特許 6414525 保管設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6414525

(24)【登録日】2018年10月12日

(45)【発行日】2018年10月31日

(54)【発明の名称】保管設備

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20181022BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20181022BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65G1/00 521D

【請求項の数】9

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2015-173251(P2015-173251)

(22)【出願日】2015年9月2日

(65)【公開番号】特開2017-50425(P2017-50425A)

(43)【公開日】2017年3月9日

【審査請求日】2017年11月27日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】特許業務法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】大森 和哉

(72)【発明者】

【氏名】河村 真輔

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１４／０３０４２１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１５−０１２０３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３４０６４１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｇ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上下方向に複数段かつ左右方向に複数列を有するように整列配置された複数の収納部を有する保管棚と、
前記収納部に収納されている容器のそれぞれに不活性ガスを供給するガス供給部と、を備え、
前記保管棚は、上下方向に沿って立設された複数の支柱と、前記支柱によって支持されて前記容器を載置する載置部と、を含み、
前記ガス供給部は、上下方向に延びる複数の縦配管と、それぞれの前記縦配管から分岐して前記載置部に個別に設けられた給気部に接続される複数の分岐配管と、を含み、
前記支柱が前記保管棚の左右両端部及び互いに隣り合う前記収納部どうしの間のそれぞれの位置に設置され、
前記載置部が互いに隣り合う前記支柱に固定され、
複数の前記縦配管のそれぞれが、当該縦配管による前記不活性ガスの供給先の前記載置部が固定されているいずれか一方の前記支柱に固定されている保管設備。

【請求項2】

複数の前記縦配管のそれぞれが、前記支柱よりも正面側において、対応する前記支柱と正面視で重なる状態に配置されている請求項１に記載の保管設備。

【請求項3】

複数の前記縦配管のそれぞれが、複数の前記支柱のいずれか１つと一対一に対応する状態で配置され、
それぞれの前記縦配管に対して、前記収納部の段数に応じた本数の前記分岐配管が接続されている請求項１又は２に記載の保管設備。

【請求項4】

前記ガス供給部は、前記分岐配管に介在されて前記不活性ガスの流量を調節する流量調節部をさらに含み、
前記流量調節部が、対応する前記載置部の載置本体部の左右方向の配置領域において、当該載置本体部よりも背面側に配置されている請求項１から３のいずれか一項に記載の保管設備。

【請求項5】

前記流量調節部として、無通電状態におけるガス漏れ量が０．０１％未満のものを、ノーマルクローズ型の予備開閉弁と併設することなく用いている請求項４に記載の保管設備。

【請求項6】

前記容器は、背板部と一対の側板部との間の領域に平面状又は曲面状の斜行板部を有する面取り直方体状に形成されており、
前記載置部に前記容器が載置された状態で互いに隣り合う前記容器の対向する前記斜行板部と、それら互いに隣り合う前記容器をそれぞれ載置する前記載置部が共通に固定された前記支柱との間に区画形成される柱状空間に、前記縦配管が配置されている請求項１から５のいずれか一項に記載の保管設備。

【請求項7】

前記載置部が背面側で前記支柱に対して片持ち状に固定されているとともに、
前記支柱が、前後方向に分割形成された一対の分割支柱体を有する請求項１から６のいずれか一項に記載の保管設備。

【請求項8】

前記保管棚は、一対の前記分割支柱体のうち背面側に位置する第一分割支柱体の前面又は正面側に位置する第二分割支柱体の背面に固定された、左右方向に延びる横架部材をさらに含み、
前記載置部が、当該載置部の少なくとも一部が前記横架部材の上端部に当接する状態で前記支柱に固定されている請求項７に記載の保管設備。

【請求項9】

前記載置部が、平面視でＵ字状の載置本体部を有するとともに、前記支柱と前記載置本体部の荷受点となるＵ字先端部とを結ぶように直線的に延びるリブ部を前記載置本体部と一体的に有する請求項１から８のいずれか一項に記載の保管設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、各種の物品を保管する保管設備に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば工業製品の製造プロセスにおいて、工程待ち等の間に原料や中間製品等を一時的に保管するために保管設備が用いられる。この場合において、例えば工業製品が半導体製品であり、被保管物が半導体基板を収容する容器である場合には、保管中における半導体基板の表面汚染を回避するべく、保管中の容器内を不活性ガスでパージ可能に構成された保管設備が利用される。一例として、特開２０１５−９９１２号公報（特許文献１）に開示された保管設備は、複数の収納部〔収納部１１〕を有する保管棚〔保管装置１０〕と、収納されている容器〔容器４〕のそれぞれに不活性ガスを供給するガス供給部〔不活性気体供給部５０〕とを備えている。

【0003】

特許文献１の保管設備では、上下左右に整列配置された複数の収納部がユニット化され、不活性ガスが複数のユニット毎に供給される（特許文献１の図５を参照）。そして、上下方向に延びる縦配管〔第一配管５１ａ〕から、各段において複数列の収納部のそれぞれに延びる分岐配管〔第二配管５１ｂ〕が分岐して、当該ユニットに含まれる全ての収納部に不活性ガスが供給されるように構成されている。

【0004】

このような構成では、複数段複数列に亘る多数の収納部に供給される不活性ガスの全量を流通させる縦配管が必要となるので、縦配管の管径が大きくなる。このため、特許文献１の保管設備では、大径の縦配管を配設するスペースを確保するために一部の列には載置部〔載置支持部１５〕を設置せず、当該列を収納部としては利用していなかった（特許文献１の段落００５３及び図２，図５を参照）。その結果、収納部としては不使用とされる列が存在する分、保管棚の収納効率が低下していた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１５−９９１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

収納容器のそれぞれを不活性ガスでパージ可能に構成された保管設備において、収納効率を向上させることが求められている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係る保管設備は、
上下方向に複数段かつ左右方向に複数列を有するように整列配置された複数の収納部を有する保管棚と、
前記収納部に収納されている容器のそれぞれに不活性ガスを供給するガス供給部と、を備え、
前記保管棚は、上下方向に沿って立設された複数の支柱と、前記支柱によって支持されて前記容器を載置する載置部と、を含み、
前記ガス供給部は、上下方向に延びる複数の縦配管と、それぞれの前記縦配管から分岐して前記載置部に個別に設けられた給気部に接続される複数の分岐配管と、を含み、
前記支柱が前記保管棚の左右両端部及び互いに隣り合う前記収納部どうしの間のそれぞれの位置に設置され、
前記載置部が互いに隣り合う前記支柱に固定され、
複数の前記縦配管のそれぞれが、当該縦配管による前記不活性ガスの供給先の前記載置部が固定されているいずれか一方の前記支柱に固定されている。

【0008】

この構成によれば、保管棚の左右両端部及び互いに隣り合う収納部どうしの間のそれぞれの位置に支柱が分散して設置されるので、個々の載置部を、互いに隣り合う支柱にそれぞれ固定することができる。これにより、複数の収納部を、複数列に亘ってユニット化することなく列毎に独立して扱うことができる。そして、ガス供給部を構成する複数の縦配管を複数の支柱の配置に応じて分散して配置することで、個々の縦配管を小径化することができる。これにより、載置部に個別に設けられた給気部に不活性ガスを供給するための複数の縦配管を、他物との干渉を回避しつつ、分散配置された複数の支柱のそれぞれの周辺領域に配設することが可能となる。よって、載置部の設置スペースを犠牲にしてまで縦配管の配設スペースを確保する必要がなく、全ての列を収納部として利用することができる。従って、収納容器のそれぞれを不活性ガスでパージ可能に構成された保管設備において、収納効率を向上させることができる。

【0009】

以下、本発明の好適な態様について説明する。但し、以下に記載する好適な態様例によって、本発明の範囲が限定される訳ではない。

【0010】

１つの態様として、複数の前記縦配管のそれぞれが、前記支柱よりも正面側において、対応する前記支柱と正面視で重なる状態に配置されていると好適である。

【0011】

この構成によれば、縦配管と保管設備に具備される載置部等の他の要素との干渉をほぼ確実に回避することができる。また、現場にてガス供給部の設置作業を行う場合に、保管棚に対面した状態で、支柱の前面に対して縦配管を容易に配設して固定することができる。よって、容易かつ適切に縦配管を配設することができる。

【0012】

１つの態様として、複数の前記縦配管のそれぞれが、複数の前記支柱のいずれか１つと一対一に対応する状態で配置され、それぞれの前記縦配管に対して、前記収納部の段数に応じた本数の前記分岐配管が接続されていると好適である。

【0013】

この構成によれば、それぞれの支柱（左右両端の２本のうちのいずれか１本を除く）に対して個別に縦配管が固定されるので、個々の縦配管をより一層小径化することができ、支柱の周辺領域における縦配管の配置自由度を高めることができる。或いは、縦配管の管径を他物との干渉を回避可能な範囲内である程度大きく維持して流通可能な不活性ガス量を相対的に多く確保することができ、収納部の段数を多くする（収納能力を向上させる）ことができる。

【0014】

１つの態様として、前記ガス供給部は、前記分岐配管に介在されて前記不活性ガスの流量を調節する流量調節部をさらに含み、前記流量調節部が、対応する前記載置部の載置本体部の左右方向の配置領域において、当該載置本体部よりも背面側に配置されていると好適である。

【0015】

この構成によれば、複数の収納部に対して流量調節部が個別に設けられるので、個々の収納容器に対して所望の供給パターンで不活性ガスを供給することができる。よって、保管棚に対する各容器の入庫時期にバラツキがある場合でも、各容器の内容物の状態をそれぞれ適正に維持させることが容易である。また、本発明では、載置部が互いに隣り合う支柱に固定されるので、当該載置部の載置本体部の左右両側に比べて、載置本体部よりも背面側に、他物を配置するためのスペースを確保しやすい。そこで、上記のように載置本体部の左右方向の配置領域において当該載置本体部よりも背面側に流量調節部を配置することで、個々の収納部において載置部と流量調節部とをコンパクトに配置することができる。

【0016】

１つの態様として、前記流量調節部として、無通電状態におけるガス漏れ量が０．０１％未満のものを、ノーマルクローズ型の予備開閉弁と併設することなく用いていると好適である。

【0017】

この構成によれば、高密閉度の流量調節部を用いることで、保管設備を含むシステムが仮に不測のエラー等によって緊急停止する場合であっても、流量調節部からの不活性ガスのガス漏れが実質的に生じない。このため、そのような不測の事態に備えてノーマルクローズ型の予備開閉弁を流量調節部に併設する必要がない。よって、流量調節部の近傍のレイアウトを簡素化することができ、載置部と流量調節部とをより一層コンパクトに配置することができる。

【0018】

１つの態様として、前記容器は、背板部と一対の側板部との間の領域に平面状又は曲面状の斜行板部を有する面取り直方体状に形成されており、前記載置部に前記容器が載置された状態で互いに隣り合う前記容器の対向する前記斜行板部と、それら互いに隣り合う前記容器をそれぞれ載置する前記載置部が共通に固定された前記支柱との間に区画形成される柱状空間に、前記縦配管が配置されていると好適である。

【0019】

この構成によれば、互いに隣り合う一対の面取り直方体状の容器の対向する斜行板部どうしの間に区画される空間を利用して、複数の支柱を収納容器との干渉を回避しながら左右方向に適切に分散設置することができる。また、互いに隣り合う一対の容器の対向する斜行板部とそれらの間に配置された支柱との間に区画形成される柱状空間を利用して、それぞれの縦配管を、収納容器との干渉を回避しながら、対応する支柱に対して適切に固定することができる。

【0020】

１つの態様として、前記載置部が背面側で前記支柱に対して片持ち状に固定されているとともに、前記支柱が、前後方向に分割形成された一対の分割支柱体を有すると好適である。

【0021】

この構成によれば、載置部が背面側で片持ち状に固定されて正面側が開放されているので、収納部に対する正面側からの容器の移載を容易に行うことができる。また、支柱が、前後方向に分割形成された一対の分割支柱体を有するので、単一構造物として構成される場合と同程度の強度を確保しながらも、材料費の低減を図ることができる。

【0022】

１つの態様として、前記保管棚は、一対の前記分割支柱体のうち背面側に位置する第一分割支柱体の前面又は正面側に位置する第二分割支柱体の背面に固定された、左右方向に延びる横架部材をさらに含み、前記載置部が、当該載置部の少なくとも一部が前記横架部材の上端部に当接する状態で前記支柱に固定されていると好適である。

【0023】

この構成によれば、載置部の一部を横架部材の上端部に当接させることで、上下方向における載置部の位置決めを高精度に行うことができる。しかも、そのような位置決めのための横架部材を一対の分割支柱体どうしの前後方向の間に設けているので、支柱の正面側に縦配管を配置する場合にも、横架部材や当該横架部材を支柱に固定するための固定部材が縦配管と干渉することがない。また、横架部材を例えば第二分割支柱体の前面に固定する場合に比べて、横架部材のサイズによらずに、容器を収納部のより奥深くまで挿入することが可能であり、前後方向の収納効率を向上させることができる。さらに、載置部が少なくとも第一分割支柱体に固定されている場合には、載置部に容器が載置された状態で、載置部に作用する荷重の一部を横架部材によっても受けることができる。よって、載置部による容器の支持強度を高めることができる。

【0024】

１つの態様として、前記載置部が、平面視でＵ字状の載置本体部を有するとともに、前記載置本体部の荷受点となるＵ字先端部と前記支柱とを結ぶように直線的に延びるリブ部を前記載置本体部と一体的に有すると好適である。

【0025】

この構成によれば、平面視でＵ字状の載置本体部の切欠部を利用して、容器の移載を容易に行うことができる。また、載置部に載置本体部と一体のリブ部が設けられているので、当該載置部自体の強度を高めることができる。この場合において、リブ部が、載置本体部の荷受点となるＵ字先端部と支柱とを結ぶように直線的に延びているので、支柱と載置部との連結部位に補強用の部材を別途設けずとも、載置部による容器の支持強度を十分に確保することができる。

【0026】

本発明のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】実施形態に係る保管設備の側面図

【図2】保管棚の正面図

【図3】収納部の斜視図

【図4】収納部の正面図

【図5】収納部の平面図

【図6】収納部の側面図

【図7】別態様の収納部の要部側面図

【図8】別態様の保管棚の正面図

【発明を実施するための形態】

【0028】

保管設備の実施形態について説明する。本実施形態では、一例として、例えば半導体ウェハー等からなる半導体基板を収容する容器７を被保管物として保管する保管設備１について説明する。本実施形態の保管設備１は、例えばクリーンルーム内に設置されて、例えば半導体製品の製造プロセスにおいて工程待ち等の間に原料や中間製品等を一時的に保管するために用いられる。保管設備１による保管機能は、複数の収納部Ｓを有する保管棚２を中核として実現されている。以下、本実施形態の保管設備１及び保管棚２について、詳細に説明する。

【0029】

なお、以下の説明において、上下方向Ｖ、左右方向Ｈ、及び前後方向Ｄの各方向は、保管設備１に定置される保管棚２に対して正対した状態での方向を基準として定義する。すなわち、上下方向Ｖは保管棚２の高さ方向に一致し、左右方向Ｈは保管棚２の幅方向に一致し、前後方向Ｄは保管棚２の奥行方向に一致する。また、以下の説明において「ある方向に沿う」とは、当該方向に平行な状態に限らず、当該方向に対して僅かに（例えば１０°未満の角度で）傾斜した状態をも含む概念である。また、以下の説明で用いる方向や寸法等に関する用語（「平行」や「等間隔」等）は、誤差（製造上又は据付上許容され得る程度の誤差）による差異を有する状態をも含む概念である。

【0030】

図１に示すように、保管設備１は、複数の収納部Ｓを有する保管棚２を備えている。また、保管設備１は、収納部Ｓに収納されている容器７のそれぞれに不活性ガスを供給するガス供給部５をさらに備えている。保管棚２及びガス供給部５は、床部９１と周壁部９２と天井部９３とで外周が覆われた保管室９０内に配設されている。また、保管設備１は、収納部Ｓとの間で容器７を搬送する搬送部６をさらに備えている。搬送部６は、第一搬送装置６１と移動装置６２と第二搬送装置６３と移載装置６７とを主要構成として含む。第一搬送装置６１は保管室９０の外に配設され、移動装置６２は周壁部９２を貫通する状態に配設され、第二搬送装置６３及び移載装置６７は保管室９０内に配設されている。ガス供給部５及び搬送部６は、保管設備１に備えられた制御装置（図示せず）からの指令に基づいて、それぞれの動作が制御される。

【0031】

本実施形態では、保管設備１は、対をなす２つの保管棚２を備えている。これら２つの保管棚２は、搬送部６を構成する第二搬送装置６３を挟んで対向するように設置されている。なお、本実施形態では、２つの保管棚２のうちの一方が、ガス供給部５が併設された“パージ棚（本発明の対象となる対象保管棚）”であり、他方が、ガス供給部５が非設置の“非パージ棚”である。これらは、ガス供給部５の設置の有無、及び、搬送部６を構成する移動装置６２の設置スペースの有無の点を除き、基本的に同一の構造を有している。

【0032】

図２に示すように、保管棚２は、上下左右に整列配置された複数の収納部Ｓを有する。保管棚２は、上下方向Ｖにｍ段（ｍは２以上の任意の整数であり、本例ではｍ＝１２）かつ左右方向Ｈにｎ列（ｎは２以上の任意の整数であり、本例ではｎ＝１３）を有するように整列配置された複数（本例では１５６個）の収納部Ｓを有する。本実施形態では、各段に属する全ての収納部Ｓが同じ上下方向Ｖの位置に配置され、かつ、各列に属する全ての収納部Ｓが同じ左右方向Ｈの位置に配置されて、複数の収納部Ｓが全体として直交格子状に整列配置されている。

【0033】

保管棚２は、上下方向Ｖに沿って立設された複数の支柱２０と、支柱２０によって支持されて容器７を載置する載置部３０とを含む。本実施形態では、保管棚２は、収納部Ｓの列数よりも１本だけ多い（ｎ＋１）本の支柱２０を含んでいる。これら（ｎ＋１）本の支柱２０は、左右方向Ｈに等間隔で一列に並ぶように設置されている。そして、載置部３０が、互いに隣り合う支柱２０に固定されている。本実施形態では、収納部Ｓの列数に等しいｎ箇所において、それぞれ収納部Ｓの段数に等しいｍ個の載置部３０が、互いに隣り合う支柱２０に固定されている。それぞれの載置部３０の上側空間であって、１段上の載置部３０よりも下側に区画される空間として、収納部Ｓが形成されている。こうして、本実施形態では、（ｎ＋１）本の支柱２０を構成する１本ずつが、保管棚２の左右方向Ｈの両端部及び互いに左右方向Ｈに隣り合う収納部Ｓどうしの間のそれぞれの位置に設置されている。

【0034】

なお、容器７としては、例えばＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称される正面開口式の箱型容器を用いることができる。このような容器７は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠した合成樹脂製の気密容器とすることができる。図５及び図６に示すように、容器７は、開口部を有するケーシング７１と、このケーシング７１に対して開口部を覆うように着脱自在な蓋体（図示せず）とを備えている。容器７は、蓋体がケーシング７１に装着された状態で、内部空間が気密状態に密閉されるように構成されている。また、容器７は、その上面に、第一搬送装置６１によって把持されるフランジ７６をさらに備えている。

【0035】

容器７を構成するケーシング７１は、全体として直方体状に形成されている。「直方体状」とは、多少の異形部分を有していたとしてもその全体としての概略形状が直方体であることを意味する（以下、形状等に関して「状」を付して用いる他の表現に関しても同趣旨である）。容器７は、背板部７２と一対の側板部７３のそれぞれとの間の領域に平面状又は曲面状の斜行板部７４を有する。このように、本実施形態の容器７は、背面側における左右両側に斜行板部７４を有する面取り直方体状に形成されている。このような容器７の立体形状も考慮に入れて、隣り合う収納部Ｓどうしの間に設置される支柱２０は、載置部３０に載置された状態で互いに左右方向Ｈに隣り合う２つの容器７の対向する斜行板部７４どうしの間に区画される空間に配置されている（図５を参照）。これにより、保管棚２を構成する複数の支柱２０を、被保管物としての容器７との干渉を回避しながら左右方向Ｈに適切に分散設置することが可能となっている。

【0036】

図３〜図６に示すように、載置部３０は、前後方向Ｄにおける背面側（奥側）で、支柱２０に対して片持ち状に固定されている。載置部３０は、前後方向Ｄにおける正面側（手前側）が開放されており、いかなる部材によっても支持されていない。このような片持ち構造は、収納部Ｓに対して正面側からの容器７の移載を容易に行うことができる点で有利である。

【0037】

載置部３０は、載置される容器７を下方から受け止め支持する載置本体部３１と、支柱２０にそれぞれ固定される一対の取付板部３７とを有する。載置本体部３１は、左右方向Ｈ及び前後方向Ｄに沿って延びる平板状に形成されている。載置本体部３１は、平面視で五角形状の切欠部３１ａを正面側に有しており、平面視でＵ字状を呈するように形成されている。載置本体部３１の切欠部３１ａは、移載装置６７に備えられる支持体６８が上下に通過する空間となる。

【0038】

載置本体部３１の上面には、複数（本例では３つ）の突出ピン３２が、上方に向かって突出するように設けられている。複数の突出ピン３２は、切欠部３１ａに沿って設けられている。容器７の底面には溝部や孔部等からなる係合凹部（図示せず）が形成されており、突出ピン３２と容器７の係合凹部とが係合する状態で、容器７が載置本体部３１に位置決めされる。なお、本実施形態では、１つの突出ピン３２が、五角形状の切欠部３１ａの頂点付近に設けられ、２つの突出ピン３２が、Ｕ字状の載置本体部３１の突出側の先端部（Ｕ字先端部）付近に設けられている。Ｕ字先端部に設けられた２つの突出ピン３２どうしの間の左右方向Ｈの間隔は、左右方向Ｈに隣り合う一対の支柱２０どうしの間隔よりも狭い。

【0039】

また、載置本体部３１の上面には、ガス供給部５から供給される不活性ガスを容器７の内部に供給するための給気部３３と、容器７の内部から排出される気体を通流させる排気部３４とが設けられている。給気部３３には、ガス供給部５を構成する後述する分岐配管５３が接続されている。排気部３４には、反対側の端部が開放された排気管（図示せず）が接続されている。容器７の底面には、ガス供給部５から供給される不活性ガスを注入するための給気口７８（図６を参照）と、内部空間に存在する気体を排出するための排気口（図示せず）とが形成されている。容器７が載置本体部３１に位置決めされた状態で、給気部３３と給気口７８とが連通し、排気部３４と排気口とが連通する。ガス供給部５から所定圧の不活性ガスが供給された際には、容器７の内部の気体を排気口から外部に排出させながら、給気口７８から容器７の内部に不活性ガスが注入される。

【0040】

また、載置本体部３１の上面には、複数（本例では２つ）の在荷センサ３５も設けられている。在荷センサ３５は、例えば感圧センサ等により構成することができる。在荷センサ３５は、容器７が載置部３０に載置されているか否か（言い換えれば、容器７が収納部Ｓに収納されているか否か）を検出する。

【0041】

一対の取付板部３７は、上下方向Ｖ及び前後方向Ｄに沿って延びる平板状に形成されている。これらは、載置部３０の左右方向Ｈの両端部において、左右方向Ｈに互いに対向して配置されているとともに、それぞれ対応する支柱２０の側面に対面する状態に配置されている。取付板部３７は、載置本体部３１に対して交差（本例では直交）する状態に配置されている。取付板部３７は、側面視でＬ字状を呈するように形成されている。取付板部３７は、載置本体部３１の背面側において、一部が載置本体部３１よりもさらに背面側に位置する状態に配置されている。それぞれの取付板部３７には、その厚み方向（本例では左右方向Ｈ）に貫通する複数（本例では３つ）の挿通孔３７ａが形成されている（図６を参照）。この挿通孔３７ａは、載置部３０を支柱２０に固定するための締結部材８１を構成するボルトの軸部を挿通するための孔部である。

【0042】

載置部３０は、載置本体部３１に対して交差（本例では直交）するように設けられた一対のリブ部３９をさらに有する。一対のリブ部３９は、概ね、上下方向Ｖ及び前後方向Ｄに沿って延びる細長い平板状に形成されている。リブ部３９は、平面視で、載置本体部３１の荷受点となるＵ字先端部に設けられた突出ピン３２と、支柱２０とを結ぶように、直線的に延びている。リブ部３９は、支柱２０が設置された背面側からＵ字先端部が位置する正面側に向かうに従って、左右方向Ｈの内側（収納部Ｓにおける左右中央側）に向かうように、前後方向Ｄに対して僅かに（本例では、およそ１５°程度）傾斜する状態に配置されている。

【0043】

本実施形態では、載置部３０を構成する載置本体部３１とリブ部３９とが、一体的に形成されている。また、取付板部３７も含めて、載置部３０を構成する載置本体部３１とリブ部３９と取付板部３７とが、一体的に形成されている。本実施形態では、載置本体部３１とリブ部３９と取付板部３７とは、金属製の平板部材を曲げ加工することによって一体的に形成されている。図示の例では、金属製の平板部材として無孔板を用いる場合の例を示しているが、そのような構成に限定されることなく、例えばメッシュ板やパンチング板等の多孔板を用いても良い。

【0044】

本実施形態では、載置部３０に載置本体部３１と一体のリブ部３９が設けられているので、当該載置部３０自体の強度を高めることができる。リブ部３９は、支柱２０と載置本体部３１の荷受点となるＵ字先端部とを結ぶように直線的に延びているので、載置部３０による容器７の支持強度を十分に確保することができる。特に、支柱２０と載置部３０との連結部位に補強用の部材を別途設けずとも、載置部３０による容器７の支持強度を十分に確保することができる。また、金属製の平板部材の曲げ加工によって、軽量でありながらも十分な支持強度を備えた載置部３０を、容易に形成することができる。

【0045】

ここで、本実施形態では、上下方向Ｖに沿って立設された複数の支柱２０は、前後方向Ｄに分割形成された一対の分割支柱体２１，２２をそれぞれ含む（図５を参照）。このような分割構造の支柱２０（分割支柱体２１，２２）は、少なくとも、単一構造物として構成される場合と同程度の強度を確保しながらも、材料費の低減を図ることができる点で有利である。複数の支柱２０は、第一分割支柱体２１と、この第一分割支柱体２１に対して平行にかつ前後方向Ｄに隙間を隔てて配置された第二分割支柱体２２とをそれぞれ含む。第一分割支柱体２１と第二分割支柱体２２とは、上下方向Ｖの複数箇所において、前後方向Ｄの間にスペーサを介して連結固定されている。なお、第一分割支柱体２１と第二分割支柱体２２との間の前後方向Ｄの隙間は、載置部３０の前後方向Ｄの長さに比べれば十分に小さい（例えば１／１５未満である）。一対の分割支柱体２１，２２は、いずれも、載置部３０の背面側の端部に配置されている。第二分割支柱体２２は、第一分割支柱体２１よりも正面側に配置されている。第二分割支柱体２２は、側面視で、載置部３０に載置された状態の容器７の背面側の端部と重なって配置されている（図６を参照）。一方、第一分割支柱体２１は、載置部３０に載置された状態の容器７とは重なることなく、当該容器７よりも背面側に配置される。

【0046】

保管棚２は、左右方向Ｈに延びる横架部材４０をさらに含む。横架部材４０は、左右方向Ｈに隣り合う支柱２０に亘って架け渡されている。本実施形態では、横架部材４０は、支柱２０を分割構造としたこととの関係で、一対の分割支柱体２１，２２どうしの前後方向Ｄの間に設けられている。言い換えれば、横架部材４０は、第一分割支柱体２１と第二分割支柱体２２との間の前後方向Ｄの隙間を利用して配置されている。より具体的には、本実施形態では、横架部材４０は、一対の分割支柱体２１，２２のうち背面側に位置し、かつ、載置部３０に載置された状態の容器７よりも背面側に位置する第一分割支柱体２１の、前面２１ａに固定されている。このような固定位置であれば、横架部材４０を追加的に設ける場合であっても、そのサイズ（特に上下方向Ｖのサイズ）によらずに、載置状態における容器７との干渉が生じない。また、横架部材４０を第一分割支柱体２１に締結固定するための締結部材８２のボルト頭部を、一対の分割支柱体２１，２２どうしの間の前後方向Ｄの隙間に収めることができる。こうして、保管棚２の前後方向Ｄの収納効率を低下させることなく、横架部材４０を設けることができている。

【0047】

本実施形態では、横架部材４０は、左右方向Ｈに互いに隣り合う３本以上の第一分割支柱体２１に亘って固定されている。横架部材４０は、左右方向Ｈに互いに隣り合う数本の第一分割支柱体２１に亘って固定されていることが好ましい。例えば、保管棚２の左右方向Ｈの長さの約半分の長さを有する横架部材４０を用いて、左右方向Ｈに互いに隣り合う半数（本例では７本）の第一分割支柱体２１に亘って横架部材４０を固定することができる。このように、複数列の収納部Ｓに亘って共通の横架部材４０が架け渡されるので、横架部材４０の設置作業を容易に行うことができる。また、横架部材４０を、水平に設置することも容易である。

【0048】

このような横架部材４０をも利用して、支柱２０を構成する一対の分割支柱体２１，２２に、載置部３０が片持ち状に固定されている。載置部３０は、当該載置部３０の少なくとも一部が横架部材４０の上端部４０ｕに当接する状態で、一対の分割支柱体２１，２２に固定されている。横架部材４０は、その上端部４０ｕが載置部３０に当接することで、少なくとも、載置部３０の設置位置及び設置姿勢を定める位置決め部材として機能する。よって、個々の載置部３０を互いに隣り合う支柱２０にそれぞれ固定する場合であっても、上下方向Ｖにおける載置部３０の位置決めを高精度に行うことができる。その結果、個々の載置部３０をそれぞれ水平（正面視で水平）に据え付けることができるとともに、各段における載置部３０の高さを揃えることができる。また、そのような載置部３０の高精度な位置決めを、横架部材４０の上端部４０ｕに当接するように載置部３０を相対移動させて支柱２０に固定するだけで行えるので、据付作業も非常に容易である。

【0049】

さらに本実施形態では、載置部３０は、一対の取付板部３７と横架部材４０とが交差し、且つ、取付板部３７のそれぞれの下端部３７ｄが横架部材４０の上端部４０ｕに当接する状態で、一対の分割支柱体２１，２２に固定されている（図６を参照）。このような構成では、横架部材４０の上端部４０ｕに対して、一対の取付板部３７の下端部３７ｄを交差状態で安定的に当接させることができるので、上下方向Ｖにおける載置部３０の位置決めをより一層容易かつ高精度に行うことができる。載置部３０は、取付板部３７と一対の分割支柱体２１，２２の各側面２１ｃ，２２ｃとが面接触する状態で（図５を参照）、取付板部３７の挿通孔３７ａに挿通された締結部材８１によって一対の分割支柱体２１，２２に固定されている。本例では、載置部３０は、第二分割支柱体２２に対して上下２箇所で固定されているとともに、第二分割支柱体２２に対する上側の固定位置と同じ上下方向Ｖの位置となる１箇所で、第一分割支柱体２１に対して固定されている。締結部材８１は、例えば互いに螺合されるボルトとナットとを含む。

【0050】

取付板部３７と各側面２１ｃ，２２ｃとが面接触する状態で、ボルトとナットとを含む締結部材８１を用いて載置部３０を支柱２０に固定する場合には、その締結時に、載置部３０が締結部材８１に連れ回りそうになる場合がある。この場合であっても、それに伴う載置部３０の回動を、横架部材４０の上端部４０ｕと取付板部３７の下端部３７ｄとの当接によって規制することができる。横架部材４０は、その上端部４０ｕが載置部３０（取付板部３７の下端部３７ｄ）に当接することで、締結部材８１による締付固定時における回動規制部材としても機能する。これにより、個々の載置部３０を、それぞれ水平（側面視でも水平）に据え付けることができる。

【0051】

本実施形態では、載置部３０は、第一分割支柱体２１と第二分割支柱体２２とに亘って、言い換えれば横架部材４０を挟んで前後方向Ｄの両側で、一対の分割支柱体２１，２２に固定されている。このような構成では、載置部３０に容器７が載置された状態で、載置部３０に作用する第一分割支柱体２１側の固定位置を支点とする下向きの荷重の一部が、横架部材４０によっても下方から支持される。横架部材４０は、その上端部４０ｕが載置部３０（取付板部３７の下端部３７ｄ）に当接することで、容器７の保管時における支持補助部材としても機能する。よって、上述したリブ部３９を載置部３０に設けることとの相乗効果により、載置部３０による容器７の支持強度をより一層高めることができる。

【0052】

ガス供給部５は、一対の保管棚２のうち、パージ棚だけに設置されている。ガス供給部５は、保管棚２（ここではパージ棚）の収納部Ｓに収納されている容器７のそれぞれに不活性ガスを供給する。不活性ガスは、容器７に収容される物品（本例では半導体基板）に対する反応性が低い（問題となる化学反応を実質的に生じさせない）気体である。不活性ガスとしては、例えば窒素ガスや、アルゴンガス及びクリプトンガス等の希ガス等が例示される。

【0053】

図２に示すように、ガス供給部５は、ガスボンベ等の不活性ガス供給源（図示せず）に接続された基幹配管５１と、この基幹配管５１から分岐する複数の縦配管５２と、それぞれの縦配管５２から分岐する複数の分岐配管５３とを含む。不活性ガスは、不活性ガス供給源→基幹配管５１→縦配管５２→分岐配管５３の順に流通して、各収納部Ｓの容器７に供給される。基幹配管５１は、例えば最下段の収納部Ｓよりも下方において、左右方向Ｈに沿って配設されている。基幹配管５１は、全ての収納部Ｓに容器７が収納された状態で、各容器７に所定圧の不活性ガスを供給することが可能な管径を有するように形成されている。基幹配管５１の上流側部位には、作業者の人為操作によって開閉自在な手動開閉弁と、制御装置からの指令に基づいて開閉自在な自動制御弁とが介在されている（いずれも図示せず）。

【0054】

複数の縦配管５２のそれぞれは、上下方向Ｖに沿って配設されている。複数の縦配管５２のそれぞれは、基幹配管５１から上方に向かって延びるように配設されている。複数の縦配管５２のそれぞれは、保管棚２の上下方向Ｖの全域に亘って延びるように配設されている。本実施形態では、収納部Ｓの列数に等しいｎ本の縦配管５２が、左右方向Ｈに等間隔で一列に並ぶように設置されている。ここで、上述したように、保管棚２を構成する（ｎ＋１）本の支柱２０も、左右方向Ｈに等間隔で一列に並ぶように設置されている。本実施形態では、縦配管５２の左右方向Ｈの配設ピッチが、支柱２０の左右方向Ｈの配設ピッチと等しくなるように設定されている。

【0055】

さらに、複数の縦配管５２のそれぞれは、当該縦配管５２による不活性ガスの供給先の載置部３０が固定されている支柱２０に固定されているとともに、複数の支柱２０のいずれか１つと一対一に対応する状態で配置されている。言い換えれば、それぞれの支柱２０（左右両端の２本のうちのいずれか１本を除く）に対して、個別に縦配管５２が配置されている。さらに別の言い方をすれば、収納部Ｓの各列に対して、縦配管５２が１本ずつ配置されている。複数の縦配管５２のそれぞれは、対応する支柱２０に対して個別に固定されている。図３〜図６に示すように、縦配管５２は、第一ブラケット８４に保持された状態で、ボルトとナットとを含む締結部材８５を用いて、対応する支柱２０に固定されている。本実施形態では、縦配管５２は、支柱２０を構成する一対の分割支柱体２１，２２のうち、正面側に位置する第二分割支柱体２２の前面２２ａに、第一ブラケット８４を介して固定されている。

【0056】

こうして、複数の縦配管５２のそれぞれは、支柱２０（第二分割支柱体２２）よりも正面側において、対応する支柱２０（第二分割支柱体２２）と正面視で重なる状態に配置されている（図４を参照）。このような構成では、ガス供給部５が未設置の状態の保管棚２に対して新たにガス供給部５の設置作業を行う場合に、作業者が保管棚２に対面した状態で、第二分割支柱体２２の前面２２ａに対して縦配管５２を容易に配設して固定することができる。第二分割支柱体２２の前面２２ａには、保管棚２を構成する他の要素が存在しないので、この点からも、縦配管５２の設置作業を容易に行うことができる。

【0057】

また、縦配管５２は、載置部３０に容器７が載置された状態で互いに隣り合う容器７の対向する斜行板部７４と、それら互いに隣り合う容器７をそれぞれ載置する載置部３０が共通に固定された支柱２０との間に区画形成される柱状空間Ｐに配置されている（図５を参照）。このような柱状空間Ｐを利用してそれぞれの縦配管５２を配置することで、収納部Ｓに収納される容器７との干渉を回避しながら、対応する支柱２０（第二分割支柱体２２）に対して縦配管５２を適切に固定することができる。

【0058】

このように、本実施形態では、ガス供給部５を構成する複数の縦配管５２を複数の支柱２０の配置に応じて分散して配置することで、個々の縦配管５２を小径化している。例えば、縦配管５２は、対応する列における全て（段数に等しいｍ個）の収納部Ｓに容器７が収納された状態で、各容器７に所定圧の不活性ガスを供給することが可能な程度に、小径に形成されている。このため、収納部Ｓに容器７が収納された場合にも、縦配管５２が上記の柱状空間Ｐに収まり、収納される容器７との干渉が生じない。よって、従来仕様の保管棚とは異なり、載置部３０の設置スペースを犠牲にしてまで縦配管５２の配設スペースを確保する必要がなく、全ての列を収納部Ｓとして利用することができる。従って、保管棚２の収納効率を向上させることができる。

【0059】

なお、それぞれの縦配管５２における最上流側部位に、作業者の人為操作によって開閉自在な手動開閉弁と、制御装置からの指令に基づいて開閉自在な自動制御弁との少なくとも一方が介在されていても良い。

【0060】

複数の分岐配管５３のそれぞれは、対応する縦配管５２から分岐して、載置部３０に個別に設けられた給気部３３に接続されている。本実施形態では、それぞれの縦配管５２に対して、収納部Ｓの段数に等しいｍ本の分岐配管５３が接続されている。これらｍ本の分岐配管５３のそれぞれは、各段の収納部Ｓを構成する載置部３０と一対一に対応する状態で配置されている。また、本実施形態では、全ての分岐配管５３が、対応する縦配管５２から同一の向きに延びるように配置されている。

【0061】

図３〜図６に示すように、分岐配管５３には、流量調節部５６が介在されている。流量調節部５６は、その内部の流路を流れる不活性ガスの流量を計測する流量センサ５６Ａと、不活性ガスの流量を変更調節する流量調節弁５６Ｂと、当該流量調節弁５６Ｂの作動を制御する内部制御部（図示せず）とを含む。内部制御部は、流量センサ５６Ａによる検出結果の情報に基づいて、単位時間当たりの不活性ガスの流量（言い換えれば、容器７への供給流量）を目標流量に調整するべく、流量調節弁５６Ｂの作動を制御する。これにより、流量調節部５６は、容器７への不活性ガスの供給流量を調節する役割を担う。

【0062】

例えば流量調節部５６は、収納部Ｓへの容器７の収納完了時から設定初期供給時間が経過するまでは第一目標流量となり、設定初期供給時間の経過後は第一目標流量よりも小さい値に設定された第二目標流量となるように、不活性ガスの供給流量を調節する。もちろん、流量調節部５６は、これ以外の他の供給パターンで不活性ガスの供給流量を調節しても良い。このような流量調節部５６を複数の収納部Ｓに対して個別に設けているので、収納部Ｓに収納されている個々の容器７に対して、それぞれ所望の供給パターンで不活性ガスを供給することができる。よって、保管棚２に対する各容器７の入庫時期にバラツキがある場合であっても、各容器７の内容物の状態をそれぞれ適正に維持させることが容易である。

【0063】

本実施形態では、流量調節部５６として、無通電状態におけるガス漏れ量が０．０１％未満のものを用いている。このような高密閉度の流量調節部５６であれば、保管設備１を含むシステムが仮に不測のエラー等によって緊急停止したとしても、流量調節部５６からの不活性ガスのガス漏れが実質的に生じない。このため、そのような不測の事態に備えてノーマルクローズ型の予備開閉弁を流量調節部５６に併設する必要がなく、実際、本実施形態の流量調節部５６にはそのような予備開閉弁は併設されていない。すなわち、本実施形態では、流量調節部５６として、無通電状態におけるガス漏れ量が０．０１％未満のものを、ノーマルクローズ型の予備開閉弁と併設することなく用いている。よって、流量調節部５６の近傍のレイアウトを簡素化することができる。

【0064】

なお、従来仕様の保管設備（例えば、特開２０１５−１２０３９号公報の図４を参照）では、不活性ガスの供給流量に与える影響を極力小さく抑えるように、予備開閉弁として温度変化の生じにくいエアバルブを用いていた。しかし、当該目的で使用されるエアバルブは大型のものが多く、流量調節部５６の近傍のレイアウトが煩雑になる等の不都合があった。本実施形態のバルブレス構造は、エアバルブを用いる従来仕様と比較して、流量調節部５６の近傍のレイアウトを大幅に簡素化することができるという点で有利である。

【0065】

なお、ここで言う「ノーマルクローズ型の予備開閉弁」には、作業者の人為操作によって開閉自在な手動開閉弁５７は含まれない。手動開閉弁５７は、作業者の人為操作によって、不活性ガスが流通可能な閉弁状態と不活性ガスが流通不能な開弁状態とを切替自在に構成されている。手動開閉弁５７は、従来仕様の保管設備にもエアバルブに加えて装備されていた上に、エアバルブに比べて十分に小型であり、流量調節部５６と併設されても特段の不利益はない。そこで、本実施形態の分岐配管５３には、実際、流量調節部５６と併設された手動開閉弁５７も介在されている。

【0066】

流量調節部５６と手動開閉弁５７とは、流量調節部５６に対して手動開閉弁５７が上流側に位置する状態で設けられている。そして、分岐配管５３の上流側配管部５３ａが手動開閉弁５７に接続され、手動開閉弁５７が流量調節部５６の流入側ポートに接続され、流量調節部５６の吐出側ポートに分岐配管５３の下流側配管部５３ｂが接続され、下流側配管部５３ｂが給気部３３に接続されている。本実施形態のように給気部３３が複数（本例では３つ）設けられる場合には、下流側配管部５３ｂは、給気部３３の個数に応じて分岐されてそれぞれの給気部３３に接続される。

【0067】

本実施形態では、載置本体部３１は、左右両側の一対の支柱２０の間の全域に亘るように配置されている。すなわち、本実施形態の載置本体部３１の左右方向Ｈの配置領域は、左右両側の一対の支柱２０の間の全域である。流量調節部５６及び手動開閉弁５７は、対応する載置部３０の載置本体部３１の左右方向Ｈの配置領域に配置されている。流量調節部５６及び手動開閉弁５７は、同程度の左右方向Ｈの配置領域において、載置部３０よりも上方に流量調節部５６が位置し、その流量調節部５６よりもさらに上方に手動開閉弁５７が位置する状態に配置されている（図４を参照）。分岐配管５３の上流側配管部５３ａは、縦配管５２から、手動開閉弁５７よりもさらに上方の位置において、柱状空間Ｐにおける支柱２０と容器７の斜行板部７４との間の容器支柱間隙間を通って背面側に向かって斜行するように配置されている（図５を参照）。なお、上流側配管部５３ａの斜行部分が配設されやすいように、第二分割支柱体２２の前面２２ａの左右両端部には、角部を落とすように切り欠いて形成された切欠状凹部２３が設けられている。上流側配管部５３ａは、平面視で手動開閉弁５７と重なる位置を通って、縦配管５２とは反対側において手動開閉弁５７に接続されている。

【0068】

流量調節部５６と手動開閉弁５７とは、平面視で互いに重なるように配置されている（図５を参照）。そして、同じ前後方向Ｄの配置領域に配置される流量調節部５６及び手動開閉弁５７は、載置本体部３１よりも背面側に配置されている。本実施形態では、載置本体部３１の背面側の端部が支柱２０を構成する第二分割支柱体２２の背面２２ｂと同程度の位置であるのに対して、流量調節部５６及び手動開閉弁５７は、側面視で第一分割支柱体２１と重なるように配置されている（図６を参照）。流量調節部５６及び手動開閉弁５７は、載置部３０に載置された状態の容器７の背板部７２よりも背面側に配置されている。なお、流量調節部５６及び手動開閉弁５７は、第二ブラケット８７に固定された状態で載置本体部３１に固定されている。第二ブラケット８７と載置本体部３１とは、一体的に形成されていても良いし、別体であっても良い。

【0069】

このような流量調節部５６のレイアウト構成を採用したのは、以下の理由による。すなわち、本実施形態の保管棚２では、上述したように、複数の支柱２０が左右方向Ｈに分散して設置され、載置部３０が互いに隣り合う支柱２０に固定される。このため、載置部３０の載置本体部３１の左右両側に比べて、載置本体部３１よりも背面側に、他物を配置するためのスペースを確保しやすい。そこで、載置本体部３１の左右方向Ｈの配置領域において当該載置本体部３１よりも背面側に流量調節部５６を配置することで、個々の収納部Ｓに対して載置部３０と流量調節部５６とをコンパクトに配置することができる。しかも、ノーマルクローズ型の予備開閉弁が併設されずに全体として薄型の流量調節部５６を用いているので、流量調節部５６を、第一分割支柱体２１と同じ前後方向Ｄの配置領域に収まるように配置することができる（図６を参照）。よって、保管棚２の前後方向Ｄのサイズを拡大させることなく、パージ棚に必要な各要素をコンパクトに配置することができている。

【0070】

図１に示すように、保管棚２の各収納部Ｓとの間で容器７を搬送するための搬送部６は、第一搬送装置６１と移動装置６２と第二搬送装置６３と移載装置６７とを含む。第一搬送装置６１は、例えばホイスト式の搬送車である。第一搬送装置６１は、保管設備１が設置された施設の天井部９７に敷設されたガイドレール９８に沿って走行する。第一搬送装置６１は、容器７に設けられたフランジ７６を把持した状態で、当該容器７を移動装置６２に対して搬入及び搬出する。移動装置６２は、例えばローラ式やベルト式等のコンベヤである。移動装置６２は、保管室９０の内部と外部との間で容器７を移動させる。

【0071】

第二搬送装置６３は、例えばスタッカークレーンである。第二搬送装置６３は、保管室９０の床部９１に設置された走行レール９５に沿って走行移動する走行台車６４と、走行台車６４に立設されたマスト６５と、このマスト６５に案内される状態で昇降移動する昇降台６６とを有する。昇降台６６には、収納部Ｓとの間で容器７を移載する移載装置６７が設置されている。移載装置６７は、容器７を下方から支持する板状の支持体６８を備えている。支持体６８は、収納部Ｓの内部に突出する突出位置と、昇降台６６側に引退した引退位置とに出退可能に構成されている。移載装置６７を備えた第二搬送装置６３は、収納部Ｓ及び移動装置６２に対して、降ろし処理及び掬い処理を行い、それぞれに対する移載作業を行う。ここで、降ろし処理は、移載装置６７により容器７を受け渡す処理であり、掬い処理は、移載装置６７により容器７を掬い上げて受け取る処理である。

【0072】

第一搬送装置６１、移動装置６２、第二搬送装置６３、及び移載装置６７は、互いに協働して、容器７を収納部Ｓに搬入する（収納する）入庫作業を行う。また、これらは、互いに協働して、容器７を収納部Ｓから搬出する（取り出す）出庫作業を行う。これらの動作は、制御装置により、保管設備１の各部に設けられた各種センサによる検出結果の情報に基づき、常法に従って制御される。

【0073】

〔その他の実施形態〕
（１）上記の実施形態では、横架部材４０が第一分割支柱体２１の前面２１ａに固定されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば図７に示すように、横架部材４０が、一対の分割支柱体２１，２２のうち正面側に位置する第二分割支柱体２２の背面２２ｂに固定されても良い。このような構成であっても、位置決め部材、回動規制部材、及び支持補助部材としての各機能を横架部材４０に発揮させることができ、上記の実施形態と同様の効果を得ることができる。或いは、横架部材４０が第二分割支柱体２２の前面２２ａに固定されても良いし、場合によってはそのような横架部材４０が設けられなくても良い。

【0074】

（２）上記の実施形態では、横架部材４０が左右方向Ｈに互いに隣り合う半数の第一分割支柱体２１に亘って固定されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、１つの横架部材４０が架設される第一分割支柱体２１の本数は任意に設定することができる。この場合において、例えば横架部材４０が、左右方向Ｈに互いに隣り合う２本の第二分割支柱体２２のみに亘って個別に固定されても良い。

【0075】

（３）上記の実施形態では、取付板部３７の下端部３７ｄが横架部材４０の上端部４０ｕに当接する状態で、一対の支柱２０に載置部３０が固定されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば載置本体部３１の背面側の端部の下面が横架部材４０の上端部４０ｕに当接する状態で、載置部３０が固定されても良い。

【0076】

（４）上記の実施形態では、載置部３０を構成する載置本体部３１とリブ部３９とが一体的に形成されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば載置本体部３１とは別体のリブ部３９が、載置本体部３１に対して固定されていても良い。

【0077】

（５）上記の実施形態では、支柱２０が、前後方向Ｄに二分割された一対の分割支柱体２１，２２からなる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば支柱２０が、前後方向Ｄに分割形成された３つ以上の分割支柱体で構成されても良い。或いは、支柱２０が、前後方向Ｄに分割されることなく単一構造物として構成されても良い。

【0078】

（６）上記の実施形態では、容器７が面取り直方体状に形成され、縦配管５２が隣り合う容器７の対向する斜行板部７４と支柱２０との間の柱状空間Ｐに配置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、容器７の立体形状は任意に設定されて良い。縦配管５２は、容器７の立体形状にも応じて、収納部Ｓに収納される容器７との干渉を回避可能な位置に配置されると良い。

【0079】

（７）上記の実施形態では、それぞれの支柱２０（左右両端の２本のうちのいずれか１本を除く）に対して個別に縦配管５２が固定されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、複数の縦配管５２のそれぞれは、少なくとも、当該縦配管５２による不活性ガスの供給先の載置部３０が固定されているいずれか一方の支柱２０に固定されれば良い。例えば図８に示すように、左右方向Ｈに並んで配置される複数の支柱２０に対して１本おきに、縦配管５２が固定されても良い。この場合、それぞれの縦配管５２に対して、最大、収納部Ｓの段数の２倍に等しい２ｍ本の分岐配管５３が接続される。この場合、それぞれの分岐配管５３が対応する縦配管５２から延びる向きは、互いに隣り合う列どうしの間で反対向きとなる。このような構成は、収納部Ｓの段数が比較的少なくても良い場合等に、縦配管５２の本数を減ずることによってガス供給部５を簡素化することができるという利点をもたらす。

【0080】

（８）上記の実施形態では、縦配管５２が、第二分割支柱体２２の前面２２ａに固定されて当該第二分割支柱体２２と正面視で重なる状態に配置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば縦配管５２が、第一分割支柱体２１の側面２１ｃ又は第二分割支柱体２２の側面２２ｃに固定されても良い。この場合において、縦配管５２が、第一分割支柱体２１又は第二分割支柱体２２と側面視で重なる状態に配置されても良い。

【0081】

（９）上記の実施形態では、流量調節部５６として、無通電状態におけるガス漏れ量が０．０１％未満のものを用いている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば無通電状態における流量調節部５６からの不活性ガスのガス漏れ量は０．０１％以上であっても良い。

【0082】

（１０）上記の実施形態では、流量調節部５６を、ノーマルクローズ型の予備開閉弁と併設することなく用いている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、流量調節部５６に加え、例えばエアバルブやソレノイドバルブ等からなるノーマルクローズ型の予備開閉弁が分岐配管５３に介在されても良い。

【0083】

（１１）上記の実施形態では、流量調節部５６が、対応する載置部３０の載置本体部３１の左右方向Ｈの配置領域において当該載置本体部３１よりも背面側に配置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば支柱２０と載置本体部３１とが左右方向Ｈに離間して設けられる場合には、当該支柱２０と載置本体部３１との間の領域を少なくとも部分的に利用して流量調節部５６が配置されても良い。或いは、流量調節部５６が、載置本体部３１における背面側の領域において、平面視で少なくとも部分的に載置本体部３１と重なるように配置されても良い。

【0084】

（１２）上記の実施形態では、左右方向Ｈに分散配置された複数の支柱２０に縦配管５２を個別に固定し、かつ、流量調節部５６を載置本体部３１よりも背面側に配置している構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、少なくとも流量調節部５６が載置本体部３１よりも背面側に配置されているのであれば、複数の支柱２０に縦配管５２が個別に固定されていない保管設備１も、本明細書によって開示される。より具体的には、保管設備１は以下の構成を備える。すなわち、保管設備１は、
上下に整列配置された複数の収納部Ｓを有する保管棚２と、
収納部Ｓに収納されている容器７のそれぞれに不活性ガスを供給するガス供給部５と、を備える。
保管棚２は、上下方向Ｖに沿って立設された複数の支柱２０と、支柱２０によって支持されて容器７を載置する載置部３０と、を含む。
ガス供給部５は、複数の収納部Ｓに対して個別に設けられた、不活性ガスの流量を調節する流量調節部５６を含む。
支柱２０が保管棚２の左右両端部及び互いに隣り合う収納部Ｓどうしの間のそれぞれの位置に設置され、
載置部３０が互いに隣り合う支柱２０に固定されている。
流量調節部５６のそれぞれが、対応する収納部Ｓを構成する載置部３０の載置本体部３１の左右方向Ｈの配置領域において、当該載置本体部３１よりも背面側に配置されている。

【0085】

この構成によれば、載置部３０が互いに隣り合う支柱２０に固定されるので、当該載置部３０の載置本体部３１の左右両側に比べて、載置本体部３１よりも背面側に、他物を配置するためのスペースを確保しやすい。そこで、上記のように載置本体部３１の左右方向Ｈの配置領域において当該載置本体部３１よりも背面側に流量調節部５６を配置することで、個々の収納部Ｓに対して載置部３０と流量調節部５６とをコンパクトに配置することができる。よって、複数の収納部Ｓを高い密度で整列配置させることができ、保管棚２の収納効率を向上させることができる。さらに、複数の収納部Ｓに対して流量調節部５６が個別に設けられるので、収納部Ｓに収納されている個々の容器７に対して所望の供給パターンで不活性ガスを供給することができる。よって、保管棚２に対する各容器７の入庫時期にバラツキがある場合であっても、各容器７の内容物の状態をそれぞれ適正に維持させることが容易である。

【0086】

（１３）上記の実施形態では、半導体基板を収容する容器７を被保管物として保管する保管設備１を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、容器７に収容されて保管される物品は、例えばガラス基板や、金属薄膜が積層されたガラス板等からなるレチクル基板等であっても良い。また、容器７に収容されて保管される物品は、工業製品（原料や中間製品を含む）に限定されることなく、例えば食品や医薬品等であっても良い。

【0087】

なお、上述した各実施形態（上記の実施形態及びその他の実施形態を含む；以下同様）で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。

【0088】

その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で例示であって、本発明の範囲はそれらによって限定されることはないと理解されるべきである。当業者であれば、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜改変が可能であることを容易に理解できるであろう。従って、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で改変された別の実施形態も、当然、本発明の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0089】

１ 保管設備
２ 保管棚
５ ガス供給部
７ 容器
２０ 支柱
２１ 第一分割支柱体（分割支柱体）
２１ａ 前面
２２ 第二分割支柱体（分割支柱体）
２２ｂ 背面
３０ 載置部
３１ 載置本体部
３３ 給気部
３７ 取付板部
３７ｄ 下端部
３９ リブ部
４０ 横架部材
４０ｕ 上端部
５２ 縦配管
５３ 分岐配管
５６ 流量調節部
７２ 背板部
７３ 側板部
７４ 斜行板部
Ｓ 収納部
Ｐ 柱状空間
Ｖ 上下方向
Ｈ 左右方向
Ｄ 前後方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】