特許 6442831 テーブル装置、及び搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6442831

(24)【登録日】2018年12月7日

(45)【発行日】2018年12月26日

(54)【発明の名称】テーブル装置、及び搬送装置

(51)【国際特許分類】

   G12B 5/00 20060101AFI20181217BHJP

   B23Q 1/44 20060101ALI20181217BHJP

   H01L 21/027 20060101ALI20181217BHJP

   G03F 7/20 20060101ALN20181217BHJP

   H01L 21/68 20060101ALN20181217BHJP

   G01N 21/84 20060101ALN20181217BHJP

   G01N 21/956 20060101ALN20181217BHJP

【ＦＩ】

   G12B5/00 T

   B23Q1/44 G

   H01L21/30 515G

   !G03F7/20 521

   !H01L21/68 K

   !G01N21/84 C

   !G01N21/956 A

【請求項の数】7

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2014-27714(P2014-27714)

(22)【出願日】2014年2月17日

(65)【公開番号】特開2015-152487(P2015-152487A)

(43)【公開日】2015年8月24日

【審査請求日】2017年2月10日

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000004204

【氏名又は名称】日本精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 俊徳

【審査官】 榮永 雅夫

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１１−０４８０６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−１５３９９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０１２１６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第５７３１６４１（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ１２Ｂ ５／００

Ｂ２３Ｑ １／００ − ７２

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定面内において移動可能な第１部材と、
前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、
少なくとも一部が前記第１部材に配置され、前記第１部材の移動により前記所定面と直交する第１軸と平行な方向に前記第２部材が移動するように前記第２部材をガイドする第１ガイド装置と、
前記第２部材に支持される第１部分を有するテーブルと、
前記第１部分を囲むように配置される前記テーブルの複数の第２部分のそれぞれに少なくとも一部が接続され、前記第１軸と平行な方向に前記テーブルが移動するように前記テーブルをガイドする複数の第２ガイド装置と、
前記第１部材が前記所定面内の第２軸と平行な方向に移動するように動力を発生するアクチュエータと、
前記第２軸と平行な方向に前記第１部材をガイドする第３ガイド装置と、
を備え、
前記第１ガイド装置は、前記第１部材の斜面及び前記第２部材の斜面に設けられ、第１レールと、前記第１レールと相対移動可能な第１スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第１スライダは、前記第１レールの延在方向に沿って直列に２つ以上配置されており、
前記第３ガイド装置は、第３レールと、前記第３レールと相対移動可能な第３スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第１部材に対し前記第２部材の反対側に設けられたベース部材を有し、
前記第３レールは、前記第１部材に配置され、前記第３スライダは、前記ベース部材に固定され、
前記第３スライダは、前記第３レールの延在方向に沿って直列に２つ配置されており、
直列に配置された２つの前記第３スライダのうち、一方の前記第３スライダの前記第２軸と平行な方向での位置は、直列に配置された２つの前記第１スライダのうち、一方の前記第１スライダの前記第２軸と平行な方向での位置と重なって設けられ、
他方の前記第３スライダの前記第２軸と平行な方向での位置は、他方の前記第１スライダの前記第２軸と平行な方向での位置と重なって設けられている、テーブル装置。

【請求項2】

前記第１部分は、前記所定面内において前記テーブルの中央部を含み、
前記第２部分は、前記所定面内において前記テーブルの周縁部に配置され、
前記第２ガイド装置は、第２レールと、前記第２レールと相対移動可能な第２スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第２スライダは、前記第２レールの延在方向に沿って直列に２つ以上配置されている、請求項１に記載のテーブル装置。

【請求項3】

前記所定面内において前記テーブルは矩形状であり、
前記第２ガイド装置は、前記テーブルの４つのコーナーのそれぞれに接続される請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。

【請求項4】

前記第１部分は、前記テーブルの重心を含み、
前記第１部分と前記コーナーに規定される複数の前記第２部分のそれぞれとの距離は、等しい請求項３に記載のテーブル装置。

【請求項5】

前記第１部材に対し前記第２部材の反対側に設けられたベース部材と、前記ベース部材に固定された支持部材と、を有し、
直列に配置された２つの前記第２スライダは前記支持部材に固定され、
直列に配置された２つの前記第２スライダのうち、一方の前記第２スライダの前記第１軸と平行な方向での位置は、前記第１部材の斜面の下端部の、前記第１軸と平行な方向での位置と重なって設けられ、
他方の前記第２スライダの前記第１軸と平行な方向での位置は、前記第１部材の斜面の上端部の、前記第１軸と平行な方向での位置と重なって設けられる請求項２に記載のテーブル装置。

【請求項6】

所定面内において移動可能な第１部材と、
前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、
少なくとも一部が前記第１部材に配置され、前記第１部材の移動により前記所定面と直交する第１軸と平行な方向に前記第２部材が移動するように前記第２部材をガイドする第１ガイド装置と、
前記第２部材に支持される第１部分を有するテーブルと、
前記第１部分を囲むように配置される前記テーブルの複数の第２部分のそれぞれに少なくとも一部が接続され、前記第１軸と平行な方向に前記テーブルが移動するように前記テーブルをガイドする複数の第２ガイド装置と、
を備え、
前記第１ガイド装置は、前記第１部材の斜面及び前記第２部材の斜面に設けられ、第１レールと、前記第１レールと相対移動可能な第１スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第１スライダは、前記第１レールの延在方向に沿って直列に２つ以上配置されており、
前記第１部分は、前記所定面内において前記テーブルの中央部を含み、
前記第２部分は、前記所定面内において前記テーブルの周縁部に配置され、
前記第２ガイド装置は、第２レールと、前記第２レールと相対移動可能な第２スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、
前記第２スライダは、前記第２レールの延在方向に沿って直列に２つ以上配置され、
前記第１部材に対し前記第２部材の反対側に設けられたベース部材と、前記ベース部材に固定された支持部材と、を有し、
直列に配置された２つの前記第２スライダは前記支持部材に固定され、
直列に配置された２つの前記第２スライダのうち、一方の前記第２スライダの前記第１軸と平行な方向での位置は、前記第１部材の斜面の下端部の、前記第１軸と平行な方向での位置と重なって設けられ、
他方の前記第２スライダの前記第１軸と平行な方向での位置は、前記第１部材の斜面の上端部の、前記第１軸と平行な方向での位置と重なって設けられるテーブル装置。

【請求項7】

請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のテーブル装置を備える搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テーブル装置、及び搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送装置において、例えば特許文献１に開示されているような、移動可能なテーブルを備えるテーブル装置が使用される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４−１９５６２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

テーブル装置において、テーブルを目標軌道で移動しようとしたにもかかわらず、そのテーブルが目標軌道から外れてしまうと、そのテーブル装置を備える搬送装置の性能が低下する可能性がある。例えば、鉛直方向に関してテーブルを真っ直ぐに移動しようとしたにもかかわらず、そのテーブルが真っ直ぐに移動されないと、テーブルの位置決め精度が低下する。これにより、そのテーブルに載っている物体が望みの位置に配置されない可能性がある。

【0005】

本発明は、テーブルを目標軌道で移動できるテーブル装置を提供することを目的とする。また、本発明は、性能の低下を抑制できる搬送装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１の態様は、所定面内において移動可能な第１部材と、前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、少なくとも一部が前記第１部材に配置され、前記第１部材の移動により前記所定面と直交する第１軸と平行な方向に前記第２部材が移動するように前記第２部材をガイドする第１ガイド装置と、前記第２部材に支持される第１部分を有するテーブルと、前記第１部分を囲むように配置される前記テーブルの複数の第２部分のそれぞれに少なくとも一部が接続され、前記第１軸と平行な方向に前記テーブルが移動するように前記テーブルをガイドする複数の第２ガイド装置と、を備えるテーブル装置を提供する。

【0007】

本発明の第１の態様によれば、第２部材を囲むように複数の第２ガイド装置が設けられることにより、テーブルは目標軌道で精度良く移動することができる。第２ガイド装置は第１軸と平行な方向にテーブルをガイドするため、テーブルは第１軸と平行な方向に真っ直ぐに移動することができる。これにより、テーブルの位置決め精度の低下が抑制され、テーブル及びそのテーブルに支持される物体を目標位置に配置することができる。

【0008】

本発明の第１の態様において、前記第１部分は、前記所定面内において前記テーブルの中央部を含み、前記第２部分は、前記所定面内において前記テーブルの周縁部に配置されてもよい。これにより、テーブルは目標軌道で精度良く移動することができる。

【0009】

本発明の第１の態様において、前記所定面内において前記テーブルは矩形状であり、前記第２ガイド装置は、前記テーブルの４つのコーナーのそれぞれに接続されてもよい。これにより、テーブルは目標軌道で精度良く移動することができる。

【0010】

本発明の第１の態様において、前記第１部分は、前記テーブルの重心を含み、前記第１部分と前記コーナーに規定される複数の前記第２部分それぞれとの距離は、等しくてもよい。これにより、テーブルは目標軌道で精度良く移動することができる。

【0011】

本発明の第１の態様において、前記第１ガイド装置は、第１レールと、前記第１レールと相対移動可能な第１スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含み、前記第２ガイド装置は、第２レールと、前記第２レールと相対移動可能な第２スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含んでもよい。これにより、第１ガイド装置及び第２ガイド装置のそれぞれは、テーブルを精度良くガイドすることができる。

【0012】

本発明の第１の態様において、前記第２スライダは、前記第１軸と平行な方向に複数配置されてもよい。これにより、第２ガイド装置は、テーブルを精度良くガイドすることができる。

【0013】

本発明の第１の態様において、前記第１部材が前記所定面内の第２軸と平行な方向に移動するように動力を発生するアクチュエータと、前記第２軸と平行な方向に前記第１部材をガイドする第３ガイド装置と、を備え、前記第３ガイド装置は、第３レールと、前記第３レールと相対移動可能な第３スライダと、を有する直動型の転がり軸受を含んでもよい。これにより、第１ガイド装置、第２ガイド装置、及び第３ガイド装置のそれぞれが直動型の転がり軸受によって構成されるため、第１軸と平行な方向及び第２軸と平行な方向のそれぞれに関してテーブルを精度良くガイドすることができる。

【0014】

本発明の第１の態様において、前記第３レールは、前記第１部材に配置され、前記第３スライダは、固定されてもよい。これにより、第１部材が移動しても、第３スライダの位置は変化しないため、第１部材は第２部材を介してテーブルを安定して支持することができる。

【0015】

本発明の第２の態様は、第１の態様のテーブル装置を備える搬送装置を提供する。

【0016】

本発明の第２の態様によれば、搬送装置の性能の低下が抑制され、テーブルに支持されている物体は目標位置に搬送される。

【発明の効果】

【0017】

本発明のテーブル装置によれば、テーブルが目標軌道から外れることが抑制される。また、本発明の搬送装置によれば、性能の低下が抑制される。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】図１は、第１実施形態に係るテーブル装置の一例を示す正面図である。

【図2】図２は、第１実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。

【図3】図３は、第１実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側面図である。

【図4】図４は、第１実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側面図である。

【図5】図５は、第１実施形態に係るテーブル装置の一部を拡大した図である。

【図6】図６は、第１実施形態に係るガイド装置の一例を示す図である。

【図7】図７は、第１実施形態に係るテーブルとガイド装置との位置関係を説明するための模式図である。

【図8】図８は、第２実施形態に係る搬送装置及び半導体製造装置の一例を示す図である。

【図9】図９は、第２実施形態に係る搬送装置及び検査装置の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。所定面内の一方向をＸ軸方向、所定面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。Ｘ軸は、ＹＺ平面と直交する。Ｙ軸は、ＸＺ平面と直交する。Ｚ軸は、ＸＹ平面と直交する。ＸＹ平面は、所定面と平行である。本実施形態において、ＸＹ平面は、水平面と平行であることとする。Ｚ軸方向は、鉛直方向である。

【0020】

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るテーブル装置１００の一例を示す正面図である。図２は、図１のテーブル装置１００を＋Ｚ側から見た平面図である。図３は、図１のテーブル装置１００を−Ｘ側から見た側面図である。図４は、図１のテーブル装置１００を＋Ｘ側から見た側面図である。図５は、図１の一部を拡大した図である。

【0021】

テーブル装置１００は、物体Ｓを支持可能なテーブル１０と、ＸＹ平面内（水平面内）において移動可能な第１部材１と、第１部材１に対して相対移動可能な第２部材２と、少なくとも一部が第１部材１に配置され、第１部材１の移動によりＺ軸方向に第２部材２が移動するように第２部材２をガイドするガイド装置４と、少なくとも一部がテーブル１０に接続され、Ｚ軸方向にテーブル１０が移動するようにテーブル１０をガイドする複数のガイド装置５と、を備えている。

【0022】

テーブル装置１００は、ベース部材８を備えている。本実施形態において、ベース部材８は、第１ベース部材８１と、第１ベース部材８１を支持する第２ベース部材８２とを含む。ベース部材８は、例えばテーブル装置１００が設置される施設（例えば工場）の床面などに配置される。

【0023】

テーブル１０は、＋Ｚ方向を向く上面１０Ａと、上面１０Ａの反対方向（−Ｚ方向）を向く下面１０Ｂとを有する。物体Ｓは、テーブル１０の上面１０Ａに載せられる。上面１０Ａは、物体Ｓを支持可能である。

【0024】

テーブル１０は、部分１０Ｐと、部分１０Ｐを囲むように配置される複数の部分１０Ｒとを有する。部分１０Ｐは、ＸＹ平面内においてテーブル１０の中央部を含む。テーブル１０の部分１０Ｐは、ＸＹ平面内におけるテーブル１０の中心（図心）を含む。本実施形態において、テーブル１０の部分１０Ｐは、テーブル１０の重心Ｇを含む。部分１０Ｒは、ＸＹ平面内においてテーブル１０の周縁部に配置される。

【0025】

図２に示すように、本実施形態において、テーブル１０は、ＸＹ平面内において矩形状（長方形状又は正方形状）である。テーブル１０は、４つのコーナーを有する。部分１０Ｒは、それらコーナーを含む。本実施形態において、部分１０Ｒは、部分１０Ｐを囲むように４箇所に設けられる。

【0026】

テーブル１０は、第２部材２に支持される。本実施形態において、第２部材２は、テーブル１０の部分１０Ｐを支持する。すなわち、第２部材２は、テーブル１０の中央部（テーブル１０の重心Ｇ）を支持する。本実施形態において、第２部材２は、接続部材２２を介して、テーブル１０を支持する。第２部材２と接続部材２２とは固定される。接続部材２２とテーブル１０の部分１０Ｐとは固定される。なお、第２部材２と接続部材２２とは一体でもよい。

【0027】

ガイド装置５は、テーブル１０の部分１０Ｒを支持する。ガイド装置５は、複数（４つ）の部分１０Ｒのそれぞれを支持するように、複数（４つ）設けられる。ガイド装置５の少なくとも一部は、テーブル１０の部分１０Ｒに接続される。ガイド装置５は、テーブル１０の４つのコーナーのそれぞれに接続される。

【0028】

第１部材１、第２部材２、及びガイド装置４は、テーブル１０の下面１０Ｂ側（−Ｚ側）に配置される。第２部材２は、テーブル１０の下面１０Ｂ側において、テーブル１０を支持する。

【0029】

ガイド装置５は、テーブル１０の上面１０Ａよりも下側（−Ｚ側）に配置される。本実施形態においては、ＸＹ平面内において、ガイド装置５の少なくとも一部は、テーブル１０の外側に張り出すように配置される。

【0030】

第１部材１及び第２部材２は、可動部材である。第１部材１及び第２部材２のそれぞれは、テーブル１０の下方の空間（−Ｚ側の空間）において移動する。第１部材１及び第２部材２のそれぞれは、ベース部材８の上方の空間（＋Ｚ側の空間）において移動する。

【0031】

第１部材１は、ＸＹ平面内において移動可能である。本実施形態において、第１部材１は、Ｘ軸方向に移動可能である。ＸＺ平面内における第１部材１の外形は、ほぼ三角形（くさび形）である。図１及び図５に示すように、第１部材１は、ＸＹ平面と平行な下面１Ｂと、ＸＹ平面に対して傾斜する斜面１Ｇと、Ｚ軸と平行な側面１Ｓとを有する。斜面１Ｇ及び側面１Ｓは、下面１Ｂよりも上側（＋Ｚ側）に配置される。斜面１Ｇは、＋Ｘ方向に向かって上方（＋Ｚ方向）に傾斜する。斜面１Ｇの下端部と下面１Ｂの−Ｘ側の端部とが結ばれる。斜面１Ｇの上端部と側面１Ｓの上端部とが結ばれる。側面１Ｓの下端部と下面１Ｂの＋Ｘ側の端部とが結ばれる。

【0032】

第２部材２は、第１部材１に移動可能に支持される。第１部材１と第２部材２とは相対移動可能である。第２部材２は、第１部材１の上方（＋Ｚ側）において、第１部材１に対して相対移動する。

【0033】

第２部材２は、少なくともＺ軸方向に移動可能である。本実施形態においては、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、第２部材２がＺ軸方向に移動する。ＸＺ平面内における第２部材２の外形は、ほぼ三角形（くさび形）である。図１及び図５に示すように、第２部材２は、ＸＹ平面と平行な上面２Ａと、ＸＹ平面に対して傾斜する斜面２Ｇと、Ｚ軸と平行な側面２Ｓとを有する。上面２Ａは、側面２Ｓ及び斜面２Ｇよりも上側（＋Ｚ側）に配置される。斜面２Ｇは、＋Ｘ方向に向かって上方（＋Ｚ方向）に傾斜する。本実施形態において、斜面１Ｇと斜面２Ｇとは平行である。斜面２Ｇの上端部と上面２Ａの＋Ｘ側の端部とが結ばれる。斜面２Ｇの下端部と側面２Ｓの下端部とが結ばれる。側面２Ｓの上端部と上面２Ａの−Ｘ側の端部とが結ばれる。

【0034】

ガイド装置４は、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、Ｚ軸方向に第２部材２が移動するように第２部材２をガイドする。ガイド装置４の少なくとも一部は、第１部材１に配置される。本実施形態において、ガイド装置４は、直動ガイド機構を含む。ガイド装置４は、第１部材１に配置されたレール４１と、第２部材２に配置され、レール４１を移動可能なスライダ（ブロック）４２とを含む。レール４１は、第１部材１の斜面１Ｇに配置される。スライダ４２は、第２部材２の斜面２Ｇに配置される。

【0035】

ガイド装置４は、直動型軸受を含む。本実施形態において、ガイド装置４は、直動型の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、転がり軸受は、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、ガイド装置４は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

【0036】

図６は、本実施形態に係るガイド装置４の一例を示す図である。ガイド装置４は、レール４１と、レール４１と相対移動可能なスライダ（ブロック、直動型軸受）４２と、を含む。レール４１は、上方を向く表面４１Ａと、表面４１Ａの両側に配置される側面４１Ｂと、側面４１Ｂのそれぞれに形成された溝４１Ｃとを有する。スライダ４２は、レール４１の表面４１Ａと対向可能な第１対向面４２Ａと、レール４１の側面４１Ｂと対向可能な第２対向面４２Ｂと、少なくとも一部がレール４１の溝４１Ｃに配置される転動体（玉）４２Ｔとを有する。玉４２Ｔは溝４１Ｃの内面に接触しつつ転がる。溝４１Ｃに沿って玉４２Ｔが転がることによって、スライダ４２はレール４１を円滑に移動可能である。

【0037】

本実施形態において、レール４１は、ＸＹ平面に対して傾斜するように、第１部材１（斜面１Ｇ）に配置される。レール４１は、レール４１の表面４１ＡがＸＹ平面に対して傾斜するように配置される。図５に示すように、本実施形態において、ＸＹ平面に対するレール４１（表面４１Ａ）の傾斜角度はθである。角度θは、０度よりも大きく、９０度よりも小さい。スライダ４２は、第１対向面４２Ａとレール４１の表面４１Ａとが平行となるように、第２部材２（斜面２Ｇ）に配置される。本実施形態において、スライダ４２は、第２部材２の斜面２Ｇに２つ配置される。なお、スライダ４２は、第２部材２に１つ配置されてもよい。３つ以上の複数のスライダ４２が第２部材２に配置されてもよい。

【0038】

第２部材２は、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、Ｚ軸方向に移動するようにガイド装置４にガイドされる。第１部材１が−Ｘ方向に移動すると、第２部材２は＋Ｚ方向に移動（上昇）する。第１部材１が＋Ｘ方向に移動すると、第２部材２は−Ｚ方向に移動（下降）する。テーブル１０は、第２部材２に支持されている。そのため、Ｚ軸方向に関する第２部材２の移動（昇降）により、テーブル１０も、第２部材２と一緒に移動する。すなわち、第２部材２が＋Ｚ方向に移動（上昇）すると、テーブル１０は第２部材２と一緒に＋Ｚ方向に移動する。第２部材２が−Ｚ方向に移動（下降）すると、テーブル１０は第２部材２と一緒に−Ｚ方向に移動する。

【0039】

なお、ガイド装置４において、第１部材１の斜面１Ｇにスライダ４２が配置され、第２部材２の斜面２Ｇにレール４１が配置されてもよい。

【0040】

第１部材１の外形は、ほぼ三角形（くさび形）である。第２部材２の外形も、ほぼ三角形（くさび形）である。すなわち、本実施形態において、テーブル装置１００は、所謂、くさび型昇降装置を含む。第１部材１を、くさび部材（第１くさび部材）１と称してもよい。第２部材２を、くさび部材（第２くさび部材）２と称してもよい。

【0041】

テーブル装置１００は、第１部材１がＸ軸方向に移動するように動力を発生するアクチュエータ７と、Ｘ軸方向に第１部材１をガイドするガイド装置９と、を備えている。アクチュエータ７は、第１部材１をＸＹ平面内において移動可能である。アクチュエータ７は、第１部材１を移動するための動力を発生する。アクチュエータ７は、第１部材１がＸＹ平面内において移動するように動力を発生する。本実施形態においては、アクチュエータ７の作動により、第１部材１はＸ軸方向に移動する。アクチュエータ７は、回転モータを含み、供給される電力により作動する。図１に示すように、アクチュエータ７と第１部材１とは、動力伝達装置１１を介して接続される。アクチュエータ７の動力（駆動力）は、動力伝達装置１１を介して、第１部材１に伝達される。

【0042】

本実施形態において、動力伝達装置１１は、アクチュエータ７の回転運動を直線運動に変換する。本実施形態において、アクチュエータ（回転モータ）７のシャフトは、θＸ方向に回転する。動力伝達装置１１は、θＸ方向の回転運動を、Ｘ軸方向の直線運動に変換して、第１部材１に伝達する。第１部材１は、動力伝達装置１１を介して伝達されるアクチュエータ７の動力（駆動力）により、Ｘ軸方向に移動する。

【0043】

本実施形態において、動力伝達装置１１は、ボールねじ１１Ｂを含む。ボールねじ１１Ｂは、アクチュエータ７の作動により回転するねじ軸と、第１部材１に接続され、ねじ軸の周囲に配置されるナットと、ねじ軸とナットとの間に配置されるボールとを含む。ボールねじ１１Ｂのねじ軸は、支持軸受１２により回転可能に支持される。本実施形態において、ボールねじ１１Ｂは、θＸ方向に回転する。ボールねじ１１ＢがθＸ方向に回転することにより、ナット及びそのナットが接続されている第１部材１がＸ軸方向に移動（直線移動）する。

【0044】

アクチュエータ７がボールねじ１１Ｂのねじ軸を一方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、第１部材１が＋Ｘ方向に移動する。アクチュエータ７がボールねじ１１Ｂのねじ軸を逆方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、第１部材１が−Ｘ方向に移動する。すなわち、アクチュエータ７の回転方向（ボールねじ１１Ｂのねじ軸の回転方向）に基づいて、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動方向（＋Ｘ方向及び−Ｘ方向のいずれか一方の方向）が決定される。第１部材１の移動方向に基づいて、Ｚ軸方向に関する第２部材２（テーブル１０）の移動方向（−Ｚ方向及び＋Ｚ方向のいずれか一方の方向）が決定される。

【0045】

ガイド装置９は、アクチュエータ７の作動により、Ｘ軸方向に第１部材１が移動するように第１部材１をガイドする。ガイド装置９の少なくとも一部は、ベース部材８に配置される。本実施形態において、ガイド装置９は、直動ガイド機構を含む。ガイド装置９は、第１部材１に配置されたレール９１と、ベース部材８に配置され、レール９１と相対移動可能なスライダ（ブロック）９２とを含む。レール９１は、第１部材１の下面１Ｂに固定される。スライダ９２は、ベース部材８の上面に固定される。レール９１は、第１部材１と一緒に移動する。スライダ９２は、移動しない。スライダ９２の位置は、固定されている。

【0046】

ガイド装置９は、直動型の転がり軸受を含む。本実施形態において、ガイド装置９は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。第１部材１は、アクチュエータ７の作動により、Ｘ軸方向に移動するようにガイド装置９にガイドされる。ガイド装置９は、図６を参照して説明したガイド装置４と同等の構造である。ガイド装置９の構造についての詳細な説明は省略する。

【0047】

なお、ガイド装置９において、ベース部材８の上面にレール９１が配置され、第１部材１の下面１Ｂにスライダ９２が配置されてもよい。

【0048】

ガイド装置５は、直動ガイド機構を含む。ガイド装置５は、レール５１と、レール５１と相対移動可能なスライダ（ブロック）５２とを有する。ガイド装置５は、直動型の転がり軸受を含む。本実施形態において、ガイド装置５は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。テーブル１０は、Ｚ方向に移動するようにガイド装置５にガイドされる。ガイド装置５は、図６を参照して説明したガイド装置４と同等の構造である。ガイド装置５の構造についての詳細な説明は省略する。

【0049】

レール５１は、テーブル１０の部分１０Ｒに固定される。ＸＹ平面内において、複数（４本）のレール５１は、第１部材１及び第２部材２を囲むように配置される。レール５１は、テーブル１０と一緒にＺ軸方向に移動する。

【0050】

スライダ５２は、支持部材６に固定される。支持部材６は、ベース部材８に固定される。スライダ５２は、Ｚ軸方向に複数配置される。本実施形態において、ガイド装置５は、Ｚ軸方向に配置される２つのスライダ５２を有する。なお、ガイド装置５は、Ｚ軸方向に配置される３つ以上の任意の数のスライダ５２を有してもよい。

【0051】

図７は、本実施形態に係るテーブル１０とガイド装置５との位置関係の一例を説明するための図である。本実施形態において、テーブル１０の重心Ｇを含む部分１０Ｐが、第２部材２に支持される。

【0052】

図７に示すように、ＸＹ平面内において、テーブル１０は、４角形である。テーブル１０の４つのコーナーのそれぞれに、部分１０Ｒが規定される。それら４つのコーナー１０Ｒのそれぞれが、ガイド装置５に支持される。

【0053】

テーブル１０は、第１コーナー１０Ｒａと、第２コーナー１０Ｒｂと、第３コーナー１０Ｒｃと、第４コーナー１０Ｒｄと、を有する。第１コーナー１０Ｒａと第２コーナー１０ＲｂとがＹ軸方向に配置される。第３コーナー１０Ｒｃと第４コーナー１０ＲｄとがＹ軸方向に配置される。第１コーナー１０Ｒａ及び第２コーナー１０Ｒｂは、第３コーナー１０Ｒｃ及び第４コーナー１０Ｒｄの＋Ｘ側に配置される。第１コーナー１０Ｒａと第４コーナー１０ＲｄとがＸ軸方向に配置される。第２コーナー１０Ｒｂと第３コーナー１０ＲｃとがＸ軸方向に配置される。第１コーナー１０Ｒａ及び第４コーナー１０Ｒｄは、第２コーナー１０Ｒｂ及び第３コーナー１０Ｒｃの＋Ｙ側に配置される。

【0054】

第１コーナー１０Ｒａ、第２コーナー１０Ｒｂ、第３コーナー１０Ｒｃ、及び第４コーナー１０Ｒｄのそれぞれに、ガイド装置５のレール５１が接続される。

【0055】

ＸＹ平面内において、部分１０Ｐ（重心Ｇ）と第１コーナー１０Ｒａとの距離は、Ｈａである。部分１０Ｐ（重心Ｇ）と第２コーナー１０Ｒｂとの距離は、Ｈｂである。部分１０Ｐ（重心Ｇ）と第３コーナー１０Ｒｃとの距離は、Ｈｃである。部分１０Ｐ（重心Ｇ）と第４コーナー１０Ｒｄとの距離は、Ｈｄである。本実施形態において、距離Ｈａと、距離Ｈｂと、距離Ｈｃと、距離Ｈｄとは、等しい。すなわち、本実施形態において、４つのガイド装置５（レール５１）は、ＸＹ平面内において、テーブル１０の重心Ｇに対する放射方向に関して等しい距離の部分（１０Ｒａ、１０Ｒｂ、１０Ｒｃ、１０Ｒｄ）のそれぞれに接続される。

【0056】

また、本実施形態において、Ｘ軸方向に関して、第１コーナー１０Ｒａと第４コーナー１０Ｒｄとの距離Ｄｘａと、第２コーナー１０Ｒｂと第３コーナー１０Ｒｃとの距離Ｄｘｂとは、等しい。Ｙ軸方向に関して、第１コーナー１０Ｒａと第２コーナー１０Ｒｂとの距離Ｄｙａと、第３コーナー１０Ｒｃと第４コーナー１０Ｒｄとの距離Ｄｙｂとは、等しい。

【0057】

次に、上述のテーブル装置１００の動作の一例について説明する。アクチュエータ７の作動により、動力伝達装置１１を介して、第１部材１にアクチュエータ７の動力が伝達される。アクチュエータ７の作動により、第１部材１がＸ軸方向に移動する。第１部材１は、ガイド装置９にガイドされてＸ軸方向に円滑に移動する。ガイド装置９により、第１部材１は、Ｘ軸方向に目標軌道（望みの軌道）で移動される。本実施形態においては、ガイド装置９により、第１部材１は、Ｘ軸方向に真っ直ぐに移動可能である。

【0058】

Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、第２部材２がＺ軸方向に移動する。第２部材２は、ガイド装置４にガイドされてＺ軸方向に円滑に移動する。第２部材２がＺ軸方向に移動することにより、その第２部材２に支持されているテーブル１０も、第２部材２と一緒にＺ軸方向に移動する。

【0059】

本実施形態においては、テーブル１０に固定されたレール５１と、そのレール５１を移動可能に支持するスライダ５２とを含むガイド装置５が、第２部材２の周囲において複数設けられている。それら複数のガイド装置５は、テーブル１０がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動することを抑制しつつ、Ｚ軸方向に移動することを許容する。これにより、テーブル１０は、Ｚ軸方向に目標軌道（望みの軌道）で移動される。本実施形態においては、ガイド装置５により、テーブル１０は、Ｚ軸方向に真っ直ぐに移動可能である。

【0060】

テーブル１０に支持された物体Ｓが目標位置に配置されるように、アクチュエータ７が作動する。本実施形態においては、テーブル１０をＺ軸方向にガイドするガイド装置５が設けられている。そのため、テーブル１０の目標軌道（望みの軌道）で移動させることができる。そのため、テーブル装置１００は、物体Ｓを目標位置に配置することができる。

【0061】

以上説明したように、本実施形態によれば、第２部材２を囲むように複数のガイド装置５が設けられることにより、テーブル１０は目標軌道で精度良く移動することができる。ガイド装置５はＺ軸方向にテーブル１０をガイドするため、テーブル１０はＺ軸方向に真っ直ぐに移動することができる。ガイド装置５が第２部材２（テーブル１０）を囲むように４つ配置されることにより、ＸＹ方向に関するテーブル装置１００の剛性が高くなる。そのため、テーブル１０の動作が安定する。また、ガイド装置５が複数設けられることにより、テーブル装置１００は、外力の作用に対して堅牢になる。また、第１部材１及び第２部材２の面精度などに起因して、テーブル１０の移動誤差が発生する場合でも、複数のガイド装置５がその誤差を吸収する。これにより、テーブル１０の位置決め精度の低下が抑制され、テーブル１０及びそのテーブル１０に支持される物体Ｓを目標位置に配置することができる。

【0062】

また、本実施形態において、テーブル１０の中央部を含む部分１０Ｐが第２部材２で支持され、テーブル１０の４つのコーナー（部分）１０Ｒがガイド装置５に支持される。部分１０Ｐは、テーブル１０の重心Ｇを含み、部分１０Ｐと、４つのコーナー１０Ｒ（１０Ｒａ、１０Ｒｂ、１０Ｒｃ、１０Ｒｄ）それぞれの距離（Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃ、Ｈｄ）とは、等しい。これにより、テーブル１０は目標軌道で精度良く移動することができる。

【0063】

また、本実施形態において、ガイド装置５は、直動型の転がり軸受を含む。これにより、テーブル１０は、ガイド装置５にガイドされて、Ｚ軸方向に真っ直ぐに移動することができる。

【0064】

また、本実施形態において、ガイド装置５は、Ｚ軸方向に配置される複数（２つ）のスライダ５２を有する。これにより、Ｚ軸方向に関するテーブル１０（スライダ５２）の移動においてスライダ５２に振動が発生しても、その振動が平均化され、微振動も最小限に抑制される。そのため、ガイド装置５は、テーブル１０を精度良くガイドすることができる。

【0065】

また、本実施形態においては、転動体を含むスライダ９２がベース部材８に固定され、レール９１が第１部材１と一緒に移動する。これにより、テーブル１０（第２部材２）がＺ軸方向に移動しても、スライダ９２の位置は変化しない。そのため、第１部材１は、第２部材２を介してテーブル１０を安定して支持することができる。特に、第１部材１の移動距離（ストローク）が長いときに有効である。

【0066】

また、本実施形態においては、ガイド装置４、ガイド装置５、及びガイド装置９のそれぞれが、転がり軸受を有する直動ガイド機構によって構成されている。ガイド装置４、ガイド装置５、及びガイド装置９のそれぞれは、実質的に同一な構造の転がり軸受を有する。したがって、テーブル１０は、それらガイド装置４、ガイド装置５、及びガイド装置９にガイドされて、Ｚ軸方向、及びＸ軸方向のそれぞれに目標軌道で精度良く移動することができる。

【0067】

なお、本実施形態においては、ガイド装置５が第２部材２の周囲に４つ配置されることとした。ガイド装置５は、第２部材２の周囲において２つ又は３つ配置されてもよい。５つ以上の任意の複数のガイド装置５が第２部材２の周囲に配置されてもよい。

【0068】

なお、本実施形態においては、テーブル１０が矩形状であることとした。ＸＹ平面内においてテーブル１０は円形でもよいし、６角形又は８角形のような多角形でもよい。

【0069】

なお、本実施形態において、ガイド装置４は、転動体を有する転がり軸受を含むこととした。ガイド装置４が、転動体を有しない直動型のすべり軸受を含んでもよいし、直動型の気体軸受を含んでもよい。なお、ガイド装置４が、スライダを有しなくてもよい。例えば、第２部材２がＺ軸方向に移動するように、第１部材１に設けられたレールに沿って第２部材２の斜面２Ｇが移動されてもよい。この場合、第１部材１に設けられたレールが、第２部材２をガイドするガイド装置として機能する。

【0070】

同様に、ガイド装置９が、直動型のすべり軸受を含んでもよいし、直動型の気体軸受を含んでもよい。なお、ガイド装置９が、スライダを有しなくてもよい。

【0071】

同様に、ガイド装置５が、直動型のすべり軸受を含んでもよいし、直動型の気体軸受を含んでもよい。なお、ガイド装置５が、スライダを有しなくてもよい。

【0072】

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

【0073】

図８は、本実施形態に係るテーブル装置１００を備える半導体製造装置２００の一例を示す図である。半導体製造装置２００は、半導体デバイスを製造可能な半導体デバイス製造装置を含む。半導体製造装置２００は、半導体デバイスを製造するための物体Ｓを搬送可能な搬送装置３００を含む。搬送装置３００は、本実施形態に係るテーブル装置１００を含む。なお、図８においては、テーブル装置１００を簡略して図示する。

【0074】

本実施形態において、物体Ｓは、半導体デバイスを製造するための基板である。物体Ｓから半導体デバイスが製造される。物体Ｓは、半導体ウエハを含んでもよいし、ガラス板を含んでもよい。物体Ｓにデバイスパターン（配線パターン）が形成されることによって、半導体デバイスが製造される。

【0075】

半導体製造装置２００は、処理位置ＰＪ１に配置された物体Ｓに対して、デバイスパターンを形成するための処理を行う。テーブル装置１００は、テーブル１０に支持された物体Ｓを処理位置ＰＪ１に配置する。搬送装置３００は、テーブル装置１００のテーブル１０に物体Ｓを搬送（搬入）可能な搬入装置３０１と、テーブル１０から物体Ｓを搬送（搬出）可能な搬出装置３０２とを含む。搬入装置３０１によって、処理前の物体Ｓがテーブル１０に搬送（搬入）される。テーブル装置１００によって、テーブル１０に支持された物体Ｓが処理位置ＰＪ１まで搬送される。搬出装置３０２によって、処理後の物体Ｓがテーブル１０から搬送（搬出）される。

【0076】

テーブル装置１００は、テーブル１０を移動して、テーブル１０に支持された物体Ｓを処理位置ＰＪ１に移動する。上述の実施形態で説明したように、テーブル１０は、ガイド装置５によってガイドされる。そのため、テーブル装置１００は、テーブル１０を目標軌道で移動可能であり、テーブル１０に支持された物体Ｓを処理位置（目標位置）ＰＪ１に配置可能である。

【0077】

例えば、半導体製造装置２００が、光学系２０１を介して物体Ｓのデバイスパターンを計測する計測装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、光学系２０１の焦点の位置（計測位置）を含む。処理位置ＰＪ１に物体Ｓが配置されることにより、半導体製造装置２００は、光学系２０１を介して、物体Ｓに形成されたデバイスパターンの画像を取得可能である。半導体製造装置２００が、物体Ｓに膜を形成する成膜装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、膜を形成するための材料が供給可能な位置である。処理位置ＰＪ１に物体Ｓが配置されることにより、デバイスパターンを形成するための膜が物体Ｓに形成される。

【0078】

処理位置ＰＪ１において物体Ｓが処理された後、その処理後の物体Ｓが搬出装置３０２によってテーブル１０から搬送される。搬出装置３０２によって搬送（搬出）された物体Ｓは、後工程を行う処理装置に搬送される。

【0079】

本実施形態においては、テーブル装置１００は、物体Ｓを処理位置（目標位置）ＰＪ１に配置可能である。そのため、不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。すなわち、テーブル装置１００によって、半導体製造装置２００における物体Ｓの位置決め精度の低下が抑制されるため、不良な製品の発生が抑制される。

【0080】

図９は、本実施形態に係るテーブル装置１００を備える検査装置４００の一例を示す図である。検査装置４００は、半導体製造装置２００によって製造された物体（半導体デバイス）Ｓ２を検査する。検査装置４００は、物体Ｓ２を搬送可能な搬送装置３００Ｂを含む。搬送装置３００Ｂは、本実施形態に係るテーブル装置１００を含む。なお、図９においては、テーブル装置１００を簡略して図示する。

【0081】

検査装置４００は、検査位置ＰＪ２に配置された物体Ｓ２の検査を行う。テーブル装置１００は、テーブル１０に支持された物体Ｓ２を検査位置ＰＪ２に配置する。搬送装置３００Ｂは、テーブル装置１００のテーブル１０に物体Ｓ２を搬送（搬入）可能な搬入装置３０１Ｂと、テーブル１０から物体Ｓ２を搬送（搬出）可能な搬出装置３０２Ｂとを含む。搬入装置３０１Ｂによって、検査前の物体Ｓ２がテーブル１０に搬送（搬入）される。テーブル装置１００によって、テーブル１０に支持された物体Ｓ２が検査位置ＰＪ２まで搬送される。搬出装置３０２Ｂによって、検査後の物体Ｓ２がテーブル１０から搬送（搬出）される。

【0082】

テーブル装置１００は、テーブル１０を移動して、テーブル１０に支持された物体Ｓ２を検査位置ＰＪ２に移動する。上述の実施形態で説明したように、テーブル１０は、ガイド装置５によってガイドされる。そのため、テーブル装置１００は、テーブル１０を目標軌道で移動可能であり、テーブル１０に支持された物体Ｓ２を検査位置（目標位置）ＰＪ２に配置可能である。

【0083】

本実施形態において、検査装置４００は、検出光を用いて物体Ｓ２の検査を光学的に行う。検査装置４００は、検出光を射出可能な照射装置４０１と、照射装置４０１から射出され、物体Ｓ２で反射した検出光の少なくとも一部を受光可能な受光装置４０２とを含む。本実施形態において、検査位置ＰＪ２は、検出光の照射位置を含む。検査位置ＰＪ２に物体Ｓ２が配置されることにより、物体Ｓ２の状態が光学的に検査される。

【0084】

検査位置ＰＪ２において物体Ｓ２の検査が行われた後、その検査後の物体Ｓ２が搬出装置３０２Ｂによってテーブル１０から搬送される。

【0085】

本実施形態においては、テーブル装置１００は、物体Ｓ２を検査位置（目標位置）ＰＪ２に配置可能であるため、検査不良の発生を抑制できる。すなわち、検査装置４００は、物体Ｓ２が不良であるか否かを良好に判断することができる。これにより、例えば不良な物体Ｓ２が後工程に搬送されたり、出荷されたりすることが抑制される。

【0086】

なお、本実施形態においては、テーブル１０がＺ軸方向に移動することとした。本実施形態において、テーブル１０がＺ軸に対して傾斜する方向に移動されてもよい。第１部材１がＸＹ平面に対して傾斜する方向に移動されてもよいし、第２部材２がＺ軸に対して傾斜する方向に移動されてもよい。すなわち、ＸＹ平面は、水平面と平行でもよいし、水平面に対して傾斜していてもよい。ガイド装置５は、その傾斜する方向にテーブル１０をガイド可能である。ガイド装置５により、テーブル１０は、その傾斜する方向に真っ直ぐに移動可能である。

【符号の説明】

【0087】

１ 第１部材
２ 第２部材
４ ガイド装置
５ ガイド装置
６ 支持部材
７ アクチュエータ
８ ベース部材
９ ガイド装置
１０ テーブル
１０Ｐ 部分
１０Ｒ 部分
１１ 動力伝達装置
４１ レール
４２ スライダ
５１ レール
５２ スライダ
９１ レール
９２ スライダ
１００ テーブル装置
２００ 半導体製造装置
３００ 搬送装置
４００ 検査装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】