特許 6398337 ターボ分子ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6398337

(24)【登録日】2018年9月14日

(45)【発行日】2018年10月3日

(54)【発明の名称】ターボ分子ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20180920BHJP

【ＦＩ】

   F04D19/04 C

【請求項の数】10

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-115806(P2014-115806)

(22)【出願日】2014年6月4日

(65)【公開番号】特開2015-229949(P2015-229949A)

(43)【公開日】2015年12月21日

【審査請求日】2017年2月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100084412

【弁理士】

【氏名又は名称】永井 冬紀

(72)【発明者】

【氏名】筒井 慎吾

(72)【発明者】

【氏名】坪川 徹也

【審査官】 岸 智章

(56)【参考文献】

【文献】 特許第３１６０５０４（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特開２００２−１８０９８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１１／０２４２６１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１０−１１２２０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１６１２８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０６−０１２７９４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００７−２６２５８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１７６５８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０３７９５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／０４５４３８（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ １９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

動翼およびロータ円筒部を有するポンプロータと、
前記動翼と対向する静翼と、
前記ロータ円筒部と対向する円筒状ステータと、
前記円筒状ステータを収容するベースと、
前記円筒状ステータを加熱する加熱部と、を備え、
前記円筒状ステータの外表面の放射率、及び、前記円筒状ステータに対向する部材である前記ロータ円筒部の外表面であって前記円筒状ステータと対向する外表面の放射率は、前記動翼の外表面であって前記静翼と対向する外表面の放射率より小さく設定され、前記円筒状ステータから前記ロータ円筒部への熱放射が抑制されている、ターボ分子ポンプ。

【請求項2】

請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記円筒状ステータに対向する部材である前記ベース、前記動翼、及び、前記静翼のうちの少なくとも１つは、前記円筒状ステータと対向する外表面の放射率が、前記動翼の外表面であって前記静翼と対向する外表面の放射率より小さく設定され、前記円筒状ステータから前記円筒状ステータに対向する部材への熱放射が抑制されている、ターボ分子ポンプ。

【請求項3】

請求項１または２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記加熱部による前記円筒状ステータの加熱により、前記円筒状ステータの温度は、前記ポンプロータの温度よりも高くなるターボ分子ポンプ。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記円筒状ステータの外表面の放射率、及び、前記円筒状ステータに対向する部材の外表面であって前記円筒状ステータと対向する外表面の放射率は、０．３以下であるターボ分子ポンプ。

【請求項5】

請求項１〜４のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記動翼の外表面であって前記静翼と対向する外表面の放射率、及び、前記静翼の外表面であって前記動翼と対向する外表面の放射率は、０．５以上であるターボ分子ポンプ。

【請求項6】

請求項１〜５のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記円筒状ステータの外表面、及び、前記円筒状ステータに対向する部材の外表面であって前記ロータ円筒部と対向する外表面は、Ｎｉメッキが施されている、又は、アルミニウム合金に外表面処理が施されていないターボ分子ポンプ。

【請求項7】

請求項１〜６のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記動翼の外表面であって前記静翼と対向する外表面、及び、前記静翼の外表面であって前記動翼と対向する外表面には、黒色Ｎｉメッキが施されている、又は、アルマイト処理が施されているターボ分子ポンプ。

【請求項8】

請求項１〜７のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
熱伝導抑制部材をさらに備え、
前記円筒状ステータは、前記熱伝導抑制部材を介して前記ベースに取り付けられているターボ分子ポンプ。

【請求項9】

請求項１〜８のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記円筒状ステータの外表面の放射率、及び、前記円筒状ステータに対向する部材の外表面であって前記円筒状ステータと対向する外表面の放射率は、前記円筒状ステータから前記円筒状ステータに対向する部材への放射による熱の移動を抑制する放射率であり、
前記動翼の外表面であって前記静翼と対向する外表面の放射率、及び、前記静翼の外表面であって前記動翼と対向する外表面の放射率は、前記動翼から前記静翼への放射による熱の移動を促進する放射率である、ターボ分子ポンプ。

【請求項10】

動翼およびロータ円筒部を有するポンプロータと、
前記動翼と対向する静翼と、
前記ロータ円筒部と対向する円筒状ステータと、
前記円筒状ステータを収容するベースと、
前記円筒状ステータを加熱する加熱部と、を備え、
前記円筒状ステータの外表面の放射率、及び、前記円筒状ステータに対向する部材の外表面であって前記円筒状ステータと対向する外表面の放射率は、前記動翼の外表面であって前記静翼と対向する外表面の放射率より小さく、
前記円筒状ステータに対向する部材は、前記ロータ円筒部、前記ベース、前記動翼、及び、前記静翼であり、
前記円筒状ステータは、アルミニウム合金に外表面処理が施されておらず、
前記ロータ円筒部の外表面であって前記円筒状ステータと対向する外表面には、Ｎｉメッキが施されており、
前記ベースの外表面であって前記円筒状ステータと対向する外表面、前記動翼の最下端の動翼の外表面であって前記円筒状ステータと対向する外表面、及び、前記静翼の最下端の静翼の外表面であって前記円筒状ステータと対向する外表面は、アルミニウム合金に外表面処理が施されていない、ターボ分子ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ターボ分子ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造装置や液晶製造装置等のチャンバ排気にはターボ分子ポンプ等の真空ポンプが用いられている。

【0003】

ターボ分子ポンプのポンプロータは磁気軸受によって非接触支持され高速回転する。ポンプロータは、プロセスガスなどと衝突し高温になる。そこで、クリープ変形による破断を避けるため、ポンプロータの外表面の放射率やポンプロータの周囲に配置されている静翼及び円筒状ステータの外表面の放射率を高くすることで、ポンプロータの放射による放熱量を高くすることがある。

【0004】

近年、半導体製造装置や液晶製造装置のエッチングプロセスにおいて、真空ポンプの円筒状ステータへの反応生成物付着量が増加し、真空ポンプのポンプロータが反応生成物と接触する可能性がある。また、装置稼働後に短期間でオーバーホールが必要となる。そのため、ポンプ内部温度（接ガス部の温度）を従来よりも大幅に高くして、反応生成物の付着を抑制するという要求が出てきている。

【0005】

ポンプ内部温度を高める方法としては、特許文献１に記載のような方法が知られている。特許文献１に記載の発明では、ポンプロータのロータ円筒部の外周に対向して配置される被加熱部材（ネジ溝ポンプ部の円筒状ステータに相当）を直接加熱するようにしている。

【0006】

特許文献１に記載されているような発明において、円筒状ステータや円筒状ステータの周辺の部材の外表面を高放射率にすると、円筒状ステータの温度が円筒状ステータの周辺の部材の温度よりも高い場合に、円筒状ステータから円筒状ステータの周辺の部材へ放射による熱移動が不必要に生じる。その結果、ポンプロータの温度が上昇する虞がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特許第３１６０５０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

このように、円筒状ステータの反応生成物の堆積を防止し、かつ、円筒状ステータから円筒状ステータの周辺の部材への放射による熱の移動が抑制されるターボ分子ポンプが望まれていた。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の好ましい実施形態によるターボ分子ポンプは、動翼およびロータ円筒部を有するポンプロータと、動翼と対向する静翼と、ロータ円筒部と対向する円筒状ステータと、円筒状ステータを収容するベースと、円筒状ステータを加熱する加熱部と、を備え、円筒状ステータの外表面の放射率、及び、円筒状ステータに対向する部材であるロータ円筒部の外表面であって円筒状ステータと対向する外表面の放射率は、動翼の外表面であって静翼と対向する外表面の放射率より小さく設定され、円筒状ステータからロータ円筒部への熱放射が抑制されている。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、円筒状ステータの反応生成物の堆積を防止し、かつ、円筒状ステータから円筒状ステータの周辺の部材への放射による熱の移動が抑制される。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一の実施形態のターボ分子ポンプの断面図。

【図2】本発明の一の実施形態、および、比較例１，２における母材と表面処理と外表面の放射率を表にまとめた図。

【図3】本発明の一の実施形態、および、比較例１，２におけるターボ分子ポンプの放射または伝導による熱の移動を示す模式図。

【図4】反応生成物の一例であるＡｌＣｌ_３の蒸気圧曲線を示した図。

【図5】本発明の一の実施形態、および、比較例１，２における各部の温度の一例を示した図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は本発明に係るターボ分子ポンプ１の断面を示す図である。ターボ分子ポンプ１は、複数段の動翼１２およびロータ円筒部１３が形成されたポンプロータ１０を備える。ポンプケーシング２３の内側には、複数段の動翼１２に対応して複数段の静翼２１が積層されるように配置されている。ポンプ軸方向に積層された複数段の静翼２１は、それぞれスペーサ２９を介してベース２０上に配置されている。動翼１２および静翼２１の各々は、周方向に配置された複数のタービン翼から成る。なお、ベース２０は２つの部分に分かれ、図示上方の部分をベース上部２０Ａ、図示下方の部分をベース下部２０Ｂと呼ぶことにする。

【0013】

ロータ円筒部１３の外周側には、円筒状ステータ２２が隙間を介して配置されている。ロータ円筒部１３の外周面または円筒状ステータ２２の内周面のいずれか一方にはネジ溝が形成されており、ロータ円筒部１３と円筒状ステータ２２とでネジ溝ポンプを構成している。動翼１２および静翼２１により排気された気体分子は、ネジ溝ポンプ部によりさらに圧縮され、最終的には、ベース２０に設けられた排気口２６から排出される。

【0014】

ポンプロータ１０にはロータシャフト１１が固定され、そのロータシャフト１１はラジアル磁気軸受３２およびアキシャル磁気軸受３３により支持され、モータ３４によって回転駆動される。磁気軸受３２，３３が非動作時には、ロータシャフト１１はメカニカルベアリング３５ａ，３５ｂによって支持される。ラジアル磁気軸受３２，アキシャル磁気軸受３３，モータ３４およびメカニカルベアリング３５ｂは、ベース２０に固定されるベース下部２０Ｂに収納されている。

【0015】

ベース２０には、ベース２０を加熱するためのヒータ２７、ベース２０を冷却するための水冷パイプ５０、ベース２０の温度を検出する温度センサ２０３が設けられている。

【0016】

円筒状ステータ２２は、円筒状の熱伝導抑制部材２４を介してベース２０のベース上部２０Ａにボルト２２２で取り付けられ、ベース２０内に収容されている。具体的には、円筒状ステータ２２のフランジ部２２０の下面２２０ａとベース上部２０Ａに設けられた凹部２０１によって、熱伝導抑制部材２４が挟持されている。その上で円筒状ステータ２２が、フランジ部２２０を介して、ベース上部２０Ａにボルト２２２で固定されている。円筒状ステータ２２とベース上部２０Ａとの間には、両者が直接接触しないようにするための空隙が設けられている。これは、円筒状ステータ２２とベース上部２０Ａとの間で伝導による熱の移動が生じないようにするためである。また、ボルト２２２は熱伝導率の低い部材で作製されている。

【0017】

円筒状ステータ２２の下部外周面には、円筒状ステータ２２を加熱する専用のステータ加熱部２８が固定されている。ステータ加熱部２８は、ベース２０の周面を内外に貫通するように設けられている。ステータ加熱部２８は、本体として熱伝導率の高いブロック２８１（ヒータブロック２８１）を有している。ステータ加熱部２８は、ブロック２８１に設けられた貫通孔にボルト２８２を挿設して、円筒状ステータ２２にボルト２８２で上述のように固定されている。ステータ加熱部２８のブロック２８１と円筒状ステータ２２は、この固定によって、伝導による熱移動が容易に生じるようになっている。ブロック２８１内には、ヒータ２８０が設けられている。ヒータ２８０は、不図示の外部電源から供給される電力によって、発熱する。これによって、ステータ加熱部２８は熱源となる。ステータ加熱部２８で生じた熱は、円筒状ステータ２２に伝導によって移動する。これによって、円筒状ステータ２２の温度が上昇し、反応生成物の堆積が抑制される。

【0018】

上述したように、ステータ加熱部２８は円筒状ステータ２２を専用に加熱するものなので、ステータ加熱部２８で発生した熱がベース２０に伝導で移動しないような構成となっている。具体的には、ステータ加熱部２８とベース上部２０Ａとの間には断熱部材４１が設けられ、ステータ加熱部２８とベース下部２０Ｂとの間には断熱部材４２が設けられている。

【0019】

このように、円筒状ステータ２２は、ステータ加熱部２８によって加熱され、また、熱伝導抑制部材２４によってある程度冷却される他は、伝導による熱の移動は生じない。

【0020】

図２は、円筒状ステータ２２、ロータ円筒部１３、動翼１２、静翼２１、および、ベース２０における、母材と、本発明の説明上対象となる外表面と、その外表面の表面処理と、放射率について示した表である。本発明の一の実施形態については、図２（ａ）に示している。なお、図２（ｂ）は、後述する比較例１、２についてのものである。円筒状ステータ、ロータ円筒部、動翼、静翼、および、ベースの母材は、本実施形態、比較例１、２のいずれにおいても、アルミ合金である。

【0021】

図３（ｃ）は、図１に示すターボ分子ポンプ１の図示右方を示した模式図であり、本実施形態における熱の移動を示したものである。なお、図３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、後述する比較例１、２における熱の移動を示したものである。

【0022】

図２（ａ）と図３（ｃ）を用いて、本実施形態における外表面の状態と熱の移動を説明する。

【0023】

図２（ａ）は、円筒状ステータ２２が、円筒状ステータ２２の周辺部材であるロータ円筒部１３、動翼１２、静翼２１、および、ベース２０よりも高温となった場合に、円筒状ステータ２２から周辺部材への放射による熱の移動が抑制されるような放射率になっている。円筒状ステータ２２が周辺部材よりも高温になる場合とは、円筒状ステータ２２を熱伝導抑制部材２４によって、熱的に隔離した上で、ステータ加熱部２８によって、円筒状ステータ２２を加熱することで実現できる。「熱的に隔離」とは、熱伝導抑制部材２４によって、図３（ｃ）のＨ１１に示すような熱の伝導を抑制することを意味する。

【0024】

ここで、熱の放射について説明する。ある物体１からある物体２への放射による熱は、以下の式（１）で表される。なお、物体１の温度は、物体２の温度より高い。

【数1】

（ステファン・ボルツマンの式）
ただし、Ｑは放射熱（Ｗ）であり、ε’は平均放射率であり、Ａは伝熱断面積（ｃｍ^２）であり、Ｔ_１は物体１の温度（°Ｋ）であり、Ｔ_２は物体２の温度（°Ｋ）である。物体１の温度は、物体２の温度より高いので、Ｔ_１はＴ_２より大きい値である。
平均放射率ε’は、物体１の放射率ε_１と、物体２の放射率ε_２と、物体１と物体２の位置関係から求められる。物体１と物体２の位置関係がどのようになっていても、放射率ε_１が低ければ低いほど、そして、放射率ε_２が低ければ低いほど、平均放射率ε’は低くなる。よって、このことと式（１）より、放射率ε_１が低ければ低いほど、そして、放射率ε_２が低ければ低いほど、物体１から物体２への放射による熱量は少なくなる。

【0025】

一例として、物体１と物体２が平行平面の位置関係にある場合は、以下の式（２）で平均放射率ε’は表される。

【数2】

以上の式（２）から理解されるように、物体１の放射率ε_１が低いほど、物体２の放射率ε_２が低いほど、平均放射率ε’は低くなる。

【0026】

なお、本明細書では、放射率ε＝０．５を境界にして、ε＝０．５以上であれば、「高放射率」、ε＝０．５より低ければ、「低放射率」と呼ぶことにする。

【0027】

図２（ａ）に示すように、本実施形態において、円筒状ステータ２２はアルミ合金で作製され、全ての外表面Ｓ３（図３（ｃ）参照）において表面処理がなされていない。すなわち、円筒状ステータ２２の外表面は、アルミ合金そのものである。このようにすることで、円筒状ステータ２２の放射率を０．１以下という低放射率にすることができる。なお、外表面Ｓ３は、円筒状ステータ２２の外表面のうち、ロータ円筒部１３と対向する外表面Ｓ３Ａ、動翼１２と対向する外表面Ｓ３Ｂ、静翼２１と対向する外表面Ｓ３Ｃ、ベース２０と対向する外表面Ｓ３Ｄを含んだ、円筒状ステータ２２の全ての外表面である。

【0028】

本実施形態では、ロータ円筒部１３の外表面であって円筒状ステータ２２と対向する外表面Ｓ４（図３（ｃ）参照）には、Ｎｉメッキが施されている。Ｎｉメッキが施されることで、当該外表面の放射率を０．２という低放射率にすることができる。なお、Ｎｉメッキが施されることで、プロセスガスによる腐食を防止することができる。

【0029】

以上より、図３（ｃ）に示すように、外表面Ｓ３Ａ、Ｓ４を低放射率にしたことで、円筒状ステータ２２からロータ円筒部１３への放射による熱Ｈ４の移動は抑制される。

【0030】

本実施形態では、ベース２０の外表面であって円筒状ステータ２２と対向する外表面Ｓ７には、表面処理が施されておらず、母材であるアルミ合金が外表面となっている。これによって、以上に示した当該外表面の放射率を０．１以下とすることができる。外表面Ｓ３Ｄ、Ｓ７を低放射率にしたことで、円筒状ステータ２２からベース２０への放射による熱Ｈ７〜Ｈ９の移動は抑制される。

【0031】

動翼１２の最下端の動翼１２Ｓ（下端動翼１２Ｓ）の外表面であって円筒状ステータ２２と対向する外表面Ｓ５（図３（ｃ）参照）には、表面処理が施されておらず、母材であるアルミ合金が外表面となっている。外表面Ｓ３Ｂ、Ｓ５を低放射率にしたことで、円筒状ステータ２２から動翼１２への放射による熱Ｈ５の移動は抑制される。下端動翼１２Ｓは、静翼２１と対向しない外表面を有するので、当該外表面を低放射率とすることが好ましい。

【0032】

静翼２１の最下端の静翼２１Ｓ（下端静翼２１Ｓ）の外表面であって円筒状ステータ２２と対向する外表面Ｓ６（図３（ｃ）参照）には、表面処理が施されておらず、母材であるアルミ合金が外表面となっている。外表面Ｓ３Ｃ、Ｓ６を低放射率にしたことで、円筒状ステータ２２から静翼２１への放射による熱Ｈ６の移動は抑制される。動翼２１がポンプケーシング２３の内周面まで設けられないために、下端静翼２１Ｓは、動翼２１と対向しない外表面を有するので、当該外表面を低放射率とすることが好ましい。

【0033】

このように、円筒状ステータ２２の外表面Ｓ３の放射率と、円筒状ステータ２２の周辺部材の外表面であって円筒状ステータ２２と対向する外表面Ｓ４〜Ｓ７の放射率を、低放射率とすることで、円筒状ステータ２２から周辺部材への放射による熱の移動を抑制することができる。

【0034】

円筒状ステータ２２の外表面Ｓ３Ａ〜Ｓ３Ｄの放射率を低くしたことで、本実施形態において、ポンプロータ１０の熱は、図３（ｃ）の矢印Ｈ１、Ｈ２で示すように、主に動翼１２から静翼２１に向けて放熱されることで移動させる必要がある。

【0035】

そのため、本実施形態では、動翼１２の外表面であって静翼２１と対向する外表面Ｓ１には、黒色Ｎｉメッキが施されている。これによって、当該外表面の放射率を０．７という高放射率とすることができる。静翼２１の外表面であって動翼１２と対向する外表面Ｓ２には、アルマイト処理が施されている。これによって、以上に示した当該外表面の放射率を０．９という高放射率とすることができる。その結果、動翼１２から静翼２１への放射による熱Ｈ１の量が増加する。また、黒色Ｎｉメッキを用いたことで、プロセスガスによる動翼１２の腐食を防止することができる。

【0036】

なお、動翼１２から静翼２１へ移動した熱Ｈ１は、熱Ｈ１３で示すようにポンプケーシング２３に伝導し、熱Ｈ１０で示すようにポンプケーシング２３からベース２０に伝導し、水冷パイプ５０に移動する。

【0037】

円筒状ステータ２２から熱伝導抑制部材２４を伝導してベース２０に伝導する僅かな熱Ｈ１１や、円筒状ステータ２２からベース２０へ放熱された僅かな熱Ｈ７〜Ｈ９も、ベース２０内を伝導し、水冷パイプ５０に移動する。

【0038】

以上、本発明によれば、以下の作用効果を奏する。
（１）ターボ分子ポンプ１は、動翼１２およびロータ円筒部１３を有するポンプロータ１０と、動翼１２と対向する静翼２１と、ロータ円筒部１３と対向する円筒状ステータ２２と、円筒状ステータ２２を収容するベース２０と、円筒状ステータ２２を加熱するステータ加熱部２８と、を備える。
円筒状ステータ２２の外表面Ｓ３の放射率、及び、円筒状ステータ２２に対向する周辺部材であるロータ円筒部１３、ベース２０、動翼１２、及び、静翼２１の外表面であって円筒状ステータ２２と対向する外表面Ｓ４、Ｓ７、Ｓ５、Ｓ６の放射率は、動翼１２の外表面であって静翼２１と対向する外表面Ｓ１の放射率より小さい。

【0039】

（１Ａ）上記構成を有することで、円筒状ステータ２２から周辺部材であるロータ円筒部１３、ベース２０、動翼１２、及び、静翼２１への熱放射を抑制でき、円筒状ステータ２２を高温に維持できるので、円筒状ステータ２２に反応生成物が堆積することを防止できる。

【0040】

（１Ｂ）周辺部材であるロータ円筒部１３、動翼１２、及び、静翼２１に関する上記構成を有することで、円筒状ステータ２２の温度が周辺部材であるロータ円筒部１３、動翼１２、及び、静翼２１の温度よりも高い場合に、動翼１２から静翼２１への熱Ｈ１の移動を盛んにして、円筒状ステータ２２から周辺部材であるロータ円筒部１３、動翼１２、及び、静翼２１への放射による熱Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６の移動を抑制して、ポンプロータ１０の温度上昇を抑制できる。その結果、ポンプロータ１０のクリープ変形によって、ポンプロータ１０が静翼２１や円筒状ステータ２２と接触し、それらが破断することを防止することができる。

【0041】

（１Ｃ）周辺部材の１つであるベース２０に関する上記構成を有することで、円筒状ステータ２２が外部に余計な熱を放出することを抑制でき、ステータ加熱部２８が余計な電力を消費しなくて済む。また、円筒状ステータ２２からベース２０が余計な熱を受けることを抑制できる。円筒状ステータ２２からベース２０への熱放射を抑制でき、円筒状ステータ２２を高温に維持できるので、円筒状ステータ２２に反応生成物が堆積することを防止できる。

【0042】

（２）ステータ加熱部２８によって、円筒状ステータ２２の温調温度は、ポンプロータ１０の温調温度よりも高い場合が生じることがあるが、このような場合でも、円筒状ステータ２２からの熱Ｈ４に起因するポンプロータ１０の温度上昇を抑制することができる。その結果、ポンプロータ１０のクリープ変形によって、ポンプロータ１０が静翼２１や円筒所ステータ２２と接触し、それらが破断することを防止することができる。

【0043】

（３）母材をアルミ合金にして、表面処理を施さない場合は、その外表面の放射率は、０．１以下という低放射率にすることができる。

【0044】

（４）Ｎｉメッキを施した外表面の放射率は、０．２という低放射率にすることができる。また、Ｎｉメッキを施すと、プロセスガスによる腐食に対する耐食性が向上する。

【0045】

（５）黒色Ｎｉメッキを施した外表面の放射率は、０．７という高放射率にすることができる。また、黒色Ｎｉメッキを施すと、プロセスガスによる腐食に対する耐食性が向上する。

【0046】

（６）母材をアルミ合金にして、アルマイト処理を外表面に施すと、その外表面の放射率は０．９という高放射率にすることができる。

【0047】

（７）円筒状ステータ２２は、熱伝導抑制部材２４を介して、ベース２０に取り付けられている。これによって、円筒状ステータ２２を熱的に隔離することができ、円筒状ステータ２２の温度変化を抑制することができる。その結果、ステータ加熱部２８によって円筒状ステータ２２が加熱されて円筒状ステータ２２の温度が高くなった場合には、円筒状ステータ２２の温度が高いというその状態を容易に維持することができる。

【0048】

ここで、本実施形態のターボ分子ポンプ１を、比較例１のターボ分子ポンプ１Ａ、及び、比較例２のターボ分子ポンプ１Ｂと対比して、反応生成物への対策、及び、構成の違いからくる熱の移動について、図２〜図５を用いて説明する。

【0049】

比較例１のターボ分子ポンプ１Ａは、図３（ａ）に示すように、円筒状ステータ２２とベース２０が直接接続されている。すなわち、熱伝導抑制部材２４を有していない。さらに、円筒状ステータ２２を専用に加熱するステータ加熱部２８を有していない。また、比較例１のターボ分子ポンプ１Ａは、図２（ｂ）に示すように、円筒状ステータ２２、ロータ円筒部１３、動翼１２、静翼２１、および、ベース２０の母材がアルミ合金で、本実施形態において対象とした外表面が黒色Ｎｉメッキされている。

【0050】

比較例２のターボ分子ポンプ１Ｂは、図３（ｂ）に示すように、本実施形態と同様に、円筒状ステータ２２が熱伝導抑制部材２４を介してベース２０に取り付けられている。さらに、本実施形態と同様に、円筒状ステータ２２を専用に加熱するステータ加熱部２８を有している。また、比較例１のターボ分子ポンプ１Ａは、図２（ｂ）に示すように、円筒状ステータ２２、ロータ円筒部１３、動翼１２、静翼２１、および、ベース２０の母材がアルミ合金で、本実施形態において対象とした外表面が黒色Ｎｉメッキされている。

【0051】

図４は、反応生成物の一例である塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ_３）の蒸気圧曲線を示している。この蒸気圧曲線よりも図示上方の領域では、塩化アルミニウムは気体となる。反対に、この蒸気圧曲線よりも図示下方の領域では、塩化アルミニウムは固体となり、堆積物として堆積する。

【0052】

図５は、図４に示される蒸気圧曲線に追加して、比較例１、比較例２、本実施形態の、静翼１２と円筒状ステータ２１の各部位の温度の一例を示したものである。ヒータ２７、水冷パイプ５０によるベース２０の温調温度は７５℃とし、ステータ加熱部２８による温調温度は１３０℃とし、ロータの許容温度は１２０℃とする。なお、最上段静翼とは、ターボ分子ポンプ１の吸気口に最も近い段の静翼２１である。最下段静翼とは、ターボ分子ポンプ１の排気口に最も近い段の静翼２１である。中間段静翼とは、最上段静翼と最下段静翼の中間に位置する段の静翼２１である。円筒状ステータ入口とは、円筒状ステータ２２の吸気口側端部を意味している。円筒状ステータ出口とは、円筒状ステータ２２の排気口側端部を意味している。

【0053】

図５において、比較例１では、円筒状ステータ出口における圧力に対する温度が蒸気圧曲線に接近している。すなわち、比較例１のターボ分子ポンプ１Ａの円筒状ステータ２２の排気口側端部は、塩化アルミニウムが堆積しやすい状況にある。そこで、比較例２のように、円筒状ステータ２２を熱的に隔離し、さらに、ステータ加熱部２８を設けることで、円筒状ステータ２２の温度を上昇させ、塩化アルミニウムを堆積しにくくすることができる。

【0054】

しかし、ここで問題が生じる。図３（ａ）に示すように、比較例１のときは、ポンプロータ１０が最も温度が高い。そのため、図２（ｂ）に示すように、円筒状ステータ２２、ロータ円筒部１３、動翼１２、静翼２１、および、ベース２０の外表面Ｓ１〜Ｓ７を黒色Ｎｉメッキとすることで、ポンプロータ１０の放射による熱Ｈ１、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６の移動を盛んにすることが好ましい。

【0055】

ところが、図３（ｂ）に示すように、比較例２においては、円筒状ステータ２２が、ポンプロータ１０よりも温度が高い場合がある。この場合、円筒状ステータ２２が熱源となって、周辺部材の外表面Ｓ４〜Ｓ７に放射による熱Ｈ４〜Ｈ９の移動を盛んに行ってしまう。そのため、ポンプロータ１０の温度が許容温度である１２０℃を超えるという問題が生じる。また、放射熱Ｈ４に起因するポンプロータ１０内の伝導による熱の移動Ｈ３によって、動翼１２から静翼２１への放射による熱Ｈ１が増加することになり、動翼１２から静翼２１へ放熱できる許容熱量を超える虞もある。

【0056】

そこで、本実施形態では、図３（ｃ）に示すように、外表面Ｓ３〜Ｓ７の放射率を低くして、円筒状ステータ２２から周辺部材への放射による熱Ｈ４〜Ｈ９を抑制し、かつ、外表面Ｓ１、Ｓ２の放射率は、依然として高くして、動翼１２から静翼２１へ放射によって移動する熱Ｈ１の量を多くすることで、ポンプロータ１０の温度上昇を抑制し、かつ、反応生成物の堆積を防止できる。

【0057】

次のような変形（Ａ）〜（Ｄ）も本発明の範囲内である。

【0058】

（Ａ）以上に示したステータ加熱部２８は、ステータ温調部としてもよい。すなわち、ブロック２８１にヒータ２８０だけでなく、水冷パイプまたは油冷パイプを設けるようにしてもよい。これによって、円筒状ステータ２２の温度調整がより容易になる。

【0059】

（Ｂ）以上では、円筒状ステータ２２の外表面（さらには、ベース２０、動翼１２、静翼２１の各外表面であって円筒状ステータ２２と対向する外表面）には表面処理を施さなかったが、Ｎｉメッキを施すようにしてもよい。Ｎｉの放射率は０．２程度と比較的低いため、円筒状ステータ２２から周囲へ向けての放射による熱移動は抑制される。また、円筒状ステータ２２の外表面にＮｉメッキを施すことで耐腐食性が付与され、プロセスガスによる腐食に対する耐久性が向上する。

【0060】

（Ｃ）以上では、ロータ円筒部１３の外表面であって円筒状ステータ２２と対向する外表面にはＮｉメッキを施したが、ロータ円筒部１３の母材がアルミ合金であれば、表面処理を施さなくてもよい。この場合、ロータ円筒部１３の外表面の放射率は０．１以下と比較的低いため、円筒状ステータ２２からの放射による熱を受けにくくすることができる。

【0061】

（Ｄ）以上では、静翼２１の外表面であって動翼１２と対向する外表面にはアルマイト処理を施したが、アルマイト処理の代わりに黒色Ｎｉメッキを施してもよい。黒色Ｎｉメッキとすることで高放射率で且つ耐食性に優れた外表面となる。動翼１２の外表面であって静翼２１と対向する外表面には黒色Ｎｉメッキを施したが、アルマイト処理を施してもよい。

【0062】

本発明は以上に示した内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

【符号の説明】

【0063】

１：ターボ分子ポンプ
１０：ポンプロータ
１１：ロータシャフト
１２：動翼
１３：ロータ円筒部
２０：ベース
２０Ａ：ベース上部
２０Ｂ：ベース下部
２１：静翼
２２：円筒状ステータ
２３：ポンプケーシング
２４：熱伝導抑制部材
２６：排気口
２７：ヒータ
２８：ステータ加熱部
２９：スペーサ
３２：ラジアル磁気軸受
３３：アキシャル磁気軸受
３４：モータ
３５ａ：メカニカルベアリング
３５ｂ：メカニカルベアリング
４１：断熱部材
４２：断熱部材
５０：水冷パイプ
２０１：凹部
２０３：温度センサ
２２０：フランジ部
２２０ａ：下面
２２２：ボルト
２８０：ヒータ
２８１：ブロック（ヒータブロック）
２８２：ボルト

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】