特許 6402307 測定装置及び制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6402307

(24)【登録日】2018年9月21日

(45)【発行日】2018年10月10日

(54)【発明の名称】測定装置及び制御方法

(51)【国際特許分類】

   G01M 11/00 20060101AFI20181001BHJP

【ＦＩ】

   G01M11/00 T

【請求項の数】8

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2015-5773(P2015-5773)

(22)【出願日】2015年1月15日

(65)【公開番号】特開2016-130715(P2016-130715A)

(43)【公開日】2016年7月21日

【審査請求日】2017年11月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】000146722

【氏名又は名称】株式会社新川

(73)【特許権者】

【識別番号】596041928

【氏名又は名称】株式会社ＰＦＡ

(74)【上記1名の代理人】

【識別番号】100107331

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 聡延

(74)【代理人】

【識別番号】100104765

【弁理士】

【氏名又は名称】江上 達夫

(72)【発明者】

【氏名】望月 学

(72)【発明者】

【氏名】藤森 昭一

【審査官】 横尾 雅一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−２４９７１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平９−９２６９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−７３２６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／０２０９７８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／００８４１８８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｍ １１／００−１１／０８

Ｇ０１Ｊ １／００− １／６０

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｈ０１Ｌ ３３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の発光素子が隣接して載置されるテーブルと、
前記複数の発光素子のうち、一の発光素子に電力を供給して当該発光素子を発光させるためのプローブと、
前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する場合に、当該発光素子を囲む遮光部と、
前記遮光部を上下方向に移動させる移動部と、
前記移動部と前記遮光部との間に設けられた弾性部と、を備え、
前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する前に、前記移動部は、前記遮光部を、前記弾性部が縮む方向に押し込むことを特徴とする測定装置。

【請求項2】

前記一の発光素子及び対応する電極は、基板上の同一面に設けられ、
前記遮光部は、前記一の発光素子から発せられる光を通過させるための孔と、前記孔に繋がる切欠きと、を有し、
前記プローブは、前記切欠きを通って針先が前記孔に露出しており、かつ、前記移動部により上下方向に移動し、
前記切欠きは、前記弾性部が縮む方向に前記遮光部が押し込まれることにより前記プローブと前記遮光部との相対位置が変化した場合であっても、前記遮光部が前記プローブに接触しないように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の測定装置。

【請求項3】

前記一の発光素子及び対応する電極は、基板上の異なる面に設けられ、
前記遮光部は、前記一の発光素子から発せられる光を通過させるための孔を有し、
前記プローブは、前記基板に対し前記孔と反対側から前記電極に接触するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の測定装置。

【請求項4】

前記遮光部は、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する場合に、前記一の発光素子に隣接する発光素子の上面と接触することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の測定装置。

【請求項5】

前記移動部には、前記光を受光素子の方向に通過させるための光路が設けられ、
前記光路には、前記一の発光素子に向かって先細り形状となった反射板が設けられることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の測定装置。

【請求項6】

前記遮光部は、白色であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の測定装置。

【請求項7】

前記複数の発光素子は、青色ＬＥＤと蛍光体で構成し、前記青色ＬＥＤの青色と、前記蛍光体の黄色を合わせて白色に発光する疑似白色ＬＥＤであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の測定装置。

【請求項8】

複数の発光素子が隣接して載置されるテーブルと、
前記複数の発光素子のうち、一の発光素子に電力を供給して当該発光素子を発光させるためのプローブと、
前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する場合に、当該発光素子を囲む遮光部と、
前記遮光部を上下方向に移動させる移動部と、
前記移動部と前記遮光部との間に設けられた弾性部と、を備える測定装置が実行する制御方法であって、
前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する前に、前記移動部により、前記遮光部を、前記弾性部が縮む方向に押し込む位置調整工程を有することを特徴とする制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、発光素子が発光した光を計測する測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、検査対象の発光素子を発光させ、受光素子の検出信号に基づき発光素子の検査を行う方法が知られている。例えば、特許文献１には、受光素子の検査時において、検査対象の発光素子を覆う遮光部を設ける構成が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０−１０１７２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

発光素子の計測時に遮光部を遮光に適した位置に移動させる場合、誤差等により遮光部の位置がずれたときに、光が漏れる隙間が生じたり、遮光部が基板等に当接することにより基板が破損したりする可能性がある。

【0005】

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、計測時の遮光部の位置調整を容易に実行することが可能な測定装置を提供することを主な目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

請求項に記載の発明は、測定装置であって、複数の発光素子が隣接して載置されるテーブルと、前記複数の発光素子のうち、一の発光素子に電力を供給して当該発光素子を発光させるためのプローブと、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する場合に、当該発光素子を囲む遮光部と、前記遮光部を上下方向に移動させる移動部と、前記移動部と前記遮光部との間に設けられた弾性部と、を備え、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する前に、前記移動部は、前記遮光部を、前記弾性部が縮む方向に押し込むことを特徴とする。

【0007】

請求項に記載の発明は、複数の発光素子が隣接して載置されるテーブルと、前記複数の発光素子のうち、一の発光素子に電力を供給して当該発光素子を発光させるためのプローブと、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する場合に、当該発光素子を囲む遮光部と、前記遮光部を上下方向に移動させる移動部と、前記移動部と前記遮光部との間に設けられた弾性部と、を備える測定装置が実行する制御方法であって、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する前に、前記移動部により、前記遮光部を、前記弾性部が縮む方向に押し込む位置調整工程を有することを特徴とする。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】測定装置の概略構成を示す。

【図2】ＬＥＤチップの側面図を示す。

【図3】遮光部の上面図を示す。

【図4】遮光部の断面図を示す。

【図5】プローブの検査針を電極に触針させて計測を行う際の計測装置の推移を示す。

【図6】変形例に係る構成での検査時の測定対象チップ及び隣接チップの拡大図である。

【図7】変形例に係る構成での検査時の測定対象チップ及び隣接チップの拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

本発明の好適な実施形態によれば、測定装置は、複数の発光素子が隣接して載置されるテーブルと、前記複数の発光素子のうち、一の発光素子に電力を供給して当該発光素子を発光させるためのプローブと、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する場合に、当該発光素子を囲む遮光部と、前記遮光部を上下方向に移動させる移動部と、前記移動部と前記遮光部との間に設けられた弾性部と、を備え、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する前に、前記移動部は、前記遮光部を、前記弾性部が縮む方向に押し込む。

【0010】

上記測定装置は、テーブルと、プローブと、遮光部と、移動部と、弾性部とを備える。テーブルには、複数の発光素子が隣接して載置される。プローブは、複数の発光素子のうち、一の発光素子に電力を供給して当該発光素子を発光させる。遮光部は、プローブが測定対象の発光素子に電力を供給する場合に、当該発光素子を囲む。ここで、「発光素子を囲む」とは、発光素子の全体を囲む場合に限定されず、発光素子の一部（例えば上面）を囲む場合も含む。移動部は、遮光部を上下方向に移動させる。弾性部は、移動部と遮光部との間に設けられる。そして、プローブが測定対象の発光素子に電力を供給する前に、移動部は、遮光部を、弾性部が縮む方向に押し込む。この態様により、測定装置は、遮光部を、測定対象の発光素子を囲む位置に確実に移動させ、測定対象の発光素子から他の発光素子に光が漏れるのを好適に抑制することができる。

【0011】

ここで、上述の測定装置が遮光部を有することの効果について補足説明する。例えば青色ＬＥＤと蛍光体で構成し、ＬＥＤの青色と、蛍光体の黄色を合わせて白色に発光する疑似白色ＬＥＤを上述の発光素子とした場合、測定対象のＬＥＤから漏れる青色光が、隣接するＬＥＤに照射されると、隣接するＬＥＤの蛍光体が黄色に発光する。この結果、測定対象のＬＥＤの光学特性が正確に測定できなくなる。光学特性を正確に測定するためには、隣接するＬＥＤに、測定対象ＬＥＤの青色が届かないように抑制する必要がある。さらに、隣接するＬＥＤの蛍光体が発光した場合には、その発光が、測定対象ＬＥＤの光学測定系に混入しないように抑制する必要がある。以上を勘案し、本願の測定装置は、これらの抑制を適切に行うための遮光部を有している。

【0012】

上記測定装置の一態様では、前記一の発光素子及び対応する電極は、基板上の同一面に設けられ、前記遮光部は、前記一の発光素子から発せられる光を通過させるための孔と、前記孔に繋がる切欠きと、を有し、前記プローブは、前記切欠きを通って針先が前記孔に露出しており、かつ、前記移動部により上下方向に移動し、前記切欠きは、前記弾性部が縮む方向に前記遮光部が押し込まれることにより前記プローブと前記遮光部との相対位置が変化した場合であっても、前記遮光部が前記プローブに接触しないように形成されている。この態様により、測定装置は、プローブを測定対象の発光素子に触針させつつ、遮光部を測定対象の発光素子を囲む位置に確実に移動させることができる。この場合、好適には、プローブは保持機構と合わせ、たわむ（可撓性を持つ）構造に設計され、材質が選定されている。

【0013】

上記測定装置の一態様では、前記一の発光素子及び対応する電極は、基板上の異なる面に設けられ、前記遮光部は、前記一の発光素子から発せられる光を通過させるための孔を有し、前記プローブは、前記基板に対し前記孔と反対側から前記電極に接触するように構成されている。この態様によっても、測定装置は、プローブを測定対象の発光素子に触針させつつ、遮光部を測定対象の発光素子を囲む位置に確実に移動させることができる。

【0014】

上記測定装置の他の一態様では、前記遮光部は、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する場合に、前記一の発光素子に隣接する発光素子の上面と接触する。この態様によれば、隣接する発光素子の上面を遮光し、隣接する発光素子への光の入射を好適に低減することができる。また、発光素子が隙間なく並べられていた場合であっても、本形態は好適に適用される。

【0015】

上記測定装置の他の一態様では、前記移動部には、前記光を受光素子の方向に通過させるための光路が設けられ、前記光路には、前記一の発光素子に向かって先細り形状となった反射板が設けられる。この態様により、受光素子に高い輝度の光を到達させ、測定精度を向上させることができる。ここで、先細り形状とは、発光する光を反射して受光手段へ導く反射部材が発光素子と受光素子（受光手段）との間に配置されるとともに、その内面が発光中心軸を軸とする回転体であり、かつ、発光素子側ではその内径が小さく、受光素子に近づくに従ってその内径が徐々に大きくなるように連続的に変化するように内面が形成されていることを示す。

【0016】

上記測定装置の他の一態様では、前記遮光部は、白色である。これにより、遮光部は、測定対象の発光素子が発する光を高い反射率により反射させることができ、測定精度を向上させることができる。

【0017】

上記測定装置の他の一態様では、前記複数の発光素子は、青色ＬＥＤと蛍光体で構成し、前記青色ＬＥＤの青色と、前記蛍光体の黄色を合わせて白色に発光する疑似白色ＬＥＤである。上述したように、光学特性を正確に測定するためには、隣接するＬＥＤに、測定対象ＬＥＤの青色が届かないように抑制する必要がある。さらに、隣接するＬＥＤの蛍光体が発光した場合には、その発光が、測定対象ＬＥＤの光学測定系に混入しないように抑制する必要がある。本願の遮光部は、これらの抑制を適切に行うために構成している。言い換えると、光学特性を正確に測定するためには、隣接するＬＥＤに、測定対象ＬＥＤの青色が届かないように抑制する必要がある。さらに、隣接するＬＥＤの蛍光体が発光した場合には、その発光が、測定対象ＬＥＤの光学測定系に混入しないように抑制する必要がある。本願の遮光部は、これらの２つの抑制を適切に、同時に行うために構成している。２つの抑制をおこなっているので、隣接するＬＥＤへの入射遮光、隣接するＬＥＤからの混入の遮光を完全に行わなくても、正確な光学特性の測定が可能になる。よって、この態様では、測定装置は、遮光部を有することで、好適に、隣接する発光素子への光の入射を低減させて測定精度を向上させることができる。

【0018】

本発明に好適な他の実施形態では、複数の発光素子が隣接して載置されるテーブルと、前記複数の発光素子のうち、一の発光素子に電力を供給して当該発光素子を発光させるためのプローブと、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する場合に、当該発光素子を囲む遮光部と、前記遮光部を上下方向に移動させる移動部と、前記移動部と前記遮光部との間に設けられた弾性部と、を備える測定装置が実行する制御方法であって、前記プローブが前記一の発光素子に電力を供給する前に、前記移動部により、前記遮光部を、前記弾性部が縮む方向に押し込む位置調整工程を有する。測定装置は、この制御方法を実行することで、遮光部を、測定対象の発光素子を囲む位置に確実に移動させ、測定対象の発光素子から他の発光素子に光が漏れるのを好適に抑制することができる。

【実施例】

【0019】

以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。

【0020】

［概略構成］
図１は、本実施例に係る測定装置１００の概略構成図である。図１に示す測定装置１００は、テーブル４に並べられたＬＥＤチップ５の光学（的）特性を検査する装置であって、主に、支持部１と、導光部２と、プローブ３と、遮光部６と、バネ７（７Ａ、７Ｂ）と、リフレクタ８と、積分球９と、制御部１５と、計測制御部１６と、分光器１７と、を備える。また、図２は、ＬＥＤチップ５の側面図である。以後では、テーブル４と垂直な方向を「Ｚ軸方向」と呼び、テーブル４と平行な面を「ＸＹ平面」とも呼ぶ。

【0021】

支持部１は、導光部２及び遮光部６を支持する。具体的には、支持部１の中央部には、略円筒状の孔１０が設けられており、当該孔１０に遮光部６が嵌め込まれている。この場合、支持部１の下部に形成された突起部１１は、孔１０に対して突き出ており、同じく突き出た遮光部６の端部と係り合うことで遮光部６を支持する。さらに、支持部１の孔１０には、支持部１の上面から導光部２が嵌め込まれている。この場合、導光部２の外側に突き出た係止部２０が支持部１の上面に係り合うことで導光部２が支持部１に対して固定されている。また、支持部１には、支持部１の外側から支持部１の孔１０へプローブ３を挿通させるための切欠き１８が設けられている。支持部１は、制御部１５の制御に基づき、導光部２と一体となってＺ軸方向及びＸＹ平面を移動自在である。

【0022】

導光部２は、ＬＥＤチップ５から発せられた光をフォトディテクタ９へ通過させるための光路部２１を有する。光路部２１は、Ｚ軸方向に沿って形成されている。また、光路部２１を形成する導光部２の壁面に沿って、リフレクタ８が設けられている。支持部１及び導光部２は、本発明における「移動部」の一例である。

【0023】

プローブ３は、ＬＥＤチップ５の電極に触針することでＬＥＤチップ５０を通電状態にするプローブ針３０を有する。プローブ３は、支持部１の外から切欠き１８及び切欠き６０に挿通され、プローブ針３０が遮光部６の光路部６３に露出する。そして、プローブ３は、可撓性を持つ構造に設計され、材質が選定されている。なお、プローブ針３０は、光路部６３内において、テーブル４の方向に向かって折曲がっている。折れ曲がった構造にすることで、プローブ自体の可撓性をます構造にしている。曲げた角度は、Ｚ軸方向を０度としたとき、針先は２０度±１０度、針先以降は７０度±１０度が最適となる。プローブ３は、支持部１に対して固定されており、支持部１及び導光部２と共にＺ軸方向及びＸＹ平面を移動する。

【0024】

テーブル４は、例えば、図示しないモータを備えた円形のテーブルであり、制御部１５の制御に基づき、テーブル４と平行な面内及び上下方向に移動自在である。ＬＥＤチップ５は、略円形のテーブル４に略等間隔で格子状に並べられており、図２に示すように、基板５０と、電極５１と、ＬＥＤ５２とを有する。図２の例では、基板５０の上面に、電極５１とＬＥＤ５２とが並べられている。電極５１は、ＬＥＤ５２よりも厚さが薄い。

【0025】

遮光部６は、プローブ針３０を測定対象のＬＥＤチップ５の電極５１に触針させてＬＥＤ５２を発光させる測定時に、測定対象のＬＥＤチップ５の四方に隣接するＬＥＤチップ５への遮光を行う。遮光部６は、光の反射率が高い白色樹脂などの非透過部材である。遮光部６は、支持部１の孔１０に嵌め込まれており、中心部分に円筒状の孔である光路部６３がＺ軸方向に沿って設けられている。また、遮光部６には、プローブ３が挿通するための切欠き６０が設けられている。後述するように、遮光部６は、テーブル４の方向に押し込まれた場合に、導光部２の下面との距離（幅Ａ１参照）分だけ支持部１に対してスライド自在に構成されている。遮光部６の構造については、［遮光部の構成］のセクションで詳しく説明する。

【0026】

バネ７（７Ａ、７Ｂ）は、導光部２の下面と遮光部６の上面６４とに挟まれた位置に存在し、一端が導光部２に嵌め込まれており、他端が遮光部６に嵌め込まれている。そして、バネ７は、Ｚ軸方向への圧力に応じて伸縮し、導光部２の下面と遮光部６の上面６４との距離（幅Ａ１参照）を調整する。バネ７は、測定時に遮光部６がテーブル４の方向に押し込まれた際の圧力により、ＬＥＤチップ５に破損等が生じないような強度を有する。なお、バネ７は、図１ではバネ７Ａ、７Ｂのみが図示されているが、３本以上設けられていてもよい。本願では、図示されていないが、当分割（等配）で４本のバネを設けている。バネ７は、本発明における「弾性部」の一例である。

【0027】

バネ７の荷重は大きくすると、遮光部６をテーブル４の方向に押し込んだときにＬＥＤ５２を破損させるなどの不都合を生じる。また弱くすると遮光部６が押し込んだ後に、もとの位置に戻らないなどの不都合を生じる。したがって、バネ数×荷重の合計が、設計した押込み量に対して３０ｇ（０．３Ｎ）ｆ〜３００ｇｆ（３Ｎ）の間が適している。本願では押込み量は０．３ｍｍに設定している。

【0028】

リフレクタ８は、ＬＥＤチップ５が発した光を反射して積分球９に到達させる。リフレクタ８は、先端部分を切り取った円錐形状を有し、テーブル４に向かって先細りとなっている。また、リフレクタ８の上端は、導光部２の上面２２に沿って折り曲げられて上面２２に対して係止しており、リフレクタ８の下端は、遮光部６に形成された溝部６１により規制されている。リフレクタ８は、本発明における「反射板」の一例である。

【0029】

計測制御部１６は、プローブ３のプローブ針３０を介してＬＥＤ５２に電圧を印加し、電流を流す。これによりＬＥＤ５２が発光する。

【0030】

積分球９は、ＬＥＤチップ５の発光を受光する。積分球９が受光した一部の光を光ファイバで分光器１７へ導く。分光器１７が受光した光は波長毎に電気信号に変換することで、ＬＥＤチップ５の光学的特性の測定を行う。この場合、ＬＥＤ５２から発せられた光は、直接積分球９に到達する光と、光路部６３を通過し、リフレクタ８に反射されることで積分球９に到達する光の合計になる。

【0031】

［遮光部の構成］
次に、遮光部６の詳細な構成について、図３及び図４を参照して具体的に説明する。

【0032】

図３は、遮光部６の上面図である。図３の例では、遮光部６の上面６４には、プローブ３が遮光部６の外から光路部６３に挿通するための切欠き６０Ａ、６０Ｂが設けられている。この場合、プローブ３は、針先が光路部６３で露出するように、切欠き６０Ａ、６０Ｂのいずれか一方（本実施例では切欠き６０Ａ）もしくは両方を通る。また、溝部６１は、上面視において、光路部６３を中心とする円形状に形成され、切欠き６０Ａ、６０Ｂ部分が欠けている。図１の説明で述べたように、溝部６１には、先細りとなった円筒状のリフレクタ８の端部が浮いた状態で嵌め込まれる。また、後述するように、遮光部６の上面６４には、バネ７Ｂの一端を嵌め込むための凹部６２Ｂが設けられている。

【0033】

図４（Ａ）は、遮光部６のＡ−Ａ断面図を示す。図４（Ａ）に示すように、遮光部６を切欠き６０を通らない断面で切断した場合、切断面は、中心部分に設けられた通路である光路部６３と、所定の深さに設計された溝部６１とを通る。ここで、溝部６１は、好適には、遮光部６がテーブル４の方向に押し込まれた際に支持部１に対してＺ軸上でスライドした場合であっても、リフレクタ８の下端が当接しないような深さに設計される。

【0034】

図４（Ｂ）は、遮光部６のＢ−Ｂ断面図を示す。図４（Ｂ）に示すように、遮光部６を切欠き６０Ａを通る断面で切断した場合、切欠き６０Ａに相当する部分が空洞となっている。ここで、切欠き６０Ａには、遮光部６がテーブル４の方向に押し込まれた際に支持部１に対してＺ軸上でスライドした場合であっても、プローブ３が遮光部６に接触しないように、Ｚ軸方向において、挿通するプローブ３の太さよりも十分に大きい幅（例えば図１の矢印Ａ１だけ大きい幅）に設計されている。また、切欠き６０Ａには、バネ７Ａの一端を嵌め込むための凹部６２Ａが設けられている。同様に、光路部６３に対して凹部６２Ａと対称の位置には、バネ７Ｂの一端を嵌め込むための凹部６２Ｂが設けられている。

【0035】

また、測定対象のＬＥＤ５２の光学測定をより正確におこなうためには、同ＬＥＤ５２の発光をより多く測定するのが好ましいことから、遮光部６は、可視光帯域において、反射率が７０％を超える材料で構成されている。遮光部６の材料は、材料表面の反射率が高く、透過率の小さい材料が選定されている。遮光部６の表面は、好適には白色である。遮光部６の光路部６３の内壁は正反射であっても良いし、拡散反射であってもよい。光路部６３の内壁は、反射した光が極力測定系へ導かれるように、リフレクタ８と同様に先細り状態でも良い。

【0036】

［遮光部の押し込み動作］
次に、ＬＥＤチップ５の検査時に、プローブ針３０を電極５１に触針させる際に実行する遮光部６の押し込み動作について説明する。

【0037】

図５（Ａ）は、支持部１をテーブル４の方向に移動させて支持部１とテーブル４とを近付けた場合の測定装置１００を示す。以後では、ＬＥＤチップ５Ｂ、５Ｃと隣接するＬＥＤチップ５Ａ（「測定対象チップ」とも呼ぶ。）の検査を行う場合について説明する。

【0038】

この場合、まず、制御部１５は、光路部６３が測定対象のＬＥＤチップ５ＡとＸＹ平面で重なるように、ＸＹ平面での支持部１又はテーブル４の位置調整を行った後、支持部１をテーブル４の方向に移動させる。そして、図５（Ａ）の例では、支持部１とテーブル４とを近付けた結果、遮光部６の下面６６は、測定対象チップ５Ａに隣接するＬＥＤチップ５Ｂ、５Ｃ（単に「隣接チップ」とも呼ぶ。）のＬＥＤ５２の上面に接触している。

【0039】

図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の状態からさらに所定幅「Ｗ２」だけ支持部１をテーブル４の方向に移動させてプローブ針３０をＬＥＤチップ５Ａの電極５１に触針させた場合の測定装置１００を示す。また、図５（Ｃ）は、図５（Ｂ）の状態でのＬＥＤチップ５Ａ〜５Ｃの拡大図である。

【0040】

遮光部６の下面６６が隣接チップ５Ｂ、５ＣのＬＥＤ５２の上面と面接触した状態で、支持部１とテーブル４との距離が縮められた場合、遮光部６には、隣接チップ５Ｂ、５ＣのＬＥＤ５２により押し上げられる圧力が加わる。その結果、遮光部６は、幅Ｗ２だけ支持部１に対して上方にスライドする。この場合、バネ７は、幅Ｗ２だけ縮んだ状態で静止する。なお、遮光部６の下面６６の隣接チップのＬＥＤ５２への接触時や押し込み時にＬＥＤ５２の発光面に傷がつかないように、好適には、遮光部６は樹脂等により形成され、かつ、適度の強度を有するバネがバネ７として用いられる。

【0041】

また、図５（Ｂ）では、プローブ針３０が測定対象チップ５Ａの電極５１に触針したことから、測定対象チップ５ＡのＬＥＤ５２が発光する。このとき、図５（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、各隣接チップのＬＥＤ５２の上面に測定対象チップ５ＡのＬＥＤ５２の光が到達しないように、又は、仮に到達しても、その量が非常に少なくなるように、遮光部６が各隣接チップのＬＥＤ５２の上面に面接触している。さらにこれにより、遮光部６は、各隣接チップのＬＥＤ５２の上面にＬＥＤチップ５Ａが発した光が入射するのを好適に防ぐ。

【0042】

また、切欠き６０Ａは、遮光部６が支持部１に対してＺ軸上でスライドした場合であっても、プローブ針３０が遮光部６に接触しないように、そして、プローブ針３０が電極５１に触針し、押し込むことにより、プローブ３にたわみが生じてリフレクタ８に接触しないようにプローブ３の太さよりも大きいＺ軸方向の幅を有する。従って、遮光部６が支持部１に対してＺ軸上でスライドした場合であっても、プローブ３が遮光部６に接触せず、プローブ針３０の位置調整には影響がない。また、遮光部６が支持部１に対してスライドしない図５（Ａ）の状態では、溝部６１に嵌め込まれたリフレクタ８の下端は、あらかじめ設定された幅Ｗ２押し込んでも溝部６１の底に対して浮いている。よって、遮光部６の支持部１に対してスライドした図５（Ｂ）に示す状態であっても、リフレクタ８の下端と遮光部６とは接触せず、遮光部６の移動は妨げられない。

【0043】

ここで、遮光部６を設けることの効果について補足説明する。

【0044】

一般に、ＬＥＤチップ５が蛍光体を含んだ白色ＬＥＤ（疑似白色ＬＥＤ）の場合、測定対象チップが測定時に発する青色光が隣接チップのＬＥＤ５２に入射すると、隣接チップのＬＥＤ５２の蛍光体が当該入射光を吸収し、黄色に発光することになる。この場合、積分球９には、隣接チップのＬＥＤ５２が発光する黄色の光が混じって入射するため、制御部１５は、測定対象チップの正確な測定ができなくなる。

【0045】

以上を勘案し、本実施例では、測定装置１００は、遮光部６を有し、プローブ針３０が測定対象チップのＬＥＤ５２に触針した状態で、隣接チップのＬＥＤ５２の上面と遮光部６の下面６６とを面接触させる。これにより、隣接チップのＬＥＤ５２の上面に測定対象チップが発した光が入射するのを好適に抑制することができる。なお、本実施例では、測定対象チップの出射光が隣接チップのＬＥＤ５２の側面に入射する可能性があるが、当該側面の面積は、遮光部６により遮蔽されるＬＥＤ５２の上面の面積に比べて無視できる程度に小さい。よって、本実施例の測定装置１００によれば、測定対象チップの測定精度を好適に向上させることができる。また、隣接チップのＬＥＤ５２の上面と遮光部６の下面６６とを面接触させる態様では、ＬＥＤチップ５がテーブル４に隙間なく並べられている場合であっても、隣接チップのＬＥＤ５２への遮光を実現することができる。さらに、本実施例の測定装置１００によれば、隣接チップのＬＥＤ５２の蛍光体が発光した場合であっても、その発光が、測定対象チップのＬＥＤ５２の光学測定系に混入しないように遮光部６により抑制している。このように、本願の遮光部６は、測定対象チップが発した光が隣接チップに入射するのを抑制すると共に、隣接チップからの光が光学測定系に混入するのを抑制している。遮光部６は、これらの２つの抑制を同時に行っているので、測定装置１００は、測定チップから隣接チップへの入射遮光、隣接チップから光学測定系への光の混入の遮光を完全に行わなくても、正確な光学特性の測定が可能になる。

【0046】

また、遮光部６と導光部２との間には、伸縮自在な複数のバネ７が設けられており、測定装置１００は、遮光部２と支持部１及び導光部２とのＺ軸方向での相対位置を調整可能に構成される。これにより、測定装置１００は、遮光部６を、隣接チップのＬＥＤ５２の上面と確実に面接触するように押し込んだ状態で、プローブ針３０を測定対象チップの電極５１に触針させることができる。また、測定終了後に支持部１とテーブル４とが離れるように支持部１をＺ軸方向に移動させた場合には、遮光部６は、バネ７の復元力により、支持部１に対して下方にスライドし、支持部１の突起部１１と接触する位置で再び静止する。

【0047】

以上説明したように、本実施例に係る測定装置１００は、支持部１と、導光部２と、プローブ３と、テーブル４と、遮光部６と、バネ７とを有する。テーブル４には、複数のＬＥＤチップ５が隣接して載置される。プローブ３は、複数のＬＥＤチップ５のうち、測定対象チップに電力を供給して当該測定対象チップのＬＥＤ５２を発光させる。遮光部６は、プローブ３が測定対象チップに電力を供給する場合に、当該測定対象チップを囲む。支持部１及び導光部２は、遮光部６をＺ軸方向に移動させる。バネ７は、導光部２と遮光部６との間に設けられる。そして、プローブ３が測定対象チップに電力を供給する前に、支持部１は、遮光部６を、バネ７が縮む方向に押し込む。この態様により、測定装置１００は、確実に、遮光部６を、測定対象チップを囲む位置に移動させ、測定対象チップから隣接チップに光が漏れるのを好適に抑制することができる。

【0048】

［変形例］
以下、上述の実施例に好適な各変形例について説明する。なお、これらの各変形例は、任意に組み合わせて上述の実施例に適用することが可能である。

【0049】

（変形例１）
図２に示すＬＥＤチップ５は、基板５０の上面に電極５１及びＬＥＤ５２が並べて設けられていた。これに代えて、電極５１とＬＥＤ５２とは、基板５０の表裏に形成されていてもよい。

【0050】

図６は、本変形例に係る測定時の測定対象チップ及び隣接チップの拡大図を示す。図６の例では、各ＬＥＤチップ５の基板５０の裏面には、電極５１が形成されており、プローブ針３０は、ＬＥＤチップ５の下方から電極５１に接触している。この場合、例えば、図示しないテーブル４は、各ＬＥＤチップ５の電極５１部分を露出するように、各ＬＥＤチップ５を支持する。

【0051】

図６の例では、プローブ３は、ＬＥＤチップ５よりも下方に設けられ、ＬＥＤチップ５の下方から電極５１に触針する。よって、この場合、プローブ３は、遮光部６内を通らないため、遮光部６は、切欠き６０を有しない。

【0052】

また、遮光部６の下面６６は、測定時において、測定対象チップのＬＥＤ５２と隣接チップのＬＥＤ５２との間において、基板５０の上面と接触している。この場合、測定対象チップのＬＥＤ５２が発する光の光路は、遮光部６の光路部６３により規制されるため、ＬＥＤ５２の出射光は、隣接チップのＬＥＤ５２に到達しない。よって、本変形例では、遮光部６は、測定対象チップ５Ａが発した光が隣接チップのＬＥＤ５２に入射するのを好適に抑制することができる。なお、図６に代えて、上述した実施例と同様に、隣接チップのＬＥＤ５２の上面と遮光部６の下面６６とが対向し、測定時にはこれらが面接触する構成であってもよい。

【0053】

（変形例２）
本発明が適用可能な遮光部６は、測定対象チップの測定時において、隣接チップのＬＥＤ５２の上面に接する態様に限定されない。

【0054】

図７は、本変形例に係る測定時の測定対象チップ及び隣接チップの拡大図を示す。図７の例では、遮光部６は、測定時に測定対象チップを囲む突起部６５が設けられている。突起部６５は、遮光部６の下面６６から突起しており、測定対象チップと隣接チップとの間の隙間と対向する位置に形成されている。そして、突起部６５は、プローブ針３０の触針時において、測定対象チップと隣接チップとの隙間に挿入され、測定対象チップのＬＥＤ５２からの出射光が隣接チップのＬＥＤ５２の側面から入射する光を遮る。このように、図６の例では、遮光部６は、突起部６５を有することで、測定対象チップのＬＥＤ５２から隣接チップのＬＥＤ５２への光の入射をより好適に遮断することができる。なお、図６では、ＬＥＤ５２は分割され、測定対象チップと隣接チップとの間に隙間が形成されているが、分割されていることには限定されない。これに代えて、１枚の基板５０上に複数のＬＥＤ５２が配列されてもよい。

【符号の説明】

【0055】

１ 支持部
２ 導光部
３ プローブ
４ テーブル
６ 遮光部
７（７Ａ、７Ｂ） バネ
８ リフレクタ
９ 積分球
１５ 制御部
１００ 測定装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】