【図1】照明結像光のビーム経路が子午断面に再現された照明光学ユニットと投影光学ユニットとを含む投影リソグラフィのための投影露光装置を非常に概略的に示す図である。

【図2】投影露光装置の照明光学ユニットの一部としての瞳ファセットミラーと照明ビーム経路に瞳ファセットミラーの上流に配置された偏向ファセットミラーとの図１の視線方向ＩＩから見た略平面図である。

【図3】投影露光装置のための照明光学ユニットの更に別の実施形態を示し、光源の下流に配置された中間フォーカスと照明光学ユニットの物体視野又は照明視野との間の照明ビーム光路を示す図１と類似の概略図である。

【図4】図３の視線方向ＩＶから見た瞳ファセットミラーと上流の偏向ファセットミラーとを図２と類似の図に示す平面図である。

【図5】図４に記載の偏向ファセットミラーの偏向ファセットの反射面の平面図である。

【図6】図４及び図５に記載の実施形態の瞳ファセットミラーの図３の視線方向ＶＩから見た斜視図である。

【図7】図３、図４、及び図６に記載の瞳ファセットミラーを示す図４に対して拡大した図である。

【図8】投影露光装置の照明光学ユニットの更に別の実施形態を示す図１及び図３と類似の図である。

【図9】投影露光装置の走査方向に対して所定可能な四重極の向きを有する四重極照明をもたらすように具現化された瞳ファセットミラー及び偏向ファセットミラーのピボット可能な実施形態を図４と類似の図に示す平面図である。