特許 6403213 制御装置、制御方法、および分析システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6403213

(24)【登録日】2018年9月21日

(45)【発行日】2018年10月10日

(54)【発明の名称】制御装置、制御方法、および分析システム

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/2252 20180101AFI20181001BHJP

   G01N 23/02 20060101ALI20181001BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/2252

   G01N23/02

【請求項の数】9

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2015-90045(P2015-90045)

(22)【出願日】2015年4月27日

(65)【公開番号】特開2016-206088(P2016-206088A)

(43)【公開日】2016年12月8日

【審査請求日】2017年11月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004271

【氏名又は名称】日本電子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090387

【弁理士】

【氏名又は名称】布施 行夫

(74)【代理人】

【識別番号】100090398

【弁理士】

【氏名又は名称】大渕 美千栄

(72)【発明者】

【氏名】橘 和広

(72)【発明者】

【氏名】材木 寿志

(72)【発明者】

【氏名】阿部 聖

【審査官】 越柴 洋哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１０−２６０１４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１９７１４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１２７８７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−３１６２０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−１７８５６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−１５９２８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１７０９４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第５７０６０８３（ＵＳ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０２３３６９２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／００−２３／２２７６

Ｈ０１Ｊ ３７／００−３７／２９５

Ｇ０１Ｊ ３／００− ３／５２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

分光分析装置を制御する制御装置であって、
前記分光分析装置で取得された試料像を表示部に表示させる制御を行う試料像表示制御部と、
ポインティング手段による前記試料像上の分析位置の指定に基づき前記分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行い、前記ポインティング手段による前記分析位置の指定の解除に基づき前記分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う分析装置制御部と、
を含む、制御装置。

【請求項2】

請求項１において、
前記分光分析装置における分析結果を前記表示部に表示させる制御を行う分析結果表示制御部を含み、
前記分析結果表示制御部は、
前記分析位置の指定に基づき前記分析結果を前記表示部に表示させる制御を開始し、前記分析位置の指定の解除に基づき前記分析結果を前記表示部に表示させる制御を終了する、制御装置。

【請求項3】

請求項１または２において、
前記分光分析装置から出力された分析データを記憶部に記憶させる制御を行う分析結果記憶制御部を含み、
前記分析結果記憶制御部は、
前記分析位置の指定に基づき前記記憶部に前記分析データを記憶させる処理を開始し、前記分析位置の指定の解除に基づき前記記憶部に記憶された前記分析データを消去する処理を行う、制御装置。

【請求項4】

分光分析装置を制御する制御装置であって、
前記分光分析装置で取得された試料像を表示部に表示させる制御を行う試料像表示制御部と、
ポインティング手段による前記試料像上の分析位置の指定がなされた場合に、分析開始アイコンを前記表示部に表示させる制御を行うアイコン表示制御部と、
前記ポインティング手段による前記分析開始アイコンに対する操作に基づき前記分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行い、前記分析開始アイコンに対する操作の解除に基づき前記分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う分析装置制御部と、
を含む、制御装置。

【請求項5】

分光分析装置を制御する制御方法であって、
前記分光分析装置で取得された試料像を表示部に表示させる制御を行う工程と、
ポインティング手段による前記試料像上の分析位置の指定に基づき前記分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行う工程と、
前記ポインティング手段による前記分析位置の指定の解除に基づき前記分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う工程と、
を含む、制御方法。

【請求項6】

請求項５において、
前記分析位置の指定に基づき前記分光分析装置における分析結果を前記表示部に表示させる制御を開始する工程と、
前記分析位置の指定の解除に基づき前記分析結果を前記表示部に表示させる制御を終了する工程と、
を含む、制御方法。

【請求項7】

請求項５または６において、
前記分析位置の指定に基づき記憶部に前記分光分析装置から出力された分析データを記憶させる処理を開始する工程と、
前記分析位置の指定の解除に基づき前記記憶部に記憶された前記分析データを消去する処理を行う工程と、
を含む、制御方法。

【請求項8】

分光分析装置を制御する制御方法であって、
前記分光分析装置で取得された試料像を表示部に表示させる制御を行う工程と、
ポインティング手段による前記試料像上の分析位置の指定がなされた場合に、分析開始アイコンを前記表示部に表示させる制御を行う工程と、
前記ポインティング手段による前記分析開始アイコンに対する操作に基づき前記分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行う工程と、
前記分析開始アイコンに対する操作の解除に基づき前記分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う工程と、
を含む、制御方法。

【請求項9】

請求項１ないし４のいずれか１項に記載の制御装置を含む、分析システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、制御装置、制御方法、および分析システムに関する。

【背景技術】

【0002】

エネルギー分散型Ｘ線分析装置（ｅｎｅｒｇｙ ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ−ｒａｙ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ、ＥＤＳ）が搭載された電子顕微鏡では、試料の任意の位置で、試料の元素組成情報を得るための分析を行うことができる。

【0003】

例えば、特許文献１には、表示装置の画面上に表示された電子顕微鏡画像における分析位置をポインティングデバイスで指定することにより、この指定された分析対象位置に電子線を照射するとともに、エネルギー分散型Ｘ線分析装置がＸ線スペクトルの取り込みを開始するようにしたエネルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第３６５４５５１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ＥＤＳが搭載された電子顕微鏡等の分光分析装置を用いて分析を行う場合、保存しておく価値のある分析データを取得するためには、あらかじめ装置を適切な分析条件に設定しておく必要がある。

【0006】

しかしながら、このような分析では試料状態の影響が大きく、共通の条件を流用できないため、仮の分析条件で実際に分析を行ってみてから、詳細な分析条件を設定する場合が多い。そのため、保存しておく価値ある分析データを取得するためには、仮の分析条件での複数回の分析が必要となる場合もあり、装置の操作性が悪いと、分析開始から終了までに時間がかかってしまう等の問題がある。

【0007】

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、分光分析装置の操作性を向上させることができる制御装置および制御方法を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記制御装置を含む分光分析システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

（１）本発明に係る制御装置は、
分光分析装置を制御する制御装置であって、
前記分光分析装置で取得された試料像を表示部に表示させる制御を行う試料像表示制御部と、
ポインティング手段による前記試料像上の分析位置の指定に基づき前記分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行い、前記ポインティング手段による前記分析位置の指定の解除に基づき前記分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う分析装置制御部と、
を含む。

【0009】

このような制御装置では、分析装置制御部がポインティング手段による前記試料像上の分析位置の指定に基づき分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行い、ポインティ
ング手段による分析位置の指定の解除に基づき分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う。これにより、ユーザーは分析を開始させるためのアイコンや、分析を終了させるためのアイコン等を操作しなくてもよいため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0010】

（２）本発明に係る制御装置において、
前記分光分析装置における分析結果を前記表示部に表示させる制御を行う分析結果表示制御部を含み、
前記分析結果表示制御部は、
前記分析位置の指定に基づき前記分析結果を前記表示部に表示させる制御を開始し、前記分析位置の指定の解除に基づき前記分析結果を前記表示部に表示させる制御を終了してもよい。

【0011】

このような制御装置では、ユーザーは不必要な分析結果を表示部から消去するための操作を行わなくてもよいため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0012】

（３）本発明に係る制御装置において、
前記分光分析装置から出力された分析データを記憶部に記憶させる制御を行う分析結果記憶制御部を含み、
前記分析結果記憶制御部は、
前記分析位置の指定に基づき前記記憶部に前記分析データを記憶させる処理を開始し、前記分析位置の指定の解除に基づき前記記憶部に記憶された前記分析データを消去する処理を行ってもよい。

【0013】

このような制御装置では、ユーザーは不必要な分析データを記憶部から消去するための操作を行わなくてもよいため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0014】

（４）本発明に係る制御装置は、
分光分析装置を制御する制御装置であって、
前記分光分析装置で取得された試料像を表示部に表示させる制御を行う試料像表示制御部と、
ポインティング手段による前記試料像上の分析位置の指定がなされた場合に、分析開始アイコンを前記表示部に表示させる制御を行うアイコン表示制御部と、
前記ポインティング手段による前記分析開始アイコンに対する操作に基づき前記分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行い、前記分析開始アイコンに対する操作の解除に基づき前記分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う分析装置制御部と、
を含む。

【0015】

このような制御装置では、分析装置制御部が、ポインティング手段による分析開始アイコンに対する操作に基づき分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行い、分析開始アイコンに対する操作の解除に基づき分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う。これにより、ユーザーは分析を終了させるためのアイコン等を操作する必要がないため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。また、例えば、ポインティング手段による分析位置を指定するための操作が誤認識されるおそれを低減させることができる。

【0016】

（５）本発明に係る制御方法は、
分光分析装置を制御する制御方法であって、
前記分光分析装置で取得された試料像を表示部に表示させる制御を行う工程と、
ポインティング手段による前記試料像上の分析位置の指定に基づき前記分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行う工程と、
前記ポインティング手段による前記分析位置の指定の解除に基づき前記分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う工程と、
を含む。

【0017】

このような制御方法では、ポインティング手段による試料像上の分析位置の指定に基づき分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行う工程と、ポインティング手段による分析位置の指定の解除に基づき分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う工程と、を含む。これにより、ユーザーが分析を開始させるためのアイコンや、分析を終了させるためのアイコン等を操作する必要がないため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0018】

（６）本発明に係る制御方法において、
前記分析位置の指定に基づき前記分光分析装置における分析結果を前記表示部に表示させる制御を開始する工程と、
前記分析位置の指定の解除に基づき前記分析結果を前記表示部に表示させる制御を終了する工程と、
を含んでいてもよい。

【0019】

このような制御装置では、ユーザーは不必要な分析結果を表示部から消去するための操作を行わなくてもよいため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0020】

（７）本発明に係る制御方法において、
前記分析位置の指定に基づき記憶部に前記分光分析装置から出力された分析データを記憶させる処理を開始する工程と、
前記分析位置の指定の解除に基づき前記記憶部に記憶された前記分析データを消去する処理を行う工程と、
を含んでいてもよい。

【0021】

このような制御方法では、ユーザーは不必要な分析データを記憶部から消去するための操作を行わなくてもよいため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0022】

（８）本発明に係る制御方法は、
分光分析装置を制御する制御方法であって、
前記分光分析装置で取得された試料像を表示部に表示させる制御を行う工程と、
ポインティング手段による前記試料像上の分析位置の指定がなされた場合に、分析開始アイコンを前記表示部に表示させる制御を行う工程と、
前記ポインティング手段による前記分析開始アイコンに対する操作に基づき前記分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行う工程と、
前記分析開始アイコンに対する操作の解除に基づき前記分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う工程と、
を含む。

【0023】

このような制御方法では、ポインティング手段による前記分析開始アイコンに対する操作に基づき分光分析装置に対して分析を開始させる制御を行う工程と、分析開始アイコンに対する操作の解除に基づき分光分析装置に対して分析を終了させる制御を行う工程と、を含む。これにより、ユーザーは分析を終了させるためのアイコン等を操作する必要がないため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。また、例えば、ポインティング手段による分析位置を指定するための操作が誤認識されるおそれを低減させることができる。

【0024】

（９）本発明に係る分析システムは、
本発明に係る制御装置を含む。

【0025】

このような分析システムでは、本発明に係る制御装置を含むため、操作性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】第１実施形態に係る制御装置を含む分析システムの機能ブロック図。

【図2】第１実施形態に係る制御装置の設定画面の一例を示す図。

【図3】第１実施形態の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図4】第１実施形態の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図5】第１実施形態の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図6】第１実施形態に係る制御装置の動作の一例を示すフローチャート。

【図7】第２変形例の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図8】第２変形例分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図9】第２変形例分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図10】第３変形例の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図11】第４変形例の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図12】第４変形例の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図13】第２実施形態に係る制御装置を含む分析システムの機能ブロック図。

【図14】第２実施形態の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図15】第２実施形態の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図16】第２実施形態の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図17】第２実施形態の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図18】第２実施形態の分光分析装置の操作の一例を説明するための図。

【図19】第２実施形態に係る制御装置の動作の一例を示すフローチャート。

【図20】第３実施形態に係る制御装置を含む分析システムの機能ブロック図。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

【0028】

１． 第１実施形態
１．１． 制御装置
まず、第１実施形態に係る制御装置について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る制御装置１００を含む分析システム１０００の機能ブロック図の一例を示す図である。

【0029】

分析システム１０００は、分光分析装置１０１と、制御装置１００と、を含む。

【0030】

分光分析装置１０１は、試料の任意の位置で、試料の元素組成情報を得るための分析を行うことが可能な装置である。分光分析装置１０１は、図示の例では、エネルギー分散型Ｘ線分析装置（ＥＤＳ）１０４が搭載された電子顕微鏡１０２である。電子顕微鏡１０２は、例えば、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）等である。以下では、電子顕微鏡１０２が走査電子顕微鏡である例について説明する。

【0031】

制御装置１００は、分光分析装置１０１を制御するための装置である。制御装置１００は、電子顕微鏡１０２と、ＥＤＳ１０４と、を制御する。分析システム１０００では、１
つの制御装置１００によって電子顕微鏡１０２およびＥＤＳ１０４の両方を制御することができるため、例えば、電子顕微鏡を制御するための制御装置とＥＤＳを制御するための制御装置とが別である場合と比べて、操作性を向上させることができる。

【0032】

制御装置１００は、処理部１０と、タッチパネル２０（ポインティング手段の一例）と、表示部３０と、記憶部４０と、情報記憶媒体５０と、を含む。

【0033】

タッチパネル２０は、ユーザーが操作情報を入力するためのものであり、入力された操作情報を処理部１０に出力する。タッチパネル２０は、タッチパネルに対する接触操作（指定操作）によって入力された入力情報を処理部１０に出力する。タッチパネル方式としては、抵抗膜方式（４線式、５線式）、静電容量結合方式、超音波表面弾性波方式、赤外線走査方式などがある。タッチパネル２０は、表示部３０の表示領域に設けられ、表示部３０とともにタッチパネルディスプレイを構成する。タッチパネル２０への接触操作は、指先を用いて行ってもよいし、タッチペンなどを用いて行ってもよい。

【0034】

表示部３０は、処理部１０によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、ＬＣＤ、ＣＲＴ、タッチパネル２０を備えたタッチパネルディスプレイなどにより実現できる。

【0035】

記憶部４０は、処理部１０のワーク領域となるものであり、その機能はＲＡＭなどにより実現できる。情報記憶媒体５０（コンピューターにより読み取り可能な媒体）は、プログラムやデータなどを格納するものであり、その機能は、光ディスク（ＣＤ，ＤＶＤ）、光磁気ディスク（ＭＯ）、磁気ディスク、ハードディスク、磁気テープ、あるいはメモリ（ＲＯＭ）などにより実現できる。処理部１０は、情報記憶媒体５０に格納されるプログラム（データ）に基づいて本実施形態の種々の処理を行う。情報記憶媒体５０には、処理部１０の各部としてコンピューターを機能させるためのプログラムを記憶することができる。

【0036】

記憶部４０には、例えば、分光分析装置１０１から出力された分析データが記憶される。分析データは、例えば、ＥＤＳスペクトルデータである。

【0037】

処理部１０は、分光分析装置１０１で取得された試料像（電子顕微鏡像）や、分光分析装置１０１における分析結果（ＥＤＳスペクトル等）を表示部３０に表示させる制御を行う処理や、分光分析装置１０１から出力された分析データを記憶部４０に記憶させる処理、分光分析装置１０１を制御する処理などを行う。処理部１０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）、ＡＳＩＣ（ゲートアレイ等）などのハードウェアや、プログラムにより実現できる。処理部１０は、試料像表示制御部１２と、判定部１３と、分析装置制御部１４と、分析結果記憶制御部１６と、分析結果表示制御部１８と、を含む。

【0038】

試料像表示制御部１２は、分光分析装置１０１で取得された試料像（電子顕微鏡像）を表示部３０に表示させる制御を行う。

【0039】

判定部１３は、表示部３０に表示された試料像上の分析位置の指定がなされたか否かを判断する処理を行う。また、判定部１３は、分析位置の指定が解除されたか否かを判断する処理を行う。

【0040】

本実施形態において、分析位置の指定は、例えば、ユーザーが指先（タッチペン等でもよい）を表示部３０に表示された試料像上の任意の位置に接触させること（接触操作）により行われる。判定部１３は、表示部３０に表示された試料像上においてタッチパネル２０により接触操作（タッチパネル２０への接触）が検出された場合に、当該分析位置の指
定がなされたと判断する。

【0041】

また、本実施形態において、分析位置の解除は、例えば、ユーザーが試料像上の分析位置に接触させていた指先ＦＧを離すこと（タッチアップ操作）により行われる。判定部１３は、表示部３０に表示された試料像上においてタッチパネル２０により分析位置への接触が検出されなくなった場合（タッチアップ操作が検出された場合）に、当該分析位置の指定が解除されたと判断する。

【0042】

分析装置制御部１４は、分光分析装置１０１を制御するための処理を行う。分析結果記憶制御部１６は、分光分析装置１０１から出力された分析データを記憶部４０に記憶させる制御を行う。分析結果表示制御部１８は、分光分析装置１０１における分析結果を表示部３０に表示させる制御を行う。

【0043】

ここで、制御装置１００は、インスタント分析モード（以下「第１モード」ともいう）と、本分析モード（以下「第２モード」ともいう）と、を有している。第１モードは、分析条件を決定するための予備的な分析（測定）を行うためのモードである。第２モードは、保存しておく価値ある分析データを取得するためのモードである。

【0044】

まず、第１モードについて説明する。

【0045】

分析装置制御部１４は、第１モードにおいて、タッチパネル２０による表示部３０に表示された試料像上の分析位置の指定に基づき分光分析装置１０１に対して分析を開始させる制御を行い、タッチパネル２０による分析位置の指定の解除に基づき分光分析装置１０１に対して分析を終了させる制御を行う。分析装置制御部１４は、判定部１３によって分析位置の指定がなされたと判断された場合に、分光分析装置１０１に対して分析を開始させる制御を行う。また、分析装置制御部１４は、判定部１３によって分析位置の指定が解除されたと判断された場合に、分光分析装置１０１に対して分析を終了させる制御を行う。

【0046】

分析結果記憶制御部１６は、第１モードにおいて、タッチパネル２０による分析位置の指定に基づき記憶部４０に分析データを記憶させる処理を開始し、タッチパネル２０による分析位置の指定の解除に基づき記憶部４０に記憶された分析データを消去する処理を行う。例えば、第１モードにおいて、分析結果記憶制御部１６は、判定部１３によって分析位置の指定がなされたと判断された場合に、記憶部４０に分析データを記憶させる処理を開始する。また、分析結果記憶制御部１６は、判定部１３によって分析位置の指定が解除されたと判断された場合に、記憶部４０に記憶された分析データを消去する処理を行う。

【0047】

分析データ（ＥＤＳスペクトルデータ）は、分析結果記憶制御部１６が分析データを記憶させる処理を開始した後、分析データを消去する処理を行うまで積算される。本実施形態では、分析データは、ＥＤＳ１０４の検出器により分光・検出されたＸ線信号に基づくデータ（ＥＤＳスペクトルデータ）であり、マルチチャネルアナライザー（図示せず）を介してその電気パルスの高さ（Ｘ線のエネルギー値）に応じて記憶部４０に記憶されて積算される。

【0048】

分析結果表示制御部１８は、第１モードにおいて、タッチパネル２０による分析位置の指定に基づき分析結果（ＥＤＳスペクトル）を表示部３０に表示させる制御を開始し、タッチパネル２０による分析位置の指定の解除に基づき分析結果を表示部３０に表示させる制御を終了する。例えば、第１モードにおいて、分析結果表示制御部１８は、判定部１３によって分析位置の指定がなされたと判断された場合に、表示部３０に分析結果を表示させる制御を開始する。また、分析結果表示制御部１８は、判定部１３によって分析位置の
指定が解除されたと判断された場合に、表示部３０に表示された分析結果を表示させる制御を終了する。すなわち、分析位置の指定が解除された場合、表示部３０には分析結果は表示されない。

【0049】

次に、第２モードについて説明する。

【0050】

分析装置制御部１４は、第２モードにおいて、タッチパネル２０による表示部３０に表示された試料像上の分析位置の指定がなされた後、表示部３０に表示されている分析開始アイコンの操作に応じて分光分析装置１０１に対して分析を開始させる制御を行い、あらかじめ設定されている所定時間経過後、または分析終了アイコンの操作に応じて分光分析装置１０１に対して分析を終了させる制御を行う。

【0051】

分析結果記憶制御部１６は、第２モードにおいて、表示部３０に表示されている分析開始アイコンの操作に応じて分光分析装置１０１から出力された分析データを記憶部４０に記憶させる処理（分析データを積算する処理）を開始し、あらかじめ設定されている所定時間経過後、または分析終了アイコンの操作に応じて分析データを積算する処理を終了する。

【0052】

分析結果表示制御部１８は、第２モードにおいて、表示部３０に表示されている分析開始アイコンの操作に応じて分析結果（ＥＤＳスペクトル）を表示部３０に表示させる制御を開始し、分析が終了した後、次に分析開始アイコンの操作が行われるまで表示部３０に分析結果を表示させる制御を行う。すなわち、次の分析が行われるまで、表示部３０には分析結果が表示され、次の分析が開始されると、分析結果の表示が更新される。

【0053】

１．２． 本実施形態の手法
次に、本実施形態の手法について図面を用いて説明する。

【0054】

図２は、タッチパネルディスプレイ（タッチパネル２０を備えた表示部３０）に表示される設定画面（ＧＵＩ：グラフィカルユーザーインタフェース）１の一例を示す図である。

【0055】

設定画面１は、図２に示すように、試料像表示部２と、分析結果表示部３と、操作部４と、を含む。

【0056】

試料像表示部２には、分光分析装置１０１で取得された試料像が表示される。試料像表示部２には、例えば、電子顕微鏡像が表示される。分析結果表示部３には、分光分析装置１０１における分析結果が表示される。分析結果表示部３には、例えば、ＥＤＳスペクトルが表示される。操作部４は、分光分析装置１０１の操作を行うためのＧＵＩ要素（ボタン、アイコン等）が配置されている。操作部４には、インスタント分析アイコン５と、点分析アイコン６と、分析開始アイコン６ａと、分析終了アイコン６ｂと、が配置されている。インスタント分析アイコン５が操作されることで、制御装置１００は第１モードで動作し、点分析アイコン６が操作されることで、制御装置１００は第２モードで動作する。

【0057】

まず、インスタント分析アイコン５が操作されて、制御装置１００が第１モードで動作する場合について説明する。図３〜図５は、制御装置１００における分光分析装置１０１の操作の一例を説明するための図である。

【0058】

ユーザーが指先ＦＧをインスタント分析アイコン５に接触させる操作（インスタント分析アイコン（ボタン）５を押す操作）を行うことで、制御装置１００は第１モードで動作する。このとき、処理部１０は、分光分析装置１０１に対して電子線の走査を中止させる
制御を行う。

【0059】

そして、図３に示すように、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２に表示された試料像上の任意の位置に接触させる操作を行うことで、分析位置が指定される。これにより、分光分析装置１０１では、指定された分析位置で分析が開始される。

【0060】

図４に示すように、分析が開始されると同時に、記憶部４０に分光分析装置１０１から出力された分析データが記憶され、ＥＤＳスペクトル（分析結果）が分析結果表示部３に表示される。分析結果の表示を見ることで、ユーザーは分析位置の組成を確認することができる。ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２に接触させる操作を行っている間は分析が継続して行われ、分析データが積算され続ける。そして、分析結果表示部３には、積算されたＥＤＳスペクトルがリアルタイムに表示される。ユーザーは、例えば微小ピークの有無の判定を行う必要がある場合は、分析時間を長く（試料像表示部２への指先ＦＧの接触を継続する時間を長く）することで、Ｓ／Ｎ比の良いスペクトルを得て、微小ピークの有無の判定を正確に行うことができる。一方、目的とする元素のピークが得られないとわかれば、試料像表示部２への指先ＦＧの接触を即座に解除すればよい。このように、積算されたスペクトルの表示を見ることで、ユーザーは分析時間を長くするか短くするかの正確な判断を行うことができる。

【0061】

図５に示すように、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２から離す操作（タッチアップ）を行うことで、分析位置の指定が解除される。これにより、分光分析装置１０１では、直ちに分析が終了する。このとき、分析結果表示部３に表示されていたＥＤＳスペクトルは非表示となり、記憶部４０に記憶されている分析データは消去される。

【0062】

次に、点分析アイコン６が押されて、制御装置１００が第２モードで動作する場合について説明する。ユーザーが指先ＦＧを点分析アイコン６に接触させる操作（点分析アイコン（ボタン）６を押す操作）を行うことで、制御装置１００は第２モードで動作する。このとき、処理部１０は、分光分析装置１０１に対して電子線の走査を中止させる制御を行う。

【0063】

図３に示すように、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２に表示された試料像上の任意の位置に接触させる操作を行うことで、分析位置が指定される。次に、ユーザーが指先ＦＧを分析開始アイコン６ａに接触させる操作を行うことで、分光分析装置１０１では指定された分析位置で分析が開始される。そして、あらかじめ設定された所定時間経過後、またはユーザーが指先ＦＧを分析終了アイコン６ｂに接触させる操作（分析終了アイコン（ボタン）６ｂを押す操作）を行うことで、分析が終了する。このとき、分析結果表示部３に表示されていたＥＤＳスペクトルは表示されたままであり、記憶部４０には積算された分析データが記憶される（保存される）。なお、記憶部４０には、分析データとともに、分析位置の情報が記憶される。

【0064】

１．３． 制御装置の動作
次に、本実施形態に係る制御装置の動作について説明する。ここでは、第１モードにおける制御装置１００の動作について説明する。図６は、制御装置１００の動作の一例を示すフローチャートである。

【0065】

まず、試料像表示制御部１２は、分光分析装置１０１の電子顕微鏡１０２で取得された電子顕微鏡像（試料像）を取得し、表示部３０（試料像表示部２）に表示させる制御を行う（ステップＳ１０）。

【0066】

次に、判定部１３は、ユーザーによって表示部３０に表示された試料像上の分析位置が
指定されたか否かを判断する（ステップＳ１２）。

【0067】

分析位置が指定されたと判断された場合（ステップＳ１２の「Ｙ」）、すなわち、タッチパネル２０による分析位置の指定に基づいて、分析装置制御部１４は、分光分析装置１０１に対して分析を開始させる制御を行う（ステップＳ１４）。

【0068】

分析装置制御部１４は、例えば、判定部１３によって分析位置の指定がなされた判断されると、直ちに分析を開始させるための制御信号を分光分析装置１０１に送る処理を行う。この制御信号を受けて、分光分析装置１０１では、指定された分析位置に電子線が照射され、試料から放出された特性Ｘ線がＥＤＳ１０４で検出される。

【0069】

また、分析位置が指定されたと判断された場合（ステップＳ１２の「Ｙ」）、分析結果記憶制御部１６は、分光分析装置１０１から出力された分析データを記憶部４０に記憶させる処理を開始する（ステップＳ１６）。

【0070】

また、分析位置が指定されたと判断された場合（ステップＳ１２の「Ｙ」）、分析結果表示制御部１８は、ＥＤＳスペクトル（分析結果）を表示部３０に表示させる制御を開始する（ステップＳ１８）。分析結果表示制御部１８は、例えば、記憶部４０に記憶されている分析データを読み出して、表示部３０にＥＤＳスペクトルを表示させる制御を行う。

【0071】

次に、判定部１３は、ユーザーによって表示部３０に表示された試料像上の分析位置の指定が解除されたか否かを判断する（ステップＳ２０）。

【0072】

分析位置の指定が解除されたと判断された場合（ステップＳ２０の「Ｙ」）、すなわち、タッチパネル２０による分析位置の指定の解除に基づいて、分析装置制御部１４は、分光分析装置１０１に対して分析を終了させる制御を行う（ステップＳ２２）。

【0073】

分析装置制御部１４は、判定部１３によって分析位置の指定が解除されたと判断されると、直ちに分析を終了させるための制御信号を分光分析装置１０１に送る処理を行う。この制御信号を受けて、分光分析装置１０１では、分析位置に対する電子線の照射が中止される。

【0074】

また、分析位置の指定が解除されたと判断された場合（ステップＳ２０の「Ｙ」）、分析結果記憶制御部１６は、記憶部４０に記憶されていた分析データを消去する処理を行う（ステップＳ２４）。これにより、記憶部４０に記憶されていた積算された分析データは消去される。

【0075】

また、分析位置の指定が解除されたと判断された場合（ステップＳ２０の「Ｙ」）、分析結果表示制御部１８は、ＥＤＳスペクトル（分析結果）を表示部３０に表示させる制御を終了する（ステップＳ２６）。これにより、表示部３０（分析結果表示部３）には、ＥＤＳスペクトルは表示されない。そして、ステップＳ１２に戻り、ステップＳ１２〜ステップＳ２６の処理が繰り返される。

【0076】

一方、分析位置の指定が解除されていないと判断された場合（ステップＳ２０の「Ｎ」）、ステップＳ１６に戻って、ステップＳ１６、ステップＳ１８の処理が行われる。すなわち、記憶部４０には分析データが積算され、表示部３０には積算されたＥＤＳスペクトルが表示され続ける。

【0077】

制御装置１００は、例えば、以下の特長を有する。

【0078】

制御装置１００では、分析装置制御部１４は、タッチパネル２０による試料像上の分析位置の指定に基づき分光分析装置１０１に対して分析を開始させる制御を行い、タッチパネル２０による分析位置の指定の解除に基づき分光分析装置１０１に対して分析を終了させる制御を行う。そのため、例えば、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２に表示された試料像上の任意の位置に接触させる操作を行うことで分析が開始され、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２から離す操作（タッチアップ）を行うことで分析が終了する。したがって、ユーザーは分析を開始させるためのアイコンや、分析を終了させるためのアイコン等の操作を行わなくてもよいため、分光分析装置の操作性を向上させることができ、分析の時間を短縮することができる。

【0079】

制御装置１００では、分析結果記憶制御部１６は、タッチパネル２０による試料像上の分析位置の指定に基づき記憶部４０に分析データを記憶させる処理を開始し、タッチパネル２０による分析位置の指定の解除に基づき記憶部４０に記憶された分析データを消去する処理を行う。これにより、ユーザーは不必要な分析データを記憶部４０から消去する操作を行わなくてもよいため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0080】

制御装置１００では、分析結果表示制御部１８は、タッチパネル２０による試料像上の分析位置の指定に基づき分析結果を表示部３０に表示させる制御を開始し、タッチパネル２０による分析位置の指定の解除に基づき分析結果を表示部３０に表示させる制御を終了する。これにより、ユーザーは不必要な分析結果を表示部３０から消去する操作を行わなくてもよいため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0081】

本実施形態に係る制御方法は、分光分析装置１０１で撮影された試料像を表示部３０に表示させる制御を行う工程と、タッチパネル２０による試料像上の分析位置の指定に基づき分光分析装置１０１に対して分析を開始させる制御を行う工程と、タッチパネル２０による分析位置の指定の解除に基づき分光分析装置１０１に対して分析を終了させる制御を行う工程と、を含む。そのため、上述したように、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0082】

分析システム１０００は、制御装置１００を含むため、分光分析装置の操作性を向上させることができる。

【0083】

１．４． 変形例
次に、本実施形態に係る制御装置の変形例について説明する。なお、上述した本実施形態に係る制御装置の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。

【0084】

（１）第１変形例
まず、第１変形例について説明する。なお、第１変形例において、分析システムの構成は、図１に示す分析システム１０００と同様であり、図示を省略する。

【0085】

上述した実施形態では、判定部１３は、タッチパネル２０によって試料像表示部２への接触が検出された場合（接触操作が行われた場合）に、分析位置が指定されたと判断した。

【0086】

これに対して、本変形例では、判定部１３は、タッチパネル２０によって試料像表示部２への接触が所定の時間継続して検出された場合（接触操作が所定の時間継続した場合）に、分析位置が指定されたと判断する。すなわち、本変形例では、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２（タッチパネルディスプレイ）に表示された試料像上の任意の位置に接触させる操作を所定の時間継続して行うことにより、分析位置が指定される。なお、ユーザーが指先ＦＧを接触させる操作を所定の時間継続しなかった場合には、分析は開始されな
い。

【0087】

本変形例では、分析位置の指定を指定するための操作が誤認識されるおそれを低減させることができる。例えば、試料像の視野の移動を、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２の任意の位置に接触させた状態で指先ＦＧを所望の方向に移動させることで（スライドさせることで）行う場合、視野の移動と分析位置の指定とが誤認識されるおそれがある。本変形例では、指先ＦＧを接触させる操作を所定の時間継続して行った場合に、分析位置が指定されるため、試料の移動と分析位置の指定とが誤認識されるおそれを低減させることができる。このように本変形例では、タッチパネル２０による分析位置を指定するための操作が誤認識されるおそれを低減させることができる。

【0088】

（２）第２変形例
次に、第２変形例について説明する。図７〜図９は、第２変形例に係る制御装置における分光分析装置の操作の一例を説明するための図である。なお、第２変形例における分析システムの構成は、図１に示す分析システム１０００と同様であり、図示を省略する。

【0089】

図７に示すように、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２に表示された試料像上の任意の位置に接触させる操作を行うことで、分析位置が指定される。このとき、本変形例では、ユーザーによって指定された位置を中心とした規定範囲が分析位置（分析領域）として指定され、この範囲（領域）で分析が行われる。すなわち、分光分析装置１０１では分析を行う際にこの範囲に電子線が照射される。規定範囲の大きさや、形状は適宜設定することができる。例えば、図７に示す例では、規定範囲は矩形であり、図８に示す例では規定範囲は円である。

【0090】

また、図９に示すように、ユーザーによって指定された位置に隣接した同輝度、もしくは同輝度±Ｘ階調のピクセル領域の範囲が分析位置として指定されてもよい。

【0091】

（３）第３変形例
次に、第３変形例について説明する。図１０は、第３変形例に係る制御装置における分光分析装置の操作の一例を説明するための図である。なお、第３変形例における分析システムの構成は、図１に示す分析システム１０００と同様であり、図示を省略する。以下、本変形例について、図３〜図５、図１０を参照しながら説明する。

【0092】

図３に示すように、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２に表示された試料像上の任意の位置に接触させる操作を行うことで、分析位置が指定される。これにより、分光分析装置１０１では、当該分析位置で分析が開始される。そして、図４に示すように、記憶部４０に分光分析装置１０１から出力された分析データの記憶が開始され、ＥＤＳスペクトルが分析結果表示部３に表示される。

【0093】

図１０に示すように、ユーザーが指先ＦＧを分析位置に接触させた状態で、別の指先ＦＧを試料像表示部２の任意の位置に接触させる操作を行う。これにより、図５に示すようにユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２から離す操作を行って分析位置の指定が解除されて分析が終了したときに、記憶部４０に記憶されている分析データは消去されずに保持される。なお、分析結果表示部３に表示されていたＥＤＳスペクトルは、非表示となってもよいし、表示されたままであってもよい。

【0094】

すなわち、本変形例では、分析結果記憶制御部１６は、ユーザーが指先ＦＧを分析位置に接触させた状態で、別の指先ＦＧを試料像表示部２の任意の位置に接触させる操作を行った場合に、タッチパネル２０による分析位置の指定が解除されたタイミングに基づき記憶部４０に記憶された分析データを消去する処理を行わずに、分析位置の情報とともに分
析データを記憶部４０に保持する処理を行う。

【0095】

（４）第４変形例
次に、第４変形例について説明する。図１１および図１２は、第４変形例に係る制御装置における分光分析装置の操作の一例を説明するための図である。なお、第４変形例における分析システムの構成は、図１に示す分析システム１０００と同様であり、図示を省略する。以下、本変形例について、図３、図４、図１１、図１２を参照しながら説明する。

【0096】

図３に示すように、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２に表示された試料像上の任意の位置に接触させる操作を行うことで、分析位置が指定される。これにより、分光分析装置１０１では、当該分析位置で分析が開始される。そして、図４に示すように、記憶部４０に分光分析装置１０１から出力された分析データの記憶が開始され、ＥＤＳスペクトルが分析結果表示部３に表示される。

【0097】

分析が開始された状態で、図１１に示すように、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２に接触させたまま移動させる操作を行うと、移動後の位置が分析位置として指定される。これにより、分光分析装置１０１では、移動後の分析位置で引き続き分析が行われ、図１２に示すように、移動後の分析位置の分析結果が分析結果表示部３に表示される。

【0098】

すなわち、本変形例では、分析装置制御部１４は、タッチパネル２０（試料像表示部２）上での指先ＦＧの接触移動に伴い分析位置が変化した場合に、分光分析装置１０１に対して変化した後の分析位置で分析を開始させる制御を行う。

【0099】

２． 第２実施形態
２．１． 制御装置
次に、第２実施形態に係る制御装置について図面を参照しながら説明する。図１３は、第２実施形態に係る制御装置２００を含む分析システム１０００の機能ブロック図の一例を示す図である。以下、第２実施形態に係る制御装置を含む分析システムにおいて、第１実施形態に係る制御装置を含む分析システムの構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

【0100】

分析システム１０００は、分光分析装置１０１と、制御装置２００と、を含む。

【0101】

制御装置２００の処理部１０は、試料像表示制御部１２と、判定部１３と、分析装置制御部１４と、分析結果記憶制御部１６と、分析結果表示制御部１８と、に加えて、さらに、アイコン表示制御部１９を含む。

【0102】

アイコン表示制御部１９は、第２モードにおいて、タッチパネル２０による表示部３０に表示された試料像上の分析位置の指定がなされた場合に、分析開始アイコンおよび分析キャンセルアイコンを表示部３０に表示させる制御を行う。分析開始アイコンは、指定された分析位置で分光分析装置１０１に分析を開始させるための操作、および分析を終了させるための操作を受け付けるアイコンである。分析キャンセルアイコンは、指定された分析位置での分析をキャンセルするための操作を受け付けるアイコンである。

【0103】

分析装置制御部１４は、第２モードにおいて、タッチパネル２０による分析開始アイコンに対する操作に基づき分光分析装置１０１に対して分析を開始させる制御を行い、タッチパネル２０による分析開始アイコンに対する操作の解除に基づき分光分析装置１０１に対して分析を終了させる制御を行う。

【0104】

なお、本実施形態における制御装置２００の第２モードの動作は、上述した制御装置１
００の第２モードの動作と同様でありその説明を省略する。

【0105】

２．２． 本実施形態の手法
次に、本実施形態の手法について図面を用いて説明する。

【0106】

ここでは、制御装置２００が第１モードで動作する場合について説明する。図１４〜図１８は、制御装置２００における分光分析装置１０１の操作の一例を説明するための図である。

【0107】

図１４に示すように、ユーザーが指先ＦＧを試料像表示部２に表示された試料像上の任意の位置に接触させる操作を行うことで、分析位置が指定される。これにより、指定された分析位置の近傍に分析開始アイコン８および分析キャンセルアイコン９が表示される。分析開始アイコン８および分析キャンセルアイコン９は、図１４に示すように、指定された分析位置の近傍に表示される。

【0108】

図１５に示すように、ユーザーが分析位置を指定した指先ＦＧとは別の指先ＦＧを、分析開始アイコン８に接触させる操作を行うことで、分光分析装置１０１では、指定された分析位置で分析が開始される。

【0109】

図１６に示すように、分析が開始されると同時に、記憶部４０に対して分光分析装置１０１から出力された分析データを記憶させる処理が開始され、ＥＤＳスペクトル（分析結果）が分析結果表示部３に表示される。ユーザーが指先ＦＧを分析開始アイコン８に接触される操作を行っている間は分析が継続して行われ、分析データが積算される。そして、分析結果表示部３には、積算されたＥＤＳスペクトルが表示される。

【0110】

図１７に示すように、ユーザーが指先ＦＧを分析開始アイコン８から離す操作（タッチアップ）分析が終了する。このとき、分析結果表示部３に表示されていたＥＤＳスペクトルは非表示となり、記憶部４０に記憶されている分析データは消去される。なお、ユーザーが指先ＦＧを分析位置から離す操作を行うことで、分析を終了させてもよい。

【0111】

なお、図１４に示すように、分析位置が指定されて分析開始アイコン８および分析キャンセルアイコン９が表示された後、図１８に示すように、ユーザーが指先ＦＧを分析キャンセルアイコン９に接触させる操作を行うことで、分析位置の指定が解除され、当該分析位置では分析が行われない。

【0112】

２．３． 制御装置の動作
次に、本実施形態に係る制御装置の動作について説明する。ここでは、第１モードにおける制御装置２００の動作について説明する。図１９は、制御装置２００の動作の一例を示すフローチャートである。なお、図１９に示すフローチャートにおいて、図６に示すフローチャートの処理と同様の処理については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。

【0113】

まず、試料像表示制御部１２は、分光分析装置１０１の電子顕微鏡１０２で取得された電子顕微鏡像（試料像）を表示部３０（試料像表示部２）に表示させる制御を行う（ステップＳ１０）。

【0114】

次に、判定部１３は、ユーザーによって表示部３０に表示された試料像上の分析位置が指定されたか否かを判断する（ステップＳ１２）。

【0115】

分析位置が指定されたと判断された場合（ステップＳ１２の「Ｙ」）、アイコン表示制御部１９は、分析開始アイコン８および分析キャンセルアイコン９を表示部３０に表示さ
せる制御を行う（ステップＳ１３０）。

【0116】

次に、判定部１３は、分析開始アイコン８および分析キャンセルアイコン９のどちらが操作されたかを判断する（ステップＳ１３２）。判定部１３は、タッチパネル２０によって分析開始アイコン８への接触が検出された場合に、分析開始アイコン８が操作されたと判断し、タッチパネル２０によって分析キャンセルアイコン９への接触が検出された場合に、分析キャンセルアイコン９が操作されたと判断する。

【0117】

分析キャンセルアイコン９が操作されたと判断された場合（ステップＳ１３２の「Ｃ」）、分析位置の指定が解除され、ステップＳ１２に戻る。

【0118】

分析開始アイコン８が操作されたと判断された場合（ステップＳ１３２の「Ｓ」）、すなわち、分析開始アイコン８の操作に基づいて、分析装置制御部１４は、分光分析装置１０１に対して分析を開始させる制御を行う（ステップＳ１４）。

【0119】

分析装置制御部１４は、例えば、分析開始アイコン８の操作がなされたと判断されると、分析を開始させるための制御信号を分光分析装置１０１に送る処理を行う。

【0120】

また、分析開始アイコン８が操作されたと判断された場合（ステップＳ１３２の「Ｓ」）、分析結果記憶制御部１６は、分光分析装置１０１から出力された分析データを記憶部４０に記憶させる処理を開始する（ステップＳ１６）。

【0121】

また、分析開始アイコン８が操作されたと判断された場合（ステップＳ１３２の「Ｓ」）、分析結果表示制御部１８は、ＥＤＳスペクトル（分析結果）を表示部３０に表示させる制御を開始する（ステップＳ１８）。

【0122】

次に、判定部１３は、ユーザーによって分析開始アイコン８の操作が解除されたか否かを判断する（ステップＳ１９０）。判定部１３は、タッチパネル２０によって分析開始アイコン８への接触が検出されなくなった場合（分析開始アイコン８に対するタッチアップ操作が検出された場合）に、分析開始アイコン８の操作が解除されたと判断する。

【0123】

分析開始アイコン８の操作が解除されたと判断された場合（ステップＳ１９０の「Ｙ」）、分析装置制御部１４は、分光分析装置１０１に対して分析を終了させる制御を行う（ステップＳ２２）。

【0124】

分析装置制御部１４は、例えば、分析開始アイコン８の操作が解除されたと判断された場合に、分析を終了させるための制御信号を分光分析装置１０１に送る処理を行う。これにより、分光分析装置１０１では、電子顕微鏡１０２による分析位置に対する電子線の照射が中止される。

【0125】

また、分析開始アイコン８の操作が解除されたと判断された場合（ステップＳ１９０の「Ｙ」）、分析結果記憶制御部１６は、記憶部４０に記憶されていた分析データを消去する処理を行う（ステップＳ２４）。これにより、記憶部４０に記憶されていた積算された分析データは消去される。

【0126】

また、分析開始アイコン８の操作が解除されたと判断された場合（ステップＳ２０の「Ｙ」）、分析結果表示制御部１８は、ＥＤＳスペクトル（分析結果）を表示部３０に表示させる制御を終了する（ステップＳ２６）。これにより、表示部３０（分析結果表示部３）には、ＥＤＳスペクトルは表示されない。そして、ステップＳ１２に戻り、ステップＳ１２〜ステップＳ２６の処理が繰り返される。

【0127】

一方、分析開始アイコン８の操作が解除されていないと判断された場合（ステップＳ１９０の「Ｎ」）、ステップＳ１６に戻って、ステップＳ１６、ステップＳ１８の処理が行われる。すなわち、記憶部４０には分析データが積算され、表示部３０には積算されたＥＤＳスペクトルが表示される。

【0128】

制御装置２００は、例えば、以下の特長を有する。

【0129】

制御装置２００では、アイコン表示制御部１９はタッチパネル２０による試料像上の分析位置の指定がなされた場合に、分析開始アイコン８を表示部３０に表示させる制御を行い、分析装置制御部１４は、タッチパネル２０による分析開始アイコン８に対する操作に基づき分光分析装置１０１に対して分析を開始させる制御を行い、分析開始アイコン８に対する操作の解除に基づき分光分析装置１０１に対して分析を終了させる制御を行う。したがって、分析を終了させるためのアイコンの操作を行わなくてもよいため、分光分析装置の操作性を向上させることができ、例えば分析の時間を短縮することができる。また、分析位置を指定するための操作が誤認識されるおそれを低減させることができる。例えば、試料の移動と分析位置の指定とが誤認識されるおそれを低減させることができる。

【0130】

３． 第３実施形態
次に、第３実施形態に係る制御装置を含む分析システムについて説明する。図２０は、第３実施形態に係る制御装置２００を含む分析システム１０００の機能ブロック図の一例を示す図である。以下、第２実施形態に係る制御装置を含む分析システムにおいて、第１及び第２実施形態に係る制御装置を含む分析システムの構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

【0131】

上述した制御装置１００では、図１に示すように、ポインティング手段は、タッチパネル２０であった。これに対して制御装置２００では、図２０に示すようにポインティング手段は、マウス２２である。

【0132】

例えば、図３に示す分析位置を指定するための操作をマウス２２で行う場合、ユーザーがマウス２２を用いてマウスカーソルを試料像表示部２の任意の領域に重ねてクリックする。これにより、分析位置が指定されて、分光分析装置１０１では当該分析位置で分析が開始される。

【0133】

そして、ユーザーがマウス２２をクリックしている間は分析が継続して行われ、分析データが積算され続ける。そして、分析結果表示部３には、積算されたＥＤＳスペクトルが表示される。

【0134】

図５に示す分析位置の指定を解除するための操作をマウス２２で行う場合、ユーザーがマウス２２のクリックを中止する操作を行う。これにより、分析位置の選択が解除され、分光分析装置１０１では分析が終了する。このとき、分析結果表示部３に表示されていたＥＤＳスペクトルは非表示となり、記憶部４０に記憶されている分析データは消去される。

【0135】

制御装置３００によれば、上述した制御装置１００と同様の作用効果を奏することができる。

【0136】

なお、制御装置３００では、制御装置１００のポインティング手段としてマウスを用いる例について説明したが、上述した制御装置１００の変形例や、制御装置２００においても、ポインティング手段としてマウスを用いてもよい。

【0137】

なお、上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。

【0138】

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

【符号の説明】

【0139】

１…設定画面、２…試料像表示部、３…分析結果表示部、４…操作部、５…インスタント分析アイコン、６…点分析アイコン、６ａ…分析開始アイコン、６ｂ…分析終了アイコン、８…分析開始アイコン、９…分析キャンセルアイコン、１０…処理部、１２…試料像表示制御部、１３…判定部、１４…分析装置制御部、１６…分析結果記憶制御部、１８…分析結果表示制御部、１９…アイコン表示制御部、２０…タッチパネル、２２…マウス、３０…表示部、４０…記憶部、５０…情報記憶媒体、１００…制御装置、１０１…分光分析装置、１０２…電子顕微鏡、２００…制御装置、３００…制御装置、１０００…分析システム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】