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特許第6418156号(P6418156)
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特許
6418156
インジウム、ガリウム、亜鉛、および酸素からなる酸化物（ＩＧＺＯ）の表面より銅を含む付着物を洗浄・除去する液体組成物、およびその液体組成物を用いたＩＧＺＯ表面の洗浄方法、並びにその洗浄方法により洗浄される基板
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