特許6438610化学機械研磨パッドコンディショナーおよびその製造方法

発明の名称　化学機械研磨パッドコンディショナーおよびその製造方法

出願人　中國砂輪企業股▲ふん▼有限公司　（識別番号 506398139）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6438610

公報発行日　2018年12月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6438610

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