特許第6407273号(P6407273)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6407273圧電性AlN含有層の堆積方法、並びにAlN含有圧電体層
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  • 特許6407273-圧電性AlN含有層の堆積方法、並びにAlN含有圧電体層 図000002
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