特許6441435プローバ装置およびウェハチャック

発明の名称　プローバ装置およびウェハチャック

出願人　ハイソル株式会社　（識別番号 399028078）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9069 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6441435

公報発行日　2018年12月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6441435

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