特許6415035ギャップフィルのための共形膜蒸着

発明の名称　ギャップフィルのための共形膜蒸着

出願人　ノベラス・システムズ・インコーポレーテッド　（識別番号 513014695）

　　　　特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6415035

公報発行日　2018年10月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6415035

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