特許6433295硬化したシリコン中に微少なテーパー付の穴をあける方法

発明の名称　硬化したシリコン中に微少なテーパー付の穴をあける方法

出願人　エレクトロ　サイエンティフィック　インダストリーズ　インコーポレーテッド　（識別番号 593141632）

　　　　特許公開件数ランキング 2800 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1408 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6433295

公報発行日　2018年12月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6433295

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6433295「硬化したシリコン中に微少なテーパー付の穴をあける方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録