瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３

【0008】

本発明の第２の態様は、第１の態様に記載の結像レンズにおいて、ＦＬＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ＦＬＧ２を前記第２レンズ群の焦点距離とし、Ｄ０を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記拡大像が形成される像面までの距離とし、Ｄ１を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの最も像側のレンズ面までの距離とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．３ ＜ ＦＬＧ１／ＦＬ ＜ ３
−４ ＜ ＦＬＧ２／ＦＬ ＜ −０．０５
０．３ ＜ Ｄ１／Ｄ０ ＜ ０．８

【0009】

本発明の第３の態様は、第１の態様又は第２の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズ群は、像側に凹面を向けた第１レンズを含み、前記第２レンズ群は、物体側に凹面を向けた第２レンズを含む結像レンズを提供する。

【0010】

本発明の第４の態様は、第３の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズは、前記第１レンズ群の最も像側に配置された、像側に凹面を向けた、単レンズ又は接合レンズからなる、メニスカスレンズであり、前記第２レンズは、前記第２レンズ群の最も物体側に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズである結像レンズを提供する。

【0011】

本発明の第５の態様は、第４の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズと前記第２レンズは、合計で４枚以上レンズからなり、前記第１レンズと前記第２レンズの少なくとも一方は、接合レンズからなる結像レンズを提供する。

【0012】

本発明の第６の態様は、第５の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズと前記第２レンズは、それぞれ接合レンズである結像レンズを提供する。

【0013】

本発明の第７の態様は、第４の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズと前記第２レンズの少なくとも一方は、正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズであり、νｌを当該接合レンズに含まれる正のパワーを有する前記レンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓを当該接合レンズに含まれる負のパワーを有する前記レンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
３０＜νｌ−νｓ

【0014】

本発明の第８の態様は、第６の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズと前記第２レンズは、それぞれ正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズであり、νｌ１を前記第１レンズ又は前記第２レンズの一方である第１接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓ１を前記第１接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とし、νｌ２を前記第１レンズ又は前記第２レンズの他方である第２接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数とし、νｓ２を前記第２接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
３０＜νｌ１−νｓ１
２５＜νｌ２−νｓ２

【0015】

本発明の第９の態様は、第３の態様乃至第８の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、ＲＧ１を前記第１レンズの像側に向けた前記凹面の曲率半径とし、ＲＧ２を前記第２レンズの物体側に向けた前記凹面の曲率半径とし、ＮｄＧ２を前記第２レンズのd線に対する屈折率又は前記第２レンズを構成する最も物体側のレンズのd線に対する屈折率とし、νｄＧ１を前記第１レンズ群に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０ ＜ ｜ＲＧ２／ＲＧ１｜ ＜ ３
１．５ ＜ ＮｄＧ２
７０ ＜ νｄＧ１

【0016】

本発明の第１０の態様は、第１の態様乃至第９の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、前記第３レンズ群は、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズを含む結像レンズを提供する。

【0017】

本発明の第１１の態様は、第１の態様乃至第１０の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、前記第３レンズ群は、最も物体側に配置された、正のパワーを有する第３レンズと、最も像側に配置された、正のパワーを有する第４レンズと、を含み、ＦＬＧ３ａを前記第３レンズの焦点距離とし、ＦＬＧ３ｂを前記第４レンズの焦点距離とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．２＜ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＜５

【0018】

本発明の第１２の態様は、第１の態様乃至第１１の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、ＮｄＧ３を前記第３レンズ群に含まれるレンズの屈折率のうち最も大きい屈折率とし、νｄＧ３を前記第３レンズ群に含まれるレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
１．７＜ＮｄＧ３
νｄＧ３＜４５

【0019】

本発明の第１３の態様は、第１の態様乃至第１２の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、Ｈａを軸外の主光線が前記結像レンズの最も物体側のレンズ面に入射するときの光線高とし、Ｈｉを前記軸外の主光線が前記拡大像が形成される像面に入射するときの光線高とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．３＜ Ｈａ／Ｈｉ ＜ １

【0020】

本発明の第１４の態様は、第１の態様乃至第１３の態様のいずれか１つに記載の結像レンズにおいて、Ｅａを前記第１レンズ群に含まれるレンズの最大有効径とし、Ｅｃを前記第３レンズ群に含まれるレンズの最大有効径とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
−０．０４＜（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＜０．０３

【0021】

本発明の第１５の態様は、第１の態様乃至第１４の態様のいずれか１つに記載の結像レンズを備える顕微鏡装置を提供する。

【0022】

本発明の第１６の態様は、第１５の態様に記載の顕微鏡装置において、さらに、前記結像レンズが形成する前記物体の拡大像を撮像する撮像素子を含み、Ｌを前記撮像素子の画素サイズとするとき、以下の条件式を満たす顕微鏡装置を提供する。
１μｍ≦Ｌ≦１７μｍ

【0023】

本発明の第１７の態様は、無限遠補正型の対物レンズと、顕微鏡結像レンズと、を備え、前記顕微鏡結像レンズは、物体側から順に、接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、負のパワーを有する接合レンズからなる第２レンズ群と、各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成され、ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記結像レンズの最も物体側のレンズ面から前記結像レンズの入射瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式を満たす撮像光学系を提供する。
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３

【発明の効果】

【0025】

本発明によれば、広い視野を持つ対物レンズに対応可能で、良好な光学性能をもつ顕微鏡結像レンズ、及び、それを備えた顕微鏡装置及び撮像光学系の技術を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置の構成を例示した図である。

【図2】本発明の実施例１に係る結像レンズの断面図である。

【図3】図２に例示される結像レンズの収差図である。

【図4】本発明の実施例２に係る結像レンズの断面図である。

【図5】図４に例示される結像レンズの収差図である。

【図6】本発明の実施例３に係る結像レンズの断面図である。

【図7】図６に例示される結像レンズの収差図である。

【図8】本発明の実施例４に係る結像レンズの断面図である。

【図9】図８に例示される結像レンズの収差図である。

【図10】本発明の実施例５に係る結像レンズの断面図である。

【図11】図１０に例示される結像レンズの収差図である。

【図12】本発明の実施例６に係る結像レンズの断面図である。

【図13】図１２に例示される結像レンズの収差図である。

【図14】本発明の実施例７に係る結像レンズの断面図である。

【図15】図１４に例示される結像レンズの収差図である。

【図16】本発明の実施例８に係る結像レンズの断面図である。

【図17】図１６に例示される結像レンズの収差図である。

【図18】本発明の実施例９に係る結像レンズの断面図である。

【図19】図１８に例示される結像レンズの収差図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

図１は、本発明の一実施形態に係る顕微鏡装置１００の構成を示す概略図である。図１に例示される顕微鏡装置１００は、顕微鏡本体２と、光ファイバー４を介して顕微鏡本体２に接続される光源装置３と、対物レンズ８及び結像レンズ１を含む撮像光学系と、撮像素子９を内蔵したデジタルカメラと、を備えている。顕微鏡装置１００は、さらに、ステージ５を対物レンズ８の光軸と直交する方向に移動させるためのＸＹハンドル６と、ステージ５を対物レンズ８の光軸と平行な方向に移動させるためのＺハンドル７を備えている。また、顕微鏡装置１００は、図示しない接眼レンズを備えてもよい。

【0028】

対物レンズ８は、無限遠補正型の顕微鏡対物レンズである。対物レンズ８は、広視野（即ち、低倍率且つ大きな視野数）で大きな開口数を有するように構成されている。

【0029】

結像レンズ１は、対物レンズ８と組み合わせて物体（標本Ｓ）の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１は、収差が良好に補正され、且つ、大きな視野数と大きな開口数を有するように構成されている。

【0030】

撮像素子９は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）などであり、対物レンズ８及び結像レンズ１により拡大像が形成される像面に配置される。

【0031】

撮像素子９は、対物レンズ８及び結像レンズ１が有する広い視野数が十分に生かされるように、サイズの大きなものが望ましい。また、対物レンズ８及び結像レンズ１による高い結像性能が十分に発揮されるように、高精細なものが望ましく、例えば、その画素サイズＬ（つまり、各画素の一辺の長さ）が１μｍから１７μｍであるものが望ましい。これは、１７μｍを上回ると、ナイキスト周波数が撮像光学系のカットオフ周波数を下回ってしまい、その結果、撮像光学系の解像性能が十分に発揮されないからである。また、１μｍを下回ると、撮像光学系のカットオフ周波数を越えてナイキスト周波数は大きくなりすぎてしまい、撮像素子の解像性能が十分に発揮されないからである。

【0032】

顕微鏡装置１００では、ステージ５上に配置された標本Ｓは、光源装置３から出射し光ファイバー４を介して入射した光によって照明される。照明された標本Ｓは、対物レンズ８及び結像レンズ１により撮像素子９に拡大して投影され、対物レンズ８及び結像レンズ１により形成された標本Ｓの拡大像が撮像素子９で撮像される。また、顕微鏡装置１００が接眼レンズを有している場合であれば、標本Ｓの拡大像がその接眼レンズを介して観察される。
以上のように構成された顕微鏡装置１００によれば、広視野と高解像とを両立した観察及び画像取得を行うことができる。

【0033】

次に、結像レンズ１の構成及び作用について詳細に説明する。
結像レンズ１は、すでに上述したように、対物レンズ８と組み合わせて物体（標本Ｓ）の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズであり、対物レンズ８からの無限遠光束を撮像素子９が配置された像面に集光する。結像レンズ１は、物体側から順に、接合レンズを含む、正のパワーを有する第１レンズ群と、負のパワーを有する第２レンズ群と、各々が正のパワーを有する複数のレンズからなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成されている。

【0034】

第１レンズ群は、その正のパワーにより、対物レンズからの平行光束を収斂光束に変換して軸外光線高を下げる役割と、第１レンズ群に含まれる接合レンズにより、球面収差と軸上色収差を補正する役割と、を主に担っている。

【0035】

第２レンズ群は、その負のパワーにより、第１レンズ群からの収斂光束を発散方向に屈折させてその収斂度合いを弱めることで、第３レンズ群に向かって光線高を上げながら、光線を出射する。

【0036】

第３レンズ群は、複数枚の正レンズにより、第１レンズ群及び第２レンズ群で発生した倍率色収差や歪曲収差を補正して、軸上収差と軸外収差のバランスを取る役割と、全体として有する正のパワーにより、像面に光線を集光させる役割と、を主に担っている。なお、軸外主光線は、第３レンズ群で最も高くなる。

【0037】

結像レンズ１は、レンズ群構成を正−負−正で構成し、第２レンズ群を負のパワーを有するレンズ群とすることで、球面収差、非点収差、コマ収差、及び、ペッツバール和を良好に補正することができる。また、このような構成では、対物レンズの射出瞳位置から結像レンズ１までの距離を長くしても像側で高いテレセントリック性を維持することができるため、軸上収差と軸外収差を良好に補正することができる。さらに、像面湾曲と非点収差も補正されるため、中心から周辺まで均質で且つ広視野をカバーした像を像面に形成することができる。

【0038】

さらに、コマ収差については、第１レンズ群及び第２レンズ群よりも軸外光線高が高くなる第３レンズ群で発生しやすいことから、第３レンズ群でのコマ収差の発生量を小さく抑えることが結像レンズ１全体のコマ収差の良好な補正に極めて重要である。この点について、結像レンズ１は、第３レンズ群が正のパワーを有する複数枚のレンズを含むことで、第３レンズ群全体で所定の正のパワーを実現しつつ、それら正のパワーを有する各レンズの曲率半径を比較的大きなものとすることができる。これにより、軸外マージナル光線のレンズ面への入射角及びレンズでの屈折角が大きくなりすぎることを防止することができる。その結果、第３レンズ群でのコマ収差の発生量が十分に抑制されるため、結像レンズ１のコマ収差を良好に補正することが可能となる。

【0039】

以下、結像レンズ１の望ましい構成について説明する。
第１レンズ群は、像側に凹面を向けたレンズ（以降、第１レンズと記す）を含むことが望ましい。結像レンズ１が第１レンズ群内に第１レンズを含むことで、第１レンズ群によって平行光束から変換された収斂光束が第１レンズの像側に向けた凹面へ入射するとき、その収斂光束の入射角度は小さくなる。このため、この凹面が有する負のパワーが、第１レンズ群で発生する球面収差、コマ収差及び非点収差を抑えるように作用する。また、凹面が有する負のパワーは、ペッツバール和の低減にも寄与する。

【0040】

さらに、第１レンズ群に含まれる第１レンズは、像側に凹面を向けた単レンズ又は接合レンズからなるメニスカスレンズであることが望ましく、第１レンズ群の最も像側に配置されることが更に望ましい。この場合、対物レンズ８からの平行光束は、第１レンズ群において、第１レンズに入射する前に収斂光束に変換され、第１レンズに入射する。第１レンズがメニスカスレンズであれば、物体側の面は凸面であり、その面への入射角は小さくなるため、第１レンズの凸面で発生する球面収差、コマ収差、非点収差を低減することができる。また、第１レンズ群の正パワーを、第１レンズより物体側のレンズ又はレンズ群（以降、第１ａレンズ群と記す。）と第１レンズの凸面に分散させることができるため、第１レンズ群の各面での光線の曲がりを緩やかにすることができる。これにより、第１レンズ群での球面収差の発生量を抑えることができる。このような第１レンズを含む構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく、視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好なコマ収差の補正に寄与し得る。

【0041】

第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズ（以降、第２レンズと記す）を含むことが望ましい。結像レンズ１が第２レンズ群内に第２レンズを含むことで、第１レンズ群から出射されて第２レンズ群に入射する収斂光束が第２レンズの物体側に向けた凹面へ入射するとき、その収斂光束の入射角度が大きくなる。このため、この凹面が有する負のパワーが、収斂光束に対して強く作用し、第１レンズ群で発生した球面収差、コマ収差及び非点収差と相殺する方向に収差を発生させる。

【0042】

さらに、第２レンズ群に含まれる第２レンズは、物体側に凹面を向けた単レンズ又は接合レンズからなるメニスカスレンズであることが望ましく、第２レンズ群の最も物体側に配置されることが更に望ましい。上述したように、第２レンズ群は第３レンズ群に向かって軸外主光線高を上げていく役割を有している。第２レンズの像側の面が平面又は凹面であると、第２レンズから出射した光線の光線高が急激に上がってしまう。これにより、第３レンズ群へ入射する軸外主光線の角度が付きすぎてしまうため、第３レンズ群での軸外収差(コマ収差、倍率色収差)の発生量が大きくなってしまう。このため、第３レンズ群での軸外収差の発生を抑えるためには、第２レンズは物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであることが望ましい。また、第２レンズ群はメニスカスレンズのみから構成されていてもよい。このような第２レンズを含む構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく、視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好なコマ収差及び倍率色収差の補正に寄与し得る。

【0043】

従って、第１レンズ群内に第１レンズを含み、且つ、第２レンズ群内に第２レンズを含む結像レンズ１の構成は、第１レンズ群を介して第２レンズ群から出射された光に生じている球面収差、コマ収差、非点収差量をより少なく抑えることを可能とし、像面湾曲をより良好に補正することができるという点で望ましい。

【0044】

また、第１レンズと第２レンズは、負のパワーを有する凹面で、正のパワーを有する第１ａレンズ群で生じた軸上色収差及び倍率色収差とは反対の方向に軸上色収差及び倍率色収差を生じさせて、色収差を補正する役割も担っている。このため、第１レンズと第２レンズは、色収差を効果的に打ち消して補正するために、合計で４枚以上からなり、少なくとも一方が接合レンズからなることが望ましい。第１レンズと第２レンズの両方が接合レンズであれば更に望ましい。このような第１レンズ及び第２レンズを含む構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく、視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好な倍率色収差の補正に寄与し得る。

【0045】

なお、第３レンズ群内など、他の場所に接合レンズを入れた場合も、正パワーで発生する色収差を小さくして色収差のバランスをとることは可能である。ただし、その場合、軸外主光線やマージナル光線の光線高が高いため、細かな色収差の調整が困難である。このため、収差補正のために多くのレンズが必要となり、結像レンズ１を構成するレンズ枚数が増加してしまう。

【0046】

第３レンズ群は、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズを含むことが望ましい。これにより、第２レンズ群から光線高を上げながら入射する軸外主光線がそのメニスカスレンズに入射するときの入射角が抑えられる。これにより、非点収差を補正しつつコマ収差を良好に補正することが可能となる。

【0047】

以下、結像レンズ１が満たす条件について説明する。
結像レンズ１は、下記の条件式（４）を満たすように構成されている。
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３ ・・・（４）

【0048】

但し、ＦＬは、結像レンズ１の焦点距離であり、Ｄ２は、結像レンズ１の最も物体側のレンズ面（対物レンズ８に最も近いレンズ面）から結像レンズ１の入射瞳位置（対物レンズ８の射出瞳位置）までの距離である。なお、顕微鏡用の結像レンズは、結像レンズの入射瞳位置が対物レンズの射出瞳位置と同じ位置に成るように配置されるのが通常である。このため、以降では、結像レンズの入射瞳位置と対物レンズの射出瞳位置は実質的に同じ位置を指すものとして説明する。

【0049】

条件式（４）は、結像レンズ１の入射瞳位置（対物レンズ８の射出瞳位置）が結像レンズ１の物体側に位置する場合に、軸上球面収差と、軸外光線のコマ収差及び非点収差と、を良好に補正するための条件を示している。また、条件式（４）を満たすことで、結像レンズ１は、高いテレセントリック性を実現することができるため、結像レンズ１から出射される光線をＣＣＤイメージセンサなどの撮像素子にとって好適な状態（つまり、光軸と略平行な状態）で出射することができる。結像レンズ１は、少なくとも条件式（４）を満たすことで、広い視野の対物レンズに対応可能で、良好な光学性能を実現することができる。

【0050】

条件式（４）でＤ２／ＦＬが上限値を超えると、結像レンズ１の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）が第１レンズ群から遠くなりすぎる。このため、第１レンズ群に入射する際の軸外の光線高が極端に高くなり、球面収差や軸外光線のコマ収差及び非点収差が大きくなる。また、像側のテレセントリック性も低下する。さらに、結像レンズ１の外径も大きくなるため、製造性も低下する。一方、Ｄ２／ＦＬが下限値を下回ると、結像レンズ１の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）が第１レンズ群に近くなりすぎる。このため、第１レンズ群に入射する際の軸外の光線高が十分に高くならない。従って、軸外のコマ収差及び非点収差が良好に補正することが困難となる。また、像側のテレセントリック性も低下する。

【0051】

以下、結像レンズ１が満たすことが望ましい条件について説明する。
結像レンズ１は、下記の条件式を満足することが望ましい。
０．３ ＜ ＦＬＧ１／ＦＬ ＜ ３ ・・・（５）
−４ ＜ ＦＬＧ２／ＦＬ ＜ −０．０５ ・・・（６）
０．３ ＜ Ｄ１／Ｄ０ ＜ ０．８ ・・・（７）

【0052】

但し、ＦＬＧ１は、第１レンズ群の焦点距離であり、ＦＬＧ２は、第２レンズ群の焦点距離である。また、Ｄ０は、結像レンズ１の最も物体側のレンズ面から拡大像が形成される像面までの距離であり、Ｄ１は、結像レンズ１の最も物体側のレンズ面から結像レンズ１の最も像側のレンズ面までの距離である。

【0053】

条件式（５）は、第１レンズ群の焦点距離と全体の焦点距離との関係を規定する式である。条件式（６）は、第２レンズ群の焦点距離と全体の焦点距離との関係を規定する式である。条件式（５）及び条件式（６）を満たすことで、結像レンズ１の第１レンズ群と第２レンズ群のパワー配分が適正な状態となる。これにより、結像レンズ１は、結像レンズ１全体で球面収差とコマ収差をより良好に補正し、且つ、第２レンズ群の負のパワーによりペッツバール和を低減して像面湾曲をより良好に補正することができる。特に、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きくまた視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避けるためには、より良好な像面湾曲とコマ収差の補正が重要である。このため、条件式（５）及び（６）を満たすことが望ましい。

【0054】

条件式（５）でＦＬＧ１／ＦＬが上限値を超えると、結像レンズ１全体のパワーに対して第１レンズ群のパワーが弱くなりすぎる。このため、第２レンズ群を含む他のレンズ群のパワーも同様に、結像レンズ全体のパワーに対して弱くなる。これにより、ペッツバール和が大きくなり、像面湾曲、コマ収差が悪化する。一方、ＦＬＧ１／ＦＬが下限値を下回ると、結像レンズ１全体のパワーに対して第１レンズ群のパワーが強くなりすぎる。これにより、他のレンズ群のパワーも同様に、結像レンズ全体のパワーに対して強くなるため、球面収差、コマ収差が悪化する。また、各レンズ群のパワーが強く、偏心敏感度が高いため、わずかなレンズの偏心により諸収差が悪化してしまう。

【0055】

条件式（６）でＦＬＧ２／ＦＬが上限値を超えると、結像レンズ１全体のパワーに対して第２レンズ群のパワーが強くなりすぎる。これにより、他のレンズ群のパワーも同様に、結像レンズ全体のパワーに対して強くなるため、球面収差、コマ収差が悪化する。また、各レンズ群のパワーが強く、偏心敏感度が高いため、わずかなレンズの偏心により諸収差が悪化してしまう。一方、ＦＬＧ２／ＦＬが下限値を下回ると、結像レンズ１全体のパワーに対して第２レンズ群のパワーが弱くなりすぎる。これにより、ペッツバール和が大きくなり、像面湾曲、コマ収差が悪化する。

【0056】

条件式（７）は、結像レンズ１の最も物体側のレンズ面（対物レンズ８に最も近い結像レンズ１のレンズ面（以降、第１面と記す。））から結像位置である像面までの距離と、第１面から結像レンズ１の最も像側のレンズ面（像面に最も近い結像レンズのレンズ面（以降、最終面と記す。））までの距離である結像レンズ１全長との関係を規定する式である。条件式（７）を満たすことで、結像レンズ１は、全長を極端に長くすることなく、像面における球面収差、コマ収差及び非点収差を良好に補正し、且つ、像側で高いテレセントリック性を実現することができる。特に、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きくまた視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避けるためには、より良好な像面湾曲とコマ収差の補正が重要である。このため、条件式（７）を満たすことが望ましい。

【0057】

条件式（７）でＤ１／Ｄ０が上限値を超えると、第３レンズ群から結像位置までの距離が短くなりすぎる。このため、結像レンズ１の像側に配置される、撮像素子、光路分割素子、及び、同焦調整機構などの配置が困難になってしまう。一方、Ｄ１／Ｄ０が下限値を下回ると、第１レンズ群から第３レンズ群までの距離が短くなりすぎるため、球面収差やコマ収差の補正が困難となる。また、球面収差やコマ収差が補正された場合であっても、各レンズ群のパワーが強くなりすぎるため、レンズ群の偏心敏感度が上昇し、わずかなレンズの偏心により諸収差の悪化が生じてしまう。

【0058】

結像レンズ１は、第１レンズ群が最も像側に、像側に凹面を向けたメニスカスレンズからなる第１レンズを含み、第２レンズ群が最も物体側に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズからなる第２レンズを含むとき、以下の条件式を満足することが望ましい。
３０＜νｌ−νｓ ・・・（８）
３０＜νｌ１−νｓ１ ・・・（９）
２５＜νｌ２−νｓ２ ・・・（１０）

【0059】

ただし、第１レンズと第２レンズの少なくとも一方が正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズ（即ち、色消しレンズ）であるとき、νｌは、その接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数である。また、νｓは、その接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数である。

【0060】

また、第１レンズと第２レンズがそれぞれ正のパワーを有するレンズと負のパワーを有するレンズを含む接合レンズ（即ち、色消しレンズ）であるとき、νｌ１は第１レンズ又は第２レンズの一方である第１接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数である。νｓ１は第１接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数である。νｌ２は第１レンズ又は第２レンズの他方である第２接合レンズに含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も大きいアッベ数である。νｓ２は第２接合レンズに含まれる負のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数である。

【0061】

条件式（８）から条件式（１０）は、色消しレンズ（第１レンズ及び／又は第２レンズ）を構成する硝材のアッベ数差を規定する式である。
条件式（８）を満たすことで、第１レンズ群で発生した倍率色収差及び軸上色収差を打ち消して、全体として色収差を良好に補正することができる。条件式（８）でνｌ−νｓが下限値を下回ると、色消しレンズでの倍率色収差および軸上色収差の補正量が小さくなるため、結像面における色収差を良好に補正することが困難となる。なお、色消しレンズは、それ以前（つまり、物体側）で生じた色収差とは反対方向に色収差を発生させて、色収差を補正するレンズである。

【0062】

無限遠補正型の対物レンズ８と結像レンズ１で結像系を構成する場合、視野数が大きい対物レンズ８ではある一定の方向に倍率色収差がでる傾向があり、収差補正が難しい場合がある。そのような場合には、結像レンズ１で対物レンズ８とは逆方向に倍率色収差を出して、結像系全体で倍率色収差を相殺することが望ましい。条件式（９）及び（１０）を満たすことで、結像レンズ１で発生する色収差を複数の色消しレンズで過剰に補正することができる。このため、第１レンズ群で発生した倍率色収差及び軸上色収差に加えて、対物レンズ８で補正しきれなかった倍率色収差も良好に補正することができる。条件式（９）でνｌ１−νｓ１が下限値を下回るか、条件式（１０）でνｌ２−νｓ２が下限値を下回ると、倍率色収差および軸上色収差の補正量が小さくなるため、対物レンズ８で発生した倍率色収差をも取りきることが困難となる。

【0063】

即ち、結像レンズ１は、結像レンズ単独での高い色収差性能を得るためには、条件式（８）を満たすことが望ましく、対物レンズ８で補正し切れなかった色収差をも補正するためには、条件式（９）及び（１０）を満たすことが望ましい。

【0064】

結像レンズ１は、第１レンズ群が像側に凹面を向けた第１レンズを含み、第２レンズ群が物体側に凹面を向けた第２レンズを含むとき、以下の条件式を満足することが望ましい。
０ ＜ ｜ＲＧ２／ＲＧ１｜ ＜ ３ ・・・（１１）
１．５ ＜ ＮｄＧ２ ・・・（１２）
７０ ＜ νｄＧ１ ・・・（１３）

【0065】

但し、ＲＧ１は、第１レンズの像側に向けた凹面の曲率半径であり、ＲＧ２は、第２レンズの物体側に向けた凹面の曲率半径である。ＮｄＧ２は、第２レンズのd線に対する屈折率、又は、第２レンズが接合レンズである場合には第２レンズを構成する最も物体側のレンズのd線に対する屈折率である。νｄＧ１は、第１レンズ群に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数である。なお、第１レンズ群内に像側に向けた凹面が複数ある場合には、ＲＧ１は、最も像側の凹面の曲率半径であることが望ましい。

【0066】

条件式（１１）は、第１レンズの像側に向けた凹面の曲率半径に対する第２レンズの物体側に向けた凹面の曲率半径の比を規定する式である。条件式（１１）を満たすことで、これらのレンズが収差の抑制に効果的に寄与することになるため、第１レンズ群を介して第２レンズ群から出射された光に生じている諸収差量をより少なく抑えることができる。

【0067】

条件式（１１）で｜ＲＧ２／ＲＧ１｜が上限値を超えると、第１レンズの像側に向けた凹面の曲率半径が小さくなりすぎるか、または、第２レンズの物体側に向けた凹面の曲率半径が大きくなりすぎる。像側に向けた凹面の曲率半径が小さくなりすぎると、第１レンズの凹面で生じる負のパワーが強くなりすぎるため、球面収差、コマ収差及び非点収差が悪化してしまう。また、第２レンズの凹面の曲率半径が大きくなりすぎると、第２レンズ群の負のパワーが弱くなるため、像面湾曲及びコマ収差が悪化してしまう。

【0068】

条件式（１２）は、第２レンズのd線に対する屈折率を規定する式である。条件式（１２）を満たすことで、ペッツバール和を抑えて良好に像面湾曲を補正することができるため、結像レンズ１全体として、各レンズ群での球面収差、非点収差、コマ収差の発生量を少なくすることが可能となる。条件式（１２）でＮｄＧ２が下限値を下回ると、必要なパワーが生じさせるためには、第２レンズの物体側に向けた凹面の曲率半径を非常に小さくする必要がある。このため、結像レンズ１全体として、球面収差、コマ収差、像面湾曲を良好に補正することが困難となる。

【0069】

条件式（１３）は、第１レンズ群に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数を規定する式である。条件式（１３）を満たすことで、軸上光線高が最も高くなる第１レンズ群で、球面収差及び軸上色収差を良好に補正することができる。条件式（１３）でνｄＧ１が下限値を下回ると、球面収差及び軸上色収差を良好に補正することが困難となる。

【0070】

結像レンズ１は、第３レンズ群が最も物体側に正のパワーを有する第３レンズを含み、最も像側に正のパワーを有する第４レンズを含むとき、以下の条件式を満足することが望ましい。なお、第３レンズ及び第４レンズは、単レンズであっても接合レンズであってもよい。
０．２＜ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＜５ ・・・（１４）
但し、ＦＬＧ３ａは第３のレンズの焦点距離であり、ＦＬＧ３ｂは第４のレンズの焦点距離である。

【0071】

条件式（１４）は、第３レンズ群内のパワー配分について規定する式である。条件式（１１）を満たすことで、第３レンズ群の正パワーが適切に配分されるため、球面収差、コマ収差、像面湾曲を良好に補正することができる。条件式（１４）でＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａが下限値を下回ると、第３レンズのパワーに対して第４レンズのパワーが大きくなりすぎる。このため、軸外主光線の光線高が高い第４レンズにおいて、大きなコマ収差及び像面湾曲が発生してしまう。条件式（１４）でＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａが上限値を上回ると、第４レンズのパワーに対して第３レンズのパワーが大きくなりすぎる。このため、第３レンズ群で大きな球面収差が発生してしまい、結像レンズ１全体としての収差発生量が増大してしまう。条件式（１４）を満たした構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好なコマ収差及び倍率色収差の補正に寄与し得る。

【0072】

結像レンズ１は、以下の条件式を満足することが望ましい。
１．７＜ＮｄＧ３ ・・・（１５）
νｄＧ３＜４５ ・・・（１６）

【0073】

但し、ＮｄＧ３は第３レンズ群に含まれるレンズの屈折率のうち最も大きい屈折率であり、νｄＧ３は第３レンズ群に含まれるレンズのアッベ数のうち最も小さいアッベ数である。

【0074】

条件式（１５）は、第３レンズ群に含まれる正レンズのｄ線に対する屈折率を規定する式である。条件式（１５）を満たすことで、軸外コマ収差を良好に補正しながら、第２レンズ群の負のパワーにより発生する歪曲収差を第３レンズ群の正のパワーのレンズによって低減させることが可能となる。ＮｄＧ３が下限値を下回ると、第３レンズ群に含まれる正レンズのレンズ面の曲率半径が小さくなり、コマ収差または歪曲収差が悪化してしまう。

【0075】

条件式（１６）は、第３レンズ群に含まれる正レンズのアッベ数を規定する式である。条件式（１６）を満たすことで、最も軸外主光線が高くなる第３レンズ群で、軸外の倍率色収差を良好に補正することができる。νｄＧ３が上限値を上回ると、倍率色収差を良好に補正することが困難となる。

【0076】

結像レンズ１は、以下の条件式を満足することが望ましい。
０．３ ＜ Ｈａ／Ｈｉ ＜ １ ・・・（１７）
−０．０４＜（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＜０．０３ ・・・（１８）

【0077】

但し、Ｈａは軸外の主光線が結像レンズ１の最も物体側のレンズ面に入射するときの光線高であり、Ｈｉはその軸外の主光線が像面に入射するときの光線高である。Ｅａは第１レンズ群に含まれるレンズの最大有効径であり、Ｅｃは第３レンズ群に含まれるレンズの最大有効径である。

【0078】

条件式（１７）は、軸外主光線の光線高について規定する式である。条件式（１７）を満たすことにより、軸外主光線の光線高が適切な範囲に維持されるため、結像レンズ１のコマ収差を良好に補正することができる。Ｈａ／Ｈｉが下限値を下回ると、軸外光束の下側マージナル光線の曲がりが緩やかになりすぎるため、第３レンズ群でのコマ収差補正が不十分になってしまう。一方、Ｈａ／Ｈｉが上限値を上回ると、軸外光束の上側マージナル光線の曲がりが急になりすぎるため、コマ収差が軸外で急激に悪化してしまう。条件式（１７）を満たした構成は、結像レンズ１のように、入射瞳径が大きく視野数が大きい結像レンズでは、周辺性能の劣化を避ける上で好適であり、より良好なコマ収差及び倍率色収差の補正に寄与し得る。

【0079】

条件式（１８）は、レンズの有効径について規定する式である。条件式（１８）を満たすことで、軸上光束の射出ＮＡに対する軸外光束の射出ＮＡの劣化を低減することができる。（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬが下限値を下回ると、第１レンズ群の径が不足するため、軸外光束でのＮＡの劣化がひどくなってしまう。このため、像高が高い部分と低い部分との間で明るさが異なることになり、光量のムラが生じてしまう。一方、（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬが上限値を上回ると、第１レンズ群が大きくなりすぎて、有効光束が通らない無駄な領域が増加してしまう。また、これに伴い、レンズの加工精度が低下し、枠加工の難易度も上がってしまう。

【0080】

結像レンズ１は、次の条件式を満たすように構成されていることが望ましい。
０．０４ ＜ ＮＡ ・・・（１）
１７００ ≦ ＦＮ／ε ・・・（２）
−２ ≦ ＦＮ／ＥＸＰ１ ≦ ２ ・・・（３）

【0081】

但し、ＮＡは、結像レンズ１の像側の開口数であり、ＦＮは、結像レンズ１の視野数であり、εは、結像レンズ１のｄ線（５８８ｎｍ）に対するエアリーディスク直径（即ち、ε＝１．２２×λ／ＮＡ）である。ＥＸＰ１は、像面から結像レンズ１の射出瞳位置までの距離であり、像面に対して結像レンズ１側に射出瞳位置がある場合には負の値で表し、像面に対して結像レンズ１から離れた側（つまり、結像レンズ１とは反対側）に射出瞳位置がある場合には正の値で表す。なお、結像レンズ１の射出瞳位置は、対物レンズ８の瞳の中心を通る主光線が光軸と交わる位置である。また、視野数とは、最大像高の2倍に相当する。なお、顕微鏡の光学系が形成する光学像を撮像素子９で撮像しデジタル観察を行う場合には、撮像素子９の対角長は結像レンズ１の視野数と同程度であることが望ましい。

【0082】

条件式（１）は、十分な分解能を得るための条件を示している。また、ＮＡが条件式（１）の下限値を下回らないことで、エアリーディスク径を十分に小さくすること可能となり、十分な分解能を得ることができる。また、ＮＡが大きくなると結像レンズ１を通る光線の径が太くなり、結像レンズ１に必要なレンズ径が大きくなる。ＮＡが条件式（１）の上限値を上回らないことで、結像レンズ１内のレンズ径を製造可能なレベルに抑えることができる。

【0083】

また、結像レンズ１は、次の条件式を満たすように構成されていてもよい。
０．０４ ＜ ＮＡ ≦０．０８ ・・・（１−１）
また、結像レンズ１は、次の条件式を満たすように構成されていてもよい。
０．０４５ ≦ ＮＡ ≦０．０８ ・・・（１−２）

【0084】

条件式（２）は、十分な分解能と広視野を得るための条件を示している。ＦＮ／εが条件式（２）の下限値を下回らないことで、広視野且つ高分解能な標本観察及び画像取得が可能となる。
また、結像レンズ１は、次の条件式を満たすように構成されていてもよい。
１７００ ≦ ＦＮ／ε ≦１００００ ・・・（２−１）

【0085】

条件式（３）は、テレセントリック性を維持するための条件を示している。ＦＮ／ＥＸＰ１が条件式（３）の範囲内にあることで、結像レンズ１のテレセントリック性が維持される。これにより、撮像素子９の角度特性に起因するシェーディングの影響を低減することができる。

【0086】

なお、条件式（１）から条件式（１８）の任意に組み合わせが、結像レンズに適用されてもよい。また、各式は、上限値及び下限値のいずれか一方のみで限定しても良い。
以下、上述した結像レンズ１の実施例について具体的に説明する。

【実施例1】

【0087】

図２は、本実施例に係る結像レンズ１０の断面図である。図２に例示される結像レンズ１０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。

【0088】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、両凸レンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。

【0089】

即ち、正−負−正のパワーを有する３群からなる結像レンズ１０は、第２レンズ群Ｇ２の最も物体側に配置されたレンズが物体側に凹面を向けたレンズ面であるという特徴によって第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との境界を識別することができる。また、第３レンズ群Ｇ３が正のパワーを有する複数のレンズからなるという特徴によって第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との境界を識別することができる。

【0090】

結像レンズ１０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。ＮＡは、像側の開口数である。その他の記号は、上述した式（１）から式（１８）と同様である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９９９．９９５２ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１４２．１９０１ｍｍ、ＦＬＧ２＝−８１．４８８２ｍｍ
Ｄ０＝１８６．８８ｍｍ、Ｄ１＝９０．８５９８ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝３１３．５５ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝１５１．８７６ｍｍ
Ｅａ＝２６．５９５ｍｍ、Ｅｃ＝２２．０９３ｍｍ

【0091】

結像レンズ１０のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のinfは無限大（∞）を示している。
結像レンズ１０
s r d nd vd
s0 inf 162.2
s1 63.8523 9.3326 1.497 81.54
s2 -1485.8995 3.1666
s3 39.1423 13.9864 1.497 81.54
s4 -145.3496 6 1.51633 64.14
s5 26.8639 20.2953
s6 -53.5928 8.0905 1.72047 34.71
s7 110.3106 7.877 1.43875 94.93
s8 -130 14.8023
s9 -288.1082 6 1.59522 67.74
s10 -114.1428 0.4703
s11 176.2945 6 1.85026 32.27
s12 -475.1754 90.8598442
s13 inf

【0092】

ここで、sは面番号を、rは曲率半径（ｍｍ）を、dは面間隔（ｍｍ）を、ndはｄ線に対する屈折率を、vdはアッベ数を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s0が示す面は、結像レンズ１０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。また、例えば、面間隔d0は、面番号s0が示す面から面番号s1が示す面までの距離を示している。

【0093】

結像レンズ１０は、以下の式（１Ａ）から（１８Ａ）で示されるように、条件式（１１）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ａ）から（１８Ａ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ａ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７ ・・・（１Ａ）
ＦＮ／ε＝２９２７ ・・・（２Ａ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５ ・・・（３Ａ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１ ・・・（４Ａ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．７９０ ・・・（５Ａ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４５３ ・・・（６Ａ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．４８６ ・・・（７Ａ）
νｌ−νｓ＝６０．２００ ・・・（８Ａ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２００ ・・・（９Ａ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００ ・・・（１０Ａ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．９９９ ・・・（１１Ａ）
ＮｄＧ２＝１．７２０ ・・・（１２Ａ）
νｄＧ１＝８１．５４０ ・・・（１３Ａ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝０．４８４ ・・・（１４Ａ）
ＮｄＧ３＝１．８５０ ・・・（１５Ａ）
νｄＧ３＝３２．２７０ ・・・（１６Ａ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０８ ・・・（１７Ａ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０２５ ・・・（１８Ａ）

【0094】

図３は、図２に例示される結像レンズ１０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図３（ａ）は球面収差図であり、図３（ｂ）は倍率色収差図であり、図３（ｃ）は非点収差図であり、図３（ｄ）はコマ収差図であり、図３（ｅ）は歪曲収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。

【実施例2】

【0095】

図４は、本実施例に係る結像レンズ２０の断面図である。図４に例示される結像レンズ２０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ２０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。

【0096】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ２と物体側に凸面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４と物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、両凸レンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。

【0097】

結像レンズ２０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９９９．４６０２ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１６０．３２３３ｍｍ、ＦＬＧ２＝−１１．２０４８ｍｍ
Ｄ０＝２０４．９４３７ｍｍ、Ｄ１＝１０７．８９１ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝１８７．５６５２ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝３５２．７１８２ｍｍ
Ｅａ＝２６．３５７ｍｍ、Ｅｃ＝２３．３８ｍｍ

【0098】

結像レンズ２０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ２０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ２０
s r d nd vd
s0 inf 162.2
s1 120.7472 13.1775 1.43875 94.93
s2 -163.0581 9.7301
s3 41.4285 14.5537 1.497 81.54
s4 50 6.4656 1.51742 52.43
s5 30.8345 10.7507
s6 -53.095 8.117 1.8 29.84
s7 -187.8877 7.8669 1.43875 94.93
s8 -124.275 14.613
s9 -252.1032 5.947 1.59522 67.74
s10 -78.0578 0.6331
s11 351.1311 6 1.85026 32.27
s12 -2039.4189 107.0890528
s13 inf

【0099】

結像レンズ２０は、以下の式（１Ｂ）から（１８Ｂ）で示されるように、条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｂ）から（１８Ｂ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｂ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７ ・・・（１Ｂ）
ＦＮ／ε＝２９２７ ・・・（２Ｂ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５ ・・・（３Ｂ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１ ・・・（４Ｂ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．８９１ ・・・（５Ｂ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．０６２ ・・・（６Ｂ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５２６ ・・・（７Ｂ）
νｌ−νｓ＝６５．０９０ ・・・（８Ｂ）
νｌ１−νｓ１＝６５．０９０ ・・・（９Ｂ）
νｌ２−νｓ２＝２９．１１０ ・・・（１０Ｂ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．７２２ ・・・（１１Ｂ）
ＮｄＧ２＝１．８００ ・・・（１２Ｂ）
νｄＧ１＝９４．９３０ ・・・（１３Ｂ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝１．８８１ ・・・（１４Ｂ）
ＮｄＧ３＝１．８５０ ・・・（１５Ｂ）
νｄＧ３＝３２．２７０ ・・・（１６Ｂ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０５ ・・・（１７Ｂ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０１７ ・・・（１８Ｂ）

【0100】

図５は、図４に例示される結像レンズ２０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。

【実施例3】

【0101】

図６は、本実施例に係る結像レンズ３０の断面図である。図６に例示される結像レンズ３０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ３０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。

【0102】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ２と物体側に凸面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４と物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。

【0103】

結像レンズ３０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９９９．９４４１ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝２５６．５５７１ｍｍ、ＦＬＧ２＝−２５４．００８３ｍｍ
Ｄ０＝２１４．１４９９ｍｍ、Ｄ１＝１１０．７８２４ｍｍ、Ｄ２＝６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝２９１．７９６５ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝３４１．１７２３ｍｍ
Ｅａ＝１７．９２５ｍｍ、Ｅｃ＝１９．５２ｍｍ

【0104】

結像レンズ３０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ３０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ３０
s r d nd vd
s0 inf 162.0987
s1 96.8617 8.2794 1.497 81.54
s2 697.1144 2.9741
s3 41.59 14.0615 1.497 81.54
s4 283.4336 6 1.51633 64.14
s5 31.9707 20.3068
s6 -62.9229 8.0051 1.74951 35.33
s7 -920.5505 7.7895 1.43875 94.93
s8 -64.3308 14.6329
s9 -283.2239 5.8629 1.59522 67.74
s10 -108.4929 0.1694
s11 97.7459 15.286 1.85026 32.27
s12 136.8257 110.782381
s13 inf

【0105】

結像レンズ３０は、以下の式（１Ｃ）から（１８Ｃ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｃ）から（１８Ｃ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｃ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７ ・・・（１Ｃ）
ＦＮ／ε＝２９２７ ・・・（２Ｃ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５ ・・・（３Ｃ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．３４６ ・・・（４Ｃ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝１．４２５ ・・・（５Ｃ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−１．４１１ ・・・（６Ｃ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５１７ ・・・（７Ｃ）
νｌ−νｓ＝５９．６００ ・・・（８Ｃ）
νｌ１−νｓ１＝５９．６００ ・・・（９Ｃ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００ ・・・（１０Ｃ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．９６８ ・・・（１１Ｃ）
ＮｄＧ２＝１．７５０ ・・・（１２Ｃ）
νｄＧ１＝９１．９３０ ・・・（１３Ｃ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝１．１６９ ・・・（１４Ｃ）
ＮｄＧ３＝１．８５０ ・・・（１５Ｃ）
νｄＧ３＝３２．２７０ ・・・（１６Ｃ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．３４６ ・・・（１７Ｃ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝−０．００９ ・・・（１８Ｃ）

【0106】

図７は、図６に例示される結像レンズ３０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。

【実施例4】

【0107】

図８は、本実施例に係る結像レンズ４０の断面図である。図８に例示される結像レンズ４０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ４０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ７、Ｌ８）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。

【0108】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ２と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ３と物体側に凸面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ８（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。

【0109】

結像レンズ４０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９９８．７１ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１２６．３１２２ｍｍ、ＦＬＧ２＝−６４．４３２５ｍｍ
Ｄ０＝１９７．６０６ｍｍ、Ｄ１＝１１１．３８４８ｍｍ、Ｄ２＝１２２．９７６ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝９２．０６１１ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝１９３．５８８７ｍｍ
Ｅａ＝２５．０３７ｍｍ、Ｅｃ＝２２．１８１ｍｍ

【0110】

結像レンズ４０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ４０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s15が示す面は、像面を示している。
結像レンズ４０
s r d nd vd
s0 inf 197.606
s1 47.7341 11.1697 1.497 81.54
s2 -103.5787 3.3443
s3 -95.8974 4.5224 1.6516 58.55
s4 -4981.427 1.8525
s5 84.0206 14.2254 1.497 81.54
s6 152.7909 6.2341 1.51633 64.14
s7 54.2161 21.4746
s8 -33.2007 7.938 1.83481 42.71
s9 141.3339 7.7303 1.43875 94.93
s10 -43.4424 14.4918
s11 -3446.5792 5.7559 1.59522 67.74
s12 -101.9063 0.4627
s13 141.6394 12.183 1.85026 32.27
s14 978.5669 86.2206
s15 inf

【0111】

結像レンズ４０は、以下の式（１Ｄ）から（１８Ｄ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｄ）から（１８Ｄ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｄ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７ ・・・（１Ｄ）
ＦＮ／ε＝２９２７ ・・・（２Ｄ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５ ・・・（３Ｄ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．６８３ ・・・（４Ｄ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．７０２ ・・・（５Ｄ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．３５８ ・・・（６Ｄ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５６４ ・・・（７Ｄ）
νｌ−νｓ＝５２．２２０ ・・・（８Ｄ）
νｌ１−νｓ１＝５２．２２０ ・・・（９Ｄ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００ ・・・（１０Ｄ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝０．６１２ ・・・（１１Ｄ）
ＮｄＧ２＝１．８３５ ・・・（１２Ｄ）
νｄＧ１＝８１．５４０ ・・・（１３Ｄ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝２．１０３ ・・・（１４Ｄ）
ＮｄＧ３＝１．８５０ ・・・（１５Ｄ）
νｄＧ３＝３２．２７０ ・・・（１６Ｄ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．３４６ ・・・（１７Ｄ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０１６ ・・・（１８Ｄ）

【0112】

図９は、図８に例示される結像レンズ４０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。

【実施例5】

【0113】

図１０は、本実施例に係る結像レンズ５０の断面図である。図１０に例示される結像レンズ５０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ５０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。

【0114】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ２と物体側に凸面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４と物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。

【0115】

結像レンズ５０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝４２５．２７ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝２６０．３５３５ｍｍ、ＦＬＧ２＝−５７３．９８４６ｍｍ
Ｄ０＝２２６．０３７７８ｍｍ、Ｄ１＝１２０．９６２７ｍｍ、Ｄ２＝２２２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝７４８．３１０４ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝３１８．４５０２ｍｍ
Ｅａ＝３１．４９７ｍｍ、Ｅｃ＝２８．２９１ｍｍ

【0116】

結像レンズ５０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ５０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ５０
s r d nd vd
s0 inf 222.2
s1 117.8297 9.5763 1.43875 94.93
s2 -49640 3.6719
s3 59.5431 13.9171 1.618 63.33
s4 233.3093 6 1.51633 64.14
s5 42.9641 21.3163
s6 -78.9796 8.1503 1.72047 34.71
s7 -2823.7449 7.9336 1.43875 94.93
s8 -65.9063 14.9811
s9 -282.8478 6.0675 1.497 81.54
s10 -161.8049 0.7369
s11 152.7821 28.6118 1.83481 42.71
s12 328.6289 105.075038
s13 inf

【0117】

結像レンズ５０は、以下の式（１Ｅ）から（１８Ｅ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｅ）から（１８Ｅ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｅ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７ ・・・（１Ｅ）
ＦＮ／ε＝２９２７ ・・・（２Ｅ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０７１ ・・・（３Ｅ）
Ｄ２／ＦＬ＝１．２３４ ・・・（４Ｅ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝１．４４６ ・・・（５Ｅ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−３．１８９ ・・・（６Ｅ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５３５ ・・・（７Ｅ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０ ・・・（８Ｅ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０ ・・・（９Ｅ）
νｌ２−νｓ２＝０．８１０ ・・・（１０Ｅ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．８３８ ・・・（１１Ｅ）
ＮｄＧ２＝１．７２０ ・・・（１２Ｅ）
νｄＧ１＝９４．９３０ ・・・（１３Ｅ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝０．４２６ ・・・（１４Ｅ）
ＮｄＧ３＝１．９３５ ・・・（１５Ｅ）
νｄＧ３＝４２．７１０ ・・・（１６Ｅ）
Ｈａ／Ｈｉ＝１．２４４ ・・・（１７Ｅ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０１８ ・・・（１８Ｅ）

【0118】

図１１は、図１０に例示される結像レンズ５０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。

【実施例6】

【0119】

図１２は、本実施例に係る結像レンズ６０の断面図である。図１２に例示される結像レンズ６０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ６０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。

【0120】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズ（非球面レンズ）Ｌ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズＬ４と物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ、非球面レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ、非球面レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。レンズＬ１、レンズＬ６、レンズＬ７は、いずれも両面が非球面からなる非球面レンズである。

【0121】

結像レンズ６０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１９７８．７００６ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝３０６．３９３９ｍｍ、ＦＬＧ２＝−３６８．７９８１ｍｍ
Ｄ０＝２１５．８３１７ｍｍ、Ｄ１＝１０３．９３５７ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝３５２．５０７６ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝３１２．６４３９ｍｍ
Ｅａ＝２６．５３６ｍｍ、Ｅｃ＝２５．６１１ｍｍ

【0122】

結像レンズ６０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ６０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。また、面番号の横にある*マークは、その面が非球面であることを示している。
結像レンズ６０
s r d nd vd
s0 inf 162.2
s1* 102.094 8.64 1.497 81.54
s2* 430.3744 2.5322
s3 40.6782 14.02 1.497 81.54
s4 -1456.2435 5.9978 1.51633 64.14
s5 31.4159 19.7771
s6 -71.3563 8.012 1.72047 34.71
s7 -352.2736 7.8017 1.43875 94.93
s8 -73.5208 14.6525
s9* -802.0276 5.8765 1.43875 94.93
s10* -159.9876 0.2926
s11* 102.985 16.3333 1.834 37.16
s12* 167.4128 111.8960111
s13 inf

【0123】

結像レンズ６０の非球面データは、以下のとおりである。ここで、非球面形状は、下式で示される。但し、Zは、非球面の光軸の方向の座標であり、Yは非球面の光軸と直交する方向の座標であり、Kは円錐係数であり、rは非球面の近軸における曲率半径であり、A2,A4,A6,A8はそれぞれ２次、４次、６次、８次の非球面係数である。Eは１０のべき乗を表わしている。

【数1】

第１面s1
K=-2 A2=2.27E-04 A4=1.64E-06 A6=1.20E-09 A8=1.02E-12
第２面s2
K=-0.0716 A2=7.20E-05 A4=1.75E-06 A6=1.41E-09 A8=1.29E-12
第９面s9
K=-0.1061 A2=3.32E-04 A4=3.98E-06 A6=-6.42E-09 A8=4.60E-12
第１０面s10
K=-159.9876 A2=-3.9518E-04 A4=3.36E-06 A6=-7.13E-09 A8=4.42E-12
第１１面s11
K=102.985 A2=-9.02E-05 A4=4.16E-08 A6=1.62E-09 A8=-1.27E-12
第１２面s12
K=167.4128 A2=7.75E-05 A4=1.17E-07 A6=3.29E-09 A8=-2.40E-12

【0124】

結像レンズ６０は、以下の式（１Ｆ）から（１８Ｆ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｆ）から（１８Ｆ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｆ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７ ・・・（１Ｆ）
ＦＮ／ε＝２９２７ ・・・（２Ｆ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０１５ ・・・（３Ｆ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１ ・・・（４Ｆ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝１．７０２ ・・・（５Ｆ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−２．０４９ ・・・（６Ｆ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．４８２ ・・・（７Ｆ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０ ・・・（８Ｆ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０ ・・・（９Ｆ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００ ・・・（１０Ｆ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝２．２７１ ・・・（１１Ｆ）
ＮｄＧ２＝１．７２０ ・・・（１２Ｆ）
νｄＧ１＝８１．５４０ ・・・（１３Ｆ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝０．８８７ ・・・（１４Ｆ）
ＮｄＧ３＝１．８３４ ・・・（１５Ｆ）
νｄＧ３＝３７．１６０ ・・・（１６Ｆ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０７ ・・・（１７Ｆ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．００５ ・・・（１８Ｆ）

【0125】

図１３は、図１２に例示される結像レンズ６０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。

【実施例7】

【0126】

図１４は、本実施例に係る結像レンズ７０の断面図である。図１４に例示される結像レンズ７０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ７０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。

【0127】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。

【0128】

結像レンズ７０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝６１４３ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝５０３．２６２４ｍｍ、ＦＬＧ２＝−８１．４７７９ｍｍ
Ｄ０＝２１６．４１２ｍｍ、Ｄ１＝１１４．４７６５ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝１３６．７４６５ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝１１１．３２４ｍｍ
Ｅａ＝２６．４７ｍｍ、Ｅｃ＝２３．９５１ｍｍ

【0129】

結像レンズ７０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ７０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ７０
s r d nd vd
s0 inf 162.2
s1 89.9591 23.7981 1.497 81.54
s2 158.2414 1
s3 50.3216 18.0151 1.497 81.54
s4 -95.0291 23.0142 1.51633 64.14
s5 32.3459 10.4065
s6 -49.5543 6.4182 1.72047 34.71
s7 99.1751 5.5 1.43875 94.93
s8 -93.5214 1
s9 -132.5229 4.246 1.59522 67.74
s10 -51.027 1
s11 65.2304 20.0785 1.85026 32.27
s12 180.1594 101.935897
s13 inf

【0130】

結像レンズ７０は、以下の式（１Ｇ）から（１８Ｇ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｇ）から（１８Ｇ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｇ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７ ・・・（１Ｇ）
ＦＮ／ε＝２９２７ ・・・（２Ｇ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．００５ ・・・（３Ｇ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１ ・・・（４Ｇ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝２．７９６ ・・・（５Ｇ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４５３ ・・・（６Ｇ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５２９ ・・・（７Ｇ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０ ・・・（８Ｇ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０ ・・・（９Ｇ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００ ・・・（１０Ｇ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．５３２ ・・・（１１Ｇ）
ＮｄＧ２＝１．７２０ ・・・（１２Ｇ）
νｄＧ１＝８１．５４０ ・・・（１３Ｇ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝０．８１４ ・・・（１４Ｇ）
ＮｄＧ３＝１．８５０ ・・・（１５Ｇ）
νｄＧ３＝３２．２７０ ・・・（１６Ｇ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０９ ・・・（１７Ｇ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝０．０１４ ・・・（１８Ｇ）

【0131】

図１５は、図１４に例示される結像レンズ７０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。

【実施例8】

【0132】

図１６は、本実施例に係る結像レンズ８０の断面図である。図１６に例示される結像レンズ８０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ８０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。

【0133】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、両凸レンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凹面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。

【0134】

結像レンズ８０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝１０８．９９ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１７７．４９１ｍｍ、ＦＬＧ２＝−７９．０６６４ｍｍ
Ｄ０＝２６８．９７５９ｍｍ、Ｄ１＝２１４．０８８６ｍｍ、Ｄ２＝１６２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝１０２．５８ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝２２１．０１９１ｍｍ
Ｅａ＝２６．３８７ｍｍ、Ｅｃ＝２７．００６ｍｍ

【0135】

結像レンズ８０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ８０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ８０
s r d nd vd
s0 inf 162.2
s1 108.373 44.1565 1.497 81.54
s2 -420.1585 17.4045
s3 37.7218 16.3353 1.497 81.54
s4 -147.0718 7.2894 1.51633 64.14
s5 26.8628 24.5481
s6 -39.8089 12.9467 1.72047 34.71
s7 77.0609 27.5053 1.43875 94.93
s8 -71.3383 1
s9 196.7487 10.569 1.6968 55.53
s10 -109.7848 8.7513
s11 -700 43.5824 1.85026 32.27
s12 -152.7466 54.887315
s13 inf

【0136】

結像レンズ８０は、以下の式（１Ｈ）から（１８Ｈ）で示されるように、条件式（１０）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｈ）から（１８Ｈ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｈ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７ ・・・（１Ｈ）
ＦＮ／ε＝２９２７ ・・・（２Ｈ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．２７５ ・・・（３Ｈ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．９０１ ・・・（４Ｈ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．９８６ ・・・（５Ｈ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４３９ ・・・（６Ｈ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．７９６ ・・・（７Ｈ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０ ・・・（８Ｈ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０ ・・・（９Ｈ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００ ・・・（１０Ｈ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．４８２ ・・・（１１Ｈ）
ＮｄＧ２＝１．７２０ ・・・（１２Ｈ）
νｄＧ１＝８１．５４０ ・・・（１３Ｈ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝２．１５５ ・・・（１４Ｈ）
ＮｄＧ３＝１．８５０ ・・・（１５Ｈ）
νｄＧ３＝３２．２７０ ・・・（１６Ｈ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．９０６ ・・・（１７Ｈ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝−０．００３ ・・・（１８Ｈ）

【0137】

図１７は、図１６に例示される結像レンズ８０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。

【実施例9】

【0138】

図１８は、本実施例に係る結像レンズ９０の断面図である。図１８に例示される結像レンズ９０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ９０は、物体側から順に、接合レンズＣＬ１を含む、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、各々が正のパワーを有する複数のレンズ（Ｌ６、Ｌ７）からなる、全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成される。なお、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２、第３レンズ群Ｇ３の境界の識別方法は、実施例１と同様である。

【0139】

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１（第１レンズ）と、からなっている。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から、両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とからなる接合レンズＣＬ２（第２レンズ）からなっている。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から、両凸レンズＬ６（第３レンズ）と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズＬ７（第４レンズ）とからなっている。第１レンズと第２レンズは、それぞれメニスカス形状を有している。

【0140】

結像レンズ９０の各種データは、以下のとおりである。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
ＮＡ＝０．０７、ＦＮ＝３０ｍｍ、
ε＝０．０１０２４８ｍｍ、ＥＸＰ１＝３５８．０６７９ｍｍ
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬＧ１＝１７６．１３０３ｍｍ、ＦＬＧ２＝−７８．０４０４ｍｍ
Ｄ０＝２４８．８６２３ｍｍ、Ｄ１＝１６９．２７１ｍｍ、Ｄ２＝８２．２ｍｍ
ＦＬＧ３ａ＝１００．５００２ｍｍ、ＦＬＧ３ｂ＝４５２．１５８１ｍｍ
Ｅａ＝１７．９１８ｍｍ、Ｅｃ＝２４．４４７ｍｍ

【0141】

結像レンズ９０のレンズデータは、以下のとおりである。ここで、面番号s0が示す面は、結像レンズ９０の入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）の面を示し、面番号s13が示す面は、像面を示している。
結像レンズ９０
s r d nd vd
s0 inf 82.2
s1 109.277 30 1.497 81.54
s2 -257.1081 3.8857
s3 48.498 25.5599 1.497 81.54
s4 -52.4895 13.3563 1.51633 64.14
s5 26.6665 10.0652
s6 -53.2581 35 1.72047 34.71
s7 76.7859 31.0012 1.43875 94.93
s8 -135.6727 4.8645
s9 150.0768 10.8424 1.59522 67.74
s10 -96.7851 1
s11 115.4106 3.696 1.85026 32.27
s12 162.4912 79.5913
s13 inf

【0142】

結像レンズ９０は、以下の式（１Ｉ）から（１８Ｉ）で示されるように、条件式（１０）及び（１８）を除き条件式（１）から（１８）を満たしている。なお、式（１Ｉ）から（１８Ｉ）はそれぞれ条件式（１）から（１８）に対応している。また、条件式（１７Ｉ）は視野数３０の位置に入射する主光線を例に算出したものである。
ＮＡ ＝ ０．０７ ・・・（１Ｉ）
ＦＮ／ε＝２９２７ ・・・（２Ｉ）
ＦＮ／ＥＸＰ１＝０．０８４ ・・・（３Ｉ）
Ｄ２／ＦＬ＝０．４５７ ・・・（４Ｉ）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．９７９ ・・・（５Ｉ）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４３４ ・・・（６Ｉ）
Ｄ１／Ｄ０＝０．６８０ ・・・（７Ｉ）
νｌ−νｓ＝６０．２２０ ・・・（８Ｉ）
νｌ１−νｓ１＝６０．２２０ ・・・（９Ｉ）
νｌ２−νｓ２＝１７．４００ ・・・（１０Ｉ）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝１．９９７ ・・・（１１Ｉ）
ＮｄＧ２＝１．７２１ ・・・（１２Ｉ）
νｄＧ１＝８１．５４０ ・・・（１３Ｉ）
ＦＬＧ３ｂ／ＦＬＧ３ａ＝４．４９９ ・・・（１４Ｉ）
ＮｄＧ３＝１．８５０ ・・・（１５Ｉ）
νｄＧ３＝３２．２７０ ・・・（１６Ｉ）
Ｈａ／Ｈｉ＝０．４５９ ・・・（１７Ｉ）
（Ｅａ−Ｅｃ）／ＦＬ＝−０．０３６ ・・・（１８Ｉ）

【0143】

図１９は、図１８に例示される結像レンズ９０の収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。収差図の記載形式は、実施例１と同様である。

【符号の説明】

【0144】

１、１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０、９０ 結像レンズ
２ 顕微鏡本体
３ 光源装置
４ 光ファイバー
５ ステージ
６ ＸＹハンドル
７ Ｚハンドル
８ 対物レンズ
９ 撮像素子
１００ 顕微鏡装置
Ｇ１ 第１レンズ群
Ｇ２ 第２レンズ群
Ｇ３ 第３レンズ群
Ｓ 標本

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】