特許 6398622 剥離装置および剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6398622

(24)【登録日】2018年9月14日

(45)【発行日】2018年10月3日

(54)【発明の名称】剥離装置および剥離方法

(51)【国際特許分類】

   B65H 41/00 20060101AFI20180920BHJP

   B65H 29/56 20060101ALI20180920BHJP

【ＦＩ】

   B65H41/00 Z

   B65H29/56

【請求項の数】3

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-225857(P2014-225857)

(22)【出願日】2014年11月6日

(65)【公開番号】特開2016-88704(P2016-88704A)

(43)【公開日】2016年5月23日

【審査請求日】2017年8月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002945

【氏名又は名称】オムロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000947

【氏名又は名称】特許業務法人あーく特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】近藤 正敬

(72)【発明者】

【氏名】北島 功朗

(72)【発明者】

【氏名】菊地 栄治

(72)【発明者】

【氏名】田中 利典

【審査官】 五閑 統一郎

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１０／０９０１４７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 実開平０７−０１３８４９（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｈ ４１／００

Ｂ６５Ｈ ２９／００

Ｂ６５Ｈ ３／０８

Ｂ３２Ｂ １／００ −４３／００

Ｇ０２Ｆ １／１３

Ｇ０２Ｆ １／１３７− １／１４１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークに貼り付けられたシートを剥離する剥離装置であって、
前記シートを吸着する複数の吸着部を備え、
前記複数の吸着部は、前記シートの一方端部側に配置される第１吸着部と、前記シートの他方端部側に配置される第２吸着部と、前記第１吸着部と前記第２吸着部との間に配置される第３吸着部とを含み、
前記第１吸着部、前記第２吸着部および前記第３吸着部は、弾性変形可能な連結部材によって連結され、
前記第２吸着部がベース部に設けられ、前記ベース部には前記第１吸着部を斜め上方に引き上げる引上部材が設けられ、
前記第１吸着部は、前記シートを吸着した状態で、前記ワークに対する垂直方向から前記シートの他方端部側に傾斜した方向に前記ワークから離れるように移動する構成とされ、
前記第３吸着部は、前記第１吸着部の移動後に、前記シートを吸着した状態で、前記ワークに対する垂直方向から前記シートの他方端部側に傾斜した方向に前記ワークから離れるように移動する構成とされ、
前記第２吸着部は、前記第３吸着部の移動後に、前記シートを吸着した状態で、前記ワークに対する垂直方向に前記ワークから離れるように移動する構成とされていることを特徴とする剥離装置。

【請求項2】

請求項１に記載の剥離装置において、
前記ワークは、照明体を含み、
前記シートは、前記照明体を保護する保護シートを含むことを特徴とする剥離装置。

【請求項3】

ワークに貼り付けられたシートを吸着する複数の吸着部を備え、前記シートを剥離する剥離装置における剥離方法であって、
前記複数の吸着部は、前記シートの一方端部側に配置される第１吸着部と、前記シートの他方端部側に配置される第２吸着部と、前記第１吸着部と前記第２吸着部との間に配置される第３吸着部とを含み、
前記第１吸着部、前記第２吸着部および前記第３吸着部は、弾性変形可能な連結部材によって連結され、
前記第２吸着部がベース部に設けられ、前記ベース部には前記第１吸着部を斜め上方に引き上げる引上部材が設けられ、
前記第１吸着部、前記第２吸着部および前記第３吸着部が前記シートを吸着するステップと、
前記第１吸着部が前記シートを吸着した状態で、前記ワークに対する垂直方向から前記シートの他方端部側に傾斜した方向に前記第１吸着部が前記ワークから離れるように移動するステップと、
前記第１吸着部の移動後に前記第３吸着部が前記シートを吸着した状態で、前記ワークに対する垂直方向から前記シートの他方端部側に傾斜した方向に前記第３吸着部が前記ワークから離れるように移動するステップと、
前記第３吸着部の移動後に前記第２吸着部が前記シートを吸着した状態で、前記ワークに対する垂直方向に前記第２吸着部が前記ワークから離れるように移動するステップとを備えることを特徴とする剥離方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、剥離装置および剥離方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ワークに貼り付けられたシートを剥離する剥離装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１には、液晶パネルに貼り付けられた保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置が開示されている。この保護フィルム剥離装置では、保護フィルムの１つの角部を剥離ハンドが保持した状態で、その剥離ハンドが液晶パネルの表面に沿って平行に移動することにより、保護フィルムが液晶パネルから剥離されるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９−２３３９８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上記のような従来の保護フィルム剥離装置では、保護フィルムが剥離されるときに鋭角に折り曲げられることから、剥離される保護フィルムに負荷がかかるので、保護フィルムが損傷やカールするおそれがある。したがって、剥離された保護フィルムを再利用することが困難である。

【0006】

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、ワークから剥離されるシートに負荷がかかるのを抑制することが可能な剥離装置および剥離方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明による剥離装置は、ワークに貼り付けられたシートを剥離する剥離装置であって、シートを吸着する複数の吸着部を備える。複数の吸着部は、シートの一方端部側に配置される第１吸着部と、シートの他方端部側に配置される第２吸着部と、第１吸着部と第２吸着部との間に配置される第３吸着部とを含む。第１吸着部、第２吸着部および第３吸着部は、弾性変形可能な連結部材によって連結されている。第２吸着部がベース部に設けられ、ベース部には第１吸着部を斜め上方に引き上げる引上部材が設けられている。そして、第１吸着部は、シートを吸着した状態で、ワークに対する垂直方向からシートの他方端部側に傾斜した方向にワークから離れるように移動する構成とされ、第３吸着部は、第１吸着部の移動後に、シートを吸着した状態で、ワークに対する垂直方向からシートの他方端部側に傾斜した方向にワークから離れるように移動する構成とされ、第２吸着部は、第３吸着部の移動後に、シートを吸着した状態で、ワークに対する垂直方向にワークから離れるように移動する構成とされている。

【0008】

このように構成することによって、複数の吸着部がシートを吸着して保持する状態で、ワークの一方端部側から他方端部側に向けて順にシートを剥離することができるので、ワークから剥離されるシートに負荷がかかるのを抑制することができる。

【0012】

上記剥離装置において、ワークは、照明体を含み、シートは、照明体を保護する保護シートを含むようにしてもよい。

【0013】

また、本発明による剥離方法は、ワークに貼り付けられたシートを吸着する複数の吸着部を備え、シートを剥離する剥離装置における剥離方法である。複数の吸着部は、シートの一方端部側に配置される第１吸着部と、シートの他方端部側に配置される第２吸着部と、第１吸着部と第２吸着部との間に配置される第３吸着部とを含む。第１吸着部、第２吸着部および第３吸着部は、弾性変形可能な連結部材によって連結されている。第２吸着部がベース部に設けられ、ベース部には第１吸着部を斜め上方に引き上げる引上部材が設けられている。そして、剥離方法は、第１吸着部、第２吸着部および第３吸着部がシートを吸着するステップと、第１吸着部がシートを吸着した状態で、ワークに対する垂直方向からシートの他方端部側に傾斜した方向に第１吸着部がワークから離れるように移動するステップと、第１吸着部の移動後に第３吸着部がシートを吸着した状態で、ワークに対する垂直方向からシートの他方端部側に傾斜した方向に第３吸着部がワークから離れるように移動するステップと、第３吸着部の移動後に第２吸着部がシートを吸着した状態で、ワークに対する垂直方向に第２吸着部がワークから離れるように移動するステップとを備える。

【発明の効果】

【0014】

本発明の剥離装置および剥離方法によれば、ワークから剥離されるシートに負荷がかかるのを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の一実施形態による剥離装置の概略構成を示した斜視図である。

【図2】図１の剥離装置を下側から見た斜視図である。

【図3】図１の剥離装置において昇降部材が下降した状態を示した斜視図である。

【図4】図３の剥離装置を示した側面図である。

【図5】図４の剥離装置においてエアシリンダが作動した状態を示した側面図である。

【図6】図５の剥離装置において昇降部材が上昇した状態を示した斜視図である。

【図7】図６の剥離装置においてスライド部材が移動した状態を示した斜視図である。

【図8】図７の剥離装置において保護シートが仮置き部に載置された状態を示した斜視図である。

【図9】照明体および保護シートを拡大して示した分解斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。

【0017】

−構成−
まず、図１、図２および図９を参照して、本発明の一実施形態による剥離装置１００の構成について説明する。この剥離装置１００は、たとえば、照明体２００を検査する検査装置（図示省略）に設けられており、検査の前に照明体２００に貼り付けられた保護シート２５０を剥離するように構成されている。なお、検査装置は、検査が終了された後に、剥離された保護シート２５０を照明体２００に貼りなおすように構成されている。

【0018】

ここで、照明体２００は、たとえば、液晶表示装置等に用いられる面状の照明体である。この照明体２００は、図９に示すように、表面２００ａに矩形枠状の両面テープ２０１が設けられており、その両面テープ２０１により保護シート２５０が照明体２００の表面２００ａに貼り付けられている。この両面テープ２０１は、一方端部側（Ｘ１方向側）の短辺２０１ａの幅がその他の辺の幅に比べて広くなるように形成されている。なお、照明体２００は、本発明の「ワーク」の一例であり、保護シート２５０は、本発明の「シート」の一例である。

【0019】

また、照明体２００は、図１に示すように、検査装置の搬送部材３００により剥離装置１００に供給されるようになっている。搬送部材３００は、照明体２００が載置される載置部３０１と、剥離装置１００により剥離された保護シート２５０が一時的に載置される仮置き部３０２とを有する。載置部３０１および仮置き部３０２は、隣接するように配置されている。そして、搬送部材３００は、載置部３０１に載置される照明体２００を裏面側から吸着して保持するように構成されている。

【0020】

剥離装置１００は、図２に示すように、剥離機構部１と、剥離機構部１を垂直方向（Ｚ１およびＺ２方向）に移動させるための昇降部材２と、昇降部材２を水平方向（Ｙ１およびＹ２方向）に移動させるためのスライド部材３とを備えている。

【0021】

剥離機構部１は、ベース部１１と、複数の吸盤１２と、吸盤１２が設けられる複数の吸盤台１３と、吸盤台１３を連結する連結部材１４と、エアシリンダ１５とを含んでいる。

【0022】

ベース部１１は、昇降部材２に取り付けられている。ベース部１１には、照明体２００の長手方向（Ｘ１方向）に延びる支持ロッド１１ａおよび１１ｂが形成されている。支持ロッド１１ａおよび１１ｂは、同じ高さ位置に平行に配置され、支持ロッド１１ｂが支持ロッド１１ａよりも長くなっている。具体的には、支持ロッド１１ａは、後述する吸盤台１３ｃまで延びるように形成され、支持ロッド１１ｂは、後述する吸盤台１３ａまで延びるように形成されている。

【0023】

複数の吸盤１２は、保護シート２５０（照明体２００）の長手方向の一方端部側（Ｘ１方向側）に配置される吸盤１２ａと、保護シート２５０の長手方向の他方端部側（Ｘ２方向側）に配置される吸盤１２ｂと、吸盤１２ａおよび１２ｂの間に配置される吸盤１２ｃとを含んでいる。なお、吸盤１２ａ、１２ｂおよび１２ｃは、それぞれ、本発明の「第１吸着部」、「第２吸着部」および「第３吸着部」の一例である。

【0024】

吸盤１２ａ、１２ｂおよび１２ｃは、それぞれ、複数（本実施形態では３つ）設けられ、保護シート２５０の短手方向（Ｙ１およびＹ２方向）に連なるように配置されている。すなわち、複数の吸盤１２は、矩形状の照明体２００に対して行列状（格子状）に配置されている。

【0025】

複数の吸盤台１３は、吸盤１２ａが設けられる吸盤台１３ａと、吸盤１２ｂが設けられる吸盤台１３ｂと、吸盤１２ｃが設けられる吸盤台１３ｃとを含んでいる。吸盤台１３ａ、１３ｂおよび１３ｃは、保護シート２５０の長手方向（Ｘ１およびＸ２方向）に間隔を隔てて配置されている。

【0026】

吸盤台１３ａは、ベース部１１に対して離れた側（Ｘ１方向側）に配置され、保護シート２５０の短手方向（Ｙ１およびＹ２方向）に延びるように形成されている。この吸盤台１３ａの下面には、複数の吸盤１２ａが間隔を隔てて設けられている。また、吸盤台１３ａの下面には、吸盤１２ａの間に連結部材１４が取り付けられている。

【0027】

また、吸盤台１３ａには、内部にエア通路（図示省略）が形成され、そのエア通路に吸盤１２ａが連通されている。吸盤台１３ａの一方側面（Ｙ２方向側の側面）には、エアホース（図示省略）の取付金具１３１ａが設けられ、取付金具１３１ａにエア通路が連通されている。そして、エアホースおよびエア通路を介して吸盤１２ａにエアが給排されることにより、吸盤１２ａが吸着およびその解除を行うようになっている。

【0028】

吸盤台１３ａの他方側面（Ｙ１方向側の側面）には、図１に示すように、突部１３２ａおよび押さえロッド１３３ａが形成されている。突部１３２ａは、外側（Ｙ１方向側）に突出するように形成され、支持ロッド１１ｂの上方に配置されている。すなわち、突部１３２ａが支持ロッド１１ｂにより支持されている。押さえロッド１３３ａは、ベース部１１側（Ｘ２方向側）に延びるように形成され、後述する突部１３２ｃの上方に配置されている。

【0029】

そして、吸盤台１３ａは、エアシリンダ１５に回動可能に取り付けられており、そのエアシリンダ１５によって斜め上方（図５のＤ方向）に引き上げられるように構成されている。

【0030】

吸盤台１３ｂは、ベース部１１に取り付けられ、保護シート２５０の短手方向（Ｙ１およびＹ２方向）に延びるように形成されている。この吸盤台１３ｂの下面には、図２に示すように、複数の吸盤１２ｂが間隔を隔てて設けられている。また、吸盤台１３ｂの下面には、吸盤１２ｂの間に連結部材１４が取り付けられている。

【0031】

また、吸盤台１３ｂには、内部にエア通路（図示省略）が形成され、そのエア通路に吸盤１２ｂが連通されている。吸盤台１３ｂの一方側面（Ｙ２方向側の側面）には、エアホース（図示省略）の取付金具１３１ｂが設けられ、取付金具１３１ｂにエア通路が連通されている。そして、エアホースおよびエア通路を介して吸盤１２ｂにエアが給排されることにより、吸盤１２ｂが吸着およびその解除を行うようになっている。

【0032】

吸盤台１３ｃは、吸盤台１３ａおよび１３ｂの間に配置され、保護シート２５０の短手方向（Ｙ１およびＹ２方向）に延びるように形成されている。この吸盤台１３ｃの下面には、複数の吸盤１２ｃが間隔を隔てて設けられている。また、吸盤台１３ｃの下面には、吸盤１２ｃの間に連結部材１４が取り付けられている。

【0033】

また、吸盤台１３ｃには、内部にエア通路（図示省略）が形成され、そのエア通路に吸盤１２ｃが連通されている。吸盤台１３ｃの上端面には、エアホース（図示省略）の取付金具１３１ｃが設けられ、取付金具１３１ｃにエア通路が連通されている。そして、エアホースおよびエア通路を介して吸盤１２ｃにエアが給排されることにより、吸盤１２ｃが吸着およびその解除を行うようになっている。

【0034】

吸盤台１３ｃの側面には、外側に突出するように突部１３２ｃが形成されている。一方側面（Ｙ２方向側の側面）の突部１３２ｃは、支持ロッド１１ａの上方に配置され、その支持ロッド１１ａにより支持されている。他方側面（Ｙ１方向側の側面）の突部１３２ｃは、支持ロッド１１ｂの上方に配置され、その支持ロッド１１ｂにより支持されている。また、他方側面の突部１３２ｃの上方には、吸盤台１３ａの押さえロッド１３３ａが配置されている。

【0035】

そして、吸盤台１３ｃは、吸盤台１３ａが斜め上方（図５のＤ方向）に引き上げられるときに、その吸盤台１３ａに連れて斜め上方に引き上げられるように構成されている。

【0036】

連結部材１４は、吸盤台１３ａ、１３ｂおよび１３ｃを連結するために設けられている。この連結部材１４は、弾性変形可能に構成され、保護シート２５０の長手方向（Ｘ１およびＸ２方向）に延びるように形成されている。また、連結部材１４は、帯板状に形成されるとともに、複数（本実施形態では２つ）設けられている。

【0037】

エアシリンダ１５は、図１に示すように、ベース部１１に取り付けられるシリンダ本体１５１と、シリンダ本体１５１に対してスライドする可動部材１５２とを含んでいる。このエアシリンダ１５は、ベース部１１に対して吸盤台１３ａおよび１３ｃを移動させるために設けられている。なお、エアシリンダ１５は、本発明の「引上部材」の一例である。

【0038】

シリンダ本体１５１には、エアホース（図示省略）の取付金具１５１ａが設けられ、エアホースを介してエアを給排することが可能である。可動部材１５２の先端には、アーム１５２ａが設けられ、そのアーム１５２ａに吸盤台１３ａが回動可能に取り付けられている。そして、エアシリンダ１５では、エアが給排されることにより、可動部材１５２がシリンダ本体１５１に対してスライドするようになっている。

【0039】

昇降部材２は、スライド部材３に設けられ、そのスライド部材３に対して昇降するように構成されている。これにより、昇降部材２に取り付けられた剥離機構部１が搬送部材３００に対して昇降するようになっている。

【0040】

スライド部材３は、フレーム４（図２参照）に設けられ、そのフレーム４に対して水平方向（Ｙ１およびＹ２方向）に移動するように構成されている。これにより、剥離機構部１および昇降部材２が搬送部材３００の上方で載置部３０１と仮置き部３０２との間を行き交うようになっている。

【0041】

−動作−
次に、図１〜図９を参照して、本実施形態による剥離装置１００の動作について説明する。なお、以下では、剥離装置１００に対して、保護シート２５０が貼り付けられた照明体２００が搬送部材３００により順次搬送される場合を一例として説明する。

【0042】

まず、図１に示すように、搬送部材３００により、保護シート２５０が貼り付けられた照明体２００が搬送（供給）される。これにより、剥離機構部１の下方にその照明体２００が配置される。

【0043】

なお、照明体２００は、搬送部材３００の載置部３０１に載置され、搬送部材３００により保持されている。また、照明体２００は、矩形枠状の両面テープ２０１の幅が広い短辺２０１ａ（図９参照）がＸ１方向側に配置されている。

【0044】

そして、図３および図４に示すように、昇降部材２がＺ１方向に移動（下降）することにより、複数の吸盤１２が保護シート２５０に接触される。この状態で、各吸盤１２が保護シート２５０を吸着する。

【0045】

なお、吸盤１２（図２参照）は、行列状に設けられており、保護シート２５０を全面的に保持するようになっている。また、吸盤１２ａは、吸盤１２ｂおよび１２ｃに比べて吸着力が高くなるように設定されている。また、吸盤１２ｂおよび１２ｃの吸着力が同じになるように設定されていてもよいし、吸盤１２ｂは吸盤１２ｃよりも吸着力が高くなるように設定されていてもよい。

【0046】

その後、エアシリンダ１５が作動することにより、図５に示すように、可動部材１５２がＤ方向に移動する。なお、Ｄ方向は、照明体２００の表面２００ａ（図９参照）に対する垂直方向からＸ２方向側（ベース部１１側）に傾斜した方向である。

【0047】

ここで、吸盤台１３ａが可動部材１５２に回動可能に設けられており、吸盤台１３ａが可動部材１５２とともにＤ方向に移動する。これにより、吸盤１２ａが保護シート２５０を吸着した状態で照明体２００から離れるようにＤ方向に移動するので、保護シート２５０が照明体２００のＸ１方向側の端部から剥離される。

【0048】

また、吸盤台１３ｃが連結部材１４により吸盤台１３ａに連結されており、吸盤台１３ｃが吸盤台１３ａとともにＤ方向に移動する。これにより、吸盤１２ａが移動を開始した後に、吸盤１２ｃが保護シート２５０を吸着した状態で照明体２００から離れるようにＤ方向に移動するので、保護シート２５０が照明体２００からさらに剥離される。すなわち、保護シート２５０がＸ１方向側の端部からＸ２方向側の端部に向けて順に剥離される。

【0049】

このように、エアシリンダ１５が作動した状態では、吸盤台１３ａは、吸盤１２ａがＸ１方向側を向くように回動される。また、連結部材１４が弾性変形され、吸盤台１３ｃの突部１３２ｃが吸盤台１３ａの押さえロッド１３３ａにより押さえられる。このため、吸盤１２ｃは吸盤１２ａよりも低い位置に配置されている。また、吸盤台１３ｂはベース部１１に設けられているため、吸盤１２ｂの位置は変化しない。すなわち、保護シート２５０のＸ２方向側の端部は照明体２００に貼り付けられたままである。

【0050】

その後、昇降部材２がＺ２方向に移動（上昇）する。これにより、剥離機構部１が上昇するため、保護シート２５０のＸ２方向側の端部も照明体２００から剥離される。具体的には、吸盤１２ａおよび１２ｃの移動後に、吸盤１２ｂが保護シート２５０を吸着した状態で照明体２００から離れるように垂直方向（Ｚ２方向）に移動するので、保護シート２５０のＸ２方向側の端部が照明体２００から剥離される。これにより、保護シート２５０が照明体２００から完全に剥離される。

【0051】

そして、エアシリンダ１５の作動が解除される。これにより、図６に示すように、剥離した保護シート２５０を吸盤１２が吸着した状態で、その保護シート２５０が照明体２００の上方に配置される。なお、このとき、吸盤台１３ａの突部１３２ａが支持ロッド１１ｂにより支持され、吸盤台１３ｃの突部１３２ｃが支持ロッド１１ａおよび１１ｂにより支持される。これにより、連結部材１４の弾性変形が解消され、剥離された保護シート２５０がほぼ平坦な状態で吸盤１２により保持される。

【0052】

そして、スライド部材３がＹ１方向側に移動する。これにより、図７に示すように、剥離された保護シート２５０が搬送部材３００の仮置き部３０２の上方に配置される。その後、昇降部材２がＺ１方向に移動（下降）し、保護シート２５０が仮置き部３０２に載置される。そして、吸盤１２による保護シート２５０の吸着が解除される。その後、昇降部材２がＺ２方向に移動（上昇）するとともに、スライド部材３がＹ２方向に移動することにより、図８に示すように、剥離機構部１が元の位置に戻される。

【0053】

このようにして、照明体２００に貼り付けられた保護シート２５０が剥離され、その剥離された保護シート２５０が仮置き部３０２に載置される。その後、搬送部材３００により、照明体２００および剥離された保護シート２５０が搬送（排出）されるとともに、保護シート２５０が貼り付けられた新しい照明体２００が搬送（供給）される。

【0054】

その後、上記した動作が繰り返し行われる。

【0055】

−効果−
本実施形態では、上記のように、保護シート２５０を吸着する複数の吸盤１２を備え、吸盤１２ａ、１２ｃおよび１２ｂが順に照明体２００から離れるように移動することによって、複数の吸盤１２が保護シート２５０を吸着して保持する状態で、照明体２００の一方端部側から他方端部側に向けて順に保護シート２５０を剥離することができる。これにより、小さい力で保護シート２５０を剥離するとともに、剥離時の保護シート２５０の変形を抑制することができるので、保護シート２５０に負荷がかかるのを抑制することができる。したがって、保護シート２５０が損傷やカールしにくいので、剥離された保護シート２５０を再利用することができる。たとえば、検査前に照明体２００から剥離された保護シート２５０を、検査後に照明体２００に貼りなおすことができる。

【0056】

また、本実施形態では、吸盤台１３ａおよび１３ｃを連結する連結部材１４を設けることによって、エアシリンダ１５により吸盤台１３ａが移動したときに、その吸盤台１３ａに連れて吸盤台１３ｃを移動させることができる。

【0057】

また、本実施形態では、吸盤１２ａおよび１２ｃをＤ方向に移動させる動作と、吸盤１２ｂをＺ２方向に移動させる動作との２段階の動作で保護シート２５０を剥離することによって、剥離された保護シート２５０が照明体２００の上方に配置される。すなわち、照明体２００と対応する領域で保護シート２５０を剥離することができるので、剥離装置１００が大型化するのを抑制することができる。

【0058】

また、本実施形態では、吸盤１２ｂおよび１２ｃに比べて吸盤１２ａの吸着力を高くすることによって、両面テープ２０１の幅が広い短辺２０１ａが配置される一方端部側（Ｘ１方向側）の保護シート２５０を適切に剥離することができる。

【0059】

−他の実施形態−
なお、今回開示した実施形態は、すべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態のみによって解釈されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、本発明の技術的範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

【0060】

たとえば、本実施形態では、検査装置に設けられる剥離装置１００に本発明を適用する例を示したが、これに限らず、検査装置以外のその他の装置に設けられる剥離装置に本発明を適用してもよい。

【0061】

また、本実施形態では、ワークの一例として照明体２００を示したが、これに限らず、照明体以外のワークにシートが貼り付けられていてもよい。また、シートの一例として保護シート２５０を示したが、これに限らず、ワークに保護シート以外のシートが貼り付けられていてもよい。

【0062】

また、本実施形態では、照明体２００に矩形枠状の両面テープ２０１が設けられる例を示したが、これに限らず、照明体の全面に両面テープが設けられていてもよい。また、照明体に両面テープ以外の接着材が設けられていてもよい。

【0063】

また、本実施形態では、搬送部材３００により照明体２００が剥離装置１００に供給される例を示したが、これに限らず、剥離装置が照明体を搬送する搬送部材を備えていてもよい。

【0064】

また、本実施形態では、吸盤１２ａ（１２ｂ、１２ｃ）が１列に設けられる例を示したが、これに限らず、吸盤１２ａ（１２ｂ、１２ｃ）が複数列に設けられていてもよい。また、吸盤１２ａおよび１２ｂの間に吸盤１２ｃが設けられていなくてもよい。

【0065】

また、本実施形態では、吸盤台１３ａ（１３ｂ、１３ｃ）に３つの吸盤１２ａ（１２ｂ、１２ｃ）が設けられる例を示したが、これに限らず、吸盤台に設けられる吸盤の数はいくつであってもよい。

【0066】

また、本実施形態では、吸盤１２ａの吸着力が吸盤１２ｂおよび１２ｃに比べて高くなるように設定される例を示したが、これに限らず、吸盤の吸着力は適宜設定可能である。たとえば、照明体に対する保護シートの貼付箇所やその接着力に応じて吸盤の吸着力を設定することが好ましい。

【0067】

また、本実施形態では、エアシリンダ１５により吸盤台１３ａを引き上げる例を示したが、これに限らず、電磁ソレノイド式のアクチュエータなどにより吸盤台を引き上げるようにしてもよい。

【0068】

また、本実施形態では、昇降部材２が上昇した後であってスライド部材３が水平方向に移動する前にエアシリンダ１５の作動が解除される例を示したが、これに限らず、昇降部材が上昇した後であれば、エアシリンダの作動が解除されるタイミングはいつであってもよい。

【0069】

また、本実施形態では、照明体２００の全面を覆うように保護シート２５０が貼り付けられる例を示したが、これに限らず、照明体の表面の一部を覆うように保護シートが貼り付けられていてもよい。また、保護シートが照明体からはみ出していてもよいし、保護シートが照明体内に収まっていてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0070】

本発明は、ワークに貼り付けられたシートを剥離する剥離装置および剥離方法に利用可能である。

【符号の説明】

【0071】

１１ ベース部
１２ 吸盤（吸着部）
１２ａ 吸盤（第１吸着部）
１２ｂ 吸盤（第２吸着部）
１２ｃ 吸盤（第３吸着部）
１４ 連結部材
１５ エアシリンダ（引上部材）
１００ 剥離装置
２００ 照明体（ワーク）
２５０ 保護シート（シート）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】