特許第6421258号(P6421258)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6421258４族金属元素含有化合物、この製造方法、これを含む膜蒸着用前駆体組成物、及びこれを利用する膜の蒸着方法
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