特許 6435901 タッチパネルセンサ、タッチパネル装置および導電性パターン基板

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6435901

(24)【登録日】2018年11月22日

(45)【発行日】2018年12月12日

(54)【発明の名称】タッチパネルセンサ、タッチパネル装置および導電性パターン基板

(51)【国際特許分類】

   G06F 3/041 20060101AFI20181203BHJP

   G06F 3/044 20060101ALI20181203BHJP

【ＦＩ】

   G06F3/041 490

   G06F3/044 127

   G06F3/044 122

   G06F3/044 128

【請求項の数】8

【全頁数】24

(21)【出願番号】特願2015-24365(P2015-24365)

(22)【出願日】2015年2月10日

(65)【公開番号】特開2016-148926(P2016-148926A)

(43)【公開日】2016年8月18日

【審査請求日】2017年12月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002897

【氏名又は名称】大日本印刷株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091982

【弁理士】

【氏名又は名称】永井 浩之

(74)【代理人】

【識別番号】100117787

【弁理士】

【氏名又は名称】勝沼 宏仁

(74)【代理人】

【識別番号】100127465

【弁理士】

【氏名又は名称】堀田 幸裕

(74)【代理人】

【識別番号】100158964

【弁理士】

【氏名又は名称】岡村 和郎

(72)【発明者】

【氏名】高 橋 伸一郎

(72)【発明者】

【氏名】山 口 卓 也

(72)【発明者】

【氏名】近 禅

【審査官】 ▲高▼瀬 健太郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−２５６３２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１７５４１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１１／０１０２３６１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０２９１００８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１２−２４３１１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１８５８１３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０６Ｆ ３／０４１

Ｇ０６Ｆ ３／０４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

タッチパネルセンサであって、
前記タッチパネルセンサの一方の側に設けられ、第１方向に延びる複数の第１電極と、
前記タッチパネルセンサの一方の側において前記第１電極の間に設けられた複数の第１ダミー部と、
前記タッチパネルセンサの他方の側に設けられ、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延びる複数の第２電極と、
前記タッチパネルセンサの他方の側において前記第２電極の間に設けられた複数の第２ダミー部と、を備え、
前記第１電極および前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する第１導線を網目状に配置することによって構成されており、
前記第２電極および前記第２ダミー部は、遮光性および導電性を有する第２導線を網目状に配置することによって構成されており、
前記第１電極を構成する前記第１導線と前記第１ダミー部を構成する前記第１導線との間、または、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間、のうち、少なくとも前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間には、隣接する前記第１導線を電気的に絶縁するための複数の第１分断部が設けられており、
前記タッチパネルセンサの一方の側から見た場合に、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間の前記複数の第１分断部の少なくとも一部は、前記第２ダミー部を構成する前記第２導線と部分的に重なっている、タッチパネルセンサ。

【請求項2】

タッチパネルセンサであって、
第１方向に延びる複数の第１電極が設けられた第１の基材と、
前記第１の基材において前記第１電極の間に設けられた複数の第１ダミー部と、
前記第１の基材と向かい合うよう配置され、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延びる複数の第２電極が設けられた第２の基材と、
前記第２の基材において前記第２電極の間に設けられた複数の第２ダミー部と、を備え、
前記第１電極および前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する第１導線を網目状に配置することによって構成されており、
前記第２電極および前記第２ダミー部は、遮光性および導電性を有する第２導線を網目状に配置することによって構成されており、
前記第１電極を構成する前記第１導線と前記第１ダミー部を構成する前記第１導線との間、または、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間、のうち、少なくとも前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間には、隣接する前記第１導線を電気的に絶縁するための複数の第１分断部が設けられており、
前記タッチパネルセンサの一方の側から見た場合に、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間の前記複数の第１分断部の少なくとも一部は、前記第２ダミー部を構成する前記第２導線と部分的に重なっている、タッチパネルセンサ。

【請求項3】

前記第２電極を構成する前記第２導線と前記第２ダミー部を構成する前記第２導線との間、または、前記第２ダミー部を構成する前記第２導線同士の間、のうち、少なくとも前記第２ダミー部を構成する前記第２導線同士の間には、隣接する前記第２導線を電気的に絶縁するための複数の第２分断部が設けられており、
前記タッチパネルセンサの一方の側から見た場合に、前記第２ダミー部を構成する前記第２導線同士の間の前記複数の第２分断部の少なくとも一部は、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線と少なくとも部分的に重なっている、請求項１または２に記載のタッチパネルセンサ。

【請求項4】

前記第１ダミー部と前記第２ダミー部とが重なる領域には、前記第１分断部が前記第２導線と少なくとも部分的に重なっている部分、および、前記第２分断部が前記第１導線と少なくとも部分的に重なっている部分が、所定の方向に沿って交互に並んでいる、請求項３に記載のタッチパネルセンサ。

【請求項5】

前記複数の第１導線は、複数の第１導線が互いに交わることによって形成される複数の交点が不規則に並ぶよう配置されており、
前記複数の第２導線は、複数の第２導線が互いに交わることによって形成される複数の交点が不規則に並ぶよう配置されている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。

【請求項6】

タッチパネルセンサと、タッチパネルセンサの観察者側に配置された保護カバーと、を備えるタッチパネル装置であって、
前記タッチパネルセンサは、請求項１乃至５のいずれか一項のタッチパネルセンサからなり、
前記保護カバーは、合成樹脂から構成されている、タッチパネル装置。

【請求項7】

導電性パターン基板であって、
前記導電性パターン基板の一方の側に設けられ、第１方向に延びる複数の第１電極と、
前記導電性パターン基板の一方の側において前記第１電極の間に設けられた複数の第１ダミー部と、
前記導電性パターン基板の他方の側に設けられ、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延びる複数の第２電極と、
前記導電性パターン基板の他方の側において前記第２電極の間に設けられた複数の第２ダミー部と、を備え、
前記第１電極および前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する第１導線を網目状に配置することによって構成されており、
前記第２電極および前記第２ダミー部は、遮光性および導電性を有する第２導線を網目状に配置することによって構成されており、
前記第１電極を構成する前記第１導線と前記第１ダミー部を構成する前記第１導線との間、または、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間、のうち、少なくとも前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間には、隣接する前記第１導線を電気的に絶縁するための複数の第１分断部が設けられており、
前記導電性パターン基板の一方の側から見た場合に、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間の前記複数の第１分断部の少なくとも一部は、前記第２ダミー部を構成する前記第２導線と部分的に重なっている、導電性パターン基板。

【請求項8】

導電性パターン基板であって、
第１方向に延びる複数の第１電極が設けられた第１の基材と、
前記第１の基材において前記第１電極の間に設けられた複数の第１ダミー部と、
前記第１の基材と向かい合うよう配置され、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延びる複数の第２電極が設けられた第２の基材と、
前記第２の基材において前記第２電極の間に設けられた複数の第２ダミー部と、を備え、
前記第１電極および前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する第１導線を網目状に配置することによって構成されており、
前記第２電極および前記第２ダミー部は、遮光性および導電性を有する第２導線を網目状に配置することによって構成されており、
前記第１電極を構成する前記第１導線と前記第１ダミー部を構成する前記第１導線との間、または、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間、のうち、少なくとも前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間には、隣接する前記第１導線を電気的に絶縁するための複数の第１分断部が設けられており、
前記導電性パターン基板の一方の側から見た場合に、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間の前記複数の第１分断部の少なくとも一部は、前記第２ダミー部を構成する前記第２導線と部分的に重なっている、導電性パターン基板。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、タッチパネルセンサに関する。また本発明は、タッチパネルセンサと保護カバーとを組み合わせることによって得られるタッチパネル装置に関する。また本発明は、導電性を有するパターンを備えた導電性パターン基板に関する。

【背景技術】

【0002】

今日、入力手段として、タッチパネル装置が広く用いられている。タッチパネル装置は一般に、タッチパネルセンサ、保護カバー、タッチパネルセンサ上への接触位置を検出する制御回路、配線およびＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）などを含んでいる。タッチパネル装置は、多くの場合、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等の表示装置が組み込まれた種々の装置等（例えば、券売機、ＡＴＭ装置、携帯電話、ゲーム機）に対する入力手段として、表示装置とともに用いられている。このような装置においては、タッチパネルセンサが表示装置の表示面上に配置されており、これによって、表示装置に対する極めて直接的な入力が可能になっている。タッチパネルセンサのうち表示装置の表示領域に対面する領域は透明になっており、タッチパネルセンサのこの領域が、接触位置（接近位置）を検出し得るアクティブエリアを構成するようになる。

【0003】

タッチパネルセンサとして、投影型容量結合方式のタッチパネルセンサが知られている。容量結合方式のタッチパネルセンサにおいては、位置を検知されるべき外部導体（典型的には、指）が誘電体を介してタッチパネルセンサに接触（接近）する際、新たに奇生容量が発生する。この奇生容量に起因する静電容量の変化に基づいて、タッチパネルセンサ上における外部導体の位置が検出される。このような投影型容量結合方式のタッチパネルセンサは例えば、ＰＥＴなどからなる基材と、基材の観察者側の面に設けられた複数の第１電極と、基材の表示装置側の面に設けられた複数の第２電極と、を備えている。第１電極および第２電極は、例えば、透光性および導電性を有する透明導電材料から構成される。

【0004】

また第１電極および第２電極の電気抵抗値を低くするため、第１電極および第２電極を構成する材料として、透明導電材料よりも高い導電性を有する銀や銅などの金属材料を用いることが提案されている。第１電極および第２電極が金属材料から構成される場合、第１電極および第２電極には、表示装置からの映像光を適切な比率で透過させるための開口部が形成されている。例えば第１電極および第２電極は、金属材料からなり、網目状に配置された導線によって構成されている。

【0005】

ところで、第１電極および第２電極が金属材料からなる導線によって構成される場合、金属材料が不透明であることに起因して第１電極および第２電極のパターンが観察者（ユーザー）に視認されてしまうことが考えられる。パターンが視認されることは、金属材料からなる導線がアクティブエリアに不均一に配置されている場合に特に生じやすくなる。このような課題を考慮し、例えば隣接する第１電極の間の領域に、第１電極を構成している導線と同一または同様の導線をダミーパターンとして網目状に配置し、これによって、導線の分布密度を均一化することが考えられる（例えば、特許文献１参照）。この場合、第１電極の領域とその他の領域との区別がつきにくくなり、このため、第１電極のパターンが視認されてしまうことを抑制することができる。このようなダミーパターンは、第１電極間の寄生容量を低下させるという効果をもたらすこともできる。隣接する第２電極の間の領域にも同様のダミーパターンが設けられてもよい。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１２−７９２３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

電極を構成する導線と、ダミーパターンを構成する導線との間には、両者の導通を防止するよう導線を分断する分断部が多数設けられる。また、ダミーパターンを構成する導線同士の間にも、すなわちダミーパターン内にも分断部が設けられることがある。ところで、分断部が形成された場所において、光は、導線によって遮蔽されることなくタッチパネルセンサを透過することができる。従って、分断部を設けることは、その分だけ光の透過率が局所的に上昇することを導く。一方、電極を構成する導線は、通常は一連のものとして構成されている。すなわち電極内には、分断部が設けられていない。従って、電極が設けられている領域における光の透過率は一般に、分断部を含む、例えばダミーパターンが設けられている領域における光の透過率よりも低くなる。両者の間での透過率の差が大きくなると、電極が観察者に視認されてしまうことになる。

【0008】

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、電極が設けられている領域における光の透過率と、分断部を含む領域における光の透過率との差が大きくなることを抑制することができるタッチパネルセンサを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

第１の本発明は、タッチパネルセンサであって、前記タッチパネルセンサの一方の側に設けられ、第１方向に延びる複数の第１電極と、前記タッチパネルセンサの一方の側において前記第１電極の間に設けられた複数の第１ダミー部と、前記タッチパネルセンサの他方の側に設けられ、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延びる複数の第２電極と、前記タッチパネルセンサの他方の側において前記第２電極の間に設けられた複数の第２ダミー部と、を備え、前記第１電極および前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する第１導線を網目状に配置することによって構成されており、前記第２電極および前記第２ダミー部は、遮光性および導電性を有する第２導線を網目状に配置することによって構成されており、前記第１電極を構成する前記第１導線と前記第１ダミー部を構成する前記第１導線との間、または、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間、の少なくともいずれか一方には、隣接する前記第１導線を電気的に絶縁するための複数の第１分断部が設けられており、前記タッチパネルセンサの一方の側から見た場合に、前記複数の第１分断部の少なくとも一部は、前記第２導線と部分的に重なっている、タッチパネルセンサである。

【0010】

第２の本発明は、タッチパネルセンサであって、第１方向に延びる複数の第１電極が設けられた第１の基材と、前記第１の基材において前記第１電極の間に設けられた複数の第１ダミー部と、前記第１の基材と向かい合うよう配置され、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延びる複数の第２電極が設けられた第２の基材と、前記第２の基材において前記第２電極の間に設けられた複数の第２ダミー部と、を備え、前記第１電極および前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する第１導線を網目状に配置することによって構成されており、前記第２電極および前記第２ダミー部は、遮光性および導電性を有する第２導線を網目状に配置することによって構成されており、前記第１電極を構成する前記第１導線と前記第１ダミー部を構成する前記第１導線との間、または、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間、の少なくともいずれか一方には、隣接する前記第１導線を電気的に絶縁するための複数の第１分断部が設けられており、前記タッチパネルセンサの一方の側から見た場合に、前記複数の第１分断部の少なくとも一部は、前記第２導線と部分的に重なっている、タッチパネルセンサである。

【0011】

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記第２電極を構成する前記第２導線と前記第２ダミー部を構成する前記第２導線との間、または、前記第２ダミー部を構成する前記第２導線同士の間、の少なくともいずれか一方には、隣接する前記第２導線を電気的に絶縁するための複数の第２分断部が設けられていてもよい。この場合、好ましくは、前記タッチパネルセンサの一方の側から見た場合に、前記複数の第２分断部の少なくとも一部は、前記第１導線と少なくとも部分的に重なっている。

【0012】

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間には、隣接する前記第１導線を電気的に絶縁するための前記複数の第１分断部が設けられており、前記第２ダミー部を構成する前記第２導線同士の間には、隣接する前記第２導線を電気的に絶縁するための前記複数の第２分断部が設けられていてもよい。この場合、好ましくは、前記第１ダミー部と前記第２ダミー部とが重なる領域には、前記第１分断部が前記第２導線と少なくとも部分的に重なっている部分、および、前記第２分断部が前記第１導線と少なくとも部分的に重なっている部分の両方が存在している。さらに好ましくは、前記第１分断部が前記第２導線と少なくとも部分的に重なっている部分、および、前記第２分断部が前記第１導線と少なくとも部分的に重なっている部分は、所定の方向に沿って交互に並んでいる。

【0013】

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記第１電極は、前記第１方向に沿って並べられた複数の第１膨出部と、隣接する２つの前記第１膨出部を接続する第１ライン部と、を含み、前記第２方向における前記第１膨出部の幅は、前記第２方向における前記第１ライン部の幅よりも大きくなっており、前記第２電極は、前記第２方向に沿って並べられた複数の第２膨出部と、隣接する２つの前記第２膨出部を接続する第２ライン部と、を含み、前記第１方向における前記第２膨出部の幅は、前記第１方向における前記第２ライン部の幅よりも大きくなっており、前記タッチパネルセンサの一方の側から見た場合の、前記第１膨出部と前記第２膨出部との間の間隔が、１ｍｍ以下になっていてもよい。

【0014】

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記複数の第１導線は、複数の第１導線が互いに交わることによって形成される複数の交点が不規則に並ぶよう配置されており、前記複数の第２導線は、複数の第２導線が互いに交わることによって形成される複数の交点が不規則に並ぶよう配置されていてもよい。

【0015】

第３の本発明は、上記記載のタッチパネルセンサと、タッチパネルセンサの観察者側に配置された保護カバーと、を備えるタッチパネル装置であって、前記保護カバーは、ガラス又は合成樹脂から構成されている、タッチパネル装置である。

【0016】

第４の本発明は、導電性パターン基板であって、前記導電性パターン基板の一方の側に設けられ、第１方向に延びる複数の第１電極と、前記導電性パターン基板の一方の側において前記第１電極の間に設けられた複数の第１ダミー部と、前記導電性パターン基板の他方の側に設けられ、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延びる複数の第２電極と、前記導電性パターン基板の他方の側において前記第２電極の間に設けられた複数の第２ダミー部と、を備え、前記第１電極および前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する第１導線を網目状に配置することによって構成されており、前記第２電極および前記第２ダミー部は、遮光性および導電性を有する第２導線を網目状に配置することによって構成されており、前記第１電極を構成する前記第１導線と前記第１ダミー部を構成する前記第１導線との間、または、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間、の少なくともいずれか一方には、隣接する前記第１導線を電気的に絶縁するための複数の第１分断部が設けられており、前記導電性パターン基板の一方の側から見た場合に、前記複数の第１分断部の少なくとも一部は、前記第２導線と部分的に重なっている、導電性パターン基板である。

【0017】

第５の本発明は、導電性パターン基板であって、第１方向に延びる複数の第１電極が設けられた第１の基材と、前記第１の基材において前記第１電極の間に設けられた複数の第１ダミー部と、前記第１の基材と向かい合うよう配置され、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延びる複数の第２電極が設けられた第２の基材と、前記第２の基材において前記第２電極の間に設けられた複数の第２ダミー部と、を備え、前記第１電極および前記第１ダミー部は、遮光性および導電性を有する第１導線を網目状に配置することによって構成されており、前記第２電極および前記第２ダミー部は、遮光性および導電性を有する第２導線を網目状に配置することによって構成されており、前記第１電極を構成する前記第１導線と前記第１ダミー部を構成する前記第１導線との間、または、前記第１ダミー部を構成する前記第１導線同士の間、の少なくともいずれか一方には、隣接する前記第１導線を電気的に絶縁するための複数の第１分断部が設けられており、前記導電性パターン基板の一方の側から見た場合に、前記複数の第１分断部の少なくとも一部は、前記第２導線と部分的に重なっている、導電性パターン基板である。

【発明の効果】

【0018】

本発明において、タッチパネルセンサまたは導電性パターン基板の一方の側に設けられる第１電極および第１ダミー部はいずれも、遮光性および導電性を有する第１導線を網目状に配置することによって構成されている。また、タッチパネルセンサまたは導電性パターン基板の他方の側に設けられる第２電極および第２ダミー部はいずれも、遮光性および導電性を有する第２導線を網目状に配置することによって構成されている。また、第１電極を構成する第１導線と第１ダミー部を構成する第１導線との間、または、第１ダミー部を構成する第１導線同士の間、の少なくともいずれか一方には、隣接する第１導線を電気的に絶縁するための複数の第１分断部が設けられている。そして、タッチパネルセンサまたは導電性パターン基板の一方の側から見た場合に、複数の第１分断部の少なくとも一部が、第２導線と少なくとも部分的に重なるよう、第１導線および第２導線が配置されている。この場合、第１分断部が設けられている領域において、光は、少なくとも部分的に第２導線によって遮蔽されることになる。このため、第１分断部を設けることに起因する光の透過率の上昇の程度を小さくすることができる。従って、電極が設けられている領域における光の透過率と、分断部を含む領域における光の透過率との差が大きくなることを抑制することができる。このことにより、電極が観察者に視認されてしまうことを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】図１は、本発明の第１の実施の形態におけるタッチ位置検出機能付き表示装置を示す展開図。

【図2】図２は、図１のタッチ位置検出機能付き表示装置におけるタッチパネルセンサを示す平面図。

【図3A】図３Ａは、第１電極および第１ダミー部を拡大して示す平面図。

【図3B】図３Ｂは、図３Ａにおいて符号IIIBが付された二点鎖線で囲まれた部分における第１電極および第１ダミー部をさらに拡大して示す平面図。

【図4A】図４Ａは、第２電極および第２ダミー部を拡大して示す平面図。

【図4B】図４Ｂは、図４Ａにおいて符号IVBが付された二点鎖線で囲まれた部分における第２電極および第２ダミー部をさらに拡大して示す平面図。

【図5A】図５Ａは、図３Ａに示す第１電極および第１ダミー部並びに図４Ａに示す第２電極および第２ダミー部を重ねて示す平面図。

【図5B】図５Ｂは、図５Ａにおいて符号VBが付された二点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す平面図。

【図6】図６は、タッチパネルセンサを図５ＢのVI線に沿って切断した場合を示す断面図。

【図7】図７は、タッチパネルセンサを図５ＢのVII線に沿って切断した場合を示す断面図。

【図8】図８（ａ）〜（ｅ）は、タッチパネルセンサの製造方法を説明するための図。

【図9】図９（ａ）は、第１感光層を露光するための第１露光マスクのパターンの一例を示す平面図、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示す第１露光マスクを用いた露光によってパターニングされた第１感光層をレジストとして第１金属層をエッチングすることによって得られる第１導線のパターンの一例を示す平面図。

【図10】図１０（ａ）は、第１感光層を露光するための第１露光マスクのパターンの好ましい一例を示す平面図、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示す第１露光マスクを用いた露光によってパターニングされた第１感光層をレジストとして第１金属層をエッチングすることによって得られる第１導線のパターンの一例を示す平面図。

【図11】図１１は、導線のパターンの一変形例を示す平面図。

【図12A】図１２Ａは、タッチパネルセンサの層構成の一変形例を示す断面図。

【図12B】図１２Ｂは、図１２Ａに示すタッチパネルセンサの貼り合わせの形態の一変形例を示す断面図。

【図12C】図１２Ｃは、図１２Ａに示すタッチパネルセンサの貼り合わせの形態の一変形例を示す断面図。

【図13】図１３は、タッチパネルセンサの電極の一変形例を示す平面図。

【発明を実施するための形態】

【0020】

第１の実施の形態
以下、図１乃至図８（ａ）〜（ｅ）を参照して、本発明の第１の実施の形態の一例について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

【0021】

タッチパネル装置およびタッチ位置検出機能付き表示装置
はじめに図１を参照して、タッチ位置検出機能付き表示装置１０について説明する。図１に示すように、タッチ位置検出機能付き表示装置１０は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示装置１５と、表示装置１５の観察者側に配置されたタッチパネルセンサ３０と、タッチパネルセンサ３０の観察者側に配置された保護カバー１２と、を組み合わせることによって構成されている。表示装置１５は、表示面１６ａを有する表示パネル１６と、表示パネル１６に接続された表示制御部（図示せず）と、を有している。表示パネル１６は、映像を表示することができる矩形状のアクティブエリアＡ１と、アクティブエリアＡ１を取り囲むようにしてアクティブエリアＡ１の外側に配置された非アクティブエリア（額縁領域とも呼ばれる）Ａ２と、を含んでいる。表示制御部は、表示されるべき映像に関する情報を処理し、映像情報に基づいて表示パネル１６を駆動する。表示パネル１６は、表示制御部の制御信号に基づいて、所定の映像を表示面１６ａに表示する。すなわち、表示装置１５は、文字や図等の情報を映像として出力する出力装置としての役割を担っている。

【0022】

タッチパネルセンサ３０は、表示装置１５の表示面１６ａに、例えば接着層（図示せず）を介して接着されている。同様に、保護カバー１２も、接着層（図示せず）などを介してタッチパネルセンサ３０に接着されている。図１において、タッチパネルセンサ３０のうち観察者側に位置する面に符号３０ａが付され、表示装置１５側に位置する面に符号３０ｂが付されている。タッチパネルセンサ３０および保護カバー１２の組み合わせによって、タッチパネル装置２０が構成されている。

【0023】

タッチパネルセンサ
次に図２を参照して、タッチパネルセンサ３０について説明する。図２は、観察者側から見た場合のタッチパネルセンサ３０を示す平面図である。

【0024】

ここでは、タッチパネルセンサ３０が、投影型の静電容量結合方式のタッチパネルセンサとして構成される例について説明する。なお、「容量結合」方式は、タッチパネルの技術分野において「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等とも呼ばれており、本件では、これらの「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等と同義の用語として取り扱う。典型的な静電容量結合方式のタッチパネルセンサは、透光性を有する導電性のパターンを有しており、外部の導体（典型的には人間の指）がタッチパネルセンサに接近することにより、外部の導体とタッチパネルセンサの導電性のパターンとの間でコンデンサ（静電容量）が形成される。そして、このコンデンサの形成に伴った電気的な状態の変化に基づき、タッチパネルセンサ上において外部導体が接近している位置の位置座標が特定される。なお本実施の形態によるタッチパネルセンサ３０において採用されている、後述する技術思想は、自己容量方式または相互容量方式のいずれにも対応可能である。

【0025】

（第１電極および第２電極）
図２に示すように、タッチパネルセンサ３０は、タッチパネルセンサ３０の一方の側（観察者側）に設けられ、第１方向Ｄ１に延びる複数の第１電極４１と、タッチパネルセンサ３０の他方の側（表示装置１５側）に設けられ、第１方向Ｄ１と交差する第２方向Ｄ２に沿って延びる複数の第２電極４６と、を備えている。なお図２においては図示を省略しているが、タッチパネルセンサ３０は、タッチパネルセンサ３０の一方の側において第１電極４１の間に設けられた複数の第１ダミー部４２と、タッチパネルセンサ３０の他方の側において第２電極４６の間に設けられた複数の第２ダミー部４７と、をさらに備えている。本実施の形態において、第１電極４１および第１ダミー部４２は、基材３２の第１面（観察者側の面）３２ａ上に設けられている。また第２電極４６および第２ダミー部４７は、基材３２の第２面（表示装置１５側の面）３２ｂ上に設けられている。なお図２においては、基材３２の第１面３２ａ側に設けられている構成要素が実線で表され、基材３２の第２面３２ｂ側に設けられている構成要素が点線で表されている。後述するように、第１電極４１、第１ダミー部４２、第２電極４６および第２ダミー部４７はいずれも、金属材料を含む導線によって構成されている。

【0026】

相互容量方式が採用される場合、第１電極４１および第２電極４６の一方が駆動電極になり、他方が、駆動電極からの信号電圧が印加される検出電極となる。例えば、タッチパネルセンサ３０の観察者側に設けられた第１電極４１が検出電極になり、タッチパネルセンサ３０の表示装置１５側に設けられた第２電極４６が駆動電極になる。

【0027】

第１電極４１は、第１方向Ｄ１に沿って並べられた複数の第１膨出部４１ａと、隣接する２つの第１膨出部４１ａを接続するよう第１方向Ｄ１に延びる第１ライン部４１ｂと、を含んでいる。第１膨出部４１ａとは、第１方向Ｄ１と交差する第２方向Ｄ２における寸法が、第２方向Ｄ２における第１ライン部４１ｂの寸法よりも大きくなっている部分のことである。また第２電極４６は、第２方向Ｄ２に沿って並べられた複数の第２膨出部４６ａと、隣接する２つの第２膨出部４６ａを接続するよう第２方向Ｄ２に延びる第２ライン部４６ｂと、を含んでいる。第２膨出部４６ａとは、第２方向Ｄ２と交差する第１方向Ｄ１における寸法が、第１方向Ｄ１における第２ライン部４６ｂの寸法よりも大きくなっている部分のことである。

【0028】

図２に示すように、タッチパネルセンサ３０は、タッチ位置を検出され得る領域に対応する矩形状のアクティブエリアＡａ１と、アクティブエリアＡａ１の周辺に位置する矩形枠状の非アクティブエリアＡａ２と、を含んでいる。アクティブエリアＡａ１および非アクティブエリアＡａ２はそれぞれ、表示パネル１６のアクティブエリアＡ１および非アクティブエリアＡ２に対応して区画されたものである。

【0029】

上述の第１電極４１、第１ダミー部４２、第２電極４６および第２ダミー部４７は、アクティブエリアＡａ１内に配置されている。また非アクティブエリアＡａ２のうち基材３２の第１面３２ａ上には、各第１電極４１に電気的に接続された複数の第１額縁配線４３と、基材３２の外縁近傍に配置され、各第１額縁配線４３に電気的に接続された複数の第１端子部４４と、が設けられている。さらに、非アクティブエリアＡａ２のうち基材３２の第２面３２ｂ上には、各第２電極４６に電気的に接続された複数の第２額縁配線４８と、基材３２の外縁近傍に配置され、各第２額縁配線４８に電気的に接続された複数の第２端子部４９と、が設けられている。

【0030】

信号を適切に伝達することができる限りにおいて、第１額縁配線４３および第１端子部４４並びに第２額縁配線４８および第２端子部４９の具体的な構成が特に限られることはない。例えば第１額縁配線４３および第１端子部４４は、第１電極４１や第１ダミー部４２を構成する後述する第１導線５１と同一の層構成で第１導線５１と同時に形成されるものであってもよい。同様に、第２額縁配線４８および第２端子部４９は、第２電極４６や第２ダミー部４７を構成する後述する第２導線５６と同一の層構成で第２導線５６と同時に形成されるものであってもよい。

【0031】

（基材）
基材３２を構成する材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）やガラスなど、十分な透光性を有する材料が用いられる。基材３２が例えばＰＥＴを含む場合、ＰＥＴの厚みは例えば１００〜２００μｍの範囲内になっている。なお電極４１，４６やダミー部４２，４７を適切に保持することができる限りにおいて、基材３２の具体的な構成が特に限られることはない。例えば、ＰＥＴ層などの表面に設けられたハードコート層がさらに基材３２に含まれていてもよい。すなわち本実施の形態において、基材３２とは、何らかの具体的な構造や材料を意味するものではなく、タッチパネルセンサ３０を構成する第１電極４１や第２電極４６などのパターンの下地となるものを意味するに過ぎない。

【0032】

（保護カバー）
保護カバー１２は、表示装置１５やタッチパネルセンサ３０を保護するためのものである。保護カバー１２を構成する材料としては、ガラスを用いてもよく、若しくは、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂などの合成樹脂やそれらの積層体を用いてもよい。ガラスは、合成樹脂に比べて高い比誘電率を有しており、このため、合成樹脂が用いられる場合に比べてタッチパネル装置２０の検出感度を高くすることができる。一方、合成樹脂は、ガラスに比べて低い温度で成形され得る。このため、合成樹脂を用いて保護カバー１２を作製することにより、様々な形状を容易に保護カバー１２に持たせることができる。例えば図１に示すように、合成樹脂によって構成された保護カバー１２に湾曲面１３ａを設けることが容易に可能になる。

【0033】

（第１電極および第１ダミー部の詳細について）
次に図３Ａおよび図３Ｂを参照して、第１電極４１および第１ダミー部４２について説明する。図３Ａは、タッチパネルセンサ３０の一方の側から見た場合の第１電極４１および第１ダミー部４２を拡大して示す平面図であり、図３Ｂは、図３Ａにおいて符号IIIBが付された二点鎖線で囲まれた部分における第１電極４１および第１ダミー部４２をさらに拡大して示す平面図である。

【0034】

第１電極４１および第１ダミー部４２は、遮光性および導電性を有する第１導線５１を、各第１導線５１の間に開口部５２が形成されるよう網目状に配置することによって構成されている。第１導線５１は、後述するように、金属材料からなる第１金属層６１を含んでいる。第１導線５１に含まれる金属材料としては、例えば、銀、銅、アルミニウムまたはこれらの合金等を挙げることができる。

【0035】

第１電極４１や第１ダミー部４２が広がる領域の面積のうち開口部５２によって占められる面積の比率（以下、開口率と称する）が十分に高くなり、これによって、表示装置１５からの映像光が適切な透過率でタッチパネルセンサ３０のアクティブエリアＡａ１を透過することができる限りにおいて、第１導線５１の寸法や形状が特に限られることはない。例えば第１電極４１および第１ダミー部４２は、開口部５２の形状が菱形の形状になるように複数の第１導線５１を配置することによって構成されている。本実施の形態においては、菱形の内角のうち鋭角になる内角が第１方向Ｄ１に沿って並ぶよう、第１導線５１が構成されている。開口率の範囲は、表示装置から放出される映像光の特性などに応じて適宜設定される。

【0036】

第１導線５１の線幅は、求められる開口率などに応じて設定されるが、例えば第１導線５１の幅は１〜１０μｍの範囲内、より好ましくは２〜７μｍの範囲内に設定されている。これによって、観察者が視認する映像に対して第１導線５１が及ぼす影響を、無視可能な程度まで低くすることができる。第１導線５１の厚みは、第１電極４１に対して求められる電気抵抗値などに応じて適宜設定されるが、例えば０．１〜０．５μｍの範囲内となっている。

【0037】

図３Ａおよび図３Ｂに示すように、第１電極４１を構成する第１導線５１と第１ダミー部４２を構成する第１導線５１との間には、複数の第１分断部５３が設けられている。このような第１分断部５３を設けることにより、第１電極４１と第１ダミー部４２との間を電気的に絶縁することができる。通常は、１つの第１分断部５３を挟んで隣接する２つの第１導線５１の一方を延長すると他方の第１導線５１に重なるよう、第１分断部５３および第１導線５１が構成されている。第１導線５１が延びる方向における第１分断部５３の寸法は、例えば１〜５００μｍの範囲内に設定される。

【0038】

第１電極４１と第１ダミー部４２との間の境界部の形状、すなわち第１電極４１の輪郭は、第１電極４１と第１ダミー部４２との間の第１分断部５３の配置によって画定される。図３Ａおよび図３Ｂにおいて、タッチパネルセンサ３０の一方の側からタッチパネルセンサ３０を見た場合における、すなわち平面視における第１電極４１の輪郭が、符号Ｂ１が付された一点鎖線によって示されている。

【0039】

また図３Ｂに示すように、第１ダミー部４２を構成する第１導線５１同士の間にも、複数の第１分断部５３が設けられていてもよい。なお図３Ａにおいては、第１ダミー部４２内の第１分断部５３が便宜上省略されている。

【0040】

（第２電極および第２ダミー部の詳細について）
次に図４Ａおよび図４Ｂを参照して、第２電極４６および第２ダミー部４７について説明する。図４Ａは、タッチパネルセンサ３０の一方の側から見た場合の第２電極４６および第２ダミー部４７を拡大して示す平面図であり、図４Ｂは、図４Ａにおいて符号IVBが付された二点鎖線で囲まれた部分における第２電極４６および第２ダミー部４７をさらに拡大して示す平面図である。

【0041】

第１電極４１および第１ダミー部４２の場合と同様に、第２電極４６および第２ダミー部４７は、遮光性および導電性を有する第２導線５６を、各第２導線５６の間に開口部５７が形成されるよう網目状に配置することによって構成されている。第２導線５６は、後述するように、金属材料からなる第２金属層６６を含んでいる。第２導線５６に含まれる金属材料としては、第１導線５１の場合と同様に、例えば、銀、銅、アルミニウムまたはこれらの合金等を挙げることができる。

【0042】

第１導線５１の場合と同様に、第２導線５６の寸法や形状が特に限られることはない。ここでは、第２電極４６および第２ダミー部４７が、開口部５７の形状が菱形の形状になるように複数の第２導線５６を配置することによって構成される例が示されている。具体的には、菱形の内角のうち鈍角になる内角が第２方向Ｄ２に沿って並ぶよう、第２導線５６が構成されている。

【0043】

第２導線５６の線幅や厚みは、第１導線５１と同等に設定されてもよく、若しくは、第１導線５１とは異なるように設定されてもよい。

【0044】

図４Ａおよび図４Ｂに示すように、第２電極４６を構成する第２導線５６と第２ダミー部４７を構成する第２導線５６との間には、複数の第２分断部５８が設けられている。このような第２分断部５８を設けることにより、第２電極４６と第２ダミー部４７との間を電気的に絶縁することができる。通常は、１つの第２分断部５８を挟んで隣接する２つの第２導線５６の一方を延長すると他方の第２導線５６に重なるよう、第２分断部５８および第２導線５６が構成されている。第２導線５６が延びる方向における第２分断部５８の寸法は、例えば１〜５００μｍの範囲内に設定される。

【0045】

第２電極４６と第２ダミー部４７との間の境界部の形状、すなわち第２電極４６の輪郭は、第２電極４６と第２ダミー部４７との間の第２分断部５８の配置によって画定される。図４Ａおよび図４Ｂにおいて、平面視における第２電極４６の輪郭が、符号Ｂ２が付された一点鎖線によって示されている。

【0046】

また図４Ｂに示すように、第１ダミー部４２を構成する第２導線５６同士の間にも、複数の第２分断部５８が設けられていてもよい。なお図４Ａにおいては、第２ダミー部４７内の第２分断部５８が便宜上省略されている。

【0047】

図５Ａは、図３Ａに示す第１電極４１および第１ダミー部４２並びに図４Ａに示す第２電極４６および第２ダミー部４７を重ねて示す平面図である。また図５Ｂは、図５Ａにおいて符号VBが付された二点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す平面図である。なお図５Ａおよび図５Ｂにおいては、便宜上、タッチパネルセンサ３０の一方の側に設けられている、第１電極４１や第１ダミー部４２などの構成要素が、タッチパネルセンサ３０の他方の側に設けられている、第２電極４６や第２ダミー部４７などの構成要素よりも太い線で表されている。ここでは、図５Ａおよび図５Ｂに示すように、第１導線５１同士の交点５１ａと第２導線５６同士の交点５６ａとが互いに重ならないように第１導線５１および第２導線５６が配置されている例が示されている。

【0048】

ところで、第１分断部５３または第２分断部５８が形成された場所においては、光は、第１導線５１または第２導線５６によって遮蔽されることなくタッチパネルセンサ３０を透過することができる。従って、第１分断部５３や第２分断部５８が無秩序に配置される場合、第１分断部５３や第２分断部５８によって占められる領域の面積の分だけ、分断部５３，５８を含まない、電極４１，４６が設けられている領域における光の透過率と、分断部５３，５８を含む、ダミー部４２，４７が設けられている領域における光の透過率との差が大きくなってしまう。

【0049】

例えば、タッチパネルセンサ３０のアクティブエリアＡａ１を、平面視において第１電極４１と第２電極４６とが重なる領域（以下、第１領域とも称する）、平面視において第１電極４１と第２ダミー部４７とが重なる領域または第２電極４６と第１ダミー部４２とが重なる領域（以下、第２領域とも称する）、および、平面視において第１ダミー部４２と第２ダミー部４７とが重なる領域（以下、第３領域とも称する）に分類して考える。この場合、第１領域においては、タッチパネルセンサ３０の一方の側および他方の側のいずれにも分断部５３，５８が存在しない。一方、第２領域においては、タッチパネルセンサ３０の一方の側および他方の側のいずれか一方に分断部５３，５８が存在する。また第３領域においては、タッチパネルセンサ３０の一方の側および他方の側の両方に分断部５３，５８が存在する。従って、第１分断部５３や第２分断部５８の位置が無秩序に設定される場合、第１領域における光の透過率Ｔ１、第２領域における光の透過率Ｔ２および第３領域における光の透過率Ｔ３は、Ｔ１＜Ｔ２＜Ｔ３という関係を示すようになる。例えば、第１導線５１および第２導線５６の開口率が９５％であり、基材３２における光の透過率が１００％であると仮定する場合、Ｔ１＝９５％、Ｔ２＝９６％、Ｔ３＝９７％というような透過率の分布になり得る。この場合、第１領域、第２領域および第３領域は、観察者によって比較的に容易に識別され得る。

【0050】

また、保護カバー１２を構成する材料として上述のように合成樹脂が用いられる場合、合成樹脂の比誘電率がガラスに比べて低いため、その分だけタッチパネル装置２０の検出感度が低下してしまう。このような問題を解決する方法の１つとして、平面視における第１電極４１と第２電極４６との間の間隔ｄを大きくすることが考えられる。なぜなら、間隔ｄを大きくすることにより、第１電極４１から第２電極４６に至る電気力線の経路がより観察者側にまで広がるようにすることができ、これによって、外部導体の接近や接触をより精度良く検出できるようになるからである。間隔ｄは、保護カバー１２を構成する材料の比誘電率や保護カバー１２の厚みに応じて適宜設定されるが、例えば０．１〜１ｍｍの範囲内に設定される。
一方、平面視において第１電極４１と第２電極４６との間に位置することになる領域は、第１ダミー部４２と第２ダミー部４７とが重なる上述の第３領域である。従って、間隔ｄが大きくなることは、アクティブエリアＡａ１における上述の第３領域の面積の比率がより大きくなることを意味している。このことは、第１領域、すなわち電極４１，４６が観察者により視認され易くなってしまうことを導く可能性がある。

【0051】

このような課題を考慮し、本件発明者は、タッチパネルセンサ３０の一方の側から見た場合に、各第１分断部５３が第２導線５６に少なくとも部分的に重なり、各第２分断部５８が第１導線５１に少なくとも部分的に重なるよう、第１導線５１および第１分断部５３並びに第２導線５６および第２分断部５８を配置することを提案する。図６は、タッチパネルセンサ３０を図５ＢのVI線に沿って切断した場合を示す断面図であり、図７は、タッチパネルセンサ３０を図５ＢのVII線に沿って切断した場合を示す断面図である。図６には、基材３２の法線方向に沿って一方の側からタッチパネルセンサ３０を見た場合に、各第１分断部５３が第２導線５６に少なくとも部分的に重なっている様子が示されている。図７には、基材３２の法線方向に沿って一方の側からタッチパネルセンサ３０を見た場合に、各第２分断部５８が第１導線５１に少なくとも部分的に重なっている様子が示されている。

【0052】

本実施の形態によれば、第１分断部５３が設けられている領域において、光は、少なくとも部分的に第２導線５６によって遮蔽されることになる。同様に、第２分断部５８が設けられている領域において、光は、少なくとも部分的に第１導線５１によって遮蔽されることになる。このため、第１分断部５３または第２分断部５８が設けられている上述の第２領域や第３領域における光の透過率Ｔ２，Ｔ３と、第１分断部５３および第２分断部５８が存在しない上述の第１領域における光の透過率Ｔ１との差が大きくなってしまうことを抑制することができる。このことにより、電極４１，４６が観察者に視認されてしまうことを抑制することができる。また、第３領域における光の透過率Ｔ３と第１領域における光の透過率Ｔ１との差を小さくすることができるので、比誘電率の低い合成樹脂を含む保護カバー１２が用いられる場合に、タッチパネル装置２０の検出感度向上という目的を重視して第１電極４１と第２電極４６との間の間隔ｄを大きく設定する、という構成を採用することが可能になる。従って、電極４１，４６が視認されることが抑制され、かつ十分な検出感度が達成されたタッチパネル装置２０を提供することができる。

【0053】

好ましくは、平面視において第１ダミー部４２と第２ダミー部４７とが重なる上述の第３領域には、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なっている部分、および、第２分断部５８が第１導線５１と少なくとも部分的に重なっている部分の両方が存在している。これによって、第１領域における光の透過率Ｔ１と第３領域における光の透過率Ｔ３との差をより小さくすることができる。

【0054】

また好ましくは、平面視において第１ダミー部４２と第２ダミー部４７とが重なる上述の第３領域には、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なっている部分、および、第２分断部５８が第１導線５１と少なくとも部分的に重なっている部分が、所定の方向に沿って交互に並ぶようになっている。例えば図５Ｂにおいては、第３領域において、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なっている部分、および、第２分断部５８が第１導線５１と少なくとも部分的に重なっている部分が、第２方向Ｄ２に平行な矢印Ｌ２で示す方向に沿って交互に並んでいる様子が示されている。このように第１分断部５３と第２分断部５８とが交互に並ぶようにすることによって、第３領域における透過率の分布をより均一化することができ、これによって、タッチパネルセンサ３０の意匠性をより向上させることができる。

【0055】

タッチパネルセンサの製造方法
次に、以上のような構成からなるタッチパネルセンサ３０を製造する方法について、図８（ａ）〜（ｅ）を参照して説明する。

【0056】

はじめに図８（ａ）に示すように、タッチパネルセンサ３０を作製するための元材としての積層体６０（ブランクとも呼ばれる）を準備する。積層体６０は、基材３２と、基材３２の第１面３２ａ上に設けられ、遮光性および導電性を有する第１金属層６１と、基材３２の第２面３２ｂ上に設けられ、遮光性および導電性を有する第２金属層６６と、を備えている。基材３２の各面３２ａ，３２ｂ上に金属層６１，６６を設ける方法が特に限られることはなく、蒸着法やスパッタリング法などの公知の方法が適宜用いられ得る。

【0057】

次に図８（ｂ）に示すように、第１金属層６１上に第１感光層７１を設け、かつ、第２金属層６６上に第２感光層７６を設ける。第１感光層７１および第２感光層７６は、特定波長域の光、例えば紫外線に対する感光性を有している。感光層７１，７６のタイプが特に限られることはない。例えば光硬化型の感光層が用いられてもよく、若しくは光硬化型の感光層が用いられてもよい。ここでは、光溶解型の感光層が用いられる例について説明する。第１金属層６１上および第２金属層６６上に第１感光層７１および第２感光層７６を設ける方法としては、例えば、ドライフィルムレジストを第１金属層６１上および第２金属層６６上にそれぞれ貼付するという方法や、感光材を第１金属層６１上および第２金属層６６上にそれぞれ塗布するという方法を採用することができる。

【0058】

（露光工程）
その後、図８（ｂ）に示すように、所定のパターンで遮光部７２ａおよび開口部７２ｂが形成された第１露光マスク７２を第１感光層７１の近傍に設置し、かつ、所定のパターンで遮光部７７ａおよび開口部７７ｂが形成された第２露光マスク７７を第２感光層７６の近傍に設置する。第１露光マスク７２の遮光部７２ａのパターンは、開口部５２および第１分断部５３のパターンに対応しており、第１露光マスク７２の開口部７２ｂのパターンは、第１導線５１のパターンに対応している。また第２露光マスク７７の遮光部７７ａのパターンは、開口部５７および第２分断部５８のパターンに対応しており、第２露光マスク７７の開口部７７ｂのパターンは、第２導線５６のパターンに対応している。次に、第１露光マスク７２に対する第２露光マスク７７の相対位置を調整する。例えば、第１露光マスク７２または第２露光マスク７７のいずれか一方の露光マスクに形成されているアライメントマークを基準として、他方の露光マスクの位置を調整する。若しくは、基材３２などに設けられている同一のアライメントマークを共通に用いて、第１露光マスク７２および第２露光マスク７７の位置を調整する。これによって、第１露光マスク７２に対して高い位置精度で第２露光マスク７７を配置することができる。その後、第１露光マスク７２を介して第１感光層７１に所定のパターンで露光光を照射し、かつ、第２露光マスク７７を介して第２感光層７６に所定のパターンで露光光を照射する露光工程を実施する。なお、第１感光層７１に対する露光光の照射と、第２感光層７６に対する露光光の照射は、同時に実施されてもよく、異なるタイミングで実施されてもよい。

【0059】

（現像工程）
次に、第１感光層７１および第２感光層７６を現像する。これによって、図８（ｃ）に示すように、パターニングされた第１感光層７１および第２感光層７６を得ることができる。

【0060】

（エッチング工程）
その後、図８（ｄ）に示すように、第１感光層７１をレジストとして第１金属層６１をウェットエッチングする。これによって、電極４１および第１ダミー部４２の第１導線５１に対応するパターンで第１金属層６１をパターニングすることができる。また、第２感光層７６をレジストとして第２金属層６６をウェットエッチングする。これによって、第２電極４６および第２ダミー部４７の第２導線５６に対応するパターンで第２金属層６６をパターニングすることができる。次に、図８（ｅ）に示すように、感光層７１，７６を除去する。このようにして、上述のタッチパネルセンサ３０を得ることができる。

【0061】

なお図示はしないが、第１導線５１および第２導線５６には、第１導線５１および第２導線５６による光の反射を抑制するための低反射処理が施されていてもよい。例えば第１導線５１の表面には、黒化処理が施されていてもよい。また、第２導線５６は、金属材料からなる層に加えて、金属材料からなる層と基材３２の第２面３２ｂとの間に設けられた低反射層をさらに含んでいてもよい。

【0062】

本実施の形態によれば、タッチパネルセンサ３０の一方の側から見た場合に、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なり、かつ第２分断部５８が第１導線５１と少なくとも部分的に重なるよう、第１導線５１および第２導線５６が配置されている。このため、分断部５３，５８を設けることに起因する光の透過率の上昇の程度を小さくすることができる。従って、分断部５３，５８を含まない領域における光の透過率と、分断部５３，５８を含む領域における光の透過率との差が大きくなることを抑制することができる。このことにより、電極４１，４６が観察者に視認されてしまうことを抑制することができる。

【0063】

また本実施の形態によれば、露光工程において、第１露光マスク７２に対する第２露光マスク７７の相対位置が調整される。このため、基材３２の第１面３２ａ側に設けられる第１導線５１や第１分断部５３に対する、基材３２の第２面３２ｂ側に設けられる第２導線５６や第２分断部５８の相対的な位置精度を高めることができる。従って、第１分断部５３と第２導線５６とを精度良く重ねることができ、また、第２分断部５８と第１導線５１とを精度良く重ねることができる。このことにより、分断部５３，５８を設けることに起因する光の透過率の上昇の程度をより小さくすることができる。

【0064】

第２の実施の形態
次に図９および図１０を参照して、本発明の第２の実施の形態について説明する。ここでは、ウェットエッチングによって金属層６１，６６をパターニングして導線５１，５６を作製する場合に金属層６１，６６上に形成される感光層７１，７６を露光するための露光マスク７２，７７の具体的なパターンの例について説明する。本実施の形態において、図１乃至図８に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。また、第１の実施の形態において得られる作用効果が本実施の形態においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。

【0065】

図９（ａ）は、第１感光層７１を露光するための第１露光マスク７２のパターンの一例を示す平面図である。ここでは、第１導線５１の交点５１ａとなる部分およびその周辺の部分に照射される露光光を生成するための第１露光マスク７２のパターンについて具体的に説明する。図９（ａ）に示すように、第１露光マスク７２は、第１導線５１に対応するパターンで線状に延びる複数の開口部７２ｂと、線状に延びる開口部７２ｂを画定するように広がる遮光部７２ａと、を含んでいる。図９（ａ）において、異なる方向に線状に延びる開口部７２ｂが互いに接続される部分（以下、接続部分とも称する）が符号７２ｋで表され、また線状に延びる開口部７２ｂの交点が符号７２ｃで表されている。図９（ａ）に示す例において、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂは、交点７２ｃからの距離に依らず同一の幅ｓを有している。

【0066】

図９（ｂ）は、図９（ａ）に示す第１露光マスク７２を用いて露光することにより得られた第１感光層７１をレジストとして第１金属層６１をウェットエッチングすることによって得られる第１導線５１のパターンの一例を示す平面図である。図９（ｂ）に示すように、異なる方向に延びる第１導線５１が互いに接続される接続部分５１ｋの形状は、第１露光マスク７２の対応する接続部分７２ｋの形状とは異なっている。具体的には、第１導線５１の接続部分５１ｋは、第１露光マスク７２の接続部分７２ｋよりも広がった形状を有している。このことは、第１露光マスク７２を用いて第１感光層７１を露光する際に、第１感光層７１の解像性の限界のため、接続部分７２ｋの形状が完全には第１感光層７１に反映されず、第１露光マスク７２の接続部分７２ｋに対応する第１感光層７１の接続部分の形状が、図９（ｂ）に示す第１導線５１の接続部分５１ｋのように鈍った形状になることに起因していると考えられる。また、第１金属層６１をウェットエッチングする際に、第１露光マスク７２の接続部分７２ｋに対応する第１感光層７１の接続部分のところにまでエッチング液が十分に侵入することができないことにも起因していると考えられる。接続部分５１ｋにおける第１金属層６１のエッチングが不完全なものであるため、図９（ｂ）に示すように、交点５１ａの近傍における第１導線５１の幅ｗ１が、交点５１ａから遠い部分における第１導線５１の幅ｗ２よりも大きくなってしまう。このことは、交点５１ａ近傍の領域における光の反射率が、交点５１ａから遠い領域における光の反射率よりも高くなり、この結果、交点５１ａが視認されやすくなる、ということを導く。すなわち、交点５１ａからの距離に応じて、光の反射率および透過率が局所的にばらついてしまうことが考えられる。

【0067】

このような課題を考慮すると、図１０（ａ）に示すようなパターンで第１露光マスク７２の接続部分７２ｋが形成されることが好ましいと考えらえる。図１０（ａ）に示す例において、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂのうち、接続部分７２ｋに接しているまたは接続部分７２ｋを含む部分（以下、第１部分とも称する）が符号７２ｘで表されている。また、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂのうち、第１部分７２ｘよりも交点７２ｃから遠位に設けられ、かつ第１部分７２ｘに接続されている部分（以下、第２部分とも称する）が符号７２ｙで表されている。また、第２部分７２ｙを交点７２ｃ近傍にまで仮想的に延長した場合の線が点線で表されている。図１０（ａ）に示すように、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂの第１部分７２ｘは、第２部分７２ｙを延長した点線よりも交点７２ｃ側に位置するよう設けられている。すなわち、第１露光マスク７２の遮光部７２ａは、図９（ａ）に示す場合に比べて、交点７２ｃに向かって突出している。この結果、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂの第１部分７２ｘの幅ｓ１は、第２部分７２ｙの幅ｓ２よりも小さくなっている。

【0068】

図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示す第１露光マスク７２を用いて露光することにより得られた第１感光層７１をレジストとして第１金属層６１をウェットエッチングすることによって得られる第１導線５１のパターンの一例を示す平面図である。上述のように、図１０（ａ）に示す例において、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂの第１部分７２ｘは、第２部分７２ｙを延長した点線よりも交点７２ｃ側に位置するよう設けられている。このことは、ウェットエッチングの際に、第２部分７２ｙを延長した仮想的な点線が互いに交わる部分に対応して除去された第１感光層７１の位置にまでエッチング液が侵入し易くなることを導く。このため図１０（ｂ）に示すように、交点５１ａ近傍の領域における第１導線５１の幅ｗ１が、交点５１ａから遠い領域における第１導線５１の幅ｗ２よりも大きくなってしまうことを抑制することができる。これによって、交点５１ａ近傍の領域における光の反射率が、交点５１ａから遠い領域における光の反射率よりも高くなってしまうことを抑制することができる。このことにより、交点５１ａが視認されることを抑制することができる。

【0069】

なお、第１露光マスク７２の接続部分７２ｋに対応して形成される第１感光層７１の接続部分にエッチング液が侵入し易くなるようにすることができる限りにおいて、第１露光マスク７２の線状に延びる開口部７２ｂの第１部分７２ｘの具体的な形状が特に限られることはなく、様々な形状が適宜採用され得る。また図示はしないが、第２露光マスク７７の線状に延びる開口部７７ｂも、第１露光マスク７２の場合と同様の第１部分および第２部分を有していてもよい。

【0070】

変形例
上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、いくつかの変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の各実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。また、上述した実施の形態において得られる作用効果が変形例においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。

【0071】

（第１の変形例）
上述の実施の形態の形態においては、第１導線５１および第２導線５６がそれぞれ規則的に配置される例を示した。具体的には、第１導線５１の複数の交点５１ａおよび第２導線５６の複数の交点５６ａがそれぞれ所定の方向に沿って周期的に並ぶよう、第１導線５１および第２導線５６が配置される例を示した。しかしながら、図１１に示すように、第１導線５１は、複数の交点５１ａが不規則に並ぶように配置されていてもよい。図１１に示すような第１導線５１のパターンは、例えば、はじめに、複数の交点５１ａがそれぞれ所定の方向に沿って周期的に並ぶように第１導線５１を配置し、次に、隣接する交点５１ａ間の距離よりも小さい距離だけ様々な方向で各交点５１ａをランダムに変位させることにより、作製され得る。複数の交点５１ａが不規則に並ぶように第１導線５１を配置することにより、例えば、モアレを低減するという効果が期待される。なお図示はしないが、第２導線５６も、第１導線５１の場合と同様に、複数の交点５６ａが不規則に並ぶように配置されていてもよい。

【0072】

図１１に示す本変形例においても、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なり、第２分断部５８が第１導線５１と少なくとも部分的に重なるよう、第１分断部５３の位置および第２分断部５８の位置を設定することにより、電極４１，４６が観察者に視認されてしまうことを抑制することができる。

【0073】

（第２の変形例）
また上述の実施の形態の形態においては、第１電極４１および第１ダミー部４２を構成する第１導線５１が、基材３２の第１面３２ａ上に設けられ、第２電極４６および第２ダミー部４７を構成する第２導線５６が、基材３２の第２面３２ｂ上に設けられる例を示した。しかしながら、タッチパネルセンサ３０の一方の側から見た場合に、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なり、第２分断部５８が第１導線５１と少なくとも部分的に重なることができる限りにおいて、タッチパネルセンサ３０の層構成が特に限られることはない。例えば図１２Ａに示すように、互いに対向する２つの基材３２Ａ，３２Ｂの対向面の一方（第１の基材３２Ａ）に第１導線５１を設け、他方（第２の基材３２Ｂ）に第２導線５６を設け、そして２つの基材３２を貼り合わせてもよい。このように２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼り合わせる場合であっても、第１導線５１によって、タッチパネルセンサ３０の一方の側に設けられる第１電極４１および第１ダミー部４２を構成することができ、また第２導線５６によって、タッチパネルセンサ３０の他方の側に設けられる第２電極４６および第２ダミー部４７を構成することができる。また、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なり、第２分断部５８（図示せず）が第１導線５１と少なくとも部分的に重なるよう、第１導線５１、第１分断部５３、第２導線５６および第２分断部５８を配置することにより、電極４１，４６が観察者に視認されてしまうことを抑制することができる。

【0074】

なお図１２Ａにおいては、第１の基材３２Ａのうち第１導線５１が設けられている面と、第２の基材３２Ｂのうち第２導線５６が設けられている面とが向かい合うように２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼りあわせ、これによって、タッチパネルセンサ３０の一方の側に設けられる第１導線５１の間の第１分断部５３が、タッチパネルセンサ３０の他方の側に設けられる第２導線５６と少なくとも部分的に重なる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図１２Ｂに示すように、第１の基材３２Ａのうち第１導線５１が設けられている面とは反対側の面と、第２の基材３２Ｂのうち第２導線５６が設けられている面とは反対側の面とが向かい合うように、２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼りあわせてもよい。その他にも、図１２Ｃに示すように、第１の基材３２Ａのうち第１導線５１が設けられている面とは反対側の面と、第２の基材３２Ｂのうち第２導線５６が設けられている面とが向かい合うように、２つの基材３２Ａ，３２Ｂを貼りあわせてもよい。これらの場合であっても、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なり、第２分断部５８（図示せず）が第１導線５１と少なくとも部分的に重なるよう、第１導線５１、第１分断部５３、第２導線５６および第２分断部５８を配置することにより、電極４１，４６が観察者に視認されてしまうことを抑制することができる。

【0075】

（第３の変形例）
また上述の実施の形態の形態においては、電極４１，４６が膨出部４１ａ，４６ａおよびライン部４１ｂ，４６ｂを含む例を示した。すなわち、電極４１，４６のパターンがいわゆるダイヤモンドパターンである例を示した。しかしながら、電極４１，４６のパターンが特に限られることはない。例えば図１３に示すように、電極４１，４６のパターンとして、いわゆるストライプパターンが採用されてもよい。この場合であっても、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なり、第２分断部５８が第１導線５１と少なくとも部分的に重なるよう、第１導線５１、第１分断部５３、第２導線５６および第２分断部５８を配置することにより、電極４１，４６が観察者に視認されてしまうことを抑制することができる。

【0076】

（その他の変形例）
また上述の実施の形態の形態においては、第１分断部５３が第２導線５６と少なくとも部分的に重なり、かつ第２分断部５８が第１導線５１と少なくとも部分的に重なる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、第１分断部５３は第２導線５６と少なくとも部分的に重なっているが、第２分断部５８は第１導線５１と重なっていなくてもよい。この場合であっても、第１分断部５３および第２分断部５８が無秩序に配置されている場合に比べれば、電極４１，４６が設けられている領域における光の透過率と、分断部５３，５８を含む領域における光の透過率との差を小さくすることができる。

【0077】

また上述の実施の形態の形態においては、複数の第１分断部５３の全てが第２導線５６に重なっている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、複数の第１分断部５３の少なくとも一部が第２導線５６に重なっていればよい。例えば、第１電極４１と第１ダミー部４２との境界を区画する第１分断部５３は第２導線５６に重なっているが、第１ダミー部４２内の第１分断部５３は第２導線５６に重なっていない、という配置が採用されてもよい。反対に、第１ダミー部４２内の第１分断部５３は第２導線５６に重なっているが、第１電極４１と第１ダミー部４２との境界を区画する第１分断部５３は第２導線５６に重なっていない、という配置が採用されてもよい。また、複数の第１分断部５３が一定の比率で第２導線５６に重なるようになっていてもよい。第２分断部５８についても同様に、複数の第２分断部５８の少なくとも一部が第１導線５１に重なっていればよい。この場合であっても、第１分断部５３が無秩序に配置されている場合に比べれば、電極４１，４６が設けられている領域における光の透過率と、分断部５３，５８を含む領域における光の透過率との差を小さくすることができる。

【0078】

また上述の実施の形態の形態においては、第１分断部５３が第２導線５６に少なくとも部分的に重なるように構成された第１電極４１、第１ダミー部４２、第２電極４６および第２ダミー部４７を用いて、タッチパネルセンサ３０を構成する例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、タッチパネルセンサ３０以外にも、第１分断部５３が第２導線５６に少なくとも部分的に重なるように構成された第１電極４１、第１ダミー部４２、第２電極４６および第２ダミー部４７を用いて、導電性を有するパターンを備えた導電性パターン基板を構成してもよい。この場合にも、導電性パターン基板において、第１分断部５３を設けることに起因する光の透過率の上昇の程度を小さくすることができる。従って、第１電極４１が設けられている領域における光の透過率と、第１分断部５３を含む領域における光の透過率との差が大きくなることを抑制することができる。このことにより、第１電極４１が観察者に視認されてしまうことを抑制することができる。

【0079】

導電性パターン基板の用途は特には限られないが、例えば、導電性パターン基板を用いて移動体用メッシュアンテナや電磁波シールド等を構成することができる。

【0080】

導電性パターン基板においても、タッチパネルセンサ３０の場合と同様に、第２分断部５８が第１導線５１に少なくとも部分的に重なるように第１電極４１、第１ダミー部４２、第２電極４６および第２ダミー部４７が構成されていてもよい。またパターン基板においても、タッチパネルセンサ３０の場合と同様に、第１電極４１および第１ダミー部４２を構成する第１導線５１と、第２電極４６および第２ダミー部４７を構成する第２導線５６とが、１つの基材の異なる面にそれぞれ設けられていてもよく、若しくは、互いに貼り合わされる２つの基材にそれぞれ設けられていてもよい。

【0081】

なお、上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。

【符号の説明】

【0082】

１０ タッチ位置検出機能付き表示装置
１２ 保護カバー
１５ 表示装置
２０ タッチパネル装置
３０ タッチパネルセンサ
３２ 基材
４１ 第１電極
４１ａ 第１膨出部
４１ｂ 第１ライン部
４２ 第１ダミー部
４６ 第２電極
４６ａ 第２膨出部
４６ｂ 第２ライン部
４７ 第２ダミー部
５１ 第１導線
５１ａ 交点
５２ 開口部
５３ 第１分断部
５６ 第２導線
５６ａ 交点
５７ 開口部
５８ 第２分断部
６０ 積層体
６１ 第１金属層
６６ 第２金属層
７１ 第１感光層
７２ 第１露光マスク
７６ 第２感光層
７７ 第２露光マスク
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12A】

【図12B】

【図12C】

【図13】