発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、前述のようなギア方式では、クランプピンによるチャック動作は確実に行えるが、歯車の摩耗によってダストが発生する可能性がある。また、マグネット方式では、ダストの発生は無いが、円形板のマグネットが他のマグネットの吸引力により円形板と共に回転するため、互いが引き合う磁極間の距離がマグネットの回転中に変わる。磁極間の吸引力は磁極間距離の２乗に反比例するため、磁極間距離が近くなるほど吸引力が急激に増すことになる。このため、磁極間距離の変動があると、各クランプピンの回転が不均一になり易く、複数のクランプピンのうち、最も磁極間距離が近づいた１本を基準にして基板の位置決めが行われてしまうため、このピン回転のズレによってクランプ時の基板位置が所定位置からずれてしまうことがある。したがって、前述のダストの発生に加え、クランプ時の基板位置のズレを抑えることが求められている。 本発明が解決しようとする課題は、ダストの発生及びクランプ時の基板位置のズレを抑止することができるスピン処理装置を提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、ダストの発生及びクランプ時の基板位置のズレを抑止することができる。