【図1】図１は、有機発光ダイオードの構成の概略を示す断面模式図である。

【図2】図２は、有機発光ダイオードの隔壁の構成の概略を示す平面模式図である。

【図3】図３は、有機発光ダイオードの製造方法の主な工程を示すフローチャートである。

【図4】図４は、検査装置を備えた基板処理システムの構成の概略を示す平面模式図である。

【図5】図５は、検査装置の構成の概略を示す平面模式図である。

【図6A】図６Ａは、計測ヘッドが備えるＵＶ照射器の構成の概略を示す平面模式図である。

【図6B】図６Ｂは、ＵＶ照射器およびカメラの配置関係を示す側面模式図である。

【図6C】図６Ｃは、カメラによる撮像画像の処理方法を示す模式図である。

【図7A】図７Ａは、計測ヘッドの移動制御の説明図（その１）である。

【図7B】図７Ｂは、計測ヘッドの移動制御の説明図（その２）である。

【図7C】図７Ｃは、計測ヘッドの移動制御の説明図（その３）である。

【図7D】図７Ｄは、計測ヘッドの移動制御の説明図（その４）である。

【図7E】図７Ｅは、計測ヘッドの移動制御の説明図（その５）である。

【図7F】図７Ｆは、計測ヘッドの移動制御の説明図（その６）である。

【図7G】図７Ｇは、計測ヘッドの移動制御の説明図（その７）である。

【図7H】図７Ｈは、計測ヘッドの移動制御の説明図（その８）である。

【図8】図８は、制御装置のブロック図である。