6429669 シート抵抗測定装置およびシート抵抗測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6429669

(24)【登録日】2018年11月9日

(45)【発行日】2018年11月28日

(54)【発明の名称】シート抵抗測定装置およびシート抵抗測定方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 27/02 20060101AFI20181119BHJP

【ＦＩ】

   G01R27/02 R

【請求項の数】10

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2015-32653(P2015-32653)

(22)【出願日】2015年2月23日

(65)【公開番号】特開2016-156622(P2016-156622A)

(43)【公開日】2016年9月1日

【審査請求日】2017年12月18日

(73)【特許権者】

【識別番号】000227180

【氏名又は名称】日置電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104787

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 伸司

(72)【発明者】

【氏名】半田 信久

【審査官】 青木 洋平

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−２５６１４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２１７１３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６２−２０４１６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表平０８−５０９８４０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ ２７／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基体部の一面に規定された第１供給位置に配設された第１供給プローブ、前記一面に規定された第２供給位置に配設された第２供給プローブ、前記一面における前記第１供給位置を中心とする第１仮想円上に規定された複数の第１検出位置にそれぞれ配設された複数の第１検出プローブ、および前記第１仮想円と同心で当該第１仮想円とは半径が相違する第２仮想円上に規定された複数の第２検出位置にそれぞれ配設された複数の第２検出プローブを有するプローブユニットと、
前記第１供給プローブおよび前記第２供給プローブを介して測定対象の２点間に測定用信号を供給している状態において、前記各第１検出プローブが接触している前記測定対象の複数の第１検出点および前記各第２検出プローブが接触している当該測定対象の複数の第２検出点についての被検出量を検出する検出処理を実行する検出部と、
前記検出処理によって検出された前記各被検出量に基づいて前記測定対象のシート抵抗を測定する測定処理を実行する測定部とを備えたシート抵抗測定装置であって、
前記第２供給プローブは、前記一面における前記第１供給位置を中心とする第３仮想円上に規定された複数の前記第２供給位置にそれぞれ配設され、
前記各第２供給位置に配設される前記第２供給プローブの数は、前記第１検出プローブの数および前記第２検出プローブの数と異なる数に規定され、
前記検出部は、前記測定用信号を供給する前記第２供給プローブを変更して前記検出処理を複数回実行し、
前記測定部は、前記測定処理において、前記複数回の前記検出処理によって検出された前記各被検出量に基づいて前記シート抵抗を測定するシート抵抗測定装置。

【請求項2】

前記第２供給プローブの数および前記第１検出プローブの数が互いに素な数に規定されている請求項１記載のシート抵抗測定装置。

【請求項3】

前記第２供給プローブの数および前記第２検出プローブの数が互いに素な数に規定されている請求項１または２記載のシート抵抗測定装置。

【請求項4】

前記検出部は、前記複数回の検出処理として、前記被検出量としての前記各第１検出点における各電位を検出する第１検出処理、および前記被検出量としての前記各第２検出点における各電位を検出する第２検出処理を、前記測定用信号を供給する前記第２供給プローブを変更してそれぞれ複数回実行し、
前記測定部は、前記測定処理において、前記複数回の第１検出処理によって検出された前記各第１検出点の各電位から前記測定対象における前記第１仮想円に対応する第１円形部分の平均電位を算出すると共に、前記複数回の第２検出処理によって検出された前記各第２検出点の各電位から前記測定対象における前記第２仮想円に対応する第２円形部分の平均電位を算出し、前記第１円形部分の平均電位および前記第２円形部分の平均電位に基づいて前記シート抵抗を測定する請求項１から３のいずれかに記載のシート抵抗測定装置。

【請求項5】

前記第１検出位置の数および前記第２検出位置の数が同じ数に規定され、
前記検出部は、前記複数回の検出処理として、前記各第１検出点および前記各第２検出点を一つずつ対にした複数の検出点対における各電位差を前記被検出量として検出する第３検出処理を、前記測定用信号を供給する前記第２供給プローブを変更してそれぞれ複数回実行し、
前記測定部は、前記測定処理において、前記複数回の第３検出処理によって検出された前記各電位差から前記測定対象における前記第１仮想円に対応する第１円形部分と当該測定対象における前記第２仮想円に対応する第２円形部分との間の平均電位差を算出し、前記平均電位差に基づいて前記シート抵抗を測定する請求項１から３のいずれかに記載のシート抵抗測定装置。

【請求項6】

前記各第１検出位置は、前記第１仮想円上において等間隔に規定されている請求項１から５のいずれかに記載のシート抵抗測定装置。

【請求項7】

前記各第２検出位置は、前記第２仮想円上において等間隔に規定されている請求項１から６のいずれかに記載のシート抵抗測定装置。

【請求項8】

前記各第２供給位置は、前記第３仮想円上において等間隔に規定されている請求項１から７のいずれかに記載のシート抵抗測定装置。

【請求項9】

一面に規定された第１供給位置に第１供給プローブを配設し、前記一面に規定された第２供給位置に第２供給プローブを配設し、前記一面における前記第１供給位置を中心とする第１仮想円上に規定された複数の第１検出位置に第１検出プローブを配設し、前記第１仮想円と同心で当該第１仮想円とは半径が相違する第２仮想円上に規定された複数の第２検出位置に第２検出プローブを配設して、
前記第１供給プローブおよび前記第２供給プローブを介して測定対象の２点間に測定用信号を供給している状態において、前記第１検出プローブが接触している前記測定対象の複数の第１検出点および前記第２検出プローブが接触している当該測定対象の複数の第２検出点についての被検出量を検出する検出処理を実行し、
前記検出処理によって検出された前記被検出量に基づいて前記測定対象のシート抵抗を測定する測定処理を実行するシート抵抗測定方法であって、
前記一面における前記第１供給位置を中心とする第３仮想円上に規定された複数の前記第２供給位置に前記第２供給プローブを配設し、前記各第２供給位置の数を前記各第１検出位置の数および前記各第２検出位置の数と異なる数に規定して、
測定用信号を供給する前記第２供給プローブを変更して前記検出処理を複数回実行し、
前記測定処理において、前記複数回の前記検出処理によって検出された前記各被検出量に基づいて前記シート抵抗を測定するシート抵抗測定方法。

【請求項10】

前記第２供給位置に対応する複数の第２供給プローブ、前記第１検出位置に対応する複数の前記第１検出プローブ、および前記第２検出位置に対応する複数の前記第２検出プローブが前記一面としての基体部の配設面に配設された治具型のプローブユニットを用いて、前記検出処理を実行する請求項９記載のシート抵抗測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、測定対象のシート抵抗を測定するシート抵抗測定装置およびシート抵抗測定方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

この種のシート抵抗測定装置として、下記特許文献１において出願人が開示したシート抵抗測定装置が知られている。このシート抵抗測定装置は、プローブユニット、測定部、および制御部を備えて、測定対象体のシート抵抗を測定可能に構成されている。このシート抵抗測定装置では、測定対象体の一面に規定された第１接点および第２接点にそれぞれ接触させたプローブユニットのプローブを介して測定用電流を供給している状態で、測定部が、第１接点を中心とする第１仮想円上に規定された３箇所の第３接点の電位を測定する第１測定処理と、第１仮想円と同心で第１仮想円とは半径が相違する第２仮想円上に規定された３箇所の第３接点の電位を測定する第２測定処理とを実行する。また、制御部が、第１測定処理によって測定された複数の電位に基づいて第１仮想円上の電位（平均電位）を演算する第１演算処理と、第２測定処理によって測定された複数の電位に基づいて第２仮想円上の電位（平均電位）を演算する第２演算処理とを実行し、各演算処理で演算した各電位に基づいてシート抵抗を測定する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第５３５００６３号公報（第５−１１頁、第２図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところが、従来のシート抵抗測定装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、従来のシート抵抗測定装置では、第１仮想円上に規定された３箇所の第３接点の電位に基づいて演算した第１仮想円上の電位と、第２仮想円上に規定された３箇所の第３接点の電位に基づいて演算した第２仮想円上の電位とに基づいてシート抵抗を測定している。ここで、シート抵抗の測定精度を向上させるには、シート抵抗の演算の基礎となる第１仮想円上の電位および第２仮想円上の電位の精度を向上させる必要がある。この場合、第１仮想円上の電位および第２仮想円上の電位の精度を向上させる方法として、第１仮想円上および第２仮想円上に規定する第３接点の数を増やす方法が考えられる。しかしながら、第３接点の数を増やすに従って各第３接点に接触させるプローブの間隔が狭くなるが、その間隔はプローブユニットの構造やプローブの直径などによって限界があるため、第３接点の数を十分に増やすことが困難なことがある。このため、従来のシート抵抗測定装置には、シート抵抗の測定精度の向上が困難なことがあり、この点の改善が望まれている。

【0005】

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、シート抵抗の測定精度を十分に向上し得るシート抵抗測定装置およびシート抵抗測定方法を提供することを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成すべく請求項１記載のシート抵抗測定装置は、基体部の一面に規定された第１供給位置に配設された第１供給プローブ、前記一面に規定された第２供給位置に配設された第２供給プローブ、前記一面における前記第１供給位置を中心とする第１仮想円上に規定された複数の第１検出位置にそれぞれ配設された複数の第１検出プローブ、および前記第１仮想円と同心で当該第１仮想円とは半径が相違する第２仮想円上に規定された複数の第２検出位置にそれぞれ配設された複数の第２検出プローブを有するプローブユニットと、前記第１供給プローブおよび前記第２供給プローブを介して測定対象の２点間に測定用信号を供給している状態において、前記各第１検出プローブが接触している前記測定対象の複数の第１検出点および前記各第２検出プローブが接触している当該測定対象の複数の第２検出点についての被検出量を検出する検出処理を実行する検出部と、前記検出処理によって検出された前記各被検出量に基づいて前記測定対象のシート抵抗を測定する測定処理を実行する測定部とを備えたシート抵抗測定装置であって、前記第２供給プローブは、前記一面における前記第１供給位置を中心とする第３仮想円上に規定された複数の前記第２供給位置にそれぞれ配設され、前記各第２供給位置に配設される前記第２供給プローブの数は、前記第１検出プローブの数および前記第２検出プローブの数と異なる数に規定され、前記検出部は、前記測定用信号を供給する前記第２供給プローブを変更して前記検出処理を複数回実行し、前記測定部は、前記測定処理において、前記複数回の前記検出処理によって検出された前記各被検出量に基づいて前記シート抵抗を測定する。

【0007】

また、請求項２記載のシート抵抗測定装置は、請求項１記載のシート抵抗測定装置において、前記第２供給プローブの数および前記第１検出プローブの数が、互いに素な数に規定されている。なお、「互いに素な数（互いに疎な数）」とは、２つの数（第２供給プローブの数、および第１検出プローブの数）において共通な素因数がないことをいうものとする。

【0008】

また、請求項３記載のシート抵抗測定装置は、請求項１または２記載のシート抵抗測定装置において、前記第２供給プローブの数および前記第２検出プローブの数が、互いに素な数に規定されている。なお、「互いに素な数（互いに疎な数）」とは、２つの数（第２供給プローブの数、および第２検出プローブの数）において共通な素因数がないことをいうものとする。

【0009】

また、請求項４記載のシート抵抗測定装置は、請求項１から３のいずれかに記載のシート抵抗測定装置において、前記検出部は、前記複数回の検出処理として、前記被検出量としての前記各第１検出点における各電位を検出する第１検出処理、および前記被検出量としての前記各第２検出点における各電位を検出する第２検出処理を、前記測定用信号を供給する前記第２供給プローブを変更してそれぞれ複数回実行し、前記測定部は、前記測定処理において、前記複数回の第１検出処理によって検出された前記各第１検出点の各電位から前記測定対象における前記第１仮想円に対応する第１円形部分の平均電位を算出すると共に、前記複数回の第２検出処理によって検出された前記各第２検出点の各電位から前記測定対象における前記第２仮想円に対応する第２円形部分の平均電位を算出し、前記第１円形部分の平均電位および前記第２円形部分の平均電位に基づいて前記シート抵抗を測定する。

【0010】

さらに、請求項５記載のシート抵抗測定装置は、請求項１から３のいずれかに記載のシート抵抗測定装置において、前記第１検出位置の数および前記第２検出位置の数が同じ数に規定され、前記検出部は、前記複数回の検出処理として、前記各第１検出点および前記各第２検出点を一つずつ対にした複数の検出点対における各電位差を前記被検出量として検出する第３検出処理を、前記測定用信号を供給する前記第２供給プローブを変更してそれぞれ複数回実行し、前記測定部は、前記測定処理において、前記複数回の第３検出処理によって検出された前記各電位差から前記測定対象における前記第１仮想円に対応する第１円形部分と当該測定対象における前記第２仮想円に対応する第２円形部分との間の平均電位差を算出し、前記平均電位差に基づいて前記シート抵抗を測定する。

【0011】

また、請求項６記載のシート抵抗測定装置は、請求項１から５のいずれかに記載のシート抵抗測定装置において、前記各第１検出位置は、前記第１仮想円上において等間隔に規定されている。

【0012】

また、請求項７記載のシート抵抗測定装置は、請求項１から６のいずれかに記載のシート抵抗測定装置において、前記各第２検出位置は、前記第２仮想円上において等間隔に規定されている。

【0013】

また、請求項８記載のシート抵抗測定装置は、請求項１から７のいずれかに記載のシート抵抗測定装置において、前記各第２供給位置は、前記第３仮想円上において等間隔に規定されている。

【0014】

また、請求項９記載のシート抵抗測定方法は、一面に規定された第１供給位置に第１供給プローブを配設し、前記一面に規定された第２供給位置に第２供給プローブを配設し、前記一面における前記第１供給位置を中心とする第１仮想円上に規定された複数の第１検出位置に第１検出プローブを配設し、前記第１仮想円と同心で当該第１仮想円とは半径が相違する第２仮想円上に規定された複数の第２検出位置に第２検出プローブを配設して、前記第１供給プローブおよび前記第２供給プローブを介して測定対象の２点間に測定用信号を供給している状態において、前記第１検出プローブが接触している前記測定対象の複数の第１検出点および前記第２検出プローブが接触している当該測定対象の複数の第２検出点についての被検出量を検出する検出処理を実行し、前記検出処理によって検出された前記被検出量に基づいて前記測定対象のシート抵抗を測定する測定処理を実行するシート抵抗測定方法であって、前記一面における前記第１供給位置を中心とする第３仮想円上に規定された複数の前記第２供給位置に前記第２供給プローブを配設し、前記各第２供給位置の数を前記各第１検出位置の数および前記各第２検出位置の数と異なる数に規定して、測定用信号を供給する前記第２供給プローブを変更して前記検出処理を複数回実行し、前記測定処理において、前記複数回の前記検出処理によって検出された前記各被検出量に基づいて前記シート抵抗を測定する。

【0015】

また、請求項１０記載のシート抵抗測定方法は、請求項９記載のシート抵抗測定方法において、前記第２供給位置に対応する複数の第２供給プローブ、前記第１検出位置に対応する複数の前記第１検出プローブ、および前記第２検出位置に対応する複数の前記第２検出プローブが前記一面としての基体部の配設面に配設された治具型のプローブユニットを用いて、前記検出処理を実行する。

【発明の効果】

【0016】

請求項１記載のシート抵抗測定装置、および請求項９記載のシート抵抗測定方法では、第２供給プローブの数（第２供給位置の数）が第１検出プローブの数（第１検出位置の数）および第２検出プローブの数（第２検出位置の数）と異なる数に規定され、測定用信号を供給する第２供給プローブを変更して検出処理を複数回実行する。このため、このシート抵抗測定装置およびシート抵抗測定方法では、第２供給プローブの数（第２供給位置の数）が、第１検出プローブの数（第１検出位置の数）や第２検出プローブ（第２検出位置の数）と同数に規定されて、実行した被検出量の検出の回数よりも少ない数（例えば、第２供給プローブの数）分の検出結果を得ることしかできない従来の構成および方法とは異なり、実行した被検出量の検出の回数分（つまり、第２供給プローブ（第２供給位置）の数×第１検出プローブ（第１検出位置）の数分、および第２供給プローブの数×第２検出プローブ（第２検出位置）の数分）の被検出量の検出結果を得ることができる。したがって、このシート抵抗測定装置およびシート抵抗測定方法によれば、測定対象に接触可能なプローブの数を十分に増やすことが困難な場合であっても、比較的少ない数のプローブを用いて被検出量についての数多くの検出結果を得ることができるめ、被検出量についての数多くの検出結果を用いて測定対象のシート抵抗を測定することで、測定精度を十分に向上させることができる。

【0017】

また、請求項２記載のシート抵抗測定装置によれば、第２供給プローブの数および第１検出プローブの数を互いに素な数に規定したことにより、第１検出点について実行した被検出量の検出の回数分（第２供給プローブ（第２供給位置）の数×第１検出プローブ（第１検出位置）の数分）の被検出量の検出結果を確実に得ることができるため、測定対象のシート抵抗の測定精度を確実に向上させることができる。

【0018】

また、請求項３記載のシート抵抗測定装置によれば、第２供給プローブの数および第２検出プローブの数を互いに素な数に規定したことにより、第２検出点について実行した被検出量の検出の回数分（第２供給プローブ（第２供給位置）の数×第２検出プローブ（第２検出位置）の数分）の被検出量の検出結果を確実に得ることができるため、測定対象のシート抵抗の測定精度を確実に向上させることができる。

【0019】

また、請求項４記載のシート抵抗測定装置では、検出部が、各第１検出点における各電位を検出する第１検出処理、および各第２検出点における各電位を検出する第２検出処理を、測定用信号を供給する第２供給プローブを変更してそれぞれ複数回実行し、測定部が、各第１検出点の各電位から測定対象の第１円形部分の平均電位を算出すると共に、各第２検出点の各電位から測定対象の第２円形部分の平均電位を算出し、各平均電位に基づいてシート抵抗を測定する。このため、このシート抵抗測定装置によれば、各第１検出点および各第２検出点における電位についての数多くの検出結果から、第１円形部分の平均電位および第２円形部分の平均電位を十分正確に算出することができる結果、各円形部分の各平均電位に基づく測定対象のシート抵抗の測定精度を十分に向上させることができる。

【0020】

また、請求項５記載のシート抵抗測定装置では、第１検出位置の数および第２検出位置の数が同じ数に規定され、検出部が、各第１検出点および各第２検出点を対にした複数の検出点対における各電位差を検出する第３検出処理を、測定用信号を供給する第２供給プローブを変更してそれぞれ複数回実行し、測定部が、各電位差から測定対象の第１円形部分と第２円形部分との間の平均電位差を算出し、平均電位差に基づいてシート抵抗を測定する。このため、このシート抵抗測定装置によれば、各検出点対の電位差についての数多くの検出結果から、第１円形部分と第２円形部分との間の平均電位差を十分正確に算出することができる結果、平均電位差に基づく測定対象のシート抵抗の測定精度を十分に向上させることができる。また、このシート抵抗測定装置によれば、例えば、各第１検出点の電位と各第２検出点の電位とを別々に検出してその検出結果に基づいてシート抵抗を測定する構成と比較して、検出処理の回数が少ない分、測定処理の効率を高めることができる。

【0021】

また、請求項６記載のシート抵抗測定装置によれば、各第１検出位置を第１仮想円上において等間隔に規定したことにより、第１仮想円に対応する測定対象の第１円形部分において等間隔に位置する各第１検出点についての被検出量を検出することができるため、各電位から例えば第１円形部分についての被検出量を正確に算出することができる結果、測定対象のシート抵抗の測定精度をさらに向上させることができる。

【0022】

また、請求項７記載のシート抵抗測定装置によれば、各第２検出位置を第２仮想円上において等間隔に規定したことにより、第２仮想円に対応する測定対象の第２円形部分において等間隔に位置する各第２検出点についての被検出量を検出することができるため、各電位から例えば第２円形部分における被検出量の平均値を正確に算出することができる結果、測定対象のシート抵抗の測定精度をさらに向上させることができる。

【0023】

さらに、請求項８記載のシート抵抗測定装置によれば、各第２供給位置を第３仮想円上において等間隔に規定したことにより、第３仮想円に対応する測定対象の円形部分において等間隔に位置する各第２供給点に第１供給点から測定用信号を供給することができるため、各検出処理において検出した各被検出量に基づく測定対象のシート抵抗の測定精度を一層向上させることができる。

【0024】

また、請求項１０記載のシート抵抗測定方法によれば、第２供給位置に対応する第２供給プローブ、第１検出位置に対応する複数の第１検出プローブ、および第２検出位置に対応する複数の第２検出プローブが一面としての基体部の配設面に配設された治具型のプローブユニットを用いて、第１検出処理および第２検出処理を実行することにより、例えば、複数のフライングプローブを個別に移動させてプロービングを行いつつ検出処理を複数回実行する方法と比較して、処理効率を十分に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】シート抵抗測定装置１の構成を示す構成図である。

【図2】導電シート１００の平面図である。

【図3】プローブユニット２を上面１０ｂ側から透かして見た状態の透視図である。

【図4】導電シート１００における第１供給点Ｂｓ１、第２供給点Ｂｓ２ａ〜Ｂｓ２ｈ、第１検出点Ｂｄ１ａ〜Ｂｄ１ｇ、および第２検出点Ｂｄ２ａ〜Ｂｄ２ｉの位置を説明する説明図である。

【図5】シート抵抗測定方法を説明する第１の説明図である。

【図6】シート抵抗測定方法を説明する第２の説明図である。

【図7】シート抵抗測定方法を説明する第３の説明図である。

【図8】シート抵抗測定方法を説明する第４の説明図である。

【図9】シート抵抗測定方法を説明する第５の説明図である。

【図10】シート抵抗測定方法を説明する第６の説明図である。

【図11】シート抵抗測定方法を説明する第７の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、シート抵抗測定装置およびシート抵抗測定方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

【0027】

最初に、シート抵抗測定装置の一例としての図１に示すシート抵抗測定装置１の構成について説明する。シート抵抗測定装置１は、同図に示すように、プローブユニット２、移動機構３、検出部４、記憶部５および制御部６を備えて、後述するシート抵抗測定方法に従い、図２に示す測定対象の一例としての導電シート１００（導電性を有するシート体）のシート抵抗を測定可能に構成されている。

【0028】

プローブユニット２は、治具型のプローブユニットであって、図３に示すように、一例として、矩形の板状に形成された基体部１０と、基体部１０の下面１０ａに配設（植設）された複数のプローブＰとを備えている。また、このプローブユニット２では、プローブＰとして、１本の第１供給プローブＰｓ１、８本の第２供給プローブＰｓ２ａ〜Ｐｓ２ｈ（以下、区別しないときには「第２供給プローブＰｓ２」ともいう）、７本の第１検出プローブＰｄ１ａ〜Ｐｄ１ｇ（以下、区別しないときには「第１検出プローブＰｄ１」ともいう）、および９本の第２検出プローブＰｄ２ａ〜Ｐｄ２ｉ（以下、区別しないときには「第２検出プローブＰｄ２」ともいう）を備えている。

【0029】

このプローブユニット２では、第１供給プローブＰｓ１は、図３に示すように、基体部１０の下面１０ａ（配設面および一面に相当する）の中心部に規定された第１供給位置Ａｓ１に配設されている。また、第２供給プローブＰｓ２ａ〜Ｐｓ２ｈは、下面１０ａにおける第１供給位置Ａｓ１を中心とする半径ｒ３の第３仮想円Ｃ３上に規定された８個の第２供給位置Ａｓ２ａ〜Ａｓ２ｈ（以下、区別しないときには「第２供給位置Ａｓ２」ともいう）にそれぞれ配設されている。この場合、各第２供給位置Ａｓ２は、第３仮想円Ｃ３上において等間隔となり、導電シート１００の上面１０１における第３仮想円Ｃ３に対応する（移動機構３による後述するプロービング処理の際に第３仮想円Ｃ３に対向する）第３円形部分Ｄ３（図４参照）上において等間隔となるように規定されている。

【0030】

また、第１検出プローブＰｄ１ａ〜Ｐｄ１ｇは、図３に示すように、下面１０ａにおける第１供給位置Ａｓ１を中心とする半径ｒ１の第１仮想円Ｃ１上に規定された７個の第１検出位置Ａｄ１ａ〜Ａｄ１ｇ（以下、区別しないときには「第１検出位置Ａｄ１」ともいう）にそれぞれ配設されている。この場合、各第１検出位置Ａｄ１は、第１仮想円Ｃ１上において等間隔となり、導電シート１００の上面１０１における第１仮想円Ｃ１に対応する（プロービング処理の際に第１仮想円Ｃ１に対向する）第１円形部分Ｄ１（図４参照）上において等間隔となるように規定されている。

【0031】

さらに、第２検出プローブＰｄ２ａ〜Ｐｄ２ｉは、図３に示すように、下面１０ａにおける第１供給位置Ａｓ１を中心とする半径ｒ２の第２仮想円Ｃ２上に規定された９個の第２検出位置Ａｄ２ａ〜Ａｄ２ｉ（以下、区別しないときには「第２検出位置Ａｄ２」ともいう）にそれぞれ配設されている。この場合、各第２検出位置Ａｄ２は、第２仮想円Ｃ２上において等間隔となり、導電シート１００の上面１０１における第２仮想円Ｃ２に対応する（プロービング処理の際に第２仮想円Ｃ２に対向する）第２円形部分Ｄ２（図４参照）上において等間隔となるように規定されている。

【0032】

上記したように、このプローブユニット２では、第２供給位置Ａｓ２ａ〜Ａｓ２ｈ（各第２供給位置Ａｓ２に配設される第２供給プローブＰｓ２）の数（この例では８個）が、第１検出位置Ａｄ１ａ〜Ａｄ１ｇ（各第１検出位置Ａｄ１に配設される第１検出プローブＰｄ１）の数（この例では７個）および第２検出位置Ａｄ２ａ〜Ａｄ２ｉ（各第２検出位置Ａｄ２に配設される第２検出プローブＰｄ２）の数（この例では９個）とは異なる数に規定されている。また、このプローブユニット２では、第２供給プローブＰｓ２の数および第１検出プローブＰｄ１の数がそれぞれ８個および７個であり、各プローブＰｓ２，Ｐｄ１の数が互いに素に規定されている。また、このプローブユニット２では、第２供給プローブＰｓ２の数および第２検出プローブＰｄ２の数がそれぞれ８個および９個であり、各プローブＰｓ２，Ｐｓ２の数も互いに素に規定されている。さらに、このプローブユニット２では、第１仮想円Ｃ１、第２仮想円Ｃ２および第３仮想円Ｃ３の各半径ｒ１〜ｒ３が互いに相違するように（例えば、この順番で大きくなるように）規定されている。

【0033】

移動機構３は、制御部６の制御に従い、導電シート１００の上面１０１（図１，２参照）に平行な方向（ＸＹ方向）および上面１０１に直交する方向（Ｚ方向）にプローブユニット２を移動させて、導電シート１００の測定ポイントＸ１〜Ｘ８（図２参照：以下、区別しないときには「測定ポイントＸ」ともいう）にプローブユニット２の第１供給プローブＰｓ１が位置するようにプローブユニット２の各プローブＰを導電シート１００の上面１０１に接触させるプロービング処理（以下、「測定ポイントＸをプロービング位置とするプロービング処理」ともいう）を実行する。なお、図４に示すように、プロービング処理の際に、第１供給プローブＰｓ１が接触する上面１０１の位置を第１供給点Ｂｓ１とし、第２供給プローブＰｓ２ａ〜Ｐｓ２ｈが接触する上面１０１の各位置をそれぞれ第２供給点Ｂｓ２ａ〜Ｂｓ２ｈ（以下、区別しないときには「第２供給点Ｂｓ２」ともいう）とする。また、第１検出プローブＰｄ１ａ〜Ｐｄ１ｇが接触する上面１０１の位置をそれぞれ第１検出点Ｂｄ１ａ〜Ｂｄ１ｇ（以下、区別しないときには「第１検出点Ｂｄ１」ともいう）とし、第２検出プローブＰｄ２ａ〜Ｐｄ２ｉが接触する上面１０１の位置をそれぞれ第２検出点Ｂｄ２ａ〜Ｂｄ２ｉ（以下、区別しないときには「第２検出点Ｂｄ２」ともいう）とする。

【0034】

検出部４は、制御部６の制御に従って検出処理としての第１検出処理および第２検出処理を実行する。検出部４は、第１検出処理において、第１供給プローブＰｓ１および第２供給プローブＰｓ２を介して導電シート１００における上面１０１の２点（第１供給点Ｂｓ１、および各第２供給点Ｂｓ２のうちの１つ）の間に測定用信号としての直流電流を供給している状態で、各第１検出プローブＰｄ１が接触している上面１０１の各第１検出点Ｂｄ１における被検出量としての電位（第１供給点Ｂｓ１との電位差）を検出する。また、検出部４は、第２検出処理において、上面１０１における上記した２点の間に直流電流を供給している状態で、各第２検出プローブＰｄ２が接触している上面１０１の各第２検出点Ｂｄ２における被検出量としての電位（第１供給点Ｂｓ１との電位差）を検出する。また、このシート抵抗測定装置１では、検出部４が、測定用信号を供給する第２供給プローブＰｓ２ａ〜Ｐｓ２ｈを変更しつつ、上記した第１検出処理および第２検出処理をそれぞれ複数回（この例では、第２供給プローブＰｓ２の数である８回）実行する。

【0035】

記憶部５は、検出部４によって実行された検出された第１検出処理および第２検出処理の結果（各第１検出点Ｂｄ１および各第２検出点Ｂｄ２における電位）を記憶する。また、記憶部５は、制御部６によって測定されるシート抵抗の抵抗値を記憶する。

【0036】

制御部６は、移動機構３および検出部４を制御する。また、制御部６は、測定部として機能し、導電シート１００のシート抵抗（詳しくはシート抵抗の抵抗値）を測定する測定処理を実行する。制御部６は、この測定処理において、検出部４による第１検出処理で検出された各第１検出点Ｂｄ１の各電位から第１仮想円Ｃ１に対向する導電シート１００における第１円形部分Ｄ１（図４参照）の平均電位を算出すると共に、検出部４による第２検出処理で検出された各第２検出点Ｂｄ２の各電位からプローブユニット２の第２仮想円Ｃ２に対向する導電シート１００における第２円形部分Ｄ２（同図参照）の平均電位を算出し、第１円形部分Ｄ１の平均電位および第２円形部分Ｄ２の各平均電位に基づいて導電シート１００のシート抵抗を測定する。

【0037】

次に、シート抵抗測定装置１を用いて導電シート１００のシート抵抗を測定するシート抵抗測定方法について、添付図面を参照して説明する。

【0038】

まず、上面１０１を上向きにした状態の導電シート１００を、図外の保持機構に保持させる。次いで、図１に示すように、各プローブＰを下向きにした状態のプローブユニット２を、移動機構３における図外の取り付け部に取り付ける。続いて、図外の操作部を操作して処理の開始を指示する。これに応じて、制御部６が、処理を開始する。具体的には、制御部６は、移動機構３を制御して、導電シート１００の各測定ポイントＸのうちの１つ（例えば、測定ポイントＸ１）をプロービング位置とするプロービング処理を実行させる。このプロービング処理では、移動機構３は、導電シート１００の上面１０１に平行なＸＹ方向にプローブユニット２を移動させて、測定ポイントＸ１の上方にプローブユニット２の第１供給プローブＰｓ１が位置するようにプローブユニット２を位置させる。次いで、移動機構３は、上面１０１に直交するＺ方向にプローブユニット２を移動させる。この際に、プローブユニット２の各プローブＰが上面１０１に接触する。

【0039】

続いて、制御部６は、検出部４を制御して、第１検出処理を実行させる。この第１検出処理では、検出部４は、まず、第１供給プローブＰｓ１（図３参照）と、各第２供給プローブＰｓ２のうちの１つとしての第２供給プローブＰｓ２ａ（同図参照）とを図外の電源部に接続して、第１供給プローブＰｓ１が接触している導電シート１００の第１供給点Ｂｓ１（図４参照）から第２供給プローブＰｓ２ａが接触している導電シート１００の第２供給点Ｂｓ２ａ（同図参照）に向かう向きで直流電流を供給させる。

【0040】

次いで、検出部４は、直流電流を供給している状態で、第１供給プローブＰｓ１と、各第１検出プローブＰｄ１のうちの１つとしての第１検出プローブＰｄ１ａ（図３参照）とを介して、第１検出プローブＰｄ１ａが接触している導電シート１００の第１検出点Ｂｄ１ａ（図４参照）の電位（第１供給点Ｂｓ１と第１検出点Ｂｄ１ａとの間の電位差）を検出する。この際に、制御部６は、検出された電位を記憶部５に記憶させる。

【0041】

続いて、検出部４は、直流電流を供給している状態で、第１供給プローブＰｓ１と、各第１検出プローブＰｄ１のうちの他の１つとしての第１検出プローブＰｄ１ｂ（図３参照）とを介して、第１検出プローブＰｄ１ｂが接触している導電シート１００の第１検出点Ｂｄ１ｂ（図４参照）の電位を検出し、制御部６は、検出された電位を記憶部５に記憶させる。以下、同様にして、検出部４は、第１検出プローブＰｄ１を変更しつつ、導電シート１００の各第１検出点Ｂｄ１の電位を検出し、制御部６は、検出された各電位を記憶部５に記憶させる。

【0042】

次いで、検出部４は、第１供給プローブＰｓ１と第２供給プローブＰｓ２ａとを介して直流電流を供給している状態での各第１検出点Ｂｄ１ａ〜Ｂｄ１ｇの電位の検出（１回目の第１検出処理）が終了したときには、直流電流を供給する第２供給プローブＰｓ２を第２供給プローブＰｓ２ｂ（図３参照）に変更して、２回目の第１検出処理を実行する。以下、検出部４は、第２供給プローブＰｓ２を変更しつつ第１検出処理を実行する。

【0043】

続いて、制御部６は、検出部４による全ての第２供給プローブＰｓ２についての第１検出処理（第２供給プローブＰｓ２の数分の回数であって、この例では８回の第１検出処理）が完了したときには、検出部４を制御して、第２検出処理を実行させる。この第２検出処理では、検出部４は、上記した第１検出処理と同様にして、第１供給プローブＰｓ１、および第２供給プローブＰｓ２ａを介して、導電シート１００の第１供給点Ｂｓ１から第２供給点Ｂｓ２ａに向かう向きで直流電流を供給させる。次いで、検出部４は、直流電流を供給している状態で、第１供給プローブＰｓ１および第２検出プローブＰｄ２ａ（図３参照）を介して、導電シート１００の第２検出点Ｂｄ２ａ（図４参照）の電位（第１供給点Ｂｓ１と第２検出点Ｂｄ２ａとの間の電位差）を検出する。この際に、制御部６は、検出された電位を記憶部５に記憶させる。

【0044】

続いて、検出部４は、直流電流を供給している状態で、第１供給プローブＰｓ１および第２検出プローブＰｄ２ｂ（図３参照）を介して、導電シート１００の第２検出点Ｂｄ２ｂ（図４参照）の電位を検出し、制御部６は、検出された電位を記憶部５に記憶させる。以下、同様にして、検出部４は、第２検出プローブＰｄ２を変更しつつ、導電シート１００の各第２検出点Ｂｄ２の電位を検出し、制御部６は、検出された各電位を記憶部５に記憶させる。

【0045】

次いで、検出部４は、第１供給プローブＰｓ１と第２供給プローブＰｓ２ａとを介して直流電流を供給している状態での各第２検出点Ｂｄ２ａ〜Ｂｄ２ｉの電位の検出（１回目の第１検出処理）が終了したときには、直流電流を供給する第２供給プローブＰｓ２を第２供給プローブＰｓ２ｂに変更して、２回目の第２検出処理を実行する。以下、検出部４は、第２供給プローブＰｓ２を変更しつつ、第２供給プローブＰｓ２の数分である８回の第２検出処を実行する。以上により、測定ポイントＸ１におけるシート抵抗の測定が終了する。

【0046】

続いて、制御部６は、移動機構３を制御して測定ポイントＸ２をプロービング位置とするプロービング処理を実行させ、次いで、検出部４を制御して上記した複数回（８回）の第１検出処理および複数回（８回）の第２検出処理を実行させる。以下、制御部６は、移動機構３および検出部４を制御して、各測定ポイントＸ１〜Ｘ８における各第１検出点Ｂｄ１および各第２検出点Ｂｄ２の電位を検出させる。

【0047】

続いて、制御部６は、測定処理を実行する。この測定処理では、制御部６は、測定ポイントＸ１における各第１検出点Ｂｄ１の電位を記憶部５から読み出して、導電シート１００における第１円形部分Ｄ１（図４参照：プローブユニット２の第１仮想円Ｃ１に対向する部位）の平均電位を算出する。次いで、制御部６は、測定ポイントＸ１における各第２検出点Ｂｄ２の電位を記憶部５から読み出して、導電シート１００における第２円形部分Ｄ２（同図参照：プローブユニット２の第２仮想円Ｃ２に対向する部位）の平均電位を算出する。

【0048】

ここで、このシート抵抗測定装置１では、第２供給位置Ａｓ２（第２供給プローブＰｓ２）の数が、第１検出位置Ａｄ１（第１検出プローブＰｄ１）の数、および第２検出位置Ａｄ２（第２検出プローブＰｄ２）の数と異なる数に規定され、検出部４が、測定用信号を供給する第２供給プローブＰｓ２を変更して第１検出処理および第２検出処理をそれぞれ複数回実行することで、第１仮想円Ｃ１の平均電位、および第２仮想円Ｃ２の平均電位についての測定精度を高めることが可能となっている。この点について、以下に説明する。

【0049】

図５に示すように、第２供給位置Ａｓ２（Ａｓ２ａ〜Ａｓ２ｈ）の数と、第１検出位置Ａｄ１（Ａｄ１ａ〜Ａｄ１ｈ）の数（つまり、第１検出点Ｂｄ１（Ｂｄ１ａ〜Ｂｄ１ｇ）の数）、および第２検出位置Ａｄ２（Ａｄ２ａ〜Ａｄ２ｈ）の数（つまり、第２検出点Ｂｄ２（Ｂｄ２ａ〜Ｂｄ２ｇ）の数）が同数（例えばそれぞれ８個）の場合を想定すると、上記したように、測定用信号を供給する第２供給プローブＰｓ２を変更しつつ、第２供給位置Ａｓ２の数分（８回）の第１検出処理を実行したときには、第１検出点Ｂｄ１の電位の検出を合計６４回（第１検出点Ｂｄ１の数（８）×第２供給位置Ａｓ２の数（８））行うこととなる。同様にして、第２供給位置Ａｓ２の数分（８回）の第２検出処理を実行したときには、第２検出点Ｂｄ２の電位の検出を合計６４回行うこととなる。

【0050】

この場合、各第１検出点Ｂｄ１の電位ｖは、一般的に、第１供給点Ｂｓ１（つまり、第１供給位置Ａｓ１）と第２供給点Ｂｓ２（つまり、第２供給位置Ａｓ２）とを結ぶ線分と、第１供給点Ｂｓ１と第１検出点Ｂｄ１（つまり、第１検出位置Ａｄ１）とを結ぶ線分とのなす角度θ（図６〜図１１参照）で異なる。この角度θと電位ｖとの関係が図６に示す曲線Ｗ１の関係である場合において、第１供給プローブＰｓ１および第２供給プローブＰｓ２ａを介して直流電流を供給している状態で各第１検出点Ｂｄ１において測定されるべき電位を示すポイントを「θｖ平面」上にプロットすると、同図に示すように、曲線Ｗ１上における０°〜３６０°までの間に、３６０°を８等分した４５°間隔でポイントがプロットされる。次に、第１供給プローブＰｓ１および第２供給プローブＰｓ２ｂを介して直流電流を供給している状態で各第１検出点Ｂｄ１において測定されるべき電位を示すポイントをプロットすると、曲線Ｗ１上における０°〜３６０°までの間に４５°間隔で、つまり、第２供給プローブＰｓ２ａを介して直流電流を供給している状態におけるポイントと同じ位置に、ポイントがプロットされる。同様にして、第１供給プローブＰｓ１および第２供給プローブＰｓ（Ｐｓ２ｃ〜Ｐｓ２ｈ）を介して直流電流を供給している状態で各第１検出点Ｂｄ１においてそれぞれ測定されるべき電位を示す各ポイントも、曲線Ｗ１上における０°〜３６０°までの間に４５°間隔（等間隔）で、つまり、第２供給プローブＰｓ２ａを介して直流電流を供給している状態におけるポイントと同じ位置にプロットされる。

【0051】

また、第１供給プローブＰｓ１および第２供給プローブＰｓ２ａ〜Ｐｓ２ｈを介して直流電流を供給している状態で各第２検出点Ｂｄ２においてそれぞれ測定されるべき電位を示すポイントも、図６に示すように、曲線Ｗ２上における０°〜３６０°までの間に、４５°間隔（等間隔）でプロットされる。このように、第２供給位置Ａｓ２の数と、第１検出位置Ａｄ１の数および第２検出位置Ａｄ２の数とが共に同数である８個の場合には、第１検出点Ｂｄ１の電位検出、および第２検出点Ｂｄ２の電位検出をそれぞれ６４回行ったとしても、実質的には、第２供給位置Ａｓ２の数と同数のそれぞれ８回の電位検出を行ったのと同様の検出結果を得ることしかできない。

【0052】

一方、第２供給位置Ａｓ２の数、第１検出位置Ａｄ１の数、および第２検出位置Ａｄ２の数が、８個、７個、および９個にそれぞれ規定されたシート抵抗測定装置１において、第１供給プローブＰｓ１および第２供給プローブＰｓ２ａを介して直流電流を供給している状態で各第１検出点Ｂｄ１において測定されるべき電位を示すポイントを、図７に示す「θｖ平面」上にプロットする（１周目のプロットを行う）。この場合、図３に示すように、第１供給位置Ａｓ１（つまり、第１供給点Ｂｓ１）および第２供給位置Ａｓ２ａ（つまり、第２供給点Ｂｓ２ａ）を結ぶ線分Ｌ０ａと、第１供給位置Ａｓ１および各第１検出位置Ａｄ１（つまり、各第１検出点Ｂｄ１）を結ぶ線分Ｌ１〜Ｌ７とのなす角度θは、それぞれ、０°、約５１．４°、約１０２．９°、・・・約３０８．６°（３６０°を７等分した約５１．４°間隔）となる。このため、図７に示すように、各ポイントは、曲線Ｗ１上における上記した各角度θに対応する７つの位置にプロットされる。

【0053】

次に、第１供給プローブＰｓ１および第２供給プローブＰｓ２ｂを介して直流電流を供給している状態で各第１検出点Ｂｄ１において測定されるべき電位を示すポイントをプロットする（２周目のプロットを行う）。この場合、図３に示すように、第１供給位置Ａｓ１および第２供給位置Ａｓ２ｂを結ぶ線分Ｌ０ｂは、上記した線分Ｌ０ａから４５°だけ右回りで傾斜している。このため、Ｌ０ｂと線分Ｌ２〜Ｌ７，Ｌ１とのなす角度θは、上記した１周目のプロットの際の各角度θに、約５１．４°−４５°＝約６．４°をそれぞれ加算した角度θ、すなわち、約６．４°、約５７．９、約１０９．３°・・・約３１５°となる。このため、図８に示すように、各ポイントは、曲線Ｗ１上における上記した各角度θに対応する７つの位置にプロットされる。

【0054】

次に、第１供給プローブＰｓ１および第２供給プローブＰｓ２ｃを介して直流電流を供給している状態で各第１検出点Ｂｄ１において測定されるべき電位を示すポイントをプロットする（３周目のプロットを行う）。この場合、図３に示すように、第１供給位置Ａｓ１および第２供給位置Ａｓ２ｃを結ぶ線分Ｌ０ｃは、上記した線分Ｌ０ａから９０°だけ右回りで傾斜している。このため、線分Ｌ０ｃと線分Ｌ３〜Ｌ７，Ｌ１，Ｌ２とのなす角度θは、上記した１周目のプロットの際の各角度θに、約５１．４°×２−９０°＝約１２．９°をそれぞれ加算した角度θ、すなわち、約１２．９°、約６４．３、約１１５．７°・・・約３２１．４°となる。このため、図９に示すように、各ポイントは、曲線Ｗ１上における上記した各角度θに対応する７つの位置にプロットされる。

【0055】

以下、同様にして、４周目のプロットを行ったときには、１周目のプロットの際の各角度θに約１９．３°（約５１．４°×３−１３５°）をそれぞれ加算した角度θに対応する曲線Ｗ１上における７つの位置にプロットされ、５周目のプロットを行ったときには、１周目のプロットの際の各角度θに約２５．７°（約５１．４°×４−１８０°）をそれぞれ加算した角度θに対応する曲線Ｗ１上における７つの位置にプロットされる。また、６周目のプロットを行ったときには、１周目のプロットの際の各角度θに約３２．１°（約５１．４°×５−２２５°）をそれぞれ加算した角度θに対応する曲線Ｗ１上における７つの位置にプロットされ、７周目のプロットを行ったときには、１周目のプロットの際の各角度θに約３８．６°（約５１．４°×６−２７０°）をそれぞれ加算した角度θに対応する曲線Ｗ１上における７つの位置にプロットされ、８周目のプロットを行ったときには、１周目のプロットの際の各角度θに約４５．０°（約５１．４°×７−３１５°）をそれぞれ加算した角度θに対応する曲線Ｗ１上における７つの位置にプロットされる。

【0056】

このように、１周目〜８周目の（第２供給プローブＰｓ２の数分の）プロットを行ったときには、図１０に示すように、曲線Ｗ１上における０°〜３６０°までの間に、約６．４°（３６０°／７−４５°）間隔で５６個（第２供給位置Ａｓ２（第２供給プローブＰｓ２）の数（８）×第１検出位置Ａｄ（第１検出プローブＰｄ１）の数（７））のポイントがプロットされる。

【0057】

次に、直流電流を供給する第２供給プローブＰｓ２を変更しつつ、第１供給プローブＰｓ１および各第２供給プローブＰｓ２を介して直流電流を供給している状態で各第２検出点Ｂｄ２において測定されるべき電位を示すポイントの１周目〜８周目のプロットを行ったときには、図１１に示すように、５°（４５°−３６０°／９）間隔で７２個（第２供給位置Ａｓ（第２供給プローブＰｓ２）の数（８）×第２検出位置Ａｄ２（第２検出プローブＰｄ２）の数（９））のポイントが曲線Ｗ２上にプロットされる。

【0058】

上記したように、第２供給位置Ａｓ２の数と、第１検出位置Ａｄ１の数、および第２検出位置Ａｄ２の数が同数である８個の場合には、第１検出点Ｂｄ１の電位検出、および第２検出点Ｂｄ２の電位検出をそれぞれ６４回行ったとしても実質的には、８回の電位検出を行ったのと同様の検出結果を得ることしかできない。これに対して、第２供給位置Ａｓ２の数を、第１検出位置Ａｄ１の数および第２検出位置Ａｄ２の数とは異なる数に規定したこのシート抵抗測定装置１では、電位検出の回数分（第１検出位置Ａｄ１については５６回、第２検出位置Ａｄ２については７２回）の検出結果を得ることができる。このため、このシート抵抗測定装置１では、これらの数多くの検出結果（各第１検出位置Ａｄ１の電位、および各第２検出位置Ａｄ２の電位）から導電シート１００における第１円形部分Ｄ１の平均電位、および第２円形部分Ｄ２の平均電位を正確に算出することが可能となっている。

【0059】

続いて、制御部６は、各測定ポイントＸ１〜Ｘ８における第１円形部分Ｄ１の平均電位、第２円形部分Ｄ２の平均電位、第１供給点Ｂｓ１から第１円形部分Ｄ１までの距離（つまり、第１供給位置Ａｓ１から第１仮想円Ｃ１までの距離である半径ｒ１）、および第１供給点Ｂｓ１から第２円形部分Ｄ２までの距離（つまり、第１供給位置Ａｓ１から第２仮想円Ｃ２までの距離である半径ｒ２）に基づいて、導電シート１００の各測定ポイントＸ１〜Ｘ８におけるシート抵抗を測定する。

【0060】

ここで、第１供給プローブＰｓ１および第２供給プローブＰｓ２を介して導電シート１００の第１供給点Ｂｓ１と第２供給点Ｂｓ２との間に供給する直流電流の電流値を「Ｉ」とし、第１円形部分Ｄ１の平均電位を「ｖ１」とし、第２円形部分Ｄ２の平均電位を「ｖ２」とすると、第１円形部分Ｄ１と第２円形部分Ｄ２との間の合成抵抗「Ｒ０」は、次の式（１）で表される。
R0=(v1-v2)/I・・・式（１）

【0061】

この場合、導電シート１００のような導体の抵抗「ｆ（ｒ）」は、その体積抵抗率を「ρ」とし、電流が流れる距離を「ｄｒ」とし、電流が流れる部位の断面積を「Ｓ」とすると、次の式（２）で表される。
f(r)=ρ・dr/s・・・式（２）
さらに、電流が流れる部位の厚みを「ｔ」とすると、上記の抵抗「ｆ（ｒ）」は、次の式（３）で表される。
f(r)=ρ・dr/(2πr・t)・・・式（３）
また、導体のシート抵抗（面抵抗）「Ｒｓ」は、体積抵抗率「ρ」を、電流が流れる部位の厚み「ｔ」で除した値であるため、「ｆ（ｒ）」は、次の式（４）で表される。
f(r)=Rs・dr/(2πr)・・・式（４）

【0062】

このため、導電シート１００における第１円形部分Ｄ１と第２円形部分Ｄ２との間の合成抵抗「Ｒ０」は、次の式（５）で表される。
R0=∫[r1,r2]f(r)dr=∫[r1,r2](Rs/2πr)dr=(Rs/2π)/(ln(r2)-ln(r1))・・・式（５）
上記式（１）および式（５）から、導電シート１００のシート抵抗「Ｒｓ」は、次の式（６）で表される。
Rs=(v1-v2)/I・2π/(ln(r2)-ln(r1))・・・式（６）

【0063】

したがって、制御部６は、上記の式（６）に、測定ポイントＸ１における第１円形部分Ｄ１の平均電位（ｖ１）、第２円形部分Ｄ２の平均電位（ｖ２）、第１供給点Ｂｓ１から第１円形部分Ｄ１までの距離（半径ｒ１）、および第１供給点Ｂｓ１から第２円形部分Ｄ２までの距離（半径ｒ２）を代入して導電シート１００のシート抵抗Ｒｓを算出する。次いで、制御部６は、算出したシート抵抗Ｒｓを測定ポイントＸ１における測定値として記憶部５に記憶させる。同様にして、制御部６は、測定ポイントＸ２〜Ｘ８における各シート抵抗Ｒｓを算出し、算出した各シート抵抗Ｒｓを測定ポイントＸ２〜Ｘ８における測定値として記憶部５に記憶させる。これにより、導電シート１００のシート抵抗を測定する一連の処理が完了する。

【0064】

このように、このシート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法では、第２供給プローブＰｓ２の数（第２供給位置Ａｓ２の数）が第１検出プローブＰｄ１の数（第１検出位置Ａｄ１の数）および第２検出プローブＰｄ２の数（第２検出位置Ａｄ２の数）と異なる数に規定され、直流電流を供給する第２供給プローブＰｓ２を変更して検出処理としての第１検出処理および第２検出処理をそれぞれ複数回実行する。このため、このシート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法では、第２供給プローブＰｓ２の数（第２供給位置Ａｓ２の数）が、第１検出プローブＰｄ１の数（第１検出位置Ａｄ１の数）や第２検出プローブＰｄ２（第２検出位置Ａｄ２の数）と同数に規定されて、実行した電位検出（被検出量の検出）の回数よりも少ない数（例えば、第２供給プローブＰｓ２の数）分の電位検出の結果を得ることしかできない従来の構成および方法とは異なり、実行した電位検出の回数分（つまり、第２供給プローブＰｓ２（第２供給位置Ａｓ２）の数×第１検出プローブＰｄ１（第１検出位置Ａｄ１）の数分、および第２供給プローブＰｓ２の数×第２検出プローブＰｄ２（第２検出位置Ａｄ２）の数分）の電位検出の結果を得ることができる。したがって、このシート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法によれば、導電シート１００に接触可能なプローブＰの数を十分に増やすことが困難な場合であっても、比較的少ない数のプローブＰを用いて数多くの検出結果を得ることができ、数多くの検出結果から導電シート１００における第１円形部分Ｄ１の平均電位および第２円形部分Ｄ２の平均電位を、十分正確に算出することができる結果、導電シート１００のシート抵抗Ｒｓの測定精度を十分に向上させることができる。

【0065】

また、このシート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法によれば、第２供給プローブＰｓ２の数（第２供給位置Ａｓ２の数）および第１検出プローブＰｄ１の数（第１検出位置Ａｄ１の数）を互いに素な数に規定したことにより、第１検出点Ｂｄ１について実行した電位検出の回数分（第２供給プローブＰｓ２（第２供給位置Ａｓ２）の数×第１検出プローブＰｄ１（第１検出位置Ａｄ１）の数分）の電位検出の結果を確実に得ることができるため、導電シート１００のシート抵抗Ｒｓの測定精度を確実に向上させることができる。

【0066】

また、このシート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法によれば、第２供給プローブＰｓ２の数（第２供給位置Ａｓ２の数）および第２検出プローブＰｄ２の数（第２検出位置Ａｄ２の数）を互いに素な数に規定したことにより、第２検出点Ｂｄ２について実行した電位検出の回数分（第２供給プローブＰｓ２（第２供給位置Ａｓ２）の数×第２検出プローブＰｄ２（第２検出位置Ａｄ２）の数分）の電位検出の結果を確実に得ることができるため、導電シート１００のシート抵抗Ｒｓの測定精度を確実に向上させることができる。

【0067】

また、このシート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法によれば、各第１検出位置Ａｄ１を第１仮想円Ｃ１上において等間隔に規定したことにより、第１円形部分Ｄ１において等間隔に位置する各第１検出点Ｂｄ１の電位を検出することができるため、各電位から第１円形部分Ｄ１の平均電位をより正確に算出することができる結果、導電シート１００のシート抵抗Ｒｓの測定精度をさらに向上させることができる。

【0068】

また、このシート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法によれば、各第２検出位置Ａｄ２を第２仮想円Ｃ２上において等間隔に規定したことにより、第２円形部分Ｄ２において等間隔に位置する各第２検出点Ｂｄ２の電位を検出することができるため、各電位から第２円形部分Ｄ２の平均電位をより正確に算出することができる結果、導電シート１００のシート抵抗Ｒｓの測定精度をさらに向上させることができる。

【0069】

また、このシート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法によれば、各第２供給位置Ａｓ２を第３仮想円Ｃ３上において等間隔に規定したことにより、第３仮想円Ｃ３に対向する導電シート１００の第３円形部分Ｄ３において等間隔に位置する各第２供給点Ｂｓ２に第１供給点Ｂｓ１から直流電流を供給することができるため、各第１検出処理および各第２検出処理において検出した各電位から第１円形部分Ｄ１および第２円形部分Ｄ２の平均電位をさらに正確に算出することができる結果、導電シート１００のシート抵抗Ｒｓの測定精度を一層向上させることができる。

【0070】

また、このシート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法によれば、第２供給位置Ａｓ２に対応する第２供給プローブＰｓ２、第１検出位置Ａｄ１に対応する複数の第１検出プローブＰｄ１、および第２検出位置Ａｄ２に対応する複数の第２検出プローブＰｄ２が基体部１０の下面１０ａに配設された治具型のプローブユニット２を用いて、第１検出処理および第２検出処理を実行することにより、例えば、複数のフライングプローブを個別に移動させてプロービングを行いつつ第１検出処理および第２検出処理をそれぞれ複数回実行する方法と比較して、処理効率を十分に向上させることができる。

【0071】

なお、シート抵抗測定装置１およびシート抵抗測定方法は上記した構成および方法に限定されない。例えば、第２供給位置Ａｓ２（第２供給プローブＰｓ２）の数（８個）、第１検出位置Ａｄ１（第１検出プローブＰｄ１）の数（７個）、および第２検出位置Ａｄ２（第２検出プローブＰｄ２）の数（９個）を相互に異なる数に規定して測定する例について上記したが、第２供給位置Ａｓ２の数と、第１検出位置Ａｄ１の数および第２検出位置Ａｄ２の数とが異なる限り、第１検出位置Ａｄ１の数と第２検出位置Ａｄ２の数とを同じ数に規定して測定する構成および方法を採用することもできる。

【0072】

また、上記のプローブユニット２では、第２供給プローブＰｓ２の数および第１検出プローブＰｄ１の数を互いに素に規定し、かつ第２供給プローブＰｓ２の数および第２検出プローブＰｄ２の数を互いに素に規定しているが、各プローブＰｓ２，Ｐｄ１の数だけを互いに素に規定したり、各プローブＰｓ２，Ｐｄ２の数だけを互いに素に規定したりする構成および方法を採用することもできる。また、第２供給位置Ａｓ２の数と、第１検出位置Ａｄ１の数および第２検出位置Ａｄ２の数とが異なる限り、各プローブＰｓ２，Ｐｄ１の数を互いに素に規定しなくてもよいし、各プローブＰｓ２，Ｐｄ２の数を互いに素に規定しなくてもよい。

【0073】

この場合、第１検出位置Ａｄ１の数と第２検出位置Ａｄ２の数とを同じ数に規定して測定する構成および方法では、例えば、互いに最も近い第１検出点Ｂｄ１および第２検出点Ｂｄ２同士を一つずつ（１対１で）対（以下、「検出点対」ともいう）にして、各検出点対の電位差（被検出量）を検出し、その検出値を用いてシート抵抗Ｒｓを算出することができる。具体的には、各検出点対の電位差を検出する処理（第３検出処理）を、直流電流を供給する第２供給プローブＰｓ２を変更しつつ複数回実行し、検出した各電位差の平均値（第１円形部分Ｄ１と第２円形部分Ｄ２との間の平均電位差）を算出し、上記した式（６）における「(v1-v2) 」にこの平均値を代入して導電シート１００のシート抵抗Ｒｓを算出することができる。このように、この構成および方法では、第１検出位置Ａｄ１の数と第２検出位置Ａｄ２の数とを同じ数に規定して各検出点対の電位差を検出することで、上記した第１検出処理と第２検出処理とを一度に実行するのと同様の効果を実現することができるため、シート抵抗Ｒｓを測定する測定処理の効率を十分に高めることができる。

【0074】

また、第１供給点Ｂｓ１から第２供給点Ｂｓ２に向けて測定用信号としての直流電流を供給して電位を測定する例について上記したが、第２供給点Ｂｓ２から第１供給点Ｂｓ１に向けて直流電流を供給して電位を測定する構成および方法を採用することもできる。また、直流電流に代えて交流電流を測定用電流として供給して各電位を測定する構成および方法を採用することもできる。

【0075】

また、治具型のプローブユニット２を第１検出処理および第２検出処理を実行する構成および方法について説明したが、これに限定されない。例えば、第１供給プローブＰｓ１、第２供給プローブＰｓ２、第１検出プローブＰｄ１および第２検出プローブＰｄ２を、導電シート１００の上面１０１に平行なＸＹ方向、および上面１０１に直交するＺ方向に個別に移動させて、導電シート１００の上面１０１に平行なＸＹ方向、および上面１０１に直交するＺ方向に個別に移動可能な、いわゆるフライングプローブで構成される第１供給プローブＰｓ１、第２供給プローブＰｓ２、第１検出プローブＰｄ１および第２検出プローブＰｄ２を、第１供給点Ｂｓ１、第２供給点Ｂｓ２、第１検出点Ｂｄ１および第２供給点Ｂｓ２にそれぞれ接触させて第１検出処理および第２検出処理を実行する構成および方法を採用することもできる。

【符号の説明】

【0076】

１ シート抵抗測定装置
２ プローブユニット
４ 検出部
６ 制御部
１０ 基体部
１０ａ 下面
Ａｄ１ａ〜Ａｄ１ｇ 第１検出位置
Ａｄ２ａ〜Ａｄ２ｉ 第２検出位置
Ａｓ１ 第１供給位置
Ａｓ２ａ〜Ａｓ２ｈ 第２供給位置
Ｂｄ１ａ〜Ｂｄ１ｇ 第１検出点
Ｂｓ２ａ〜Ｂｓ２ｈ 第２供給点
Ｃ１ 第１仮想円
Ｃ２ 第２仮想円
Ｄ１ 第１円形部分
Ｄ２ 第２円形部分
ｒ１〜ｒ３ 半径
Ｒｓ シート抵抗
Ｐｄ１ａ〜Ｐｄ１ｇ第１検出プローブ
Ｐｄ２ａ〜Ｐｄ２ｉ 第２検出プローブ
Ｐｓ１ 第１供給プローブ
Ｐｓ２ａ〜Ｐｓ２ｈ 第２供給プローブ
ｖ１ 電位
ｖ２ 電位

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】