特許 6420172 シート供給装置および供給方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6420172

(24)【登録日】2018年10月19日

(45)【発行日】2018年11月7日

(54)【発明の名称】シート供給装置および供給方法

(51)【国際特許分類】

   B65C 9/18 20060101AFI20181029BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20181029BHJP

   B65H 37/04 20060101ALI20181029BHJP

【ＦＩ】

   B65C9/18

   H01L21/68 N

   B65H37/04 Z

【請求項の数】3

【全頁数】8

(21)【出願番号】特願2015-32239(P2015-32239)

(22)【出願日】2015年2月20日

(65)【公開番号】特開2016-153324(P2016-153324A)

(43)【公開日】2016年8月25日

【審査請求日】2017年12月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 吉澤 秀明

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−１９３４０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００２−５３０２１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０３１６９８９５（ＵＳ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１４３５０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０７４１００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０９３３１４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｃ ９／１８

Ｂ６５Ｈ ３７／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

閉ループ状の切込の内側が貼付用シートとされ、当該切込の外側が帯状の不要シートとされた接着シートの一方の面に、帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出し可能な繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される原反から前記貼付用シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記不要シートおよび剥離シートに凹部および凸部の少なくとも一方を形成し、これら不要シートと剥離シートとの仮着状態を強化させる仮着強化手段を有することを特徴とするシート供給装置。

【請求項2】

前記不要シートが前記剥離シートから剥がれるトンネリング現象を検知可能な検知手段を有することを特徴とする請求項１に記載のシート供給装置。

【請求項3】

閉ループ状の切込の内側が貼付用シートとされ、当該切込の外側が帯状の不要シートとされた接着シートの一方の面に、帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
前記不要シートおよび剥離シートに凹部および凸部の少なくとも一方を形成し、これら不要シートと剥離シートとの仮着状態を強化させる工程と、
前記繰り出される原反から前記貼付用シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート供給方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート供給装置および供給方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が利用されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６−１８２３９６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置に、閉ループ状の切込の内側が貼付用シートとされ、外側が帯状の不要シートとされた接着シートの一方の面に、帯状の剥離シートが仮着された原反が採用されると、図１のＡＡで示した図の二点鎖線で示すように、剥離手段の折曲部で、不要シートが剥離シートから剥がれてしまう現象（以下、「トンネリング現象」という場合がある）が発生する場合がある。このようなトンネリング現象は、接着シートと剥離シートとの巻回径や折曲径の相違が起因しており、巻回された原反が当該巻回から解かれたときや、原反がローラやガイド等によって折り曲げられたときに発生し易い。そして、このようなトンネリング現象を放置して原反を繰り出し続けると、当該トンネリング現象を起こしている不要シート部分がどんどん大きくなり、当該不要シート部分が貼付ローラ（押圧手段）と半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）（被着体）との間に入ってしまい、貼付用シートの貼付不良や被着体の損傷等を招来するという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、トンネリング現象を抑制することができるシート供給装置および供給方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するために、本発明のシート供給装置は、閉ループ状の切込の内側が貼付用シートとされ、当該切込の外側が帯状の不要シートとされた接着シートの一方の面に、帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出し可能な繰出手段と、前記繰出手段で繰り出される原反から前記貼付用シートを剥離する剥離手段とを備え、前記不要シートおよび剥離シートに凹部および凸部の少なくとも一方を形成し、これら不要シートと剥離シートとの仮着状態を強化させる仮着強化手段を有する、という構成を採用している。

【0007】

この際、前記不要シートが前記剥離シートから剥がれるトンネリング現象を検知可能な検知手段を有する、ことが好ましい。

【0008】

一方、本発明のシート供給方法は、閉ループ状の切込の内側が貼付用シートとされ、当該切込の外側が帯状の不要シートとされた接着シートの一方の面に、帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す工程と、前記不要シートおよび剥離シートに凹部および凸部の少なくとも一方を形成し、これら不要シートと剥離シートとの仮着状態を強化させる工程と、前記繰り出される原反から前記貼付用シートを剥離する工程とを備えている、という構成を採用している。

【発明の効果】

【0009】

以上のような本発明によれば、不要シートと剥離シートとに凹部および凸部の少なくとも一方を形成するので、これら不要シートと剥離シートとの仮着状態が強化されるため、トンネリング現象を抑制することができる。

【0010】

この際、トンネリング現象を検知可能な検知手段を備えれば、当該検知手段がトンネリング現象を検知したときに凹部および凸部の少なくとも一方を形成することができ、凹部や凸部を形成する頻度を低減し、仮着強化手段の寿命を延ばすことができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前側から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が図１中手前方向であるＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

【0013】

図１において、シート貼付装置１０は、閉ループ状の切込ＣＵの内側が貼付用シートＳＳとされ、当該切込ＣＵの外側が帯状の不要シートＵＳとされた接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１に、帯状の剥離シートＲＬが仮着された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出される原反ＲＳから貼付用シートＳＳを剥離する剥離手段としての剥離板３０と、不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬに凹部ＣＣを形成し、これら不要シートＵＳと剥離シートＲＬとの仮着状態を強化させる仮着強化手段４０と、不要シートＵＳが剥離シートＲＬから剥がれるトンネリング現象ＴＰを検知可能な光学センサや撮像手段等の検知手段５０と、剥離板３０で剥離された貼付用シートＳＳを被着体としてのウエハＷＦの被着面に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ６０と、ウエハＷＦを支持し、当該ウエハＷＦと押圧ローラ６０とを相対移動させる支持手段７０とを備えている。なお、本実施形態の繰出手段２０と剥離板３０と仮着強化手段４０とで本願発明のシート供給装置が構成される。

【0014】

繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動する駆動ローラ２３と、剥離シートＲＬおよび不要シートＵＳを駆動ローラ２３との間に挟み込むピンチローラ２４と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬおよび不要シートＵＳを回収する回収ローラ２５とを備えている。

【0015】

仮着強化手段４０は、原反ＲＳの繰出方向に直交する方向に１対設けられ、各仮着強化手段４０は、図１のＢＢで示した図のように、駆動機器としての直動モータ４１と、直動モータ４１の出力軸４１Ａに支持され、複数の凸部４２Ａが設けられた凹部形成部材４２と、凹部形成部材４２の押圧を受け止める凹部が形成された受け部材４３とを備えている。なお、剥離板３０の折曲部３１や原反ＲＳを案内する案内面３２には、原反ＲＳに形成された凹部ＣＣにより剥離シートＲＬ側から飛び出した凸部が通る位置に切欠があるとよい。

【0016】

支持手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１のスライダ７１Ａに支持されるとともに、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通された支持面７２Ａを有するテーブル７２を備えている。

【0017】

以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに貼付用シートＳＳを貼付する手順について説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。次いで、仮着強化手段４０が直動モータ４１を駆動し、時間的または距離的な所定の間隔で不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬに凹部形成部材４２を押圧し、凹部ＣＣを形成する。これにより、不要シートＵＳと剥離シートＲＬとの仮着状態が強化されることとなる。そして、剥離板３０上に位置する先頭の貼付用シートＳＳの繰出方向先端部が折曲部３１によって所定量剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。なお、仮着強化手段４０で凹部ＣＣを形成する所定の間隔は、作業者が任意に決定することができる。

【0018】

そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持面７２Ａ上にウエハＷＦを載置すると、支持手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持した後、リニアモータ７１を駆動し、テーブル７２を図１中実線で示す初期位置から左方向に搬送する。そして、ウエハＷＦが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、ウエハＷＦの搬送速度に合わせた速度で原反ＲＳを繰り出す。このときも上述と同様にして、仮着強化手段４０が直動モータ４１を駆動し、所定の間隔で不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬに凹部ＣＣを形成する。これにより、トンネリング現象ＴＰの発生を抑制しつつ、貼付用シートＳＳが剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ６０によってウエハＷＦに押圧されて貼付される。そして、剥離板３０上に位置する次の貼付用シートＳＳの繰出方向先端部が折曲部３１によって所定量剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
ウエハＷＦに貼付用シートＳＳが貼付され、テーブル７２が所定の位置に到達すると、支持手段７０がリニアモータ７１および図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない搬送手段によってウエハＷＦが次工程へ搬送され、テーブル７２を初期位置に復帰させ、以降上述と同様の動作が繰り返される。

【0019】

以上のような実施形態によれば、不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬに凹部ＣＣを形成するので、これら不要シートＵＳと剥離シートＲＬとの仮着状態が強化されるため、トンネリング現象ＴＰを抑制することができる。

【0020】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0021】

たとえば、繰出手段２０は、接着シートＡＳに切込ＣＵが形成されていない原反を採用し、図１中二点鎖線で示すように、折曲部３１までの間で例えば切断手段としてのロータリカッタ８０で接着シートに切込ＣＵを形成するように構成してもよい。なお、切断手段としては、ダイカッタ、レーザカッタ、駆動機器にカッタ刃を支持させたもの等なんら限定されることはない。
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。

【0022】

仮着強化手段４０は、前記実施形態のように、所定の間隔で不要シートＵＳと剥離シートＲＬとに凹部ＣＣを形成しつつ、または、所定の間隔で不要シートＵＳと剥離シートＲＬとに凹部ＣＣを形成することなく、検知手段５０がトンネリング現象ＴＰを検知したときに、不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬに凹部ＣＣを形成してもよい。
仮着強化手段４０は、１体でもよいし、３体以上でもよく、凹部ＣＣを形成する位置は、不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬに凹部ＣＣを形成できればどこでもよい。
仮着強化手段４０が形成する凹部ＣＣや凸部の形状は、平面視で円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形、Ｘ形状、＋形状、Ｖ形状、波型形状、それら形状を適宜に組み合わせた形状等何ら限定されることはないし、側面視で三角形形状、台形形状、矩形形状、円弧形状、それら形状を適宜に組み合わせた形状等何ら限定されることもない。
仮着強化手段４０は、上記実施形態における直動モータ４１および凹部形成部材４２の位置と、受け部材４３との位置を入れ替えてもよい。
仮着強化手段４０は、受け部材４３側に駆動機器を設け、凹部形成部材４２に対して受け部材４３を離間接近させてもよいし、凹部形成部材４２および受け部材４３の両方を移動させて離間接近させてもよい。
仮着強化手段４０を設ける位置は、支持ローラ２１と折曲部３１との間でもよいし、折曲部３１と回収ローラ２５との間でもよいし、支持ローラ２１と回収ローラ２５との間の原反繰出方向に沿う複数の位置に配置してもよく、トンネリング現象ＴＰを防止できるのであれば（不要シートＵＳと剥離シートＲＬとの仮着状態を強化できるのであれば）どの位置に設けてもよい。
受け部材４３は、凹部形成部材４２の凸部４２Ａに対応した凹部を備えていてもよいし、凸部に対応していない凹部を備えていてもよいし、凹部がなくてもよいし、金属や陶器等の非弾性部材で構成してもよいし、樹脂やゴム等の弾性部材で構成してもよい。
仮着強化手段４０は、凹部形成部材４２と受け部材４３との代わりに、または、それらと併用して、複数の凹部が設けられた凸部形成部材と、凸部形成部材の押圧を受け止める凸部が形成された受け部材とを備えてもよい。
仮着強化手段４０は、外周に凹部形成部材や凸部形成部材が設けられた凸ローラや凹ローラを採用してもよく、このような凸ローラや凹ローラは、駆動機器で駆動してもよいし、原反ＲＳの繰り出しに追従して回転する構成でもよいし、原反ＲＳに離間接近する構成であってもよい。
凹部形成部材や凸部形成部材に設けられる凸部や凹部、不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬに形成する凹部ＣＣや凸部は、単数でも複数でもよいし、凹部形成部材や凸部形成部材に設けられる凸部や凹部は、不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬを突き抜けることで凹部ＣＣや凸部を形成してもよい。

【0023】

検知手段は、リミットスイッチや圧力センサ等の接触型のセンサであってもよい。
検知手段５０は、なくてもよく、この場合、トンネリング現象ＴＰが発生したことを認識した作業者が仮着強化手段４０を操作して、凹部ＣＣを形成してもよい。

【0024】

押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、エアの吹き付け等による押圧部材を採用してもよいし、剥離手段で剥離された貼付用シートＳＳを保持する保持手段と、当該保持手段をウエハＷＦ方向に移動させることで貼付用シートＳＳをウエハＷＦに押圧して貼付する駆動機器とを備えたものでもよい。
押圧手段は、ウエハＷＦの全面または一部に貼付用シートＳＳを貼付してもよい。

【0025】

支持手段７０は、ウエハＷＦを停止させておき繰出手段２０および押圧ローラ６０を移動させてもよいし、ウエハＷＦと繰出手段２０および押圧ローラ６０との両方を移動させてもよい。
他の装置でウエハＷＦと繰出手段２０および押圧ローラ６０とを相対移動させる場合、本発明において支持手段７０はなくてもよい。

【0026】

本発明における接着シートＡＳ、貼付用シートＳＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、貼付用シートＳＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、貼付用シートＳＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳや貼付用シートＳＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

【0027】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、繰出手段で繰り出される原反から貼付用シートを剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0028】

２０…繰出手段
３０…剥離板（剥離手段）
４０…仮着強化手段
５０…検知手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…一方の面
ＣＣ…凹部
ＣＵ…切込
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＳＳ…貼付用シート
ＴＰ…トンネリング現象
ＵＳ…不要シート

【図1】