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公報発行日 2018年10月31
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【図1】一般的な薄膜型パワーインダクタの縦断面図である。
【図2】一般的な薄膜型パワーインダクタの横断面および縦断面を示す写真である。
【図3】本発明のパワーインダクタに含まれたコイルパターン構造を示すためのチップ断面図である。
【図4】本発明の他の実施形態に含まれたコイルパターン構造を示すためのチップ断面図である。
【図5】本発明によるパワーインダクタの製造方法を順次示す工程図である。
【図6】本発明によるパワーインダクタの製造方法を順次示す工程図である。
【図7】本発明によるパワーインダクタの製造方法を順次示す工程図である。
【図8】本発明によるパワーインダクタの製造方法を順次示す工程図である。
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