特許6438916スプリットフロー真空ポンプ

発明の名称　スプリットフロー真空ポンプ

出願人　プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー　（識別番号 391043675）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6438916

公報発行日　2018年12月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6438916

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