特許 6398766 光配向用偏光光照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6398766

(24)【登録日】2018年9月14日

(45)【発行日】2018年10月3日

(54)【発明の名称】光配向用偏光光照射装置

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/1337 20060101AFI20180920BHJP

【ＦＩ】

   G02F1/1337

【請求項の数】2

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2015-22688(P2015-22688)

(22)【出願日】2015年2月6日

(65)【公開番号】特開2016-145911(P2016-145911A)

(43)【公開日】2016年8月12日

【審査請求日】2017年9月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003757

【氏名又は名称】東芝ライテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】前田 祥平

(72)【発明者】

【氏名】田中 貴章

【審査官】 横井 亜矢子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１４−１７４３５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第５６４８７３３（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】 特開平０５−２４１１１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１０２１１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６２−１３７８２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２８３９８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−１６８１６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０３５３５２０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｆ １／１３３７，１／１３，１／１３７−１／１４１

Ｇ０２Ｆ １／１３３，１／１３３３，１／１３３４

Ｇ０２Ｆ １／１３３９−１／１３４１，１／１３４７

Ｇ０３Ｆ ７／２０−７／２４，９／００−９／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／３０，２１／４６

Ｊａｐｉｏ−ＧＰＧ／ＦＸ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

対象物に偏光光を照射する照射領域を有する照射ユニットと；
前記対象物が搭載される第１のステージ及び第２のステージと；
前記第１のステージに前記対象物を搭載する第１の搭載位置から、前記照射領域に隣接する照射開始位置まで前記第１のステージを搬送する第１の搬送路と、前記第２のステージに前記対象物を搭載する第２の搭載位置から前記照射開始位置まで前記第２のステージを搬送する第２の搬送路と、前記照射開始位置に一端が連結されると共に、前記照射領域を通過して前記照射領域に隣接する通過位置まで他端が延び、前記第１のステージ及び前記第２のステージを搬送する第３の搬送路と、を有し、前記第１の搭載位置と前記通過位置との間で、前記第１のステージを前記第１の搬送路及び前記第３の搬送路に沿って往復させると共に、前記第２の搭載位置と前記通過位置との間で、前記第２のステージを前記第２の搬送路及び前記第３の搬送路に沿って往復させる搬送機構と;
を具備し、
前記第１の搬送路及び前記第２の搬送路の少なくとも一方の搬送路の搬送方向は、前記第３の搬送路の搬送方向と同一平面上で交差する、光配向用偏光光照射装置。

【請求項2】

対象物に偏光光を照射する照射領域を有する照射ユニットと；
前記対象物が搭載される第１のステージ及び第２のステージと；
前記第１のステージに前記対象物を搭載する第１の搭載位置から、前記照射領域に隣接する照射開始位置まで前記第１のステージを搬送する第１の搬送路と、前記第２のステージに前記対象物を搭載する第２の搭載位置から前記照射開始位置まで前記第２のステージを搬送する第２の搬送路と、前記照射開始位置に一端が連結されると共に、前記照射領域を通過して前記照射領域に隣接する通過位置まで他端が延び、前記第１のステージ及び前記第２のステージを搬送する第３の搬送路と、を有し、前記第１の搭載位置と前記通過位置との間で、前記第１のステージを前記第１の搬送路及び前記第３の搬送路に沿って往復させると共に、前記第２の搭載位置と前記通過位置との間で、前記第２のステージを前記第２の搬送路及び前記第３の搬送路に沿って往復させる搬送機構と;
を具備し、
前記第１の搬送路と前記第２の搬送路は、上下方向に並んで配置される、光配向用偏光光照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、光配向用偏光光照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液晶パネル等の製造工程では、液晶パネルの配向膜や視野角補償フィルムの配向層等の対象物の配向処理が行われている。配向処理では、配向膜に所定の波長の偏光光を照射することによって配向を行う、いわゆる光配向を行うために用いる光配向用偏光光照射装置が知られている。

【0003】

この種の光配向用偏光光照射装置としては、例えば、偏光光を照射する照射ユニットと、配向膜が形成された基板が搭載されるステージと、ステージが照射ユニットの照射領域を通過するようにステージを搬送する搬送機構と、を備える構成がある。

【0004】

また、上述した光配向用偏光光照射装置に類似する装置としては、基板が搭載された第１及び第２のステージが、基板に対して露光する露光部を通過するように、第１及び第２のステージを搬送する露光装置が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００８−１９１３０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、液晶パネル等の対象物が大型化する傾向にあり、それに伴って、光配向用偏光光照射装置での対象物に対する照射時間が増える。このため、１つの対象物あたりの処理時間（以下、タクトタイムと称する。）が長くなり、生産性の低下を招く問題がある。また、対象物の大型化に伴って、光配向用偏光光照射装置が大型化する問題がある。

【0007】

そこで、本発明は、タクトタイムの長大化を抑制すると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑制することができる光配向用偏光光照射装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

実施形態に係る光配向用偏光光照射装置は、対象物に偏光光を照射する照射領域を有する照射ユニットと、前記対象物が搭載される第１のステージ及び第２のステージと、前記第１のステージに前記対象物を搭載する第１の搭載位置から、前記照射領域に隣接する照射開始位置まで前記第１のステージを搬送する第１の搬送路と、前記第２のステージに前記対象物を搭載する第２の搭載位置から前記照射開始位置まで前記第２のステージを搬送する第２の搬送路と、前記照射開始位置に一端が連結されると共に、前記照射領域を通過して前記照射領域に隣接する通過位置まで他端が延び、前記第１のステージ及び前記第２のステージを搬送する第３の搬送路と、を有し、前記第１の搭載位置と前記通過位置との間で、前記第１のステージを前記第１の搬送路及び前記第３の搬送路に沿って往復させると共に、前記第２の搭載位置と前記通過位置との間で、前記第２のステージを前記第２の搬送路及び前記第３の搬送路に沿って往復させる搬送機構と、を具備する。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、タクトタイムの長大化を抑制すると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑制することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、第１の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置を模式的に示す側面図である。

【図2】図２は、第１の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。

【図3】図３は、第１の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置における第１及び第２のステージの動作を説明するための模式的な平面図である。

【図4】図４は、第１の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置における第１及び第２のステージの動作を説明するための模式的な平面図である。

【図5】図５は、第１の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置における第１及び第２のステージの動作を説明するための模式的な平面図である。

【図6】図６は、第１の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置における第１及び第２のステージの動作を説明するための模式的な平面図である。

【図7】図７は、第１の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置における第１及び第２のステージの動作を説明するための模式的な平面図である。

【図8】図８は、第２の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。

【図9】図９は、第２の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置の変形例を模式的に示す平面図である。

【図10】図１０は、第３の実施形態に係る光配向用偏光光照射装置を模式的に示す側面図及び平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置（以下、偏光光照射装置と称する。）１は、照射ユニット１０と、第１のステージ１１及び第２のステージ１２と、搬送機構１５とを具備する。照射ユニット１０は、対象物に偏光光を照射する照射領域Ａを有する。第１のステージ１１及び第２のステージ１２には、対象物が搭載される。搬送機構１５は、第１のステージ１１に対象物を搭載する第１の搭載位置Ｐ１から、照射領域Ａに隣接する照射開始位置Ｐ３まで第１のステージ１１を搬送する第１の搬送路１６を有する。また、搬送機構１５は、第２のステージ１２に対象物を搭載する第２の搭載位置Ｐ２から照射開始位置Ｐ３まで第２のステージ１２を搬送する第２の搬送路１７を有する。また、搬送機構１５は、照射開始位置Ｐ３に一端が連結されると共に、照射領域Ａを通過して照射領域Ａに隣接する通過位置Ｐ４まで他端が延び、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を搬送する第３の搬送路１８を有する。搬送機構１５は、第１の搭載位置Ｐ１と通過位置Ｐ４との間で、第１のステージ１１を第１の搬送路１６及び第３の搬送路１８に沿って往復させると共に、第２の搭載位置Ｐ２と通過位置Ｐ４との間で、第２のステージ１２を第２の搬送路１７及び第３の搬送路１８に沿って往復させる。

【0012】

また、以下で説明する実施形態に係る第１の搬送路１６及び第２の搬送路１７の少なくとも一方の搬送路の搬送方向は、第３の搬送路１８の搬送方向と同一平面上で交差する。
また、以下で説明する実施形態に係る第１の搬送路と第２の搬送路は、上下方向に並んで配置される。

【0013】

以下、実施形態に係る偏光光照射装置について、図面を参照して説明する。

【0014】

（第１の実施形態）
図１（ａ）は、第１の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す側面図である。図１（ｂ）は、第１の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す側面図である。図２は、第１の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。本実施形態に係る偏光光照射装置は、例えば、対象物である配向膜に直線偏光光等の偏光光を照射することで、光配向するために用いられる。本実施形態に係る偏光光照射装置は、例えば液晶パネルの配向膜や、視野角補償フィルムの配向膜等の製造に用いられる。

【0015】

（偏光光照射装置の構成）
図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、第１の実施形態の偏光光照射装置１は、照射ユニット１０と、第１のステージ１１及び第２のステージ１２と、搬送機構１５と、を備える。

【0016】

照射ユニット１０は、対象物としての配向膜が形成された基板９（以下、単に基板９と称する。）に偏光光を照射する照射領域Ａを有する。また、照射ユニット１０は、紫外線を含む光を発する管状の光源１０ａと、光源１０ａが発した光の配向を制御する反射板１０ｂと、を有する。また、照射ユニット１０は、光源１０ａが発した光と、反射板１０ｂで配向が制御された光とが入射して偏光光を出射する偏光素子（不図示）を有する。

【0017】

なお、ここでいう「照射領域Ａ」とは、照射ユニット１０の最下面の開口、すなわち、照射ユニット１０において、最も対象物に近い位置にある開口を指す。例えば、照射ユニット１０の最下面が偏光素子であれば、偏光素子の開口が照射領域Ａに該当し、偏光素子よりも対象物側に遮光板（不図示）があれば遮光板の開口が照射領域Ａに該当する。更に、遮光板に保護ガラス（不図示）があれば、保護ガラスの開口が照射領域Ａに該当する。

【0018】

光源１０ａは、例えば、紫外線透過性のガラス管内に、水銀、アルゴン、キセノンなどの希ガスが封入された高圧水銀ランプや、高圧水銀ランプに鉄やヨウ素等のメタルハライドが更に封入されたメタルハライドランプ等の管型ランプが用いられており、直線状の発光部を有する。光源１０ａは、発光部の長手方向が、照射ユニット１０に対する各ステージ１１，１２の搬送方向と直交しており、発光部の長さが、基板９の一辺の長さよりも長くされている。光源１０ａは、直線状の発光部から、例えば波長が２００ｎｍから４００ｎｍまでの紫外線を含む光を発することが可能とされている。光源１０ａが発する光は、さまざまな偏光軸成分を有する、いわゆる非偏光の光である。

【0019】

反射板１０ｂは、光源１０ａに対向する面に、光源１０ａが発した光を反射する反射面を有しており、反射面が楕円の一部をなす形状に形成されている。これにより、反射板１０ｂは、光源１０ａが発した光を集光する、いわゆる集光型の反射板として構成されている。偏光素子は、光源１０ａが発し、一様にあらゆる方向に振動したさまざまな偏光軸成分を含む光から基準方向のみに振動した偏光軸の光を取り出すことが可能とされている。なお、基準方向のみに振動した偏光軸の光を、一般に直線偏光という。また、偏光軸とは、光の電場及び磁場の振動方向である。

【0020】

第１及び第２のステージ１１，１２は、矩形状の板状に形成されており、配向膜が形成された基板９が搭載される。図２（ａ）に示すように、一組の第１及び第２のステージ１１，１２は、搬送機構１５によって移動可能に支持されている。

【0021】

搬送機構１５は、図２（ａ）に示すように、第１のステージ１１を搬送する第１の搬送路１６と、第２のステージ１２を搬送する第２の搬送路１７と、第１及び第２のステージ１１，１２を搬送する第３の搬送路１８と、を有する。

【0022】

搬送機構１５は、図２（ｂ）に示すように、互いに平行に配置された一組の第１のガイド軸１５ａと、一組の第１のガイド軸１５ａに直交すると共に互いに平行に配置された一組の第２のガイド軸１５ｂと、を有する。また、図示しないが、搬送機構１５は、第１及び第２のステージ１１，１２を第１及び第２のガイド軸１５ａ，１５ｂに沿って搬送する駆動機構を有する。第１及び第２の搬送路１６，１７は、第１のガイド軸１５ａによって、図１Ｂ及び図２ＡにおけるＸ軸方向に沿って連続する直線状に構成されている。第３の搬送路１８は、第２のガイド軸１５ｂによって、図１Ａ及び図２ＡにおけるＹ軸方向に沿って直線状に構成されており、第１及び第２の搬送路１６，１７の搬送方向に対して直交している。したがって、第１ないし第３の搬送路１６，１７，１８は、同一平面上で全体Ｔ字状をなして連結されている。

【0023】

第１の搬送路１６は、図１（ｂ）及び図２（ｂ）に示すように、第１のステージ１１に基板９を搭載する第１の搭載位置Ｐ１から、照射領域Ａに隣接する照射開始位置Ｐ３まで第１のステージ１１を搬送する。第２の搬送路１７は、第２のステージ１２に基板９を搭載する第２の搭載位置Ｐ２から、照射開始位置Ｐ３まで第２のステージ１２を搬送する。第３の搬送路１８は、図１（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、第１の搬送路１６及び第２の搬送路１７の各端部に一端が連結されることで、照射開始位置Ｐ３に一端が連結されている。また、第３の搬送路１８は、照射領域Ａを通過して照射領域Ａに隣接する通過位置Ｐ４まで他端が延びている。これにより、第３の搬送路１８は、第１のステージ１１及び第２のステージ１２を搬送する。

【0024】

搬送機構１５は、第１の搭載位置Ｐ１と通過位置Ｐ４との間で、第１のステージ１１を第１の搬送路１６及び第３の搬送路１８に沿って往復させると共に、第２の搭載位置Ｐ２と通過位置Ｐ４との間で、第２のステージ１２を第２の搬送路１７及び第３の搬送路１８に沿って往復させる。

【0025】

（偏光光の照射時の各ステージの動作）
以上のように構成された偏光光照射装置１について、照射ユニット１０に対して第１及び第２のステージ１１，１２を搬送し、基板９に偏光光を照射する動作について図面を参照して説明する。図３から図７は、第１の実施形態に係る偏光光照射装置における第１及び第２のステージの動作を説明するための模式的な平面図である。

【0026】

まず、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、第１の搭載位置Ｐ１に位置する第１のステージ１１上に基板９が搭載される。続いて、図３に示すように、第１のステージ１１は、搬送機構１５によって、第１の搭載位置Ｐ１から照射開始位置Ｐ３まで第１の搬送路１６に沿って搬送される。続いて、第１のステージ１１は、搬送機構１５によって、照射開始位置Ｐ３から、照射ユニット１０の照射領域Ａを通り、通過位置Ｐ４まで第３の搬送路１８に沿って搬送される。このとき、第１のステージ１１は、照射領域Ａを通過することで、基板９の配向膜に所定量の偏光光が照射される。

【0027】

引き続き、図３に示すように、第１のステージ１１は、搬送機構１５によって、通過位置Ｐ４から、照射領域Ａを通り、照射開始位置Ｐ３まで第３の搬送路１８に沿って搬送される。このとき、第１のステージ１１は、照射領域Ａを再度通過することで、基板９の配向膜に所定量の偏光光が照射されて、偏光光の照射が終了する。したがって、照射開始位置Ｐ３は、照射終了位置にも相当している。以下、説明の便宜上、照射開始位置Ｐ３を照射終了位置Ｐ３とも称する。

【0028】

そして、図４に示すように、第１のステージ１１は、照射終了位置Ｐ３から第１の搭載位置Ｐ１まで第１の搬送路１６に沿って搬送される。このとき、第１のステージ１１が照射終了位置Ｐ３（照射開始位置Ｐ３）から第１の搭載位置Ｐ１に向かう移動に連動して、第２のステージ１２が第２の搭載位置Ｐ２から照射開始位置Ｐ３に向かって、第２の搬送路１７に沿って搬送される。

【0029】

第２のステージ１２の搬送を開始するタイミングに関しては、第１のステージ１１が照射終了位置Ｐ３から第１の搭載位置Ｐ１に向かって移動を開始する動作と連動して、第２のステージ１２が第２の搭載位置Ｐ２から照射開始位置Ｐ３に向かって移動を開始する動作が、タクトタイムを短縮する観点で好ましい。なお、必要に応じて、第１のステージ１１が照射終了位置Ｐ３から第１の搭載位置Ｐ１まで戻された後に、第２のステージ１２が第２の搭載位置Ｐ２から照射開始位置Ｐ３に向かって移動を開始してもよい。

【0030】

したがって、第１のステージ１１が、照射領域Ａを通って第１の搭載位置Ｐ１と照射終了位置Ｐ３との間を往復する動作中に、第２の搭載位置Ｐ２に位置する第２のステージ１２上には、基板９が搭載される。

【0031】

続いて、図５に示すように、第２のステージ１２は、搬送機構１５によって、第２の搭載位置Ｐ２から照射開始位置Ｐ３まで第２の搬送路１７に沿って搬送された後、照射開始位置Ｐ３から照射領域Ａを通り、通過位置Ｐ４まで第３の搬送路１８に沿って搬送される。また、第２のステージ１２は、搬送機構１５によって、通過位置Ｐ４から照射領域Ａを通り、照射開始位置Ｐ３（照射終了位置Ｐ３）まで第３の搬送路１８に沿って搬送される。このとき、第２のステージ１２は、照射領域Ａを往復することで、基板９の配向膜に所定量の偏光光が照射される。

【0032】

また、図５に示すように、第２のステージ１２が、照射領域Ａを通って第２の搭載位置Ｐ２と照射終了位置Ｐ３との間を往復する動作中に、第１の搭載位置Ｐ１に戻された第１のステージ１１から、照射が終了した基板９が回収されると共に、第１のステージ１１上に、次の基板９が搭載される。

【0033】

引き続き、図６に示すように、第２のステージ１２が照射終了位置Ｐ３から第２の搭載位置Ｐ２まで搬送される動作に連動し、次の基板９が搭載された第１のステージ１１は、第１の搭載位置Ｐ１から照射開始位置Ｐ３に向かって搬送される。

【0034】

上述と同様に、図７に示すように、第１のステージ１１は、第１の搭載位置Ｐ１から照射開始位置Ｐ３まで第１の搬送路１６に沿って搬送された後、照射開始位置Ｐ３から照射領域Ａを通り、通過位置Ｐ４まで第３の搬送路１８に沿って搬送される。第１のステージ１１は、搬送機構１５によって、通過位置Ｐ４から照射領域Ａを通り、照射開始位置Ｐ３（照射終了位置Ｐ３）まで第３の搬送路１８に沿って搬送される。また、上述と同様に、第１のステージ１１が、照射領域Ａを通って第１の搭載位置Ｐ１と照射終了位置Ｐ３との間を往復する動作中に、第２の搭載位置Ｐ２に戻された第２のステージ１２から、照射が終了した基板９が回収されると共に、第２のステージ１２上に、次の基板９が搭載される。

【0035】

以降、第１のステージ１１上の基板９の配向膜に対する偏光光の照射と、第２のステージ１２上の基板９の配向膜に対する偏光光の照射とが、交互に繰り返して行われる。

【0036】

（第１の実施形態の効果）
第１の実施形態における搬送機構１５は、第１の搭載位置Ｐ１から照射開始位置Ｐ３まで第１のステージ１１を搬送する第１の搬送路１６と、第２の搭載位置Ｐ２から照射開始位置Ｐ３まで第２のステージ１２を搬送する第２の搬送路１７と、を有する。また、搬送機構１５は、照射開始位置Ｐ３に一端が連結されると共に、通過位置Ｐ４まで他端が延び、第１及び第２のステージ１１，１２を搬送する第３の搬送路１８を有する。そして、搬送機構１５は、第１の搭載位置Ｐ１と通過位置Ｐ４との間で、第１のステージ１１を第１及び第３の搬送路１６，１８に沿って往復させると共に、第２の搭載位置Ｐ２と通過位置Ｐ４との間で、第２のステージ１２を第２及び第３の搬送路１７，１８に沿って往復させる。

【0037】

これにより、一方のステージ１１（１２）が、照射終了位置Ｐ３から搭載位置Ｐ１（Ｐ２）まで戻される動作と連動して、他方のステージ１２（１１）を、搭載位置Ｐ２（Ｐ１）から照射開始位置Ｐ３まで搬送することが可能になる。このため、第１のステージ１１の搬送動作の一部と、第２のステージ１２の搬送動作の一部とが同時に行われるので、タクトタイムを短縮することができる。換言すれば、第１のステージ１１の照射開始位置Ｐ３（照射終了位置Ｐ３）が、第２のステージ１２の照射開始位置Ｐ３（照射終了位置Ｐ３）と同一の位置になっているので、タクトタイムの長大化を抑制することが可能になる。

【0038】

また、照射ユニットの照射領域の両側に、第１の搭載位置と第２の搭載位置を配置した場合には、第１及び第２のステージを搬送する搬送路が直線状に延びた長尺状になる。しかし、第１の実施形態によれば、照射領域Ａの一端側に、第１の搭載位置Ｐ１及び第２の搭載位置Ｐ２が配置されたことで、長尺状の設置スペース（細長い設置スペース）が必要になることを避けることが可能になる。このため、設置スペースの増大を抑制することが可能になる。

【0039】

したがって、第１の実施形態によれば、タクトタイムの長大化を抑制すると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑制ことができる。

【0040】

また、第１の実施形態では、第１及び第２の搬送路１６，１７の搬送方向が、第３の搬送路１８の搬送方向と同一平面上で交差することで、第１及び第２のステージ１１，１２を上下方向に搬送する機構が不要なので、搬送機構１５の複雑化を抑制することが可能になる。

【0041】

以下、他の実施形態の偏光光照射装置について図面を参照して説明する。なお、他の実施形態において、第１の実施形態と同一の構成部材には、第１の実施形態と同一符号を付して説明を省略する。

【0042】

（第２の実施形態）
図８は、第２の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。第２の実施形態は、第１のステージ１１を搬送する第１の搬送路の配置、及び第２のステージ１２を搬送する第２の搬送路の配置が、第１の実施形態と異なる。

【0043】

図８に示すように、第２の実施形態の偏光光照射装置２は、第１のステージ１１を搬送する第１の搬送路２６と、第２のステージ１２を搬送する第２の搬送路２７と、第１及び第２のステージ１１，１２を搬送する第３の搬送路２８と、を有する。第１、第２及び第３の搬送路２６，２７，２８は、直線状に構成されている。

【0044】

第３の搬送路２８は、第１の搬送路２６及び第２の搬送路２７に一端が連結されると共に、通過位置Ｐ４まで他端が延びている。第２の搬送路２７と第３の搬送路２８は、直線状に連続するように連結されている。第１の搬送路２６は、同一平面上において、第２及び第３の搬送路２７，２８の搬送方向に直交するように、第３の搬送路２８に連結されている。

【0045】

（第２の実施形態の効果）
第２の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、タクトタイムの長大化を抑制すると共に、装置全体の設置スペースの増大を抑制することができる。

【0046】

また、第２の実施形態においても、第１及び第２の搬送路２６，２７の搬送方向が、第３の搬送路２８の搬送方向と同一平面上で交差することで、第１及び第２のステージ１１，１２を上下方向に搬送する機構が不要なので、搬送機構１５を簡素に構成することが可能になる。

【0047】

第２の実施形態では、第１の搭載位置Ｐ１と、第２の搭載位置Ｐ２とが近接して配置される。このような構成を採ることで、第１の搭載位置Ｐ１で第１のステージ１１に対象物を搭載する対象物搭載機機構（不図示）と、第２の搭載位置Ｐ２で第２のステージ１２に対象物を搭載する対象物搭載機構（不図示）とを共通化することができるので、対象物搭載機構の増大を抑制することができる。

【0048】

なお、第２の実施形態では、２つの第１及び第２のステージ１１，１２を搬送するように構成されたが、必要に応じて、３つ以上のステージを搬送するように構成されてもよい。この場合、例えば、第２の実施形態において、第１のステージ１１における第１の搭載位置Ｐ１に対向する位置に、第３のステージにおける第３の搭載位置や、第３のステージを搬送する搬送路が配置されてもよい。

【0049】

（第２の実施形態の変形例）
図９は、第２の実施形態の変形例に係る偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。第２の実施形態の変形例は、第２のステージ１２を搬送する第２の搬送路の配置が、第２の実施形態と異なる。

【0050】

図９に示すように、第２の実施形態の変形例の偏光光照射装置３は、第１のステージ１１を搬送する第１の搬送路３６と、第２のステージ１２を搬送する第２の搬送路３７と、第１及び第２のステージ１１，１２を搬送する第３の搬送路３８と、を有する。第１、第２及び第３の搬送路３６，３７，３８は、直線状に構成されている。

【0051】

第３の搬送路３８は、第１の搬送路３６及び第２の搬送路３７に一端が連結されると共に、通過位置Ｐ４まで他端が延びている。また、第１、第２及び第３の搬送路３６，３７，３８は、照射開始位置Ｐ３（照射終了位置Ｐ３）を中心として、互いに交差する方向に放射状に延ばされて、一端が互いに連結されている。したがって、第１、第２及び第３の搬送路３６，３７，３８は、同一平面上で全体Ｙ字状をなして連結されている。

【0052】

（第２の実施形態の変形例の効果）
第２の実施形態の変形例においても、第２の実施形態と同様に、タクトタイムの長大化を抑制することができる。

【0053】

また、第２の実施形態の変形例においても、第１及び第２の搬送路３６，３７の搬送方向が、第３の搬送路３８の搬送方向と同一平面上で交差することで、第１及び第２のステージ１１，１２を上下方向に搬送する機構が不要なので、搬送機構１５の複雑化を抑制することが可能になる。

【0054】

第２の実施形態の変形例においても、第１の搭載位置Ｐ１と、第２の搭載位置Ｐ２とが近接して配置される。このような構成を採ることで、第１の搭載位置Ｐ１で第１のステージ１１に対象物を搭載する対象物搭載機機構（不図示）と、第２の搭載位置Ｐ２で第２のステージ１２に対象物を搭載する対象物搭載機構（不図示）とを共通化することができるので、対象物搭載機構の増大を抑制することができる。

【0055】

（第３の実施形態）
図１０（ａ）は、第３の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す側面図である。図１０（ｂ）は、第３の実施形態に係る偏光光照射装置を模式的に示す平面図である。第３の実施形態は、第１のステージ１１を搬送する第１の搬送路の配置、及び第２のステージ１２を搬送する第２の搬送路の配置が、第１及び第２の実施形態と異なる。

【0056】

図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、第３の実施形態の偏光光照射装置４は、第１のステージ１１を搬送する第１の搬送路４６と、第２のステージ１２を搬送する第２の搬送路４７と、第１及び第２のステージ１１，１２を搬送する第３の搬送路４８と、を有する。第１、第２及び第３の搬送路４６，４７，４８は、直線状に構成されている。

【0057】

第３の搬送路４８は、第１の搬送路４６及び第２の搬送路４７に一端が連結されると共に、通過位置Ｐ４まで他端が延びている。図１０（ａ）に示すように、第１の搬送路４６と第２の搬送路４７とが、上下方向に並んで配置されている。言い換えれば、第１の搭載位置Ｐ１に位置する第１のステージ１１と、第２の搭載位置Ｐ２に位置する第２のステージ１２は、上下方向において並んで配置されている。また、第１及び第２の搬送路４６，４７は、図１０（ｂ）に示すように、第３の搬送路４８に、直線状に連続するように連結されている。

【0058】

また、第１の搬送路４６と第２の搬送路４７は、第１及び第２のステージ１１，１２の搭載面に対向する方向から見たときに重なるように配置されており、装置全体の設置スペースが削減されている。なお、第１の搬送路４６と第２の搬送路４７は、配置の制約や搬送機構の簡素化等の必要に応じて、第１及び第２のステージ１１，１２の搭載面に対向する方向から見たときに重ならない位置に配置されてもよい。

【0059】

（第３の実施形態の効果）
第３の実施形態は、第１の搬送路４６と第２の搬送路４７とが、上下方向に並んで配置されているので、第１及び第２の実施形態と比べて、装置全体の設置スペースを更に小さくし、設置スペースの増大を更に抑制ことができる。すなわち、第３の実施形態は、水平方向に対する設置スペースを確保することが難しい場合に好ましく、水平方向である設置面内方向に対して設置スペースの増大を更に抑制することが可能になる。

【0060】

また、第３の実施形態においても、第１または第２の実施形態と同様に、タクトタイムの増大を抑制することができる。

【0061】

なお、上述した各実施形態では、直線状に構成された第１ないし第３の搬送路が連結されて構成されたが、この構成に限定するものではない。例えば、第１の搬送路及び第２の搬送路の少なくとも一方と、第３の搬送路の一端とが、弧状に曲げられて連結されてもよい。第１の搬送路と第３の搬送路、第２の搬送路と第３の搬送路とを滑らかに連結することで、搬送動作の円滑性が高められてもよい。

【0062】

また、第１のステージ及び第２のステージは、第１の搭載位置Ｐ１及び第２の搭載位置Ｐ２で対象物を搭載後、位置出しを行う、いわゆるアライメント機構を有していてもよい。

【0063】

第１のステージ及び第２のステージは、複数のピンや可動部が設けられており、複数のピンや可動部が昇降することによって、対象物を第１のステージ及び第２のステージに搭載する搭載機構を有していてもよい。

【0064】

上述した各実施形態では、１つの照射ユニット１０のみを有して構成されたが、この構成に限定するものではない。例えば、複数の照射ユニット１０が、第３の搬送路の搬送方向に沿って所定の間隔を開けて複数設けられてもよい。この場合、照射領域Ａは、複数の照射ユニット１０の直下のみならず、一端側に配置された照射ユニット１０の最下面の開口の一端から、他端側に配置された照射ユニット１０の最下面の開口の他端までの間の領域としてよい。

【0065】

本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、本発明の範囲を限定することを意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施することが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、本発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

【符号の説明】

【0066】

１ 偏光光照射装置
９ 基板
１０ 照射ユニット
１０ａ 光源
１１ 第１のステージ
１２ 第２のステージ
１５ 搬送機構
１５ａ 第１のガイド軸
１５ｂ 第２のガイド軸
１６ 第１の搬送路
１７ 第２の搬送路
１８ 第３の搬送路
Ａ 照射領域
Ｐ１ 第１の搭載位置
Ｐ２ 第２の搭載位置
Ｐ３ 照射開始位置（照射終了位置）
Ｐ４ 通過位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】